JP2009231647A - 半導体レーザ素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】メサストライプ構造を有するリッジ導波路型半導体レーザ素子の高出力化を推進する。
【解決手段】半導体レーザ素子は、素子1個当たり3本のメサストライプ部を有している。真ん中に配置された主メサストライプ部(MS1)は、発振波長よりも広い幅を有してり、その両側に配置された2本の副メサストライプ部(MS2)は、発振波長よりも狭い幅を有している。また、主メサストライプ部(MS1)と副メサストライプ部(MS2)の間隔は、発振波長よりも狭くなっている。発振波長よりも狭い幅の副メサストライプ部(MS2)は、横モードカットオフへの影響がほとんど無いので、キンクレベルの低下もほとんど無い。
【選択図】図2
【解決手段】半導体レーザ素子は、素子1個当たり3本のメサストライプ部を有している。真ん中に配置された主メサストライプ部(MS1)は、発振波長よりも広い幅を有してり、その両側に配置された2本の副メサストライプ部(MS2)は、発振波長よりも狭い幅を有している。また、主メサストライプ部(MS1)と副メサストライプ部(MS2)の間隔は、発振波長よりも狭くなっている。発振波長よりも狭い幅の副メサストライプ部(MS2)は、横モードカットオフへの影響がほとんど無いので、キンクレベルの低下もほとんど無い。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体レーザ素子に関し、特に、メサストライプ構造を有するリッジ導波路型半導体レーザ素子の高出力化に適用して有効な技術に関するものである。
半導体レーザ素子は、光導波路に沿った電流路をストライプ状に形成し、さらに発光部である活性層を多重量子井戸構造(multi-quantum well)にして発光効率を向上させたものが主流となっている。
この種のリッジ導波路型半導体レーザ素子に関しては、例えば特許文献1(特開2004−179274号公報)や、特許文献2(特開2006−278694号公報)などに記載がある。
特開2004−179274号公報
特開2006−278694号公報
半導体レーザ素子を高出力化するためには、キンク(半導体レーザの光出力−動作電流特性における非直線性)のレベル改善と、高温動作時における飽和出力の改善とが課題となる。
キンクレベルを改善する一般的な手法は、レーザのストライプ幅を狭くして、横モードのカットオフ幅までのマージンを大きく取ることである。しかし、ストライプ幅を狭くすると抵抗値が増加するため、高温動作時の飽和出力が低下する。すなわち、キンクレベルと高温動作時の飽和出力とはトレードオフの関係にあるため、半導体レーザ素子のさらなる高出力化は、困難に直面しているのが現状である。
本発明の目的は、半導体レーザ素子の高出力化を実現することのできる技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
本発明の半導体レーザ素子は、半導体基板と、前記半導体基板の第1の面に形成された第1導電型のカソード電極と、前記半導体基板の第2の面上に形成された第1導電型のクラッド層と、前記クラッド層の上部に形成された活性層と、前記活性層の上部に形成された第2導電型の第1クラッド層と、前記第1クラッド層の上部に形成され、かつ、メサストライプ部を構成する第2導電型の第2クラッド層と、前記第2クラッド層の上面に形成された第2導電型のコンタクト層と、前記コンタクト層の上部に形成され、かつ、前記コンタクト層に電気的に接続された第2導電型のアノード電極とを有するリッジ導波路型の半導体レーザ素子であって、前記メサストライプ部は、発振波長よりも広い幅を有する主メサストライプ部と、前記主メサストライプ部の両側に配置され、かつ、前記発振波長以下の幅を有する副メサストライプ部とで構成されているものである。
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
キンクレベルの改善と、高温動作時における飽和出力の改善とを両立させることができるので、半導体レーザ素子を高出力化することができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、以下の実施の形態では、特に必要なときを除き、同一または同様な部分の説明を原則として繰り返さない。
(実施の形態1)
本実施の形態では、635nmの発振波長を有する赤色半導体レーザ素子に本発明を適用した例について説明する。図1は、本実施の形態の半導体レーザ素子を示す斜視図、図2は、図1に示す半導体レーザ素子の要部断面図である。
本実施の形態では、635nmの発振波長を有する赤色半導体レーザ素子に本発明を適用した例について説明する。図1は、本実施の形態の半導体レーザ素子を示す斜視図、図2は、図1に示す半導体レーザ素子の要部断面図である。
本実施の形態の半導体レーザ素子は、メサストライプ構造を有するリッジ導波路型半導体レーザ素子であり、第1の面およびこの面の反対側の面となる第2の面を有する第1導電型(例えばn型)のGaAsからなる基板(GaAs基板)1を有している。
上記GaAs基板1の主面には、複数の半導体層が形成されている。これらの半導体層は、上記主面に垂直な方向に沿って順次積層されたn型クラッド層2、多重量子井戸構造(multi-quantum well)を備えた活性層3、p型第1クラッド層4、メサストライプ部を構成するp型第2クラッド層5およびp型コンタクト層6からなる。
上記半導体層のうち、n型クラッド層2は、厚さ2.0μmのAlGaInPで形成されている。活性層3は、厚さ5nmのAlGaInPからなる障壁層と厚さ6nmのGaInP層からなる井戸層とを交互に積層した多重量子井戸構造を備えている。p型第1クラッド層4は、厚さ0.3μmのAlGaInPで形成されており、p型第2クラッド層5は、厚さ1.2μmのAlGaInPで形成されている。p型コンタクト層6は、厚さ0.4μmのGaAsで形成されている。
また、上記半導体層の上部には、p型コンタクト層6の表面(上面)を除き、酸化シリコンからなる絶縁層7が形成されている。この絶縁層7は、GaAs基板1の上面全体を覆う構造になっている。p型コンタクト層6の上面および絶縁層7の上面には、p型アノード電極8が形成されている。p型アノード電極8の一部は、p型コンタクト層6に接続されており、このp型コンタクト層6に電圧を印加できるようになっている。p型アノード電極8は、Ti、PtおよびAuを順次積層した金属多層膜からなり、全体の厚さは、0.5μmである。
図示はしないが、p型アノード電極8の上部にはAuメッキ層を介してCuからなるサブマウントが接続されている。半導体レーザ素子の動作時に上記半導体層で発生した熱は、Auメッキ層およびサブマウントを通じて外部に放散される。一方、GaAs基板1の第2の面には、n型カソード電極9が形成されている。n型カソード電極9は、Ti、PtおよびAuを順次積層した金属多層膜からなり、全体の厚さは、0.5μmである。
このように構成された半導体レーザ素子においては、p型アノード電極8とn型カソード電極9とに所定の電圧を印加することによって、p型第2クラッド層(メサストライプ部)5の延在方向に直交する両端面から波長635nmのレーザ光が出射される。このとき、p型第2クラッド層5に対面するストライプ状の活性層部分がリッジ導波路(共振器)となり、このリッジ導波路の両端がレーザ光を出射する出射面を形成する。
図1、図2に示すように、本実施の形態の半導体レーザ素子は、半導体レーザ素子1個当たり3本のメサストライプ部を有している。これら3本のメサストライプ部のうち、真ん中に配置された主メサストライプ部(MS1)は、既存の半導体レーザ素子におけるメサストライプ部と同様、発振波長よりも広い幅を有している。一方、主メサストライプ部(MS1)の両側に配置された2本の副メサストライプ部(MS2)は、発振波長よりも狭い幅を有している。また、主メサストライプ部(MS1)と副メサストライプ部(MS2)の間隔も、発振波長より狭くなっている。主メサストライプ部(MS1)と副メサストライプ部(MS2)のそれぞれには、p型コンタクト層6が形成されており、p型アノード電極8を通じて同一の電圧が同時に印加されるようになっている。
特に限定はされないが、本実施の形態の半導体レーザ素子においては、主メサストライプ部(MS1)の幅を1.2μmとし、副メサストライプ部(MS2)の幅を0.5μmとしている。また、主メサストライプ部(MS1)と副メサストライプ部(MS2)の間隔を0.5μmとしている。
図3(b)は、本実施の形態の半導体レーザ素子におけるNFP(Near Field Pattern;近視野像)をシミュレーションしたグラフである。また、図3(a)は、主メサストライプ部のみを有する単一メサストライプ構造の半導体レーザ素子におけるNFPをシミュレーションしたグラフである。さらに、図3(c)は、主メサストライプ部(MS1)の両側に副メサストライプ部(MS2)を2本ずつ配置した半導体レーザ素子におけるNFPをシミュレーションしたグラフである。
図3(a)、(b)、(c)に示すように、主メサストライプ部(MS1)の両側に、発振波長よりも狭い幅を有する副メサストライプ部(MS2)を配置した場合、横モードのカットオフ幅は、単一メサストライプ構造の場合とほとんど変わらないことが分かる。これは、メサストライプ部の幅が発振波長以下になると、導波路の光はほとんどリッジ部分に染み出すことができないため、NFPにほとんど影響を与えないからである。一方、主メサストライプ部(MS1)の両側に副メサストライプ部(MS2)を配置したことにより、電流経路が増加するのでレーザ素子の電気抵抗が下がり、高温動作時の飽和出力が改善される。
このように、主メサストライプ部(MS1)の両側に、発振波長よりも狭い幅を有する副メサストライプ部(MS2)を配置することにより、横モードカットオフへの影響を最小限に止めながら電気抵抗を下げることができる。これにより、キンクレベルの改善と高温動作時の飽和出力の改善を両立させることが可能となるので、半導体レーザ素子を高出力化することが可能となる。
なお、本発明者のシミュレーションによると、副メサストライプ部(MS2)の幅を(発振波長×0.8)以下とした時に、NFPへの影響が小さくなることが判明した。また、主メサストライプ部(MS1)の両側に配置する副メサストライプ部(MS2)の数は、それぞれ1本ずつである必要はなく、図3(c)に示すように、それぞれ複数本ずつ配置しても同様の効果が得られる。また、いずれの場合も、主メサストライプ部(MS1)と副メサストライプ部(MS2)の間隔は、発振波長よりも狭くする必要がある。すなわち、この間隔が発振波長以上になると、NFPに及ぼす影響が大きくなってしまうので、高温動作時の飽和出力が改善できない。
(実施の形態2)
図4は、本実施の形態の半導体レーザ素子を示す斜視図である。この半導体レーザ素子は、前記実施の形態1と同じく、主メサストライプ部(MS1)の両側に、発振波長よりも狭い幅を有する副メサストライプ部(MS2)を配置しているが、副メサストライプ部(MS2)の両端部は、リッジ導波路の両端面まで延在していない。
図4は、本実施の形態の半導体レーザ素子を示す斜視図である。この半導体レーザ素子は、前記実施の形態1と同じく、主メサストライプ部(MS1)の両側に、発振波長よりも狭い幅を有する副メサストライプ部(MS2)を配置しているが、副メサストライプ部(MS2)の両端部は、リッジ導波路の両端面まで延在していない。
特に限定はされないが、本実施の形態の半導体レーザ素子においては、副メサストライプ部(MS2)の両端部がリッジ導波路の両端面からそれぞれ5μm以上離れている。
一般に、リッジ導波路型半導体レーザ素子の場合、リッジ導波路の端面部分の放熱性が低いため、中央部分よりも端面付近の温度が高くなる。従って、本実施の形態のように、リッジ導波路の両端に副メサストライプ部(MS2)を配置しない場合は、端面部分の電流密度が低下して発熱が抑制される。これにより、リッジ導波路の延在方向における温度分布が均一化されるので、飽和出力などの素子特性がさらに改善される。
(実施の形態3)
本実施の形態では、λ/4シフト回折格子を有するDFB(Distributed Feedback)レーザ素子に本発明を適用した例について説明する。図5は、本実施の形態の半導体レーザ素子を示す平面図である。
本実施の形態では、λ/4シフト回折格子を有するDFB(Distributed Feedback)レーザ素子に本発明を適用した例について説明する。図5は、本実施の形態の半導体レーザ素子を示す平面図である。
この半導体レーザ素子は、前記実施の形態1と同じく、主メサストライプ部(MS1)の両側に、発振波長よりも狭い幅を有する副メサストライプ部(MS2)を配置しているが、副メサストライプ部(MS2)は、位相シフト領域とその近傍のみに配置されている。この副メサストライプ部(MS2)は、前記実施の形態1と同じく、発振波長よりも狭い幅を有しており、また、主メサストライプ部(MS1)と副メサストライプ部(MS2)の間隔も、発振波長より狭くなっている。
一般に、λ/4シフト回折格子を有するDFBレーザ素子の場合、位相シフト領域は、光子密度が非常に高いのでキャリアが減少する。キャリアの減少は、発振スペクトルのSMSR(サイドモード抑圧比)を悪化させる要因となる。
そこで、本実施の形態のように、位相シフト領域とその近傍に副メサストライプ部(MS2)を配置し、副メサストライプ部(MS2)から位相シフト領域のみにキャリアを注入することにより、位相シフト領域のキャリア減少を補償することが可能となる。また、前述したように、発振波長よりも狭い幅を有する副メサストライプ部(MS2)は、横モードカットオフへの影響がほとんど無いので、副メサストライプ部(MS2)を配置したことによる副作用もほとんど無い。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
前記実施の形態では、赤色半導体レーザ素子に本発明を適用した例について説明したが、本発明は、赤色以外の発振波長を有する半導体レーザ素子に適用することもできる。また、シングルビーム半導体レーザのみならず、マルチビーム半導体レーザに適用することもできる。
本発明は、メサストライプ構造を有するリッジ導波路型半導体レーザ素子に適用して有効なものである。
1 GaAs基板(半導体基板)
2 n型クラッド層
3 活性層
4 p型第1クラッド層
5 p型第2クラッド層
6 p型コンタクト層
7 絶縁層
8 p型アノード電極
9 n型カソード電極
MS1 主メサストライプ部
MS2 副メサストライプ部
2 n型クラッド層
3 活性層
4 p型第1クラッド層
5 p型第2クラッド層
6 p型コンタクト層
7 絶縁層
8 p型アノード電極
9 n型カソード電極
MS1 主メサストライプ部
MS2 副メサストライプ部
Claims (5)
- 半導体基板と、前記半導体基板の第1の面に形成された第1導電型のカソード電極と、前記半導体基板の第2の面上に形成された第1導電型のクラッド層と、前記クラッド層の上部に形成された活性層と、前記活性層の上部に形成された第2導電型の第1クラッド層と、前記第1クラッド層の上部に形成され、かつ、メサストライプ部を構成する第2導電型の第2クラッド層と、前記第2クラッド層の上面に形成された第2導電型のコンタクト層と、前記コンタクト層の上部に形成され、かつ、前記コンタクト層に電気的に接続された第2導電型のアノード電極とを有するリッジ導波路型の半導体レーザ素子であって、
前記メサストライプ部は、発振波長よりも広い幅を有する主メサストライプ部と、前記主メサストライプ部の両側に配置され、かつ、前記発振波長以下の幅を有する副メサストライプ部とで構成されていることを特徴とする半導体レーザ素子。 - 前記副メサストライプ部の幅は、前記発振波長×0.8以下であることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ素子。
- 前記主メサストライプ部の両側に前記副メサストライプ部を複数本ずつ配置したことを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ素子。
- 前記副メサストライプ部の両端部は、リッジ導波路の両端面まで延在していないことを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ素子。
- 前記半導体レーザ素子は、λ/4シフト回折格子を有するDFBレーザ素子であり、
前記副メサストライプ部は、位相シフト領域とその近傍のみに配置されていることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008076925A JP2009231647A (ja) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | 半導体レーザ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008076925A JP2009231647A (ja) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | 半導体レーザ素子 |
Publications (1)
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Family Applications (1)
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JP2008076925A Withdrawn JP2009231647A (ja) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | 半導体レーザ素子 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2018043229A1 (ja) * | 2016-08-30 | 2018-03-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体レーザ素子 |
-
2008
- 2008-03-25 JP JP2008076925A patent/JP2009231647A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2018043229A1 (ja) * | 2016-08-30 | 2018-03-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体レーザ素子 |
JPWO2018043229A1 (ja) * | 2016-08-30 | 2019-06-24 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体レーザ素子 |
JP7065330B2 (ja) | 2016-08-30 | 2022-05-12 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体レーザ素子 |
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