JP2015206983A - 広帯域分離特性を備えた多段式多層膜偏光子 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明の課題は、多層膜偏光子の欠点である偏光分離が可能な領域が狭いという特性を改善し、例えば365nm領域において10nmを超える有効幅となる偏光分離領域の広い特性を備えた多層膜偏光子を提供することにある。【解決手段】本発明の多段式多層膜偏光子は、偏光分離波長領域の異なる複数の多層膜偏光子を最適な角度で各偏光子に入射するように多段配置することで、各偏光子により特定領域のp偏光成分を除去し、組合せによって偏光分離領域を広げるようにしたものである。【選択図】図1
Description
本発明は多層膜の透過・反射特性を利用して直線偏光を得る多層膜偏光子に関する。
自然光を直線偏光に変換する偏光子として、従来から複屈折を持つ結晶を用いた結晶プリズム型偏光子、微細な金属線を一定方向に並べたワイヤーグリッド型偏光子、ブリュースター角度を利用した偏光子などが知られており、それに加え、例えばレーザー光源などに用いる偏光子としては多層膜でのp偏光、s偏光に対する透過特性の違いを利用した多層膜偏光子がある。基板上に多層膜を成膜し、入射する光線に対し適当な角度に配置することで、特定の波長領域で多層膜に入射するp偏光成分は透過し、s偏光成分は反射する性質を利用するものである。すなわち、その反射帯の立ち上がり部分若しくは立ち下がり部分に発生する偏光成分に対し透過・反射特性が異なる領域を利用して光線中の2つの互いに直交する偏光成分を分離する。この多層膜偏光子は接着剤や金属などの光の吸収材料を使用していないため、レーザー光耐力があり、また多層膜を成膜することだけで実現できるためよく使用されている。
この多層膜偏光子の作動原理についてまず説明をする。図5は平板基板1の一面に単一の中心波長を持つ反射帯多層膜層2を成膜したときの構造図を示す。そのときの互いに直交する偏光成分について、入射・反射光線を含む面に電場が垂直に振動する偏光成分をs偏光とし、この面に平行に振動する偏光成分をp偏光としたときのそれぞれの分光透過率(計算値)を図6に示す。反射帯多層膜層の偏光特性は中心波長の両側に所定幅のp偏光透過帯域(破線)を有し、その外側にs偏光透過帯域(実線)を有する。この図に示されるように単一の反射帯をもつ多層膜では図中央部の有効偏光分離波長領域は、透過帯域の立ち上がり部におけるp偏光とs偏光透過帯域のズレ領域でp光の透過率がほぼ100%でS偏光透過率がほぼ0%となるわずか2nm幅程度の領域でしかない。有効偏光分離波長領域が狭いことが欠点である。複数の波長を持つレーザーや放電灯の複数のスペクトルのような広い帯域を偏光分離する光源には使用することができない。
多層膜偏光子による偏光分離が可能な周波数領域を広くする技術が特許文献1に開示されている。特許文献1の発明は、この多層膜偏光子に関するもので、多層膜からなる偏光子の有効な偏光分離波長領域を、入射角の制限や使用できる材料を持つ屈折率の制限のもとで拡大し、さらに特定の複数の波長の直線偏光だけを透過するといった選択性を同時に有する機能を単独で実現できる多層膜偏光子を提供することを目的としたものである。この発明の多層膜偏光子は、屈折率の異なる少なくとも2種類以上の膜材料からなる多層膜に、斜入射光線の入射角に伴う反射帯の立ち上がり・立ち下がりの偏光透過特性の違いを利用し、互いに直交する偏光成分を透過・反射させる多層膜偏光子において、互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層をその分離面に設け、短波長反射帯の長波長側立ち上がりと長波長反射帯の短波長側立ち下がりを近接させ、それぞれの反射、透過偏光特性を乗ずることにより偏光分離有効波長帯を拡げるものである。
特許文献1の多層膜偏光子は、長波長と、短波長を中心波長とする複数の反射帯多層膜層を重ねることにより、偏光分離波長領域を広げる技術であるが、この手法による有効偏光分離波長領域も365nmを中心として10nm幅程度の領域であった。
本発明の課題は、多層膜偏光子の欠点である偏光分離が可能な領域が狭いという特性を改善し、例えば365nm領域で10nmを超える有効幅となる偏光分離領域の広い特性を備えた多層膜偏光子を提供することにある。
本発明の多段式多層膜偏光子は、偏光分離波長領域の異なる複数の多層膜偏光子を最適な角度で各偏光子に入射するように多段配置することで、各偏光子によりその固有な領域のp偏光成分を除去し、組合せによって偏光分離領域を広げるようにしたものである。
また、本発明の多段式多層膜偏光子は、偏光分離波長領域が同一、または重複する部分を持つ複数の多層膜偏光子を用いてその共通する偏光分離波長領域で高い消光比を持たせるようにした。
また、本発明の多段式多層膜偏光子は、偏光分離波長領域が同一、または重複する部分を持つ複数の多層膜偏光子を用いてその共通する偏光分離波長領域で高い消光比を持たせるようにした。
さらに、本発明の多段式多層膜偏光子は、特定の複数波長領域を選択的に透過させる機能をもたせるため複数の特定領域を中心とした多層膜偏光子を多段に配置するようにした。
本発明の多段式多層膜偏光子は、偏光分離波長領域の異なる複数の多層膜偏光子を最適な角度で各偏光子に入射するように多段配置ものであるから、各偏光子によりその固有な領域のp偏光成分が除去された光が次段の偏光子に入力され、更に当該偏光子によりその固有な領域のp偏光成分が除去され、以降順次その固有な領域のp偏光成分の除去が繰り返えされることにより、最終透過光は広帯域にわたりp偏光成分が除去された光を得ることができる。
また、偏光分離波長領域が同一、または重複する部分を持つ複数の多層膜偏光子を用いた本発明の多段式多層膜偏光子は、一つの多層膜偏光子では除去しきれなかった若干のp偏光成分が残っていても、更に同じ特性の多層膜偏光子を重ねることにより、ほぼ完璧にp偏光成分を除去することができる。
また、偏光分離波長領域が同一、または重複する部分を持つ複数の多層膜偏光子を用いた本発明の多段式多層膜偏光子は、一つの多層膜偏光子では除去しきれなかった若干のp偏光成分が残っていても、更に同じ特性の多層膜偏光子を重ねることにより、ほぼ完璧にp偏光成分を除去することができる。
さらに、複数の特定領域を中心とした多層膜偏光子群を多段に配置するようにした本発明の多段式多層膜偏光子は、特定の複数波長領域を選択的に透過させる機能を備えているので、光源のスペクトルに対応させて自由度の高い選択透過機能をもった偏光子を得ることができる。
本発明の多段式多層膜偏光子は、複数の多層膜偏光子によって該当領域のp偏光成分を除去する動作を繰り返して総合効果を得るものであるから、帯域やその幅に対して自由度が高く多様な要望に対応が可能である。
本発明の多段式多層膜偏光子は、複数の多層膜偏光子によって該当領域のp偏光成分を除去する動作を繰り返して総合効果を得るものであるから、帯域やその幅に対して自由度が高く多様な要望に対応が可能である。
本発明の実施の形態について、各段に使用するそれぞれの偏光分離波長領域をもつ多層膜偏光子を2段以上の段数として段数を増やすことで有効領域を拡大することができる。段数を増やすことによって消光比を向上することができ、装置を小型化する観点から段数は少ない方が良い。段数は2段以上100段以下が好ましく、より好ましくは2段以上20段以下、さらにより好ましくは2段以上10段以下である。また、偶数段にすることで出力光軸が光源からの光軸と平行になるので好ましい。
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。本発明の多段式多層膜偏光子は、偏光分離波長領域の異なる複数の多層膜偏光子を最適な角度で各偏光子に入射するように多段配置されたものであって、その基本構成は図1に示される。図において、M1〜M4が多層膜の偏光子である。光源LSからの光L0は第1段目の多層膜偏光子M1に入射される。この偏光子M1は入射光軸に対し最適な角度で配置されており、ここでその固有な領域のp偏光成分P1のみが透過され、他の光成分は反射される。反射された光L1は第2段目の多層膜偏光子M2に入射される。この偏光子M2は入射光軸に対し最適な角度で配置されており、ここでその固有な領域のp偏光成分P2のみが透過され、他の光成分は反射される。この反射光L2には光源LSからの光L0のうち偏光成分P1と偏光成分P2が除去された光が次段の偏光子M3に入力される。第3段目の多層膜の偏光子M3に入射される。この偏光子M3は入射光軸に対し最適な角度で配置されており、ここでその固有な領域のp偏光成分P3のみが透過され、他の光成分は反射される。第3段目の多層膜偏光子M3で反射された光は第4段目の多層膜偏光子M3に入射され、p偏光成分P4のみが透過され、他の光成分は反射される。この反射光L4は光源LSからの光L0のうち偏光成分P1、偏光成分P2、偏光成分P3、偏光成分P4が除去された光成分であり、この多段式多層膜偏光子の有効領域となる。この偏光成分P1、偏光成分P2、偏光成分P3、偏光成分P4の幅領域が近接し互いに重なっているならばp偏光の成分が広い周波数帯域にわたって除去されることになる。段の数は多くなるほど広い周波数にわたるp偏光成分の除去が可能となる。図中のSHは遮蔽部材であり、除去したp偏光成分が下段の多層膜偏光子の入射光に混入しないようにするためのものである。
ここで、幅領域とはp偏光成分の透過率が50%以上となる波長領域である。
ここで、幅領域とはp偏光成分の透過率が50%以上となる波長領域である。
図1に示された本発明の多段式多層膜偏光子を構成する各段の多層膜偏光子のp偏光成分の反射特性を図3に示す。各段の多層膜偏光子M1、M2、M3そしてM4は、P第1ミラー乃至P第4ミラーとして示され、入射角を65°に設定した時の各波長領域にわたる反射率がグラフ表示されている。第1段目の多層膜偏光子M1乃至第4段目の多層膜偏光子M4はそれぞれ、異なる帯域において反射率が0、すなわち、透過率100%とみなせる幅をもったU字形状の特性を備えている。各段の多層膜偏光子M1、M2、M3そしてM4の透過領域は周波数の低い側から順に少しずつ重なっている。
ここで入射角を65°と設定したが、多段式多層膜偏光子の構成により任意に設定することができる。1°以上89°以下であればよいが、多段式多層膜偏光子の作製しやすさの観点から45°以上が好ましく、多段式多層膜偏光子の構成のしやすさの観点から85°以下が好ましい。一般的には、50°以上80°以下がより好ましく、55°以上70°以下がさらに好ましい。
ここで入射角を65°と設定したが、多段式多層膜偏光子の構成により任意に設定することができる。1°以上89°以下であればよいが、多段式多層膜偏光子の作製しやすさの観点から45°以上が好ましく、多段式多層膜偏光子の構成のしやすさの観点から85°以下が好ましい。一般的には、50°以上80°以下がより好ましく、55°以上70°以下がさらに好ましい。
図4のグラフは、図1に示された本発明の多段式多層膜偏光子を構成する各段の多層膜偏光子のs偏光成分の反射特性である。この図でも各段の多層膜偏光子M1、M2、M3そしてM4は、S第1ミラー乃至S第4ミラーとして示され、入射角を65°に設定した時の各波長領域にわたる反射率がグラフ表示されている。s偏光成分については多段の結果生じたp偏光の透過領域すなわち、上述の多段式多層膜偏光子の有効領域をほぼ100%反射する特性を備える。
本発明の多段式多層膜偏光子を構成する各段の多層膜偏光子のp偏光成分およびs偏光成分の反射特性は上記のとおりであるから、図1に示された4段の多段式多層膜偏光子M1、M2、M3そしてM4からなる多段式多層膜偏光子の合成特性のs偏光成分とp偏光成分の反射特性は図4に示されるとおりとなる。すなわち、最終段の多段式多層膜偏光子M4によって反射された光L4は光源LSからの光L0のうち偏光成分P1、偏光成分P2、偏光成分P3、偏光成分P4により除去されたp偏光成分とp偏光成分が除去された波長領域で反射されたs偏光成分ということになる。この実施形態では偏光成分P1、偏光成分P2、偏光成分P3、偏光成分P4の幅領域が互いに重なって長波側にシフトしているので、p偏光成分については多層膜偏光子M1の立下り側における反射率0%とみなせる波長から多層膜偏光子M4の立上り側における反射率0%とみなせる波長までの広い波長帯域にわたってp偏光成分が除去されたものとなる。
多層膜偏光子の消光比は偏光子としての性能の観点から2:1以上であれば好適であるが、一般的には30:1以上であることがより好ましく、100:1以上であることがさらに好ましい。
多層膜偏光子の消光比は偏光子としての性能の観点から2:1以上であれば好適であるが、一般的には30:1以上であることがより好ましく、100:1以上であることがさらに好ましい。
図4に示される反射特性図から、本発明の多段式多層膜偏光子を用いて得られる多層膜偏光子M4の反射光L4には相対波長0.8〜相対波長1.2を超える広い領域にわたってp偏光成分を除去し、s偏光成分のみを取り出すことができることが分かる。したがって、本発明の多段式多層膜偏光子は相対波長0.8〜相対波長1.2までの広い領域にわたって偏光分離を可能とする偏光子として用いることができる。因みに、4段の多段式多層膜偏光子によって、365nm領域においては相対波長0.8が456nm、相対波長1.2が304nmとなるから、150nmを超える帯域幅の多層膜偏光子を得ることができたことになる。
多段式多層膜偏光子の領域は相対波長0.1〜相対波長10とすることができる。構成を簡素にするために相対波長0.2〜相対波長5とすることが好ましく、相対波長0.4〜相対波長2がより好ましく、相対波長0.6〜相対波長1.5がより好ましい。
多段式多層膜偏光子の領域は相対波長0.1〜相対波長10とすることができる。構成を簡素にするために相対波長0.2〜相対波長5とすることが好ましく、相対波長0.4〜相対波長2がより好ましく、相対波長0.6〜相対波長1.5がより好ましい。
前述した本発明に係る多段式多層膜偏光子の実施形態例では、多段に設置した多層膜偏光子の各分離特性は異なるものとして説明してきたが、次に、偏光分離波長領域が同一、または重複する部分を持つ複数の多層膜偏光子を用いる実施形態について説明する。多層膜偏光子の分離特性はp偏光成分について100%透過には至らず若干量が反射光に残る場合がある。この残留したp偏光成分について再度同一特性の多層膜偏光子に入射させれば再度p偏光成分について高比率で透過がなされるので、ほぼ完璧に該当領域のp偏光成分を除去することができ、高い消光比を担保することができる。
前述した本発明に係る多段式多層膜偏光子の実施形態例では、多段の多層膜偏光子の偏光成分P1、偏光成分P2、偏光成分P3、偏光成分P4の幅領域が互いに重なってシフトしているものとして説明してきたが、本発明は複数の特定スペクトルの直線偏光が必要とされる場合にも応用ができる。例えば、光源として高圧水銀ランプが用いられ、その水銀スペクトルよりi線(365nm)とh線(405nm)の2つのスペクトルを同時に取り出し、且つ同時に直線偏光を得る目的の偏光子が求められた場合に、本発明に係る多段式多層膜偏光子の複数の多層膜偏光子によってi線(365nm)領域のp偏光成分を除去し、残りの群の多層膜偏光子によって、h線(405nm)領域のp偏光成分を除去する形態とする。このようにすることで、最終段の多層膜偏光子M4によって反射された光L4にはi線(365nm)とh線(405nm)の2つのスペクトルに相当する領域ではs偏光成分だけが含まれた光となって、上記求めに応える偏光子が提供できる。
本発明に係る多段式多層膜偏光子の主たる用途は、1.ハロゲンランプ、レーザー、LED、放電灯などの光源を用いた直線偏光出力光源装置 2.偏光成分を測定するための測光装置が考えられる。
1 平板基板 2 反射帯多層膜層
LS 光源 L0 光源からの光束
M1、M2、M3、M4 多層膜偏光子
P1、P2、P3、P4 透過するp偏光成分
L1、L2、L3、L4 各多層膜偏光子からの反射光束
LS 光源 L0 光源からの光束
M1、M2、M3、M4 多層膜偏光子
P1、P2、P3、P4 透過するp偏光成分
L1、L2、L3、L4 各多層膜偏光子からの反射光束
Claims (6)
- 偏光分離波長領域が異なる複数の多層膜偏光子を光線が最適な角度で各偏光子に入射し、s偏光反射光が順次反射するように多段配置され、光線に含まれるp偏光成分が各多層膜偏光子によりその固有な領域ごとに順次透過除去されることにより、広帯域な偏光分離領域を持つことを特徴とした多段式多層膜偏光子。
- 偏光分離波長領域が同一、または重複する部分を持つ複数の多層膜偏光子を用いてその共通する偏光分離波長領域で高い消光比を持つことを特徴とした請求項1に示す構造の多段式多層膜偏光子。
- 特定の複数波長領域のp偏光を選択的に透過させる機能をもたせるため複数の異なる固有領域を中心とした多層膜偏光子を多段に配置するようにしたことを特徴とする請求項1または2に記載の多段式多層膜偏光子。
- 前記最適な角度が45度から85度までとしたことを特徴とする請求項1乃至3に記載の多段式多層膜偏光子。
- 前記偏光分離波長領域での消光比が2:1以上の前記多層膜偏光子を持つことを特徴とする請求項1乃至4に記載の多段式多層膜偏光子。
- 前記多段式多層膜偏光子は相対波長0.1〜相対波長10の領域内であることを特徴とする請求項1乃至5に記載の多段式多層膜偏光子。
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JP2014089243A JP2015206983A (ja) | 2014-04-23 | 2014-04-23 | 広帯域分離特性を備えた多段式多層膜偏光子 |
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Citations (5)
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2014
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