JP2009231601A - 量子ドットの形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】量子ドットの形成方法は、基板(110)上にGaAsを含んでなる第1半導体層(120)を形成する第1形成工程と、基板の基板温度を摂氏480度及び摂氏530度の間の温度にした後に、第1半導体層の上に、In及びAsを夫々照射して、InAsを含んでなる第2半導体層(130)を形成する第2形成工程とを備える。第2形成工程において、第2半導体層の成長速度を0.02ML/s及び0.1ML/sの間の成長速度とし、第2半導体層の成長量を1.2ML及び2.5MLの間の成長量とすることにより、第2半導体層の第1半導体層と対向しない側の面(130a)にInAsを含んでなる量子ドット(131)を形成する。
【選択図】図4
Description
Claims (2)
- 基板上にGaAsを含んでなる第1半導体層を形成する第1形成工程と、
前記基板の基板温度を摂氏480度及び摂氏530度の間の温度にした後に、前記第1半導体層の上に、In及びAsを夫々照射して、InAsを含んでなる第2半導体層を形成する第2形成工程と
を備え、
前記第2形成工程において、前記第2半導体層の成長速度を0.02ML/s及び0.1ML/sの間の成長速度とし、前記第2半導体層の成長量を1.2ML及び2.5MLの間の成長量とすることにより、前記第2半導体層の前記第1半導体層と対向しない側の面にInAsを含んでなる量子ドットを形成する
ことを特徴とする量子ドットの形成方法。 - 前記形成される量子ドットの直径は、20nm乃至60nmであり、前記形成される量子ドットの高さは、15nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の量子ドットの形成方法。
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