JP2007081267A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 デカップリングキャパシタを備えた高周波用の半導体装置において、実装面積をより一層小さくするとともに、配線の長さを可及的に短くして、高周波信号に対する伝送特性を向上させる。
【解決手段】 シリコン基板1上に設けられた絶縁膜3上にグラウンド層5をシリコン基板1上の接続パッド2bに接続させて設け、その上に設けられた保護膜7の開口部9内にデカップリングキャパシタ用の誘電体膜11をグラウンド層5の一部からなる下部電極に接続させて設け、誘電体膜11を含む保護膜7上に高周波信号用の第1の上層配線12をシリコン基板1上の接続パッド2aに接続させて設け、誘電体膜11上における第1の上層配線12の途中に上部電極15を設けることにより、電気的接続配線が主としてシリコン基板1の厚さ方向となり、これにより、実装面積をより一層小さくすることができ、且つ、配線の長さを可及的に短くすることができる。
【選択図】 図2
【解決手段】 シリコン基板1上に設けられた絶縁膜3上にグラウンド層5をシリコン基板1上の接続パッド2bに接続させて設け、その上に設けられた保護膜7の開口部9内にデカップリングキャパシタ用の誘電体膜11をグラウンド層5の一部からなる下部電極に接続させて設け、誘電体膜11を含む保護膜7上に高周波信号用の第1の上層配線12をシリコン基板1上の接続パッド2aに接続させて設け、誘電体膜11上における第1の上層配線12の途中に上部電極15を設けることにより、電気的接続配線が主としてシリコン基板1の厚さ方向となり、これにより、実装面積をより一層小さくすることができ、且つ、配線の長さを可及的に短くすることができる。
【選択図】 図2
Description
この発明は半導体装置およびその製造方法に関する。
従来の半導体装置には、基板上に高周波用の半導体素子を搭載し、半導体素子の周囲における基板上にバイアス電圧の変動を抑えるためのデカップリングキャパシタを搭載し、半導体素子とデカップリングキャパシタとを基板上に設けられた配線を介して接続したものがある(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、上記従来の半導体装置では、半導体素子の周囲における基板上にデカップリングキャパシタを搭載しているため、基板の面積、すなわち、半導体装置全体の面積が比較的大きくなり、実装面積が比較的大きくなってしまう。また、基板上に搭載された半導体素子とデカップリングキャパシタとを接続するために基板上に設けられた配線の長さが比較的長くなるため、インダクタンスやインピーダンスが大きくなり、伝送特性が劣化してしまう。
そこで、この発明は、実装面積をより一層小さくするとともに、配線の長さを可及的に短くして、高周波信号に対する伝送特性を向上させることができる半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
この発明は、上記目的を達成するため、上面に複数の接続パッドを有する半導体基板と、前記半導体基板上に設けられた下層絶縁膜と、前記下層絶縁膜上に前記接続パッドの少なくとも1つに接続されて設けられた下部電極と、前記下層絶縁膜および前記下部電極上に設けられ、前記下部電極上に対応する領域に少なくとも1つの開口部が設けられた上層絶縁膜と、前記上層絶縁膜に設けられた開口部内に前記下部電極に接続されて設けられた誘電体膜と、前記上層絶縁膜上に前記接続パッドの少なくとも他の1つに接続されて設けられた上層配線と、前記誘電体膜上に前記上層配線の一部に接続されて設けられた上部電極と、を具備することを特徴とするものである。
この発明によれば、半導体基板上に設けられた下層絶縁膜上に下部電極を接続パッドの少なくとも1つに接続させて設け、その上に設けられた上層絶縁膜の開口部内に誘電体膜を下部電極に接続させて設け、上層絶縁膜上に上層配線を接続パッドの少なくとも他の1つに接続させて設け、誘電体膜上に上部電極を上層配線の一部に接続させて設けているので、電気的接続配線が主として半導体基板の厚さ方向となり、これにより、実装面積をより一層小さくすることができ、且つ、配線の長さを可及的に短くすることができ、高周波信号に対する伝送特性を向上させることができる。
(第1実施形態)
図1はこの発明の第1実施形態としての半導体装置の一部を省略した透過平面図を示し、図2(A)は図1のIIA−IIA線に沿う断面図を示し、図2(B)は図1のIIB−IIB線に沿う断面図を示す。この半導体装置は、CSP(chip size package)と呼ばれるものであり、例えば、ブルートゥースの送受信信号回路を内蔵し、携帯電話等の電子機器に組み込まれるものである。
図1はこの発明の第1実施形態としての半導体装置の一部を省略した透過平面図を示し、図2(A)は図1のIIA−IIA線に沿う断面図を示し、図2(B)は図1のIIB−IIB線に沿う断面図を示す。この半導体装置は、CSP(chip size package)と呼ばれるものであり、例えば、ブルートゥースの送受信信号回路を内蔵し、携帯電話等の電子機器に組み込まれるものである。
この半導体装置は平面正方形状のシリコン基板(半導体基板)1を備えている。シリコン基板1の上面中央部には所定の機能の集積回路(図示せず)が設けられ、上面周辺部にはアルミニウム系金属等からなる複数の接続パッド2a、2b、2cが集積回路に接続されて設けられている。この場合、符号2aで示す接続パッドは高周波信号用であり、符号2bで示す接続パッドはグラウンド用であり、符号2cで示す接続パッドは高周波信号用以外の信号用である。また、この実施形態では、1つの高周波信号用の接続パッド2aの両側に2つのグラウンド用の接続パッド2bが配置されている。
接続パッド2a、2b、2cの中央部を除くシリコン基板1の上面には酸化シリコン等からなる絶縁膜(下層絶縁膜)3が設けられ、接続パッド2a、2b、2cの中央部は絶縁膜3に設けられた開口部4a、4b、4cを介して露出されている。絶縁膜3の上面中央部(接続パッド2a、2b、2c配置領域を除く領域)には銅等からなる平面正方形状のグラウンド層5が設けられている。グラウンド層5は、絶縁膜3の上面に設けられた銅等からなる2本の下層配線6の各一端部に接続されている。下層配線6の各他端部は、絶縁膜3の開口部4bを介してグラウンド用の接続パッド2bに接続されている。
グラウンド層5および下層配線6を含む絶縁膜3の上面にはポリイミド系樹脂等からなる保護膜(上層絶縁膜)7が設けられている。絶縁膜3の開口部4a、4cに対応する部分における保護膜7には開口部8a、8cが設けられている。グラウンド層5の所定の2箇所に対応する部分における保護膜7には平面円形状の開口部9および平面正方形状の開口部10が設けられている。このうちの平面円形状の開口部9内には誘電体膜11がグラウンド層5の一部からなる下部電極に接続されて設けられている。誘電体膜11の材料としては、例えば、STO等の強誘電体が挙げられる。
誘電体膜11を含む保護膜7の上面には第1〜第3の上層配線12、13、14が設けられている。第1〜第3の上層配線12、13、14は、銅等からなる下地金属層12A、13A、14Aと該下地金属層12A、13A、14A上に設けられた銅からなる上層金属層12B、13B、14Bとからなっている。
第1の上層配線12は、ブルートゥースに組み込まれた高周波処理回路に接続される送受信信号線(高周波信号線)であり、保護膜7および絶縁膜3の開口部8a、4aを介して接続パッド2aに接続された平面正方形状の接続部12aと、平面円形状の接続パッド部12bと、接続部12aと接続パッド部12bとを接続する引き回し線12cとからなっている。
ここで、第1の上層配線12の引き回し線12cの途中において誘電体膜11の上面およびその周囲における保護膜7の上面には、誘電体膜11よりもやや大きめの平面円形状の上部電極15が誘電体膜11に接続されて設けられている。そして、上部電極15、その下の誘電体膜11およびその下のグラウンド層5の一部からなる下部電極により、薄膜容量素子16が構成されている。この薄膜容量素子16は第1の上層配線12に対するデカップリングキャパシタとして機能する。
第2の上層配線13は、グラウンド線であるが、平面円形状の接続パッド部13bのみからなり、保護膜7の開口部10を介してグラウンド層5に接続されている。第3の上層配線14は、送受信信号線以外の信号線であり、保護膜7および絶縁膜3の開口部8c、4cを介して接続パッド2cに接続された平面正方形状の接続部14aと、平面円形状の接続パッド部14bと、接続部14aと接続パッド部14bとを接続する引き回し線14cとからなっている。
第1〜第3の上層配線12、13、14の接続パッド部12b、13b、14b上面には銅からなる柱状電極17が設けられている。第1〜第3の上層配線12、13、14および上部電極15を含む保護膜7の上面にはエポキシ系樹脂等からなる封止膜18がその上面が柱状電極17の上面と面一となるように設けられている。柱状電極17の上面には半田ボール19が設けられている。
以上のように、この半導体装置では、シリコン基板1上に設けられた絶縁膜3上にグラウンド層5を下層配線6を介してシリコン基板1上の接続パッド2bに接続させて設け、その上に設けられた保護膜7の開口部9内に誘電体膜11をグラウンド層5の一部からなる下部電極に接続させて設け、誘電体膜11を含む保護膜7上に第1、第3の上層配線12、14をシリコン基板1上の接続パッド2a、2cに接続させて設け、且つ、第2の上層配線13をグラウンド層5に接続させて設け、第1の上層配線12の途中に上部電極15を誘電体膜11に接続させて設けているので、電気的接続配線が主としてシリコン基板1の厚さ方向となり、これにより、実装面積をより一層小さくすることができ、且つ、配線の長さを可及的に短くすることができ、高周波信号に対する伝送特性を向上させることができる。
また、この半導体装置では、シリコン基板1上に設けられた絶縁膜3の上面中央部に平面正方形状のグラウンド層5を設け、その上に保護膜7を介して第1、第3の上層配線12、14を設けているので、グラウンド層5により、シリコン基板1上の集積回路と第1、第3の上層配線12、14との間でクロストークが発生しないようにすることができる。また、グラウンド層5の平面サイズを比較的大きくすることができるので、グラウンド電位が変動しにくいようにすることができる。
次に、この半導体装置の製造方法の一例について説明する。まず、図3(A)、(B)に示すものを用意する。この場合、図3(A)は図2(A)に対応する断面図であり、図3(B)は図2(B)に対応する断面図である(以下、同じ)。
さて、図3(A)、(B)に示すものは、ウエハ状態のシリコン基板1上にアルミニウム系金属等からなる複数の接続パッド2a、2b、2cおよび酸化シリコン等からなる絶縁膜3が設けられ、接続パッド2a、2b、2cの中央部が絶縁膜3に形成された開口部4a、4b、4cを介して露出されたものである。この場合、ウエハ状態のシリコン基板1には、各半導体装置が形成される領域に所定の機能の集積回路(図示せず)が形成され、接続パッド2a、2b、2cはそれぞれ対応する領域に形成された集積回路に電気的に接続されている。
次に、図4(A)、(B)に示すように、マスクを用いたスパッタ法により、絶縁膜3の開口部4bを介して露出されたグラウンド用の接続パッド2bの上面を含む絶縁膜3の上面に銅等からなるグラウンド層5および下層配線6を形成する。なお、グラウンド層5および下層配線6は、スパッタ法により成膜された銅等からなる金属膜をフォトリソグラフィ法によりパターニングして形成するようにしてもよい。
次に、図5(A)、(B)に示すように、絶縁膜3の開口部4a、4cを介して露出された接続パッド2a、2cの上面、グラウンド層5および下層配線6を含む絶縁膜3の上面全体に、スクリーン印刷法やスピンコート法等により、ポリイミド系樹脂等からなる保護膜7を形成する。次に、レーザビームを照射するレーザ加工あるいはフォトリソグラフィ法により、絶縁膜3の開口部4a、4cに対応する部分における保護膜7に開口部8a、8cを形成し、且つ、グラウンド層5の所定の2箇所に対応する部分における保護膜7に開口部9、10を形成する。
次に、図6(A)、(B)に示すように、絶縁膜7の開口部9内のグラウンド層5の上面に、マスクを用いたスパッタ法により、STO等の強誘電体からなる誘電体膜11を形成する。この場合のスパッタリングは、ポリイミド系樹脂等からなる保護膜7の耐熱温度が250℃程度であるため、それよりも低温で行なう。この結果、STO等の強誘電体の誘電率は本来3桁程度と高いが、低温でのスパッタリングであると、誘電体膜11の誘電率が数十程度と低くなる。しかし、この場合の半導体装置は高周波用であるから、薄膜容量素子16の容量が比較的小さくても、別に支障はない。
次に、図7(A)、(B)に示すように、保護膜7および絶縁膜3の開口部8a、4aおよび8c、4cを介して露出された接続パッド2a、2cの上面、保護膜7の開口部10を介して露出されたグラウンド層5の上面および誘電体膜11を含む保護膜7の上面全体に下地金属層21を形成する。この場合、下地金属層21は、無電解メッキにより形成された銅層のみであってもよく、またスパッタ法により形成された銅層のみであってもよく、さらにスパッタ法により形成されたチタン等の薄膜層上にスパッタ法により銅層を形成したものであってもよい。
次に、下地金属層21の上面にメッキレジスト膜22をパターン形成する。この場合、上部電極15を含む上層金属層12B形成領域、上層金属層13B形成領域および上層金属層14B形成領域に対応する部分におけるメッキレジスト膜22には開口部23、24、25が形成されている。
次に、下地金属層21をメッキ電流路として銅の電解メッキを行なうことにより、メッキレジスト膜22の開口部23内の下地金属層21の上面に上部電極15を含む上層金属層12Bを形成し、メッキレジスト膜21の開口部24内の下地金属層21の上面に上層金属層13Bを形成し、メッキレジスト膜21の開口部25内の下地金属層21の上面に上層金属層14Bを形成する。次に、メッキレジスト膜22を剥離する。
次に、図8(A)、(B)に示すように、上層金属層12B、13B、14Bを含む下地金属層21の上面にメッキレジスト膜26をパターン形成する。この場合、柱状電極17形成領域に対応する部分におけるメッキレジスト膜26には開口部27が形成されている。次に、下地金属層21をメッキ電流路として銅の電解メッキを行なうことにより、メッキレジスト膜26の開口部27内の上層金属層12B、13B、14Bの接続パッド部上面に柱状電極17を形成する。
次に、メッキレジスト膜26を剥離し、次いで、上層金属層12B、13B、14Bをマスクとして下地金属層21の不要な部分をエッチングして除去すると、図9(A)、(B)に示すように、上層金属層12B、13B、14B下に下地金属層12A、13A、14Aが残存され、第1〜第3の上層配線12、13、14が形成される。
次に、図10(A)、(B)に示すように、柱状電極17および第1〜第3の上層配線12、13、14を含む保護膜7の上面全体に、スクリーン印刷法やスピンコート法等により、エポキシ系樹脂等からなる封止膜18をその厚さが柱状電極17の高さよりも厚くなるように形成する。したがって、この状態では、柱状電極17の上面は封止膜18によって覆われている。
次に、封止膜18および柱状電極17の上面側を適宜に研磨し、図11(A)、(B)に示すように、柱状電極17の上面を露出させ、且つ、この露出された柱状電極17の上面を含む封止膜18の上面を平坦化する。次に、図12(A)、(B)に示すように、柱状電極17の上面に半田ボール19を形成する。次に、ダイシング工程を経ると、図1に示す半導体装置が複数個得られる。
以上のように、上記製造方法では、ウエハ状態のシリコン基板1上に下部電極を兼ねたグラウンド層5、誘電体膜11、上部電極15を含む第1〜第3の上層配線12、13、14、柱状電極17および半田ボール19の形成を一括して行ない、その後に分断して複数個の半導体装置を得ているので、製造工程を簡略化することができる。また、薄膜容量素子16を備えた半導体装置を外部回路基板(図示せず)上に実装する場合、半田ボール19を外部回路基板上に一括して接続すればよいので、実装工程を簡略化することができる。
(第2実施形態)
図13はこの発明の第2実施形態としての半導体装置の一部を省略した透過平面図を示し、図14(A)は図13のXIVA−XIVA線に沿う断面図を示し、図14(B)は図13のXIVB−XIVB線に沿う断面図を示す。この半導体装置において、図1および図2(A)、(B)に示す半導体装置と大きく異なる点は、誘電体膜11を帯状とし、薄膜容量素子16を複数、例えば3つとした点である。
図13はこの発明の第2実施形態としての半導体装置の一部を省略した透過平面図を示し、図14(A)は図13のXIVA−XIVA線に沿う断面図を示し、図14(B)は図13のXIVB−XIVB線に沿う断面図を示す。この半導体装置において、図1および図2(A)、(B)に示す半導体装置と大きく異なる点は、誘電体膜11を帯状とし、薄膜容量素子16を複数、例えば3つとした点である。
すなわち、保護膜7の所定の箇所には帯状の開口部9がグラウンド層5の一辺に沿い且つ当該一辺の長さ全体に亘って設けられ、この開口部9内には誘電体膜11がグラウンド層5に接続されて設けられている。帯状の誘電体膜11の上面の所定の3箇所には平面円形状の上部電極15が設けられている。このうちの中央の上部電極15は、上記第1実施形態の場合と同様に、第1の上層配線12の途中に設けられている。
両側の上部電極15は、保護膜7の上面に設けられた第4の上層配線20の一端部に接続されている。第4の上層配線20の他端部は、保護膜7および絶縁膜3の所定の箇所に設けられた開口部8d、4dを介して、シリコン基板1上において2つのグラウンド用の接続パッド2bの両側に配置された接続パッド2dに接続されている。そして、両側の上部電極15の中央部上面には柱状電極17が設けられ、柱状電極17の上面には半田ボール19が設けられている。
(その他の実施形態)
上記第1実施形態では、図1に示すように、上部電極15の平面形状を誘電体膜11の平面形状よりもやや大きくした場合について説明したが、これに限らず、誘電体膜11の平面形状と同じであってもよく、またそれよりもやや小さめであってもよい。また、図1に示す場合において、上部電極15よりも先端側の上層配線12cおよび接続パッド部12bを省略し、上部電極15の中央部上面に柱状電極17および半田ボール19を設けるようにしてもよい。
上記第1実施形態では、図1に示すように、上部電極15の平面形状を誘電体膜11の平面形状よりもやや大きくした場合について説明したが、これに限らず、誘電体膜11の平面形状と同じであってもよく、またそれよりもやや小さめであってもよい。また、図1に示す場合において、上部電極15よりも先端側の上層配線12cおよび接続パッド部12bを省略し、上部電極15の中央部上面に柱状電極17および半田ボール19を設けるようにしてもよい。
また、例えば、図1に示す場合において、誘電体膜11および上部電極15の平面形状を正方形状、長方形状等としてもよい。さらに、図13に示す場合において、上部電極15の平面形状、平面サイズを互いに異なるようにしてもよい。
1 シリコン基板
2a、2b、2c 接続パッド
3 絶縁膜
5 グラウンド層
6 下層配線
7 保護膜
9 開口部
11 誘電体膜
12、13、14 上層配線
15 上部電極
16 薄膜容量素子
17 柱状電極
18 封止膜
19 半田ボール
2a、2b、2c 接続パッド
3 絶縁膜
5 グラウンド層
6 下層配線
7 保護膜
9 開口部
11 誘電体膜
12、13、14 上層配線
15 上部電極
16 薄膜容量素子
17 柱状電極
18 封止膜
19 半田ボール
Claims (10)
- 上面に複数の接続パッドを有する半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられた下層絶縁膜と、
前記下層絶縁膜上に前記接続パッドの少なくとも1つに接続されて設けられた下部電極と、
前記下層絶縁膜および前記下部電極上に設けられ、前記下部電極上に対応する領域に少なくとも1つの開口部が設けられた上層絶縁膜と、
前記上層絶縁膜に設けられた開口部内に前記下部電極に接続されて設けられた誘電体膜と、
前記上層絶縁膜上に前記接続パッドの少なくとも他の1つに接続されて設けられた上層配線と、
前記誘電体膜上に前記上層配線の一部に接続されて設けられた上部電極と、
を具備することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の発明において、前記下部電極はグラウンド層からなることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1に記載の発明において、前記下部電極は前記下層絶縁膜上における、前記半導体基板上面の前記接続パッドの配置領域を除く領域上に設けられていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1に記載の発明において、前記下部電極上に設けられた1つの前記誘電体膜上に前記上部電極が複数設けられていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1に記載の発明において、前記上層絶縁膜上に前記上層配線に接続されて設けられた接続パッド部と、該接続パッド部上に設けられた柱状電極と、前記柱状電極の周囲を覆う封止膜と、を有することを特徴とする半導体装置。
- 請求項5に記載の発明において、前記柱状電極上に半田ボールが設けられていることを特徴とする半導体装置。
- 上面に複数の接続パッドを有するウエハ状態の半導体基板上に下層絶縁膜を形成する工程と、
前記下層絶縁膜上に下部電極を前記接続パッドの一部に接続させて形成する工程と、
前記下層絶縁膜および前記下部電極上に前記下部電極に対応する部分に開口部を有する上層絶縁膜を形成する工程と、
前記上層絶縁膜の開口部内に誘電体膜を前記下部電極に接続させて形成する工程と、
前記上層絶縁膜上に上層配線を前記接続パッドの他部に接続させて形成するとともに、前記誘電体膜上に上部電極を前記上層配線の一部に接続させて形成する工程と、
ウエハ状態の前記半導体基板を切断して複数個の半導体装置を得る工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7に記載の発明において、前記下部電極を形成する工程は、前記下層絶縁膜上に前記下部電極を兼ねたグラウンド層を形成する工程であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項7に記載の発明において、前記上層絶縁膜上に接続パッド部を前記上層配線に接続させて形成する工程と、該接続パッド部上に柱状電極を形成し、前記柱状電極の周囲を覆う封止膜を形成する工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項9に記載の発明において、前記柱状電極上に半田ボールを形成する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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2005
- 2005-09-16 JP JP2005269685A patent/JP2007081267A/ja active Pending
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