JP2009212211A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置100は、外部接続端子50とダイパッド10の間に第1のサブパッド30および第2のサブパッド32を持つ。この構成によると、第1のサブパッド30および第2のサブパッド32にボンディングワイヤ60bを接続することによりその長さを外部接続端子50に接続されるボンディングワイヤ60aと比べてより短くできる。その結果ボンディングワイヤによるインピーダンスを下げることができ、また放熱性も向上する。また、第1のサブパッド30および第2のサブパッド32を裏面電極として露出させることで接触抵抗を低減することができ、放熱性を向上させることができる。
【選択図】図1
Description
さらにサブパッドをそのまま裏面電極として用いているので、外部接続端子と比較して大きな電極面積を確保することができる。これにより接触抵抗が減少し、基板への放熱性も向上する。
この態様によると、外部の接地領域と上記接地端子との間のインピーダンスを低減させることができ、回路ブロックの性能向上に貢献する。
この態様によると、外部の電源領域と上記電源端子との間のインピーダンスを低減させることができ、回路ブロックの性能向上に貢献する。
以上が実施の形態に係る半導体装置100の構成である。
本実施の形態に係る半導体装置100を製造するためにはまず、ダイパッド10、第1のサブパッド30および第2のサブパッド32を個々に銅などの金属により形成する。次にその個々の部材を固定するための枠、例えばその個々の部材のそれぞれの四隅を支持する小さな鍵状の枠が設けられた封止用の金型を製作する。そしてその金型に個々の部材を固定し、さらに外部接続端子50が形成されたリードフレームを併せて固定する。この状態でダイパッド10に半導体チップ20を銀ペースト樹脂などにより接着し、ボンディングワイヤを取り付ける。その後エポキシ樹脂などの封止樹脂110で全体を固定する。最後に裏面電極に付着した不要な樹脂を研磨などにより除去することで本実施の形態に係る半導体装置100を製造することができる。但し上記製造方法は例示であり、半導体装置100の製造方法はこれに限定されるものではなく、ダイパッド10を囲うように環状に、かつ内側からその順にダイパッド10を中心とした入れ子状に形成される複数のサブパッドを含む半導体装置を製造する方法によって製造されてもよい。
図4(a)は変形例に係る半導体装置400であってそのサブパッドがアイランド状で
ある半導体装置400を上から見た平面図である。封止樹脂110については図1と同様である。図4(a)においては、説明を簡単にするために実際よりも少ない数の電極端子70が示される。実際にはより多くの電極端子70が設けられており、全ての外部接続端子50およびサブパッドが、外部との接続のために電極端子70とボンディングワイヤによって電気的に接続されている。本変形例に係る半導体装置400はダイパッド10とそのダイパッド10を囲むように配置された外部接続端子50との間の領域にアイランド状の複数のサブパッド40a〜40dを備える。本変形例に係る半導体装置400によれば、上記実施の形態において説明したようにボンディングワイヤに起因するインピーダンスを減らすことができ、またそれを通じた放熱性を向上させることができる。さらにそれだけではなく、その構造からリードフレームを用いる従来の方法によって製造することができる。また、環状のサブパッドの場合では半導体チップに最も近いサブパッドはひとつであるが、本変形例の場合ではそれを4つ形成することができる。従って本変形例においては、短いボンディングワイヤによってより多くの回路ブロックの端子を外部と接続することができる。
図5(a)は多層配線基板200の表面配線層210を上から見た平面図である。図5(a)においては、半導体装置100の実装領域120を破線で囲まれた領域として示し、多層配線基板200の表面に現れないビアを破線の円で表示する。図5(a)から図5(b)〜(d)へ引かれた破線は、図5(a)に示された表面配線層210に含まれる部材と図5(b)〜(d)に示された配線層の部材との位置関係を明確にするために示されている。表面配線層210は第1の絶縁層250上に形成された中心ランド90、第1のランド92、第2のランド94および端子ランド96を備える。それらのランドは実施の形態に係る半導体装置100のダイパッド10、第1のサブパッド30、第2のサブパッド32および外部接続端子50の裏面電極として露出している面にそれぞれ電気的に接続される。中心ランド90、第1のランド92および第2のランド94は、中心ビア80、第1のビア82および第2のビア84によってそれぞれ多層配線基板200の他の配線層へ電気的に接続される
第1の絶縁層250は表面配線層210と第1の配線層220との間に設けられ、それらを絶縁する。第1の配線層220は第1の導体シート222および第1の中心孔224を含む。第1の導体シート222は第1の絶縁層250内に設けられた第2のビア84によって第2のランド94と電気的に接続される。第1の中心孔224は第1の絶縁層250を形成する絶縁物質によって満たされる。
第2の絶縁層260は第1の配線層220と第2の配線層230との間に設けられ、それらを絶縁する。第2の配線層230は第2の導体シート232および第2の中心孔234を含む。第2の導体シート232は第1の絶縁層250、第1の中心孔224および第2の絶縁層260を貫通するように形成された第1のビア82によって第1のランド92と電気的に接続される。第2の中心孔234は第2の絶縁層260を形成する絶縁物質によって満たされる。
第3の絶縁層270は第2の配線層230と第3の配線層240との間に設けられ、それらを絶縁する。第3の配線層240は第3の導体シート242を含む。第3の導体シート242は第1の絶縁層250、第1の中心孔224、第2の絶縁層260、第2の中心孔234および第3の絶縁層270を貫通するように形成された中心ビア80によって中心ランド90と電気的に接続される。
以上が多層配線基板200の構成である。
Claims (5)
- ダイパッドと、
前記ダイパッドの一方の面上に固定された半導体チップと、
前記ダイパッドを囲むように配置された複数の外部接続端子と、
前記ダイパッドと前記複数の外部接続端子との間に設けられ、前記ダイパッドと絶縁されたサブパッドと、を備え、
前記サブパッドの一方の面は、ボンディングワイヤによって前記半導体チップに設けられた電極端子と電気的に接続され、
前記ダイパッドの他方の面および前記サブパッドの他方の面が裏面電極として外部に露出することを特徴とする半導体装置。 - 前記サブパッドは前記ダイパッドを囲うように環状に形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記サブパッドは複数存在し、前記複数のサブパッドは前記ダイパッドを中心とする入れ子状に形成されることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記電極端子は、前記半導体チップに形成される半導体集積回路の少なくともひとつの回路ブロックの接地端子であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記電極端子は、前記半導体チップに形成される半導体集積回路の少なくともひとつの回路ブロックの電源端子であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2022209881A1 (ja) * | 2021-03-30 | 2022-10-06 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体パッケージ |
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-
2008
- 2008-03-03 JP JP2008052023A patent/JP2009212211A/ja active Pending
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