JP2009210780A - 多層膜偏光子 - Google Patents
多層膜偏光子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009210780A JP2009210780A JP2008053231A JP2008053231A JP2009210780A JP 2009210780 A JP2009210780 A JP 2009210780A JP 2008053231 A JP2008053231 A JP 2008053231A JP 2008053231 A JP2008053231 A JP 2008053231A JP 2009210780 A JP2009210780 A JP 2009210780A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wavelength
- multilayer
- reflection band
- band
- reflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】本発明の多層膜偏光子は、屈折率の異なる少なくとも2種類以上の膜材料からなる多層膜に、斜入射光線の入射角に伴う反射帯の立ち上がり・立ち下がりの偏光透過特性の違いを利用し、互いに直交する偏光成分を透過・反射させる多層膜偏光子において、互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層をその分離面に設け、短波長反射帯の長波長側立ち上がりと長波長反射帯の短波長側立ち下がりを近接させ、それぞれの反射、透過偏光特性を乗ずることにより偏光分離有効波長帯を拡げるものとした。
【選択図】図4
Description
本発明の多層膜偏光子は、プリズム形態では互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層をプリズム分離面に設けることにより、また、平板形態では互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層を基板の片面、若しくは両面に設けることにより実現させた。
本発明の更なる形態の多層膜偏光子は、多層膜偏光子の2つの有効な偏光分離波長領域に挟まれる中間波長領域内で、前記2つの有効偏光分離波長領域に挟まれる波長領域に短波長反射帯の立ち上がり部に形成されるP偏光透過領域と長波長反射帯の立ち下がり部に形成されるP偏光透過領域をともに阻害しないP偏光反射帯域を1つ若しくはそれ以上持つ新たな多層膜層を分離面上に付加することにより、特定の複数波長領域に対し、偏光分離する事と同時に、特定の複数波長領域を選択的に透過する機能を持つことを可能とした。
本発明の多層膜偏光子は、プリズム形態では互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層をプリズム分離面に設けることにより、また、平板形態では互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層を基板の片面、若しくは両面に設けることにより実現させることが出来る。特に、平板形態の多層膜偏光子はプリズム形態の多層膜偏光子と比較して、低コスト、小型軽量化、耐光性、耐熱性において優れ、接着剤を使用しないことにより、紫外線領域に有効である。
また、本発明の更なる形態の多層膜偏光子は、多層膜偏光子の2つの有効な偏光分離波長領域に挟まれる中間波長領域内で、前記2つの有効偏光分離波長領域に挟まれる波長領域に短波長反射帯の立ち上がり部に形成されるP偏光透過領域と長波長反射帯の立ち下がり部に形成されるP偏光透過領域をともに阻害しないP偏光反射帯域を1つ若しくはそれ以上持つ新たな多層膜層を分離面上に付加することによって、特定の複数波長領域に対し、偏光分離する事と同時に、特定の複数波長領域を選択的に透過する機能を兼ね備える。これにより、レジスト露光などに有効な光源スペクトルの選択機能と偏光子機能を単独部材で実現することができる。
なお、この2つの有効偏光分離波長領域は結局の所短波長反射帯の立ち上がり部単独による有効偏光分離波長領域と、長波長反射帯の立ち下がり部単独による有効偏光分離波長領域が1つの偏光子で得られたことと同じであるから、その有効偏光分離波長領域は図2に示されたものと同様に2nm幅程度の狭いものとなる。
以上のように、適宜の反射帯を持つ多層膜層は1つに限らず適宜の数を重ねることにより、新たな有効偏光分離波長領域を増やすことが可能である。
なお、2波長以上の複数波長域を有効にするため、複数の反射帯を持つ多層膜層を付加することとなるが、図3、図7に示す各反射帯多層膜層の重ね順位は自由であって、特定されないことは言うまでもない。
今、水銀スペクトルよりi線(365nm)とh線(405nm)の2つのスペクトルを同時に取り出し、且つ同時に直線偏光を得る目的の偏光子の実施例を示す。高屈折率膜材料としてTa2O5を、低屈折率膜材料としてSiO2を用い、偏光変換素子(Polarizing Beam Splitter:PBS)となる平板型多層膜偏光子を作成する。i線(365nm)とh線(405nm)を中心とする有効偏光分離波長領域をつくるため、石英基板上に410nm近傍に長波長反射帯のP偏光立ち下がり部が来るようにその中心波長を決めた長波長反射帯のTa2O5とSiO2の多層膜と、360nm近傍に短波長反射帯のP偏光立ち下がり部が来るようにその中心波長を決めた短波長反射帯のTa2O5とSiO2の多層膜と、更に370nm近傍にP偏光立ち下がり部が390nm近傍にP偏光立ち上がり部が来るようにその中心波長を決めた第3の多層膜層を形成する。このような構成により、図10に示すような偏光分離特性のPBSを得ることができる。この図は45°入射角としたときの計算値である。
2 反射帯多層膜層
2L 長波長反射帯多層膜
2S 短波長反射帯多層膜
2B 適宜の反射帯多層膜
Claims (5)
- 屈折率の異なる少なくとも2種類以上の膜材料からなる多層膜に、斜入射光線の入射角に伴う反射帯の立ち上がり・立ち下がりの偏光透過特性の違いを利用し、互いに直交する偏光成分を透過・反射させる多層膜偏光子において、互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層をその分離面に設け、短波長反射帯の長波長側立ち上がりと長波長反射帯の短波長側立ち下がりを近接させ、それぞれの反射、透過偏光特性を乗ずることにより偏光分離有効波長領域を拡げたことを特徴とする多層膜偏光子。
- 互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層をプリズム分離面に設けたものである請求項1に記載の多層膜偏光子。
- 互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層を基板の片面、若しくは両面に設けたものである請求項1に記載の多層膜偏光子。
- 2つの反射帯の中心波長間隔を大きくとることにより、短波長反射帯の長波長側の立ち上がりと長波長反射帯の短波長側の立ち下がり部分の2つの有効な偏光分離波長領域を設け、異なる2つの波長領域に対し同時に偏光分離が可能となるようにしたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の多層膜偏光子。
- 多層膜偏光子の2つの有効な偏光分離波長領域に挟まれる中間波長領域内で、前記2つの有効偏光分離波長領域に挟まれる波長領域に短波長反射帯の立ち上がり部に形成されるP偏光透過帯域と長波長反射帯の立ち下がり部に形成されるP偏光透過帯域をともに阻害しないP偏光反射帯域を1つ若しくはそれ以上持つ新たな多層膜層を分離面上に付加することにより、特定の複数波長領域に対し、偏光分離することと同時に、特定の複数波長領域を選択的に透過する機能を持つことを特徴とする請求項4に記載の多層膜偏光子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008053231A JP5101344B2 (ja) | 2008-03-04 | 2008-03-04 | 多層膜偏光ビームスプリッタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008053231A JP5101344B2 (ja) | 2008-03-04 | 2008-03-04 | 多層膜偏光ビームスプリッタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009210780A true JP2009210780A (ja) | 2009-09-17 |
JP5101344B2 JP5101344B2 (ja) | 2012-12-19 |
Family
ID=41184012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008053231A Active JP5101344B2 (ja) | 2008-03-04 | 2008-03-04 | 多層膜偏光ビームスプリッタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5101344B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014073138A1 (ja) | 2012-11-09 | 2014-05-15 | パナソニック株式会社 | 画像処理装置および内視鏡 |
WO2014125529A1 (ja) | 2013-02-15 | 2014-08-21 | パナソニック株式会社 | 画像処理装置および内視鏡 |
JP2015206983A (ja) * | 2014-04-23 | 2015-11-19 | 日本真空光学株式会社 | 広帯域分離特性を備えた多段式多層膜偏光子 |
JP2019095786A (ja) * | 2017-11-24 | 2019-06-20 | 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. | Hudシステム及びhudのための光学素子 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05249313A (ja) * | 1992-03-05 | 1993-09-28 | Fujikura Ltd | 光学多層膜フィルタ |
JPH07294728A (ja) * | 1994-04-22 | 1995-11-10 | Omron Corp | 光学部品及びそれを備えた光学装置 |
JPH1138407A (ja) * | 1997-07-15 | 1999-02-12 | Nec Corp | 投射型カラー液晶表示装置 |
JP2003329841A (ja) * | 2002-05-17 | 2003-11-19 | Ushio Inc | 偏光フィルタおよびこのフィルタを用いた偏光光照射装置 |
-
2008
- 2008-03-04 JP JP2008053231A patent/JP5101344B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05249313A (ja) * | 1992-03-05 | 1993-09-28 | Fujikura Ltd | 光学多層膜フィルタ |
JPH07294728A (ja) * | 1994-04-22 | 1995-11-10 | Omron Corp | 光学部品及びそれを備えた光学装置 |
JPH1138407A (ja) * | 1997-07-15 | 1999-02-12 | Nec Corp | 投射型カラー液晶表示装置 |
JP2003329841A (ja) * | 2002-05-17 | 2003-11-19 | Ushio Inc | 偏光フィルタおよびこのフィルタを用いた偏光光照射装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014073138A1 (ja) | 2012-11-09 | 2014-05-15 | パナソニック株式会社 | 画像処理装置および内視鏡 |
US10492660B2 (en) | 2012-11-09 | 2019-12-03 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Image processing apparatus and endoscope |
WO2014125529A1 (ja) | 2013-02-15 | 2014-08-21 | パナソニック株式会社 | 画像処理装置および内視鏡 |
US9808147B2 (en) | 2013-02-15 | 2017-11-07 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Image processing apparatus and endoscope |
JP2015206983A (ja) * | 2014-04-23 | 2015-11-19 | 日本真空光学株式会社 | 広帯域分離特性を備えた多段式多層膜偏光子 |
JP2019095786A (ja) * | 2017-11-24 | 2019-06-20 | 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. | Hudシステム及びhudのための光学素子 |
JP7190873B2 (ja) | 2017-11-24 | 2022-12-16 | 三星電子株式会社 | Hudシステム及びhudのための光学素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5101344B2 (ja) | 2012-12-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4574439B2 (ja) | 偏光分離素子及びそれを有する投影装置 | |
JP4593894B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP5930600B2 (ja) | 偏光分離素子および画像投射装置 | |
JP2010530995A (ja) | 反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子 | |
EP1826593B1 (en) | Optical element and image projecting apparatus | |
JP5762086B2 (ja) | 偏光分離素子および画像投射装置 | |
JP2008020563A (ja) | 誘電体多層膜フィルタ | |
JP4510547B2 (ja) | 偏光分離素子及びそれを有する投影装置 | |
JP2006133403A (ja) | 偏光分離素子 | |
WO2013046921A1 (ja) | 偏光子、偏光光学素子、光源および画像表示装置 | |
JP5101344B2 (ja) | 多層膜偏光ビームスプリッタ | |
JP5765984B2 (ja) | 偏光分離素子および画像投射装置 | |
JP2004139001A (ja) | 光学素子、光学変調素子、画像表示装置 | |
JP4427026B2 (ja) | 偏光子および偏光分離素子 | |
JP5209932B2 (ja) | 偏光ビームスプリッタおよび偏光変換素子 | |
JP2006133402A (ja) | 偏光分離素子及びそれを有する光学系 | |
JP6588436B2 (ja) | 偏光系 | |
JP2008185768A (ja) | 波長板及び光学装置 | |
JP2013250322A (ja) | 画像表示装置 | |
US9891358B2 (en) | Optical filter and optical apparatus | |
JP5136185B2 (ja) | 波長フィルタ | |
JP2009237146A (ja) | 波長フィルタ | |
JP2017083719A (ja) | 偏光素子およびそれを有する投射型画像表示装置 | |
JP2005321562A (ja) | 偏光分離素子及びそれを有する光学系 | |
JP2004354935A (ja) | 積層波長板及びそれを用いたプロジェクタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110304 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120627 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120827 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120919 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120926 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151005 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5101344 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |