JP5101344B2 - 多層膜偏光ビームスプリッタ - Google Patents
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本発明の多層膜偏光ビームスプリッタは、プリズム形態では互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層をプリズム分離面に設けることにより、また、平板形態では互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層を基板の片面のみに設けることにより実現させた。
本発明の更なる形態の多層膜偏光ビームスプリッタは、多層膜偏光ビームスプリッタの2つの有効な偏光分離波長領域に挟まれる中間波長領域内で、前記2つの有効偏光分離波長領域に挟まれる波長領域に短波長反射帯の立ち上がり部に形成されるP偏光透過領域と長波長反射帯の立ち下がり部に形成されるP偏光透過領域をともに阻害しないP偏光反射帯域を1つ若しくはそれ以上持つ新たな多層膜層を分離面上に付加することにより、特定の複数波長領域に対し、偏光分離する事と同時に、特定の複数波長領域を選択的に透過する機能を持つことを可能とした。
本発明の多層膜偏光ビームスプリッタは、プリズム形態では互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層をプリズム分離面に設けることにより、また、平板形態では互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層を基板の片面のみに設けることにより実現させることが出来る。特に、平板形態の多層膜偏光ビームスプリッタはプリズム形態の多層膜偏光ビームスプリッタと比較して、低コスト、小型軽量化、耐光性、耐熱性において優れ、接着剤を使用しないことにより、紫外線領域に有効である。
また、本発明の更なる形態の多層膜偏光ビームスプリッタは、多層膜偏光ビームスプリッタの2つの有効な偏光分離波長領域に挟まれる中間波長領域内で、前記2つの有効偏光分離波長領域に挟まれる波長領域に短波長反射帯の立ち上がり部に形成されるP偏光透過領域と長波長反射帯の立ち下がり部に形成されるP偏光透過領域をともに阻害しないP偏光反射帯域を1つ若しくはそれ以上持つ新たな多層膜層を分離面上に付加することによって、特定の複数波長領域に対し、偏光分離する事と同時に、特定の複数波長領域を選択的に透過する機能を兼ね備える。これにより、レジスト露光などに有効な光源スペクトルの選択機能と偏光ビームスプリッタ機能を単独部材で実現することができる。
なお、この2つの有効偏光分離波長領域は結局の所短波長反射帯の立ち上がり部単独による有効偏光分離波長領域と、長波長反射帯の立ち下がり部単独による有効偏光分離波長領域が1つの偏光ビームスプリッタで得られたことと同じであるから、その有効偏光分離波長領域は図2に示されたものと同様に2nm幅程度の狭いものとなる。
以上のように、適宜の反射帯を持つ多層膜層は1つに限らず適宜の数を重ねることにより、新たな有効偏光分離波長領域を増やすことが可能である。
なお、2波長以上の複数波長域を有効にするため、複数の反射帯を持つ多層膜層を付加することとなるが、図3、図7に示す各反射帯多層膜層の重ね順位は自由であって、特定されないことは言うまでもない。
今、水銀スペクトルよりi線(365nm)とh線(405nm)の2つのスペクトルを同時に取り出し、且つ同時に直線偏光を得る目的の偏光ビームスプリッタの実施例を示す。高屈折率膜材料としてTa2O5を、低屈折率膜材料としてSiO2を用い、多層膜偏光ビームスプリッタを作成する。i線(365nm)とh線(405nm)を中心とする有効偏光分離波長領域をつくるため、石英基板上に410nm近傍に長波長反射帯のP偏光立ち下がり部が来るようにその中心波長を決めた長波長反射帯のTa2O5とSiO2の多層膜と、360nm近傍に短波長反射帯のP偏光立ち下がり部が来るようにその中心波長を決めた短波長反射帯のTa2O5とSiO2の多層膜と、更に370nm近傍にP偏光立ち下がり部が390nm近傍にP偏光立ち上がり部が来るようにその中心波長を決めた第3の多層膜層を形成する。このような構成により、図10に示すような偏光分離特性のPBSを得ることができる。この図は45°入射角としたときの計算値である。
2 反射帯多層膜層
2L 長波長反射帯多層膜
2S 短波長反射帯多層膜
2B 適宜の反射帯多層膜
Claims (5)
- 屈折率の異なる少なくとも2種類以上の膜材料からなる多層膜に、斜入射光線の入射角に伴う反射帯の立ち上がり・立ち下がりの偏光透過特性の違いを利用し、互いに直交する偏光成分を透過・反射させる多層膜偏光子において、互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層を直接重ねた形態でその分離面に設け、短波長反射帯の長波長側立ち上がりと長波長反射帯の短波長側立ち下がりを近接させ、それぞれの反射、透過偏光特性を乗ずることにより偏光分離有効波長領域を拡げたことを特徴とする多層膜偏光ビームスプリッタ。
- 互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層をプリズム分離面に設けたものである請求項1に記載の多層膜偏光ビームスプリッタ。
- 互いに長、短波長を中心波長とする2つの反射帯多層膜層を基板の片面のみに設けたものである請求項1に記載の多層膜偏光ビームスプリッタ。
- 2つの反射帯の中心波長間隔を大きくとることにより、短波長反射帯の長波長側の立ち上がりと長波長反射帯の短波長側の立ち下がり部分の2つの有効な偏光分離波長領域を設け、異なる2つの波長領域に対し同時に偏光分離が可能となるようにしたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の多層膜偏光ビームスプリッタ。
- 多層膜偏光ビームスプリッタの2つの有効な偏光分離波長領域に挟まれる中間波長領域内で、前記2つの有効偏光分離波長領域に挟まれる波長領域に短波長反射帯の立ち上がり部に形成されるP偏光透過帯域と長波長反射帯の立ち下がり部に形成されるP偏光透過帯域をともに阻害しないP偏光反射帯域を1つ若しくはそれ以上持つ新たな多層膜層を分離面上に付加することにより、特定の複数波長領域に対し、偏光分離することと同時に、特定の複数波長領域を選択的に透過する機能を持つことを特徴とする請求項4に記載の多層膜偏光ビームスプリッタ。
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