JPH08257926A - ホルダー付きマイクログリッパー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 マイクログリッパーのホルダーへの取り付け
作業を簡略化する。 【構成】 第１のフィンガー体２１の第１の支持体２５
が第１のホルダー体２３に接合される。第１の支持体２
５の表面に形成された電極パット３２，３３と第１のホ
ルダー体２３の表面に形成された配線パターン３５，３
６との間が電気的に接続される。第２のフィンガー体２
２の第２の支持体２５が第２のホルダー体２４に接合さ
れる。第２の支持体２５の表面に形成された電極パット
３２，３３と第２のホルダー体２４の表面に形成された
配線パターン３５，３６との間が電気的に接続される。
第１のフィンガー２６と第２のフィンガー２６とが対向
するように、第１のホルダー体２３と第２のホルダー体
２４とが接合される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、原生動物・卵細胞・微
小機械部品などの微小物質を把持するマイクログリッパ
ーに関し、特に、ホルダーが一体化されたホルダー付き
マイクログリッパーに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】マイクログリッパーは、顕微鏡下などに
おいて原生物や微小機械素子の把持、移動、組立、変
形、加工、細胞融合等の微細作業をするために用いられ
るものであり、一対のフィンガーを開閉させることによ
り微小物質を把持するものである。

【０００３】このようなマイクログリッパーの一例とし
て、本件発明者は、特開平５−２５３８７０号公報に開
示されたマイクログリッパーを提供した。すなわち、本
件発明者は、支持体と、該支持体に一端が支持されて対
向した一対のフィンガーと、前記一対のフィンガーを開
閉させる開閉手段としての、前記一対のフィンガーに形
成したコイル層と、前記支持体の表面に形成された複数
の電極パットと、を備えたマイクログリッパーを提供し
た。このマイクログリッパーでは、外部磁場下に配置し
て前記電極パットを介して前記コイル層に電流を流すこ
とにより発生するローレンツ力で、前記フィンガーが開
閉動作をするものである。

【０００４】そして、前述の実際の微細作業において
は、マイクログリッパーをホルダーに取り付け（保持さ
せ）、さらに該ホルダーを３次元の油圧駆動型マニピュ
レータの移動部の先端に固定し、把持対象とマイクログ
リッパーのフィンガーを顕微鏡下或いはテレビモニター
に映し出した顕微イメージで観察しつつ、該油圧駆動型
マニピュレータのマスター入力装置（ジョイスティッ
ク）を用いてマイクログリッパーの全体を移動させなが
ら、さらに人間（オペレータ）の指で駆動するフィンガ
ー駆動用のマスター入力装置を用いてマイクログリッパ
ーを駆動して前記フィンガーに開閉動作を行わせること
によって、前述した微細作業を行ってきた。

【０００５】ここで、従来のマイクログリッパーの一例
について、図９を参照して説明する。図９は、従来のマ
イクログリッパー１を示す斜視図である。

【０００６】このマイクログリッパー１は、図９に示す
ように、支持体５と、支持体５に一端が支持されて対向
した一対のフィンガー６，７と、前記一対のフィンガー
６，７を開閉させる開閉手段としての、各フィンガー
６，７の外側面に形成されたコイル層（駆動用薄膜部
材）８と、を備えている。図９は、マイクログリッパー
１を示す斜視図である。本例では、各フィンガー６，７
は、可撓性プレートから構成され、具体的には、窒化珪
素膜９，１０から構成されている。また、支持体５は、
シリコン層１１と、その両面に形成された窒化珪素膜
９，１０とから構成されている。コイル層８は、支持体
５の上にも延びて、支持体５上に形成された外部との電
気的接続のための電極パット１２，１３に接続されてい
る。なお、コイル層８及び電極パット１２，１３は、同
一の導電材料で構成され、一体化されている。なお、こ
のマイクログリッパー１は、半導体製造技術を用いて製
造することができる。このマイクログリッパー１では、
外部磁場下に配置して各フィンガー６，７のコイル層８
に電流を流すことにより発生するローレンツ力で、フィ
ンガー６，７が撓んで開閉動作をするものである。

【０００７】そして、本件発明者は、前記マイクログリ
ッパー１を図８に示すマイクログリッパー用ホルダー１
２０に取り付けていた。図８は、前記マイクログリッパ
ー１を保持した状態の従来のホルダー１２０を示す概略
側面図である。

【０００８】このホルダ１２０は、プラスチック製の本
体１２１と、スペーサー１２２と、挟持板１２３と、止
めネジ１２４と、金属ネジ１２７とで構成されている。

【０００９】このホルダー１２０によれば、マイクログ
リッパー１を保持するときには、マイクログリッパー１
の支持体５及びスペーサー１２２に挟持板１２３を当接
し、止めネジ１２４を挟持板１２３の挿通孔に挿通して
本体１２１に螺合して締め付ける。これにより、マイク
ログリッパー１の支持体５が本体１２１と挟持板１２３
との間に挟持固定される。その後、マイクログリッパー
１の電極パット１２，１３にワイヤーボンディング法に
より取り付けた通電用金線１２５を、導電製ペースト１
２６により金属ネジ１２７に固定する。該金属ネジ１２
７に駆動電流を供給するための金属配線１２９をつな
ぐ。前記ホルダー１２０では、これらの作業を行うこと
により、マイクログリッパー１の保持と、コイル層８へ
の駆動電流の供給が可能となる。

【００１０】なお、図８中、１２８は、前記油圧駆動型
マニピュレータの移動部に固定されているシャフトであ
り、該シャフト１２８にホルダー１２０の本体１２１が
取り付けられている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のホルダー１２０では、マイクログリッパー１をホル
ダー１２０に取り付ける際には前述したような作業を行
わなければならなかったで、その取り付け作業に著しく
手数を要する欠点があった。

【００１２】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、マイクログリッパーのホルダーへの取り付け
作業を簡略化することができるホルダー付きマイクログ
リッパーを提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明の第１の態様によるホルダー付きマイクログ
リッパーは、第１のフィンガー体であって、第１の支持
体と、該第１の支持体に一端が支持された第１のフィン
ガーと、該第１のフィンガーを開閉動作させる駆動手段
と、前記第１の支持体の表面に形成された電極パット
と、を有する第１のフィンガー体と、第２のフィンガー
体であって、第２の支持体と、該第２の支持体に一端が
支持された第２のフィンガーと、該第２のフィンガーを
開閉動作させる駆動手段と、前記第２の支持体の表面に
形成された電極パットと、を有する第２のフィンガー体
と、表面に配線パターンが形成された板状の第１及び第
２のホルダー体と、を備えたものである。そして、前記
第１のフィンガー体の前記第１の支持体が前記第１のホ
ルダー体に接合され、前記第１の支持体の表面に形成さ
れた前記電極パットと前記第１のホルダー体の表面に形
成された配線パターンとの間が電気的に接続され、前記
第２のフィンガー体の前記第２の支持体が前記第２のホ
ルダー体に接合され、前記第２の支持体の表面に形成さ
れた前記電極パットと前記第２のホルダー体の表面に形
成された配線パターンとの間が電気的に接続され、前記
第１のフィンガーと前記第２のフィンガーとが対向する
ように、前記第１のホルダー体と前記第２のホルダー体
とが接合されたものである。

【００１４】本発明の第２の態様によるホルダー付きマ
イクログリッパーは、前記第１の態様によるホルダー付
きマイクログリッパーにおいて、前記第１のホルダー体
及び第２のホルダー体の少なくとも１つが薄肉部を有
し、前記第１のフィンガー体の第１の支持体及び前記第
２のフィンガー体の第２の支持体の少なくとも１つが当
該薄肉部に接合されたものである。

【００１５】本発明の第３態様によるホルダー付きマイ
クログリッパーは、前記第１の態様によるホルダー付き
マイクログリッパーにおいて、前記第１のホルダー体及
び第２のホルダー体の少なくとも１つがテーパー面を持
った薄肉部を有し、前記第１のフィンガー体の第１の支
持体及び前記第２のフィンガー体の第２の支持体の少な
くとも１つが当該薄肉部のテーパー面に接合され、前記
第１のフィンガーと前記第２のフィンガーとの間の間隔
が前記第１及び第２のフィンガーの先端に向かうほど小
さいものである。

【００１６】本発明の第４態様によるホルダー付きマイ
クログリッパーは、前記第１乃至第３のいずれかの態様
によるホルダー付きマイクログリッパーの製造方法であ
って、支持体と、支持体に一端が支持されたフィンガー
と、該フィンガーを開閉動作させる駆動手段と、前記支
持体の表面に形成された電極パットと、を有するフィン
ガー体が、複数並列して連結され、各フィンガー体間に
分離溝が形成されてなる、フィンガー並列体を用意する
工程と、表面に配線パターンが形成された板状のホルダ
ー体が複数並列して連結され、各ホルダー体間に分離溝
が形成されてなる、ホルダー並列体を用意する工程と、
前記フィンガー並列体の分離溝と前記ホルダー並列体の
分離溝との位置を合わせて、前記フィンガー並列体を前
記ホルダー並列体に接合する工程と、前記フィンガー並
列体の各々のフィンガー体の電極パットと前記ホルダー
並列体の対応するホルダー体の配線パターンとを電気的
に接続する工程と、前記各分離溝に沿って、１つのフィ
ンガー体と１つのホルダー体とが接合された状態の個々
の接合体に分離する工程と、前記２つの接合体のホルダ
ー体同士を接合する工程と、を備えたものである。

【００１７】本発明の第５の態様によるホルダー付きマ
イクログリッパーは、前記第１乃至第３のいずれかの態
様によるホルダー付きマイクログリッパーの製造方法で
あって、第１の支持体と、第１の支持体に一端が支持さ
れた第１のフィンガーと、該第１のフィンガーを開閉動
作させる駆動手段と、前記第１の支持体の表面に形成さ
れた電極パットと、を有する第１のフィンガー体が、複
数並列して連結され、各第１のフィンガー体間に分離溝
が形成されてなる、第１のフィンガー並列体を用意する
工程と、表面に配線パターンが形成された板状の第１の
ホルダー体が複数並列して連結され、各第１のホルダー
体間に分離溝が形成されてなる、第１のホルダー並列体
を用意する工程と、前記第１のフィンガー並列体の分離
溝と前記第１のホルダー並列体の分離溝との位置を合わ
せて、前記第１のフィンガー並列体を前記第１のホルダ
ー並列体に接合する工程と、前記第１のフィンガー並列
体の各々の第１のフィンガー体の電極パットと前記第１
のホルダー並列体の対応する第１のホルダー体の配線パ
ターンとを電気的に接続する工程と、前記各分離溝に沿
って、１つの第１のフィンガー体と１つの第１のホルダ
ー体とが接合された状態の個々の第１の接合体に分離す
る工程と、第２の支持体と、第２の支持体に一端が支持
された第２のフィンガーと、該第２のフィンガーを開閉
動作させる駆動手段と、前記第２の支持体の表面に形成
された電極パットと、を有する第２のフィンガー体が、
複数並列して連結され、各第２のフィンガー体間に分離
溝が形成されてなる、第２のフィンガー並列体を用意す
る工程と、表面に配線パターンが形成された板状の第２
のホルダー体が複数並列して連結され、各第２のホルダ
ー体間に分離溝が形成されてなる、第２のホルダー並列
体を用意する工程と、前記第２のフィンガー並列体の分
離溝と前記第２のホルダー並列体の分離溝との位置を合
わせて、前記第２のフィンガー並列体を前記第２のホル
ダー並列体に接合する工程と、前記第２のフィンガー並
列体の各々の第２のフィンガー体の電極パットと前記第
２のホルダー並列体の対応する第２のホルダー体の配線
パターンとを電気的に接続する工程と、前記各分離溝に
沿って、１つの第２のフィンガー体と１つの第２のホル
ダー体とが接合された状態の個々の第２の接合体に分離
する工程と、前記第１の接合体の第１のホルダー体と前
記第２の接合体の第２のホルダー体とを接合する工程
と、を備えたものである。

【００１８】

【作用】前記第１乃至第３の態様によれば、第１のフィ
ンガー体の第１の支持体を第１のホルダー体に接合し、
第１の支持体の表面に形成された電極パットと第１のホ
ルダー体の表面に形成された配線パターンとの間を電気
的に接続し、第２のフィンガー体の第２の支持体を第２
のホルダー体に接合し、第２の支持体の表面に形成され
た電極パットと第２のホルダー体の表面に形成された配
線パターンとの間を電気的に接続し、第１のフィンガー
と第２のフィンガーとが対向するように、第１のホルダ
ー体と第２のホルダー体とを接合することによって、製
造することができる。

【００１９】このような作業は、図８図に示すようにし
てマイクログリッパーをホルダーに取り付ける従来の場
合に比べて、手数を要さず、簡単である。

【００２０】前記第２の態様のように、前記第１のホル
ダー体及び第２のホルダー体の少なくとも１つが薄肉部
を有し、前記第１のフィンガー体の第１の支持体及び前
記第２のフィンガー体の第２の支持体の少なくとも１つ
が当該薄肉部に接合されれば、第１及び第２のフィンガ
ー体間の間隔が不必要に大きくならないので、第１及び
第２のフィンガーの把持動作に支障を来すおそれがな
く、好ましい。この場合、薄肉部の厚みを薄くするにも
限界があるので、前記第３の態様のように、薄肉部にテ
ーパー面を持たせ、第１のフィンガーと第２のフィンガ
ーとの間の間隔を第１及び第２のフィンガーの先端に向
かうほど小さくすると、一層好ましい。

【００２１】前記第４及び第５の態様によれば、複数の
フィンガー体と複数のホルダー体との接合や、複数のフ
ィンガー体と複数のホルダー体との間の電気的接合を、
一括して行うことができるので、一層効率良くホルダー
付きマイクログリッパーを製造することができる。

【００２２】

【実施例】以下、本発明の一実施例によるホルダー付き
マイクログリッパーについて、図１及び図２を参照して
説明する。

【００２３】図１は本発明の一実施例によるホルダー付
きマイクログリッパーを示す図であり、図１（ａ）はそ
の正面図、図１（ｂ）は図１（ａ）中のＩ−Ｉ矢視図で
ある。図２は、第１のフィンガー体２１を示す斜視図で
ある。

【００２４】本実施例によるホルダー付きマイクログリ
ッパーは、図１に示すように、第１及び第２のフィンガ
ー体２１，２２と、板状の第１及び第２のホルダー体２
３，２４とを備えている。

【００２５】本実施例では、第１のフィンガー体２１
は、図２に示すように、支持体２５と、支持体２５に一
端が支持されたフィンガー２６と、フィンガー２６を開
閉動作させる駆動手段としての、フィンガー２６の外側
面に形成されたコイル層（駆動用薄膜部材）２８と、を
備えている。本実施例では、フィンガー２６は、可撓性
プレートから構成され、具体的には、窒化珪素膜２９か
ら構成されている。また、支持体２５は、シリコン層３
１と、その両面に形成された窒化珪素膜２９，３０とか
ら構成されている。コイル層２８は、支持体２５の上に
も延びて、支持体２５上に形成された外部との電気的接
続のための電極パット３２，３３に接続されている。な
お、コイル層２８及び電極パット３２，３３は、同一の
導電材料で構成され、一体化されている。なお、この第
１のフィンガー体２１は、半導体製造技術を用いて製造
することができる。この第１のフィンガー体２１では、
外部磁場下に配置して第１のフィンガー２６のコイル層
２８に電流を流すことにより発生するローレンツ力で、
フィンガー２６が撓んで開閉動作をするものである。

【００２６】第２のフィンガー体２２も、第１のフィン
ガー体２１と同様に構成されている。ただし、第２のフ
ィンガー体２２は、第１のフィンガー体２１と対称的に
構成されている。図１において、第１のフィンガー体２
１の構成要素と対応する第２のフィンガー体２２の構成
要素には、同一符号を付している。

【００２７】本実施例では、第１のホルダー体２３は、
長方形状の絶縁板で構成されている。例えば、この材料
としては、セラミックやプラスチック等を用いることが
できる。第１のホルダー体２３の表面には、配線パター
ン３５，３６が形成されている。配線パターン３５，３
６の両端には、電極パット３７，３８，３９，４０が形
成されている。また、第１のホルダー体２３の一方端部
側には、数度のテーパー角度のテーパー面４１ａを持っ
た薄肉部４１が形成されている。もっとも、薄肉部４１
は必ずしもテーパー面４１ａを持っていなくてもよい
し、第１のホルダー体２３に必ずしも薄肉部４１を形成
しておかなくてもよい。

【００２８】第２のホルダー体２４も、第１のホルダー
体２３と同様に構成されている。図１において、第１の
ホルダー体２３の構成要素と対応する第２のホルダー体
２４の構成要素には、同一符号を付している。

【００２９】本実施例では、第１のフィンガー体２１が
第１のホルダー体２３の薄肉部４１のテーパー面４１ａ
に接着剤等により接合され、同様に、第２のフィンガー
体２２が第２のホルダー体２４の薄肉部４１のテーパー
面４１ａに接着剤等により接合されている。

【００３０】また、本実施例では、第１のフィンガー体
２１の支持体２５上の電極パット３２，３３と第１のホ
ルダー体２３上の電極パット３９，３７との間にそれぞ
れ金線４２，４３がワイヤーボンディング法により接続
されている。同様に、第２のフィンガー体２２の支持体
２５上の電極パット３２，３３と第２のホルダー体２４
上の電極パット３９，３７との間もそれぞれ金線４２，
４３により接続されている。

【００３１】さらに、第１のフィンガー体２１のフィン
ガー２６と第２のフィンガー体２２のフィンガー体２６
とが対向するように、第１のホルダー体２３と第２のホ
ルダー体２４とが接着剤等により接合されている。

【００３２】図１に示すホルダー付きマイクログリッパ
ーは、第１のフィンガー体２１の支持体２５を第１のホ
ルダー体２３に接合し、第１のフィンガー体２１の支持
体２５の表面に形成された電極パット３２，３３と第１
のホルダー体２３の表面に形成された電極パット３９，
３７との間を金線４２，４３で接続し、第２のフィンガ
ー体２２の支持体２５を第２のホルダー体２４に接合
し、第２のフィンガー体２２の支持体２５の表面に形成
された電極パット３２，３３と第２のホルダー体２４の
表面に形成された電極パット３９，３７との間を金線４
２，４３で接続しし、第１のフィンガー体２１のフィン
ガー２６と第２のフィンガー体２２のフィンガー２６と
が対向するように、第１のホルダー体２３と第２のホル
ダー体２４とを接合することによって、製造することが
できる。すなわち、これにより、ホルダーにマウントさ
れた状態のマイクログリッパーが得られる。

【００３３】このような作業は、図８図に示すようにし
てマイクログリッパーをホルダーに取り付ける従来の場
合に比べて、手数を要さず、簡単である。

【００３４】図１に示すホルダー付きマイクログリッパ
ーは、実際の使用にあたっては、ホルダー体２３，２４
におけるフィンガー体２１，２２と反対側の端部を、例
えば、図３に示すコネクタ９０に差し込んで固定するこ
とができる。図３は、コネクタ９０を示す概略斜視図で
ある。このコネクタ９０は、接点となる金属バネ９１を
もち、該金属バネ９１が第１及び第２のホルダー体２
３，２４上に形成した電極パット２８，４０と接触し、
電気的な接続をとることが可能となっている。なお、導
線９２が個々の金属バネ９１と接続されており、必要に
応じて駆動電源や計測機器等の外部機器と接続を取るこ
とが可能となっている。なお、図３中、９３は、油圧駆
動型マニピュレータ等の移動装置の移動部に固定されて
いるシャフトであり、該シャフト９３にコネクタ９０が
取り付けられている。

【００３５】次に、本発明の他の実施例によるホルダー
付きマイクログリッパーについて、図４を参照して説明
する。

【００３６】図４は本発明の一実施例によるホルダー付
きマイクログリッパーを示す図であり、図４（ａ）はそ
の正面図、図４（ｂ）は図４（ａ）中のＩＶ−ＩＶ矢視
図である。図４において、図１に示す構成要素と同一又
は対応する構成要素には同一符号を付し、その説明は省
略する。

【００３７】図４に示すマイクログリッパーが図１に示
すマイクログリッパーと主として異なる所は、図４に示
すマイクログリッパーでは、図１に示すマイクログリッ
パーと異なり、第１のフィンガー体２１の支持体２５の
幅と第１のホルダー体２３の幅とが同一であり、第２の
フィンガー体２２の支持体２５の幅と第２のホルダー体
２４の幅とが同一である点である。その他、両者は、電
極パット３２，３３，３７〜４０及び配線パターン２
８，３５，３６の配置も若干異なっているが、実質的に
は同一である。

【００３８】図４に示すマイクログリッパーでは、第１
のフィンガー体２１の支持体２５の幅と第１のホルダー
体２３の幅とが同一であり、第２のフィンガー体２２の
支持体２５の幅と第２のホルダー体２４の幅とが同一で
あるので、以下に説明する方法により製造することがで
きる。

【００３９】次に、図４に示すマイクログリッパーの製
造方法の一例について、図５乃至７を参照して説明す
る。

【００４０】まず、図５（ａ）（ｂ）に示すように、第
１のフィンガー体２１が複数並列して連結され、各第１
のフィンガー体２１間に分離溝７０が形成されてなる、
第１のフィンガー並列体６１を用意する。また、図５
（ｃ）（ｄ）に示すように、第２のフィンガー体２２が
複数並列して連結され、各第２のフィンガー体２２間に
分離溝７０が形成されてなる、第２のフィンガー並列体
６２を用意する。

【００４１】図５（ａ）はフィンガー並列体６１を示す
正面図、図５（ｂ）は図５（ａ）中のＡ−Ａ矢視図、図
５（ｃ）はフィンガー並列体６２を示す正面図、図５
（ｄ）は図５（ｃ）中のＢ−Ｂ矢視図である。

【００４２】フィンガー並列体６１，６２は、例えば、
次のようにして用意することができる。

【００４３】まず、（１００）面方位のｎ型シリコン基
板の両面に、低圧気相成長法によりジクロルシランとア
ンモニアガスを原料として窒化珪素膜を成膜する。次
に、基板の上面の窒化珪素膜の上面に金、アルミニウ
ム、銅等の金属層をリフトオフ法などによりパターニン
グすることによって、フィンガー並列体６１，６２のコ
イル層２８、配線パターン２８及び電極パット３２，３
３を形成する。その後、基板の両面の窒化珪素膜にフィ
ンガー並列体６１，６２のフィンガー２６の形状及び支
持体２５の形状に合わせて、フォトリソグラフィ法及び
ドライエッチング法によりパターニングを施す。このと
き、同時に、上面の窒化珪素膜には、分離溝７０の形状
にあわせてパターニングして、シリコン基板を露出させ
る開口を形成しておく。その後、この状態の基板をテト
ラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＭＡＨ）
水溶液又は水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液等の異方性
エッチング液に浸漬し、前記パターニングにより露出し
た不要なシリコン部分のみを溶出する。このエッチング
により、同時に、上面の窒化珪素膜の前記開口から露出
した基板の部分に、該開口に連続する溝が分離溝７０と
して自動的に形成される。このようにして、フィンガー
並列体６１，６２が得られる。

【００４４】また、図６に示すように、表面に配線パタ
ーン３５，３６が形成された板状のホルダー体２３が複
数並列して連結され、各フィンガー体間に分離溝が形成
されてなる、第１及び第２のホルダー並列体７１，７２
を用意する。本実施例では、第１のホルダー体２３と第
２のホルダー体２４とは全く同一であるので、第１及び
第２のホルダー並列体７１，７２も全く同一である。

【００４５】なお、図６（ａ）はホルダー並列体７１，
７２を示す正面図、図６（ｂ）は図６（ａ）中のＣ−Ｃ
矢視図である。

【００４６】ホルダー並列体７１，７２は、例えば、セ
ラミックやプラスチック等の絶縁板上にスクリーン印刷
により配線パターン３５，３６及び電極パット３７〜４
０を形成し、切削加工によりテーパー面４１ａを有する
薄肉部４１及び分離溝８０を形成することによって、得
ることができる。

【００４７】その後、図７に示すように、フィンガー並
列体６１の分離溝７０とホルダー並列体７１の分離溝８
０との位置を合わせて、図５（ａ）（ｂ）に示すフィン
ガー並列体６１を図６に示すホルダー並列体７１の薄肉
部４１のテーパー面４１ａに接着剤等により接合し、フ
ィンガー並列体６１の各々のフィンガー２１の電極パッ
ト３２，３３とホルダー並列体７１の対応するホルダー
体２３の電極パット３９，３７とを、ワイヤーボンディ
ング加工により金線４２，４３で接続する。その後、各
分離溝７０，８０に沿って、１つの第１のフィンガー体
２１と１つの第１のホルダー体２３とが接合された状態
の個々の第１の接合体に分離する。なお、図７は図４に
示すホルダー付きマイクログリッパーの製造過程を示す
図であり、図７（ａ）はその正面図、図７（ｂ）は図７
（ａ）中のＤ−Ｄ矢視図である。

【００４８】同様に、フィンガー並列体６２の分離溝７
０とホルダー並列体７２の分離溝８０との位置を合わせ
て、図５（ｃ）（ｄ）に示すフィンガー並列体６２を図
６に示すホルダー並列体７２の薄肉部４１のテーパー面
４１ａに接着剤等により接合し、フィンガー並列体６２
の各々のフィンガー２２の電極パット３２，３３とホル
ダー並列体７２の対応するホルダー体２３の電極パット
３９，３７とを、ワイヤーボンディング加工により金線
４２，４３で接続する。その後、各分離溝７０，８０に
沿って、１つの第２のフィンガー体２２と１つの第２の
ホルダー体２４とが接合された状態の個々の第２の接合
体に分離する。

【００４９】最後に、フィンガー２６同士が対向するよ
うに、前記第１の接合体の第１のホルダー体２３と前記
第２の接合体の第２のホルダー体２４とを接合する。こ
れにより、図４に示すホルダー付きマイクログリッパー
が完成する。

【００５０】この製造方法によれば、複数のフィンガー
体２１，２２と複数のホルダー体２３，２４との接合
や、複数のフィンガー体２１，２２と複数のホルダー体
２３，２４との間の電気的接合を、一括して行うことが
できるので、一層効率良くホルダー付きマイクログリッ
パーを製造することができる。

【００５１】以上、本発明の各実施例について説明した
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。

【００５２】例えば、前記実施例では、フィンガーを開
閉動作させる駆動手段としてコイル層２８が設けられて
いたが、駆動手段として、フィンガーを構成する可撓性
プレートと異なる線膨張係数を有する駆動用薄膜部材を
フィンガー設け、該駆動用薄膜駆動用部材に通電して発
生したジュール熱により、バイメタル効果によりフィン
ガーを開閉させるマイクログリッパーを構成してもよ
い。また、フィンガーに金属探針を設け把持物質の電気
的な特性を計測するマイクログリッパーや、フィンガー
に微小熱電対を具備し把持物質の温度計測が可能なマイ
クログリッパーや、フィンガーに微小ヒーターを一体具
備し把持物質を局所的に加熱可能なマイクログリッパー
などを構成してもよい。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
マイクログリッパーのホルダーへの取り付け作業を簡略
化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例によるホルダー付きマイクロ
グリッパーを示す図であり、（ａ）はその正面図、
（ｂ）は（ａ）中のＩ−Ｉ矢視図である。

【図２】フィンガー体を示す斜視図である。

【図３】コネクタを示す概略斜視図である。

【図４】本発明の他の実施例によるホルダー付きマイク
ログリッパーを示す図であり、（ａ）はその正面図、
（ｂ）は（ａ）中のＩＶ−ＩＶ矢視図である。

【図５】フィンガー並列体を示す図であり、（ａ）は１
つのフィンガー並列体を示す正面図、（ｂ）は（ａ）中
のＡ−Ａ矢視図、（ｃ）は他のフィンガー並列体を示す
正面図、（ｄ）は（ｃ）中のＢ−Ｂ矢視図である。

【図６】ホルダー並列体を示す図であり、（ａ）はその
正面図、（ｂ）は（ａ）中のＣ−Ｃ矢視図である。

【図７】図４に示すホルダー付きマイクログリッパーの
製造過程を示す図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）
は（ａ）中のＤ−Ｄ矢視図である。

【図８】マイクログリッパーを保持した状態の従来のホ
ルダーを示す概略側面図である。

【図９】従来のマイクログリッパーを示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

２１ 第１のフィンガー体 ２２ 第２のフィンガー体 ２３ 第１のホルダー体 ２４ 第２のホルダー体 ２５ 支持体 ２６ フィンガー ２８ コイル層 ３２，３３，３７，３８，３９，４０ 電極パット ３５，３６ 配線パターン ４１ 薄肉部 ４１ａ テーパー面 ６１ 第１のフィンガー並列体 ６２ 第２のフィンガー並列体 ７１ 第１のホルダー並列体 ７２ 第２のホルダー並列体

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の支持体と、該第１の支持体に一端
   が支持された第１のフィンガーと、該第１のフィンガー
   を開閉動作させる駆動手段と、前記第１の支持体の表面
   に形成された電極パットと、を有する第１のフィンガー
   体と、 第２の支持体と、該第２の支持体に一端が支持された第
   ２のフィンガーと、該第２のフィンガーを開閉動作させ
   る駆動手段と、前記第２の支持体の表面に形成された電
   極パットと、を有する第２のフィンガー体と、 表面に配線パターンが形成された板状の第１及び第２の
   ホルダー体と、 を備え、 前記第１のフィンガー体の前記第１の支持体が前記第１
   のホルダー体に接合され、 前記第１の支持体の表面に形成された前記電極パットと
   前記第１のホルダー体の表面に形成された配線パターン
   との間が電気的に接続され、 前記第２のフィンガー体の前記第２の支持体が前記第２
   のホルダー体に接合され、 前記第２の支持体の表面に形成された前記電極パットと
   前記第２のホルダー体の表面に形成された配線パターン
   との間が電気的に接続され、 前記第１のフィンガーと前記第２のフィンガーとが対向
   するように、前記第１のホルダー体と前記第２のホルダ
   ー体とが接合された、 ことを特徴とするホルダー付きマイクログリッパー。
2. 【請求項２】 前記第１のホルダー体及び第２のホルダ
   ー体の少なくとも１つが薄肉部を有し、前記第１のフィ
   ンガー体の第１の支持体及び前記第２のフィンガー体の
   第２の支持体の少なくとも１つが当該薄肉部に接合され
   たことを特徴とする請求項１記載のホルダー付きマイク
   ログリッパー。
3. 【請求項３】 前記第１のホルダー体及び第２のホルダ
   ー体の少なくとも１つがテーパー面を持った薄肉部を有
   し、前記第１のフィンガー体の第１の支持体及び前記第
   ２のフィンガー体の第２の支持体の少なくとも１つが当
   該薄肉部のテーパー面に接合され、前記第１のフィンガ
   ーと前記第２のフィンガーとの間の間隔が前記第１及び
   第２のフィンガーの先端に向かうほど小さいことを特徴
   とする請求項１記載のホルダー付きマイクログリッパ
   ー。
4. 【請求項４】 支持体と、支持体に一端が支持されたフ
   ィンガーと、該フィンガーを開閉動作させる駆動手段
   と、前記支持体の表面に形成された電極パットと、を有
   するフィンガー体が、複数並列して連結され、各フィン
   ガー体間に分離溝が形成されてなる、フィンガー並列体
   を用意する工程と、 表面に配線パターンが形成された板状のホルダー体が複
   数並列して連結され、各ホルダー体間に分離溝が形成さ
   れてなる、ホルダー並列体を用意する工程と、 前記フィンガー並列体の分離溝と前記ホルダー並列体の
   分離溝との位置を合わせて、前記フィンガー並列体を前
   記ホルダー並列体に接合する工程と、 前記フィンガー並列体の各々のフィンガー体の電極パッ
   トと前記ホルダー並列体の対応するホルダー体の配線パ
   ターンとを電気的に接続する工程と、 前記各分離溝に沿って、１つのフィンガー体と１つのホ
   ルダー体とが接合された状態の個々の接合体に分離する
   工程と、 前記２つの接合体のホルダー体同士を接合する工程と、 を備えたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに
   記載のホルダー付きマイクログリッパーの製造方法。
5. 【請求項５】 第１の支持体と、第１の支持体に一端が
   支持された第１のフィンガーと、該第１のフィンガーを
   開閉動作させる駆動手段と、前記第１の支持体の表面に
   形成された電極パットと、を有する第１のフィンガー体
   が、複数並列して連結され、各第１のフィンガー体間に
   分離溝が形成されてなる、第１のフィンガー並列体を用
   意する工程と、 表面に配線パターンが形成された板状の第１のホルダー
   体が複数並列して連結され、各第１のホルダー体間に分
   離溝が形成されてなる、第１のホルダー並列体を用意す
   る工程と、 前記第１のフィンガー並列体の分離溝と前記第１のホル
   ダー並列体の分離溝との位置を合わせて、前記第１のフ
   ィンガー並列体を前記第１のホルダー並列体に接合する
   工程と、 前記第１のフィンガー並列体の各々の第１のフィンガー
   体の電極パットと前記第１のホルダー並列体の対応する
   第１のホルダー体の配線パターンとを電気的に接続する
   工程と、 前記各分離溝に沿って、１つの第１のフィンガー体と１
   つの第１のホルダー体とが接合された状態の個々の第１
   の接合体に分離する工程と、 第２の支持体と、第２の支持体に一端が支持された第２
   のフィンガーと、該第２のフィンガーを開閉動作させる
   駆動手段と、前記第２の支持体の表面に形成された電極
   パットと、を有する第２のフィンガー体が、複数並列し
   て連結され、各第２のフィンガー体間に分離溝が形成さ
   れてなる、第２のフィンガー並列体を用意する工程と、 表面に配線パターンが形成された板状の第２のホルダー
   体が複数並列して連結され、各第２のホルダー体間に分
   離溝が形成されてなる、第２のホルダー並列体を用意す
   る工程と、 前記第２のフィンガー並列体の分離溝と前記第２のホル
   ダー並列体の分離溝との位置を合わせて、前記第２のフ
   ィンガー並列体を前記第２のホルダー並列体に接合する
   工程と、 前記第２のフィンガー並列体の各々の第２のフィンガー
   体の電極パットと前記第２のホルダー並列体の対応する
   第２のホルダー体の配線パターンとを電気的に接続する
   工程と、 前記各分離溝に沿って、１つの第２のフィンガー体と１
   つの第２のホルダー体とが接合された状態の個々の第２
   の接合体に分離する工程と、 前記第１の接合体の第１のホルダー体と前記第２の接合
   体の第２のホルダー体とを接合する工程と、 を備えたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに
   記載のホルダー付きマイクログリッパーの製造方法。