JP6187394B2 - 半導体ナノワイヤの製造方法及び半導体ナノワイヤ素子の製造方法 - Google Patents
半導体ナノワイヤの製造方法及び半導体ナノワイヤ素子の製造方法 Download PDFInfo
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(付記1)(111)面を主面とするIV族半導体基板上に、成長マスクとなる絶縁性の開口部にIII-V族化合物半導体を含む微小結晶を形成する工程と、不活性ガス雰囲気中または水素ガス雰囲気中において前記III-V族化合物半導体のV族元素の脱離温度以上の温度で熱処理して前記微小結晶中のV族元素を脱離させて前記微小結晶の上部にIII族金属液滴を形成する工程と、少なくともIII族元素原料とV族元素原料を供給することによって、前記III族金属液滴を触媒として前記IV族半導体基板の(111)面に対して直立したIII-V族化合物半導体ナノワイヤを形成する工程とを有することを特徴とする半導体ナノワイヤの製造方法。
(付記2)前記不活性ガス雰囲気中または水素ガス雰囲気中における熱処理の温度が、前記III-V族化合物半導体ナノワイヤを形成する温度よりも高温であることを特徴とする付記1に記載の半導体ナノワイヤの製造方法。
(付記3)前記不活性ガス雰囲気中または水素ガス雰囲気中で熱処理する工程において、熱処理温度または熱処理時間の少なくとも一方を制御することによって、前記III族金属液滴のサイズを制御し、前記III族金属液滴のサイズにより前記III-V族化合物半導体ナノワイヤの直径を制御することを特徴とする付記1または付記2に記載の半導体ナノワイヤの製造方法。
(付記4)前記微小結晶を形成する工程の前に、水素雰囲気中で熱処理を行って前記開口部から露出する前記IV族半導体基板の表面の清浄化する工程を有することを特徴とする付記1乃至付記3のいずれか1に記載の半導体ナノワイヤの製造方法。
(付記5)前記微小結晶がInP微小結晶であり、前記InP微小結晶の成長温度が350℃以上400℃以下であり、前記不活性ガス雰囲気中または水素ガス雰囲気中の熱処理温度が400℃以上600℃以下であり、前記III-V族化合物半導体ナノワイヤがInPナノワイヤであることを特徴とする付記1乃至付記4のいずれか1に記載の半導体ナノワイヤの製造方法。
(付記6)前記微小結晶がGaAs微小結晶であり、前記GaAs微小結晶の成長温度が450℃以上480℃以下であり、前記不活性ガス雰囲気中または水素ガス雰囲気中の熱処理温度が480℃以上550℃以下であり、前記III-V族化合物半導体ナノワイヤがGaAsナノワイヤであることを特徴とする付記1乃至付記4のいずれか1に記載の半導体ナノワイヤの製造方法。
(付記7)前記III-V族化合物半導体ナノワイヤの成長工程が、前記III族金属液滴中に前記供給されたIII族元素原料とV族元素原料が取り込まれ、前記III族金属液滴中における液相中で平衡濃度を超えた時に前記III族金属液滴の下部でIII-V族化合物半導体結晶が析出する気相−液相−固相モードによる成長工程であることを特徴とする付記1乃至付記6のいずれか1に記載の半導体ナノワイヤの製造方法。
(付記8)(111)面を主面とする第1導電型のIV族半導体基板上に、成長マスクとなる絶縁性の開口部にIII-V族化合物半導体からなる第1導電型の微小結晶を形成する工程と、不活性ガス雰囲気中または水素ガス雰囲気中において前記III-V族化合物半導体のV族元素の脱離温度以上の温度で熱処理して前記微小結晶中のV族元素を脱離させて前記微小結晶の上部にIII族金属液滴を形成する工程と、第1導電型不純物元素原料とIII族元素原料とV族元素原料とを供給することによって、前記III族金属液滴を触媒として前記IV族半導体基板の(111)面に対して直立した第1導電型のIII-V族化合物半導体ナノワイヤを形成する工程と、横方向成長モードの成長条件により、前記III-V族化合物半導体ナノワイヤの側面に活性層を形成する工程と、前記第1導電型と反対導電型である第2導電型不純物元素原料とIII族元素原料とV族元素原料とを供給し、横方向成長モードの成長条件により、前記活性層の側面に第2導電型のIII-V族化合物半導体層を形成する工程とを有することを特徴とする半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
(付記9)前記活性層が、歪み量子井戸層を有する量子井戸構造活性層であることを特徴とする付記8に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
(付記10)前記第1導電型のIII-V族化合物半導体ナノワイヤがn型InPナノワイヤであり、前記量子井戸構造活性層が、InAsPを歪み量子井戸層とするInGaAsP/InAsP量子井戸構造活性層であり、前記第2導電型のIII-V族化合物半導体層が、p型InP層であることを特徴とする付記8または付記9に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
(付記11)前記p型InP層の側面にp型InGaAsコンタクト層をさらに備えていることを特徴とする付記10に記載の半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
2 絶縁性保護層
3 開口部
4 微小結晶
5 III族金属液滴
6 III-V族化合物半導体ナノワイヤ
11 Si基板
12 SiO2膜
13 レジストパターン
14 開口部
15,19 水素雰囲気
16,21 TMInガス
17,22 PH3
18 InP微小結晶
20 In液滴
23 InPナノワイヤ
24,29 TMGaガス
25,30 AsH3
26 GaAs微小結晶
27 水素雰囲気
28 Ga液滴
31 GaAsナノワイヤ
32,35 H2S
33 n型InP微小結晶
34 In液滴
36 n型InPナノワイヤ
41 n型Si基板
42 SiO2膜
43 n型InP微小結晶
44 In液滴
45 n型InPナノワイヤ
46 量子井戸構造活性層
47 p型InPシェル層
48 SiN膜
49 フォトレジスト
50,52 レジストマスク
51 p側電極
53 n側電極
61 Si基板
62 SiO2マスク
63,64 InP微小結晶
65,66 InPナノワイヤ
67 原子配列面
Claims (6)
- (111)面を主面とするIV族半導体基板上に、成長マスクとなる絶縁性の開口部にIII-V族化合物半導体を含む微小結晶を形成する工程と、
不活性ガス雰囲気中または水素ガス雰囲気中において前記III-V族化合物半導体のV族元素の脱離温度以上の温度で熱処理して前記微小結晶中のV族元素を脱離させて前記微小結晶の上部にIII族金属液滴を形成する工程と、
少なくともIII族元素原料とV族元素原料を供給することによって、前記III族金属液滴を触媒として前記IV族半導体基板の(111)面に対して直立したIII-V族化合物半導体ナノワイヤを形成する工程と
を有することを特徴とする半導体ナノワイヤの製造方法。 - 前記不活性ガス雰囲気中または水素ガス雰囲気中における熱処理の温度が、前記III-V族化合物半導体ナノワイヤを形成する温度よりも高温であることを特徴とする請求項1に記載の半導体ナノワイヤの製造方法。
- 前記不活性ガス雰囲気中または水素ガス雰囲気中で熱処理する工程において、熱処理温度または熱処理時間の少なくとも一方を制御することによって、前記III族金属液滴のサイズを制御し、前記III族金属液滴のサイズにより前記III-V族化合物半導体ナノワイヤの直径を制御することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体ナノワイヤの製造方法。
- 前記微小結晶がInP微小結晶であり、
前記InP微小結晶の成長温度が350℃以上400℃以下であり、
前記不活性ガス雰囲気中または水素ガス雰囲気中の熱処理温度が400℃以上600℃以下であり、
前記III-V族化合物半導体ナノワイヤがInPナノワイヤである
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の半導体ナノワイヤの製造方法。 - 前記III-V族化合物半導体ナノワイヤの成長工程が、前記III族金属液滴中に前記供給されたIII族元素原料とV族元素原料が取り込まれ、前記III族金属液滴中における液相中で平衡濃度を超えた時に前記III族金属液滴の下部でIII-V族化合物半導体結晶が析出する気相−液相−固相モードによる成長工程であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の半導体ナノワイヤの製造方法。
- (111)面を主面とする第1導電型のIV族半導体基板上に、成長マスクとなる絶縁性の開口部にIII-V族化合物半導体を含む第1導電型の微小結晶を形成する工程と、
不活性ガス雰囲気中または水素ガス雰囲気中において前記III-V族化合物半導体のV族元素の脱離温度以上の温度で熱処理して前記微小結晶中のV族元素を脱離させて前記微小結晶の上部にIII族金属液滴を形成する工程と、
第1導電型不純物元素原料とIII族元素原料とV族元素原料とを供給することによって、前記III族金属液滴を触媒として前記IV族半導体基板の(111)面に対して直立した第1導電型のIII-V族化合物半導体ナノワイヤを形成する工程と、
横方向成長モードの成長条件により、前記III-V族化合物半導体ナノワイヤの側面に活性層を形成する工程と、
前記第1導電型と反対導電型である第2導電型不純物元素原料とIII族元素原料とV族元素原料とを供給し、横方向成長モードの成長条件により、前記活性層の側面に第2導電型のIII-V族化合物半導体層を形成する工程と
を有することを特徴とする半導体ナノワイヤ素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014125397A JP6187394B2 (ja) | 2014-06-18 | 2014-06-18 | 半導体ナノワイヤの製造方法及び半導体ナノワイヤ素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014125397A JP6187394B2 (ja) | 2014-06-18 | 2014-06-18 | 半導体ナノワイヤの製造方法及び半導体ナノワイヤ素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016004942A JP2016004942A (ja) | 2016-01-12 |
JP6187394B2 true JP6187394B2 (ja) | 2017-08-30 |
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ID=55224003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6187394B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7179992B2 (ja) | 2019-07-25 | 2022-11-29 | 株式会社Fuji | 対基板作業機と対基板作業機の制御方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7227463B2 (ja) | 2018-12-27 | 2023-02-22 | 日亜化学工業株式会社 | 発光素子及びその製造方法 |
JP7139960B2 (ja) * | 2019-01-10 | 2022-09-21 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
JPWO2023008202A1 (ja) * | 2021-07-28 | 2023-02-02 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0484418A (ja) * | 1990-07-27 | 1992-03-17 | Nec Corp | 異種基板上への3―v族化合物半導体のヘテロエピタキシャル成長法 |
JPH0620968A (ja) * | 1992-06-29 | 1994-01-28 | Nec Corp | 元素半導体基板上の金属膜/化合物半導体積層構造およびその製造方法 |
JP3275483B2 (ja) * | 1993-10-25 | 2002-04-15 | 昭和電工株式会社 | 電界効果型トランジスタ用エピタキシャルウエハの製造方法 |
JPH09289171A (ja) * | 1996-04-23 | 1997-11-04 | Oki Electric Ind Co Ltd | 再成長界面の表面処理方法 |
JP2006140293A (ja) * | 2004-11-11 | 2006-06-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体微小構造体及びその製造方法 |
WO2008048704A2 (en) * | 2006-03-10 | 2008-04-24 | Stc.Unm | Pulsed growth of gan nanowires and applications in group iii nitride semiconductor substrate materials and devices |
JP5655228B2 (ja) * | 2008-09-01 | 2015-01-21 | 国立大学法人北海道大学 | 半導体構造物の製造方法 |
GB201200355D0 (en) * | 2012-01-10 | 2012-02-22 | Norwegian Univ Sci & Tech Ntnu | Nanowires |
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2014
- 2014-06-18 JP JP2014125397A patent/JP6187394B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP7179992B2 (ja) | 2019-07-25 | 2022-11-29 | 株式会社Fuji | 対基板作業機と対基板作業機の制御方法 |
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JP2016004942A (ja) | 2016-01-12 |
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