JP2009210330A - 微細試料ハンドリング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基部11から所定の距離をおいて略平行に延びる一対のアーム12a,12b、及び一対のアームのそれぞれから互いに接近する方向に延びる一対のアーム先端部13a,13bを有する本体部材、形状記憶合金ワイヤを敷設する溝と固定する導電性膜を半導体プロセスによって作製し、形状記憶合金線に通電することにより収縮させて、アーム先端部13a,13bを閉じる。
【選択図】図1
Description
12a,12b:アーム
13a,13b:アーム先端部
14:金属膜
15:形状記憶合金製ワイヤ
16:ホルダ
17:コネクタ
18:接触バネ
19:溝
20:電源
21:スイッチ
31:ウエハ
32:外形溝
34:放熱器
41:基部
42a,42b:アーム
43a,43b:アーム先端部
44:金属膜
45a,45b:形状記憶合金製ワイヤ
51:基部
52a,52b:アーム
53a,53b:アーム先端部
54:金属膜
55:形状記憶合金製ワイヤ
56a,56b:支持梁
61,62,63,64,65,66,67,68:アーム先端部
69:微細試料
71,72:アーム先端部
82a,82b:アーム
85:形状記憶合金製ワイヤ
86:圧電素子
87:コントローラ
88:電源
89:スイッチ
Claims (12)
- 基部と、
前記基部から所定の距離をおいて延びる一対のアームと、
前記一対のアームに渡した形状記憶合金材と、
前記形状記憶合金材に通電する手段とを有し、
前記アームに敷設した形状記憶合金材に導電性材を接触させたことを特徴とする微細試料ハンドリング装置。 - 基部と、
前記基部から所定の距離をおいて延びる一対のアームと、
前記一対のアームに渡した形状記憶合金材と、
前記形状記憶合金材に通電する手段とを有し、
前記形状記憶合金材は形状記憶合金ワイヤであり、前記アームに前記形状記憶合金ワイヤを敷設するための溝、または、突起を作製したことを特徴とする微細試料ハンドリング装置。 - 請求項1記載の微細試料ハンドリング装置において、前記導電性材は放熱効果があることを特徴とする微細試料ハンドリング装置。
- 請求項1記載の微細試料ハンドリング装置において、前記形状記憶合金材に熱接続する放熱片を備えたことを特長とする微細試料ハンドリング装置。
- 請求項2記載の微細試料ハンドリング装置において、前記アームに敷設した前記形状記憶合金ワイヤを導電性膜で固定したことを特徴とする微細試料ハンドリング装置。
- 請求項1記載の微細試料ハンドリング装置において、前記形状記憶合金材は形状記憶合金ワイヤであり、前記形状記憶合金ワイヤの先端は、前記基部の端面よりも突出していることを特徴とする微細試料ハンドリング装置。
- 請求項6記載の微細試料ハンドリング装置において、前記基部の端面よりも突出している形状記憶合金ワイヤと電気的な接続が可能なコネクタを備え、前記基部から前記アームまでの先端部分が脱着可能なことを特長とする微細試料ハンドリング装置。
- 請求項1〜7のいずれか1項記載の微細試料ハンドリング装置において、前記アームを振動させる手段と、前記アームの振動状態の変化から前記アーム先端部が対象物に接触したことを検知する手段とを有することを特徴とする微細試料ハンドリング装置。
- 請求項1〜7のいずれか1項記載の微細試料ハンドリング装置において、前記一対のアーム先端部には吸着防止材が被覆されていることを特徴とする微細試料ハンドリング装置。
- 請求項1〜7のいずれか1項記載の微細試料ハンドリング装置において、前記本体部材を低抵抗化すると共に、前記本体部材を接地したことを特徴とする微細試料ハンドリング装置。
- 請求項1〜7のいずれか1項記載の微細試料ハンドリング装置において、前記一対のアーム先端部の微細試料に接触する面はハンドリングすべき微細試料に応じた形状を有することを特徴とする微細試料ハンドリング装置。
- 請求項1〜11のいずれか1項記載の微細試料ハンドリング装置において、前記本体部分のうち前記形状記憶合金部材に通電したとき、あるいは通電を止めたとき変形が大きい部分にひずみゲージを形成したことを特徴とする微細試料ハンドリング装置。
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