JP2009217113A - 粘着テープ、筐体及びその搬送・保管方法、フォトマスクケース及びその搬送・保管方法 - Google Patents
粘着テープ、筐体及びその搬送・保管方法、フォトマスクケース及びその搬送・保管方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009217113A JP2009217113A JP2008062355A JP2008062355A JP2009217113A JP 2009217113 A JP2009217113 A JP 2009217113A JP 2008062355 A JP2008062355 A JP 2008062355A JP 2008062355 A JP2008062355 A JP 2008062355A JP 2009217113 A JP2009217113 A JP 2009217113A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive tape
- photomask
- members
- material layer
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
Abstract
【解決手段】基材フィルム上の片面に粘着層を有する粘着テープであって、該粘着層の一部に金属材料もしくは無機材料からなる不活性材料層を備えることを特徴とする粘着テープとした。また、フォトマスクが内蔵されたフォトマスクケースであって、フォトマスクケースが複数の部材を有し、フォトマスクケース内部にフォトマスクが内蔵されており、且つ、複数の部材が嵌め合わされているフォトマスクケースの接続部が本発明の粘着テープで固定されており、さらに、フォトマスクケースの接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、粘着テープの不活性材料層と接触するように固定されていることを特徴とするフォトマスクケースとした。
【選択図】図1
Description
(実施例)と同一の、ポリエステルを基材とした粘着剤にシリコン系部材からなる粘着層を備える粘着テープを用いた。(比較例)においては、不活性材料層を持たない粘着テープを用いた。
(実施例)(比較例)において、固定後、72時間保管したフォトマスクケースからフォトマスクを取り出し、加熱脱着式GC/MS分析を加熱脱着装置(TDSA2/TDS/CIS、Gerstel社製)とガスクロマトグラフ質量分析計(6890N/5973MSD、Aglent社製)を用いてフォトマスクから発生するガス成分の分析をおこなった。
(実施例)(比較例)において、固定後、72時間保管したフォトマスクケースからペリクルを具備するフォトマスクを取り出し、ArFレーザー(ximer−300 MPB社製)により、50mW/cm2、200Hzの波長で同一ショット、それぞれのフォトマスクに対して照射した。
10 基材フィルム
11 粘着層
12 不活性材料層
2 フォトマスクケース
21 上蓋部
22 下底部
23 ヒンジ部
24 留め具部
3 フォトマスク
4 ペリクル
Claims (12)
- 基材フィルム上の片面に粘着層を有する粘着テープであって、
該粘着層の一部に金属材料もしくは無機材料からなる不活性材料層を備えることを特徴とする粘着テープ。 - 前記不活性材料層が該粘着テープの長辺方向に沿って設けられており、且つ、前記不活性材料層が該粘着テープの短辺方向において中央部に設けられており、粘着テープの短辺方向の両端において粘着層が露出していることを特徴とする請求項1記載の粘着テープ。
- 前記不活性材料層が、粘着テープの粘着層と不活性材料層を合計した面積に対し、20%以上80%以下の範囲内で設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の粘着テープ。
- 前記金属材料もしくは無機材料からなる不活性材料層が、アルミ、銅、金、ガラス、石英からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の粘着テープ。
- 前記不活性材料層から発生するアンモニウム、有機アミン、有機酸、PMMA、ブタジエン、フタル酸エステル、シロキサン、シラン、有機硫黄、有機リン、BHT、アルデヒド、ケトン、含窒素化合物成分からなる合計の発ガス量が、80℃30分の加熱条件に対してトルエン換算で10ng/cm2以下であることを特徴とする請求項4記載の粘着テープ。
- 前記不活性材料層から抽出される無機イオン成分のうち、1cm2の面積の不活性材料層に対し100℃30分の100mlの超純水によって抽出される硫酸量が0.1ng/ml以下、アンモニア量が0.1ng/ml以下であることを特徴としたテープ。
- 精密部品が内蔵された筐体であって、
該筐体が複数の部材を有し、該複数の部材が嵌め合わされた筐体内部に閉空間が形成され、該筐体内部に精密部品が内蔵されており、且つ、
該複数の部材が嵌め合わされている筐体の接続部が請求項1乃至6のいずれかに記載の粘着テープで固定されており、さらに、該筐体の接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定されていることを特徴とする筐体。 - フォトマスクが内蔵されたフォトマスクケースであって、
該フォトマスクケースが複数の部材を有し、該複数の部材が嵌め合わされたフォトマスクケース内部に閉空間が形成され、該フォトマスクケース内部にフォトマスクが内蔵されており、且つ、
該複数の部材が嵌め合わされているフォトマスクケースの接続部が請求項1乃至6のいずれかに記載の粘着テープで固定されており、さらに、該フォトマスクケースの接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定されていることを特徴とするフォトマスクケース。 - 精密部品が内蔵された筐体の搬送方法であって、
精密部品を複数の部材を有する筐体に設置する工程と、
該複数の部材を嵌め合わせて筐体内部を閉空間とする工程と、
該複数の部材が嵌め合わされている筐体の接続部を請求項1乃至6のいずれかに記載の粘着テープで固定し、且つ、該筐体の接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定する工程と、
該精密部品が内蔵され、粘着テープで固定された筐体を搬送する工程と、
を備える精密部品の搬送方法。 - フォトマスクが内蔵されたフォトマスクケースの搬送方法であって、
フォトマスクを複数の部材を有するフォトマスクケースに設置する工程と、
該複数の部材を嵌め合わせてフォトマスク内部を閉空間とする工程と、
該複数の部材が嵌め合わされているフォトマスクケースの接続部を請求項1乃至6のいずれかに記載の粘着テープで固定し、且つ、該フォトマスクケースの接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定する工程と、
該フォトマスクが内蔵され、粘着テープで固定されたフォトマスクケースを搬送する工程と、
を備えるフォトマスクケースの搬送方法。 - 精密部品が内蔵された筐体の保管方法であって、
精密部品を複数の部材を有する筐体に設置する工程と、
該複数の部材を嵌め合わせて筐体内部を閉空間とする工程と、
該複数の部材が嵌め合わされている筐体の接続部を請求項1乃至6のいずれかに記載の粘着テープで固定し、且つ、該筐体の接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定する工程と、
該精密部品が内蔵され、粘着テープで固定された筐体を保管する工程と、
を備える精密部品の保管方法。 - フォトマスクが内蔵されたフォトマスクケースの保管方法であって、
フォトマスクを複数の部材を有するフォトマスクケースに設置する工程と、
該複数の部材を嵌め合わせてフォトマスク内部を閉空間とする工程と、
該複数の部材が嵌め合わされているフォトマスクケースの接続部を請求項1乃至6のいずれかに記載の粘着テープで固定し、且つ、該フォトマスクケースの接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定する工程と、
該フォトマスクが内蔵され、粘着テープで固定されたフォトマスクケースを保管する工程と、
を備えるフォトマスクケースの保管方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008062355A JP5347286B2 (ja) | 2008-03-12 | 2008-03-12 | 粘着テープ、筐体及びその搬送・保管方法、フォトマスクケース及びその搬送・保管方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008062355A JP5347286B2 (ja) | 2008-03-12 | 2008-03-12 | 粘着テープ、筐体及びその搬送・保管方法、フォトマスクケース及びその搬送・保管方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009217113A true JP2009217113A (ja) | 2009-09-24 |
JP5347286B2 JP5347286B2 (ja) | 2013-11-20 |
Family
ID=41189014
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008062355A Expired - Fee Related JP5347286B2 (ja) | 2008-03-12 | 2008-03-12 | 粘着テープ、筐体及びその搬送・保管方法、フォトマスクケース及びその搬送・保管方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5347286B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170115438A (ko) * | 2016-04-07 | 2017-10-17 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 포토마스크 블랭크스 기판 수납 용기, 포토마스크 블랭크스 기판의 보관 방법, 및 포토마스크 블랭크스 기판의 수송 방법 |
JP2018124526A (ja) * | 2016-04-07 | 2018-08-09 | 信越化学工業株式会社 | フォトマスクブランクス基板収納容器、フォトマスクブランクス基板の保管方法、及びフォトマスクブランクス基板の輸送方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003013014A (ja) * | 2001-06-27 | 2003-01-15 | Lintec Corp | 粘着シートおよび貼着体 |
JP2006312703A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-11-16 | Toray Ind Inc | 電子材料用接着剤シート |
JP2006330421A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Toppan Printing Co Ltd | フォトマスクケース |
JP2007201311A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Hoya Corp | 基板の搬送方法 |
-
2008
- 2008-03-12 JP JP2008062355A patent/JP5347286B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003013014A (ja) * | 2001-06-27 | 2003-01-15 | Lintec Corp | 粘着シートおよび貼着体 |
JP2006312703A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-11-16 | Toray Ind Inc | 電子材料用接着剤シート |
JP2006330421A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Toppan Printing Co Ltd | フォトマスクケース |
JP2007201311A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Hoya Corp | 基板の搬送方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170115438A (ko) * | 2016-04-07 | 2017-10-17 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 포토마스크 블랭크스 기판 수납 용기, 포토마스크 블랭크스 기판의 보관 방법, 및 포토마스크 블랭크스 기판의 수송 방법 |
CN107272328A (zh) * | 2016-04-07 | 2017-10-20 | 信越化学工业株式会社 | 光掩模坯基板收纳容器、光掩模坯基板的保管方法以及光掩模坯基板的输送方法 |
JP2018124526A (ja) * | 2016-04-07 | 2018-08-09 | 信越化学工業株式会社 | フォトマスクブランクス基板収納容器、フォトマスクブランクス基板の保管方法、及びフォトマスクブランクス基板の輸送方法 |
US10768524B2 (en) * | 2016-04-07 | 2020-09-08 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Photomask blank substrate container, method for storing photomask blank substrate and method for transporting photomask blank substrate |
JP2020181983A (ja) * | 2016-04-07 | 2020-11-05 | 信越化学工業株式会社 | フォトマスクブランクス基板収納容器、フォトマスクブランクス基板の保管方法、及びフォトマスクブランクス基板の輸送方法 |
JP7007429B2 (ja) | 2016-04-07 | 2022-01-24 | 信越化学工業株式会社 | フォトマスクブランクス基板収納容器、フォトマスクブランクス基板の保管方法、及びフォトマスクブランクス基板の輸送方法 |
KR102382330B1 (ko) * | 2016-04-07 | 2022-04-01 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 포토마스크 블랭크스 기판 수납 용기, 포토마스크 블랭크스 기판의 보관 방법, 및 포토마스크 블랭크스 기판의 수송 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5347286B2 (ja) | 2013-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5268142B2 (ja) | マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体 | |
KR101080531B1 (ko) | 마스크 블랭크 수납용 컨테이너, 마스크 블랭크 수납 방법, 및 마스크 블랭크 패키지 | |
US7718008B2 (en) | Method for cleaning photo mask | |
KR101515458B1 (ko) | 펠리클, 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기 및 펠리클 수납 용기 내에 펠리클을 보관하는 방법 | |
TWI769547B (zh) | 具有窗之光罩盒 | |
JP2642637B2 (ja) | 防塵膜 | |
JP5347286B2 (ja) | 粘着テープ、筐体及びその搬送・保管方法、フォトマスクケース及びその搬送・保管方法 | |
JP2009139879A (ja) | ペリクル | |
US5397665A (en) | Photomask with pellicle and method of treating and storing the same | |
JP2001053136A (ja) | ケース | |
KR102619269B1 (ko) | 리소그래피용 펠리클 용기 | |
JPWO2006006318A1 (ja) | マスクブランクス及びその製造方法並びに転写プレートの製造方法 | |
JP4396354B2 (ja) | フォトマスク | |
JP5515238B2 (ja) | フォトマスクの曇り防止方法及び装置 | |
JP2010072420A (ja) | フォトマスクケース | |
JP3214209B2 (ja) | フォトプレートの保存方法 | |
JP4342872B2 (ja) | マスクブランクスの収納方法、マスクブランクス収納体及びマスクブランクスの製造方法 | |
JP2005031489A (ja) | マスクブランクス等の収納容器及びマスクブランクスの収納方法並びにマスクブランクス収納体 | |
JP4729371B2 (ja) | マスクブランク収納ケースの製造方法及びマスクブランクの収納方法 | |
JP5175004B2 (ja) | マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体 | |
JP2009282291A (ja) | ペリクル | |
JP2008083509A (ja) | フォトマスク曇り抑制方法 | |
JP2009139881A (ja) | ペリクル | |
JP2009102021A (ja) | マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体 | |
WO2011001522A1 (ja) | マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110224 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120223 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130507 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130617 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130723 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130805 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |