JP2009223202A - 露光用データ作成方法及びフォトマスク製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レチクル作成ルールから第一の矩形パターンを生成し、第一の矩形パターンをレチクル露光を行なうための対象パターンに敷き詰め、対象パターン内の第一の矩形パターンがN×Nで配置される第二の矩形パターンを抽出し、第二の矩形パターンの中心座標間の距離に基づいてレチクル露光パターンのパターン幅及びパターン間隔の違反検出処理と修正処理を行う。
【選択図】図1
Description
特許文献1〜3には、KrF露光の解像寸法あるいはdeep−UV解像寸法を基準としてレチクルパターンを取り出す構成が開示されているが、上記のような図形処理によりレチクルパターンを取り出すため、処理時間の短縮を図ることはできない。
特許文献5には、ハイブリッド露光を行うための図形パターン発生方法が開示されているが、パラメータ値や図形処理手順の変更をともなう図形処理によりパターンを発生するめ、上記問題点は依然として解決されていない。
図1は、本実施形態のハイブリッド露光用データの作成手順を示すフローチャートである。ステップ1では、レチクルの作成基準から正方形状の矩形パターンAのサイズと配置間隔を求める。
最小パターン段差g=矩形サイズs+配置間隔da
最小パターン幅w=矩形サイズs×N+配置間隔da×(N−1)
となるようにする。ここで、Nは矩形パターンAの配置個数であり、最小パターン幅w÷最小パターン段差gで求められ、あまりがある場合はN+1とする。
次いで、ステップ4に移行して、敷き詰めた矩形パターンAがN×N、すなわちここでは4個×4個の配置構成となっている領域の中心を求める。この領域はそれぞれ一部が重なりあっていてもよいとする。すると、図6では中心c1〜c7が求められる。
図7(a)に示すように、矩形パターンBの幅は最小パターン幅wとなり、矩形サイズsと配置間隔daの和が最小パターン段差gとなる。なお、ここでは矩形パターンBをN=3で説明する。
上記のような最小パターン幅w及び最小パターン間隔dに関する違反検出原理に基づいてステップ6の処理が行われる。すなわち、図9において、矩形パターンB4,B6で重なる矩形パターンA1が最小パターン幅wの対象となることが検出される。なお、図9に示す対象パターンPAでは最小パターン間隔dに対する違反は発生していないものとする。
図19(a)に示すように、斜め方向の対象パターンPAに対し矩形パターンAを敷き詰め、上記のような処理を行ってレチクル露光パターンを生成すると、図19(b)に示すように、生成されたレチクル露光パターンRP5の外形線は階段状の段差gaとなる。そして、その段差gaの1辺の長さは、矩形パターンAのサイズsと配置間隔daの和となる。この段差gaは、レチクル検査で擬似エラーとなる可能性がある。
上記のようなでは、次に示す作用効果を得ることができる。
(1)レチクル作成ルールから生成した矩形パターンAを対象パターンPAに敷き詰め、その対象パターンPAから矩形パターンBを生成し、その矩形パターンBの中心位置からレチクル露光パターンのパターン幅及びパターン間隔の検証を行い、違反箇所の修正を行なうことができる。従って、対象パターンPAの座標を用いてパターン幅及びパターン間隔の検証を行う必要がないので、検証処理を容易に行うことができる。
(2)矩形パターンAのサイズsと配置間隔daは、レチクル作成ルールの最小パターン幅w、最小パターン段差gから容易に算出することができる。
(3)矩形パターンBの1辺に配置する矩形パターンAの個数Nは、レチクル作成ルールの最小パターン幅w、最小パターン段差gから容易に算出することができる。
(4)矩形パターンBの中心位置の間隔に基づいて、最小パターン幅w及び最小パターン間隔dに違反する箇所を容易に検出することができる。
(5)最小パターン幅w及び最小パターン間隔dに違反する箇所の矩形パターンAを削除して矩形パターンBを再生成し、再生成された矩形パターンBの中心位置の間隔に基づいて、最小パターン幅w及び最小パターン間隔dに違反する箇所があるか否かを検出することにより、違反箇所の修正処理を容易に行うことができる。
(6)最小パターン幅wに違反するか否かを検出するには、矩形パターンBの中心のX−Y座標に基づいて、|X1−X2|の値が最小パターン幅w以下で、かつ|Y1−Y2|の値が最小パターン幅w以下であるか否かを算出することにより検出することができる。
(7)最小パターン間隔dに違反するか否かを検出するには、矩形パターンBの中心のX−Y座標に基づいて、|X1−X2|−wが最小パターン間隔d未満で、かつ|Y1−Y2|−wが最小パターン間隔d未満となるか否かを算出することにより検出することができる。
(8)対象パターンPAに斜辺が存在するときに、レチクル露光パターンとして生成される階段状の段差gaに矩形パターンAxを嵌め込み、その矩形パターンAxの対角線をレチクル露光パターンとすることができる。レチクル検査時の擬似エラーの発生を防止し、レチクル露光領域を拡大することができる。
・矩形パターンAに代えて、グリッド(点)で矩形位置を設定してもよい。この場合には、グリッドの間隔をレチクル作成ルールの最小パターン段差gに設定すればよい。
・図16において、EB露光パターンEBP1の凹方向の角部に、高さαの矩形部Yを形成したが、矩形以外の階段形状あるいは三角形状のパターンを付加してもよい。
・レチクル露光パターンデータの生成方法として説明したが、露光工程で使用するマスクのパターンデータ生成方法として実施し、そのマスクパターンをマスク基板に生成するようにしてもよい。
B,B1〜B7 第二の矩形パターン
PA 対象パターン
w 最小パターン幅
g 最小パターン段差
d 最小パターン間隔
s 矩形サイズ
da 配置間隔
m1 レチクル発生マージン
m2 レチクル被りマージン
Claims (9)
- レチクル作成ルールから第一の矩形パターンを生成する工程と、
前記第一の矩形パターンをレチクル露光を行なうための対象パターンに敷き詰め、前記対象パターン内の第一の矩形パターンがN×Nで配置される第二の矩形パターンを抽出する工程と、
前記第二の矩形パターンの中心座標間の距離に基づいてレチクル露光パターンのパターン幅及びパターン間隔の違反検出処理と修正処理を行う工程と
からなることを特徴とする露光用データ作成方法。 - 前記修正処理は、前記違反検出処理に基づいて違反箇所となった前記第一の矩形パターンを除去することを特徴とする請求項1記載の露光用データ作成方法。
- 前記修正処理後の第二の矩形パターンを併合してレチクル露光パターンを生成することを特徴とする請求項2記載の露光用データ作成方法。
- 前記第一の矩形パターンのサイズと配置間隔を、レチクル作成ルールの最小パターン幅と、最小パターン段差から算出することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光用データ作成方法。
- 前記第二の矩形パターンの1辺に配置する前記第一の矩形パターンの個数Nは、レチクル作成ルールの最小パターン幅と、最小パターン段差から算出することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光用データ作成方法。
- 前記第二の矩形パターンの中心座標間の距離に基づくパターン幅の違反検出処理は、2つの第二の矩形パターンの中心のX−Y座標に基づいて、各中心のX座標の間隔及びY座標の間隔がレチクル作成ルールで設定された最小パターン幅以下であるか否かを算出することにより検出することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光用データ作成方法。
- 前記第二の矩形パターンの中心座標間の距離に基づくパターン間隔の違反検出処理は、2つの第二の矩形パターンの中心のX−Y座標に基づいて、各中心のX座標の間隔からレチクル作成ルールで設定された最小パターン幅を減算した値及び各中心のY座標の間隔から前記最小パターン幅を減算した値がともに最小パターン間隔未満となるか否かを算出することにより検出することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光用データ作成方法。
- 前記レチクル露光パターンの階段状の段差に、1辺が当該段差の高さに等しい矩形パターンを嵌め込み、その矩形パターンの対角線を抽出してレチクル露光パターンとすることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の露光用データ作成方法。
- マスク作成ルールから第一の矩形パターンを生成する工程と、
前記第一の矩形パターンをマスクで露光するための対象パターンに敷き詰め、前記対象パターン内の第一の矩形パターンがN×Nで配置される第二の矩形パターンを抽出する工程と、
前記第二の矩形パターンの中心座標間の距離に基づいてマスクパターンのパターン幅及びパターン間隔の違反検出処理と修正処理を行う工程と、
修正処理後のマスクパターンをマスク基板に生成する工程と
からなることを特徴とするフォトマスク製造方法。
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