JP2017168592A - 分布帰還型半導体レーザ - Google Patents
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Abstract
Description
図1(a)は第1の実施形態にかかる分布帰還型半導体レーザの部分模式斜視図、図1(b)はA−A線に沿った模式断面図、図1(c)はB−B線に沿った模式断面図、図1(d)はC−C線に沿った模式断面図、である。
また、図2は、半導体積層体の部分模式斜視図である。
図3(a)に表す第1比較例では、分布反射器は、第1の直線OAに沿ってリッジ導波路120Rを構成する。このため、電流Iが狭窄され、光閉じ込め効果が大きい。活性層124で発生した熱は、第1の層122および基板130を経由して主に下方へ放散されるが、活性層124の横方向への放散が少ない。この結果、放熱性が不十分である。
第1電極40と金属からなるヒートシンク70とを、AuSnなどの導電性接着剤などを用いて接合する。活性層24で発生した熱は、第2の層26、および第1電極40を伝導してヒートシンク70を通って外部に放熱される。基板30の側をヒートシンクに接合するよりも熱抵抗を低くすることができる。
活性層24の上には、第2の層27が設けられる。第2の層27の上には、第1電極41が設けられる。第2の層27は、たとえば、InGaAsからなりn形不純物濃度を1×1020cm−1などと高くする。第1電極41は、たとえば、第2の層27の側からAu、Tiをこの順序に積層する。第1電極41と第2の層27との界面は、第1電極41が負の誘電率となり、第2の層27が正の誘電率となる表面プラズモン導波路PWGとして機能する。
半導体積層体20の第1の面21のうち、第1の電極40が設けられる第1領域21aの両側に設けられる回折格子のピッチは、チップの中央部CRとチップの端部ERとで異なる。中央部CRの回折格子は、端部ERの回折格子に比べて高次であるものとする。
cosθ=1±2m/M
チップの中央部CRにおいて、第1の電極40は、溝部Vの外側を迂回するように設けられてもよい。
Claims (5)
- 第1の層と、前記第1の層の上に設けられサブバンド間光学遷移によりレーザ光を放出可能な活性層と、前記活性層の上に設けられた第2の層と、を含む半導体積層体であって、
前記第2の層の表面を含む平坦部と前記表面から前記第1の層に到達する溝部とを含む第1の面を有し、前記平坦部は第1の直線に沿って延在する第1領域と前記第1の直線に直交するように延在する第2領域とを有し、前記溝部と前記第2領域とは前記第1領域の外側において前記第1の直線に沿った所定のピッチを有する回折格子を構成する、半導体積層体と、
前記第1領域に設けられた第1の電極と、
を備えた分布帰還型半導体レーザ。 - 前記溝部は、前記第1の電極の中心軸に関して、左右対称となるようにそれぞれ設けられた請求項1記載の分布帰還型半導体レーザ。
- 前記レーザ光の波長は、2μm以上、かつ100μm以下である請求項1または2に記載の分布帰還型半導体レーザ。
- 前記レーザ光は、前記半導体積層体の側面のうち前記第1の直線に直交する側面から放出される請求項1〜3のいずれか1つに記載の分布帰還型半導体レーザ。
- 前記第1の直線に沿った中央部における前記第2領域のピッチは、2次の回折格子を構成し、
前記第1の直線に沿いかつ前記中央部の両側の端部に設けられた前記第2領域のピッチは、1次の回折格子を構成し、
前記第1の電極には、前記中央部に隣接した領域に開口部が設けられ、
前記レーザ光は、前記開口部に露出した前記第1領域から略垂直方向に放出される請求項1〜3のいずれか1つに記載の分布帰還型半導体レーザ。
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