JPH08257954A - マイクログリッパー用ホルダー - Google Patents

マイクログリッパー用ホルダー

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JPH08257954A
JPH08257954A JP7096144A JP9614495A JPH08257954A JP H08257954 A JPH08257954 A JP H08257954A JP 7096144 A JP7096144 A JP 7096144A JP 9614495 A JP9614495 A JP 9614495A JP H08257954 A JPH08257954 A JP H08257954A
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JP
Japan
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holder
support
micro gripper
microgripper
micro
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JP7096144A
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Yoshihiko Suzuki
美彦 鈴木
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Nikon Corp
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Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 マイクログリッパーの取り付け及び交換を容
易にする。 【構成】 ホルダー21は、ホルダー本体22と、固定
用バネ部材23と、導電性を有する通電用バネ部材24
とを備える。固定用バネ部材23は、その一方端部がホ
ルダー本体22に固定されるとともに、その他方端部が
マイクログリッパーの支持体を保持すべき位置に延在
し、マイクログリッパーの支持体を挟持する。通電用バ
ネ部材24は、その一方端部がホルダー本体22に固定
されるとともに、その他方端部が、マイクログリッパー
の支持体を保持すべき位置に延在して、支持体が挟持さ
れたときにマイクログリッパーの電極パットにそれぞれ
圧接する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、原生動物・卵細胞・微
小機械部品などの微小物質を把持するマイクログリッパ
ーを保持するマイクログリッパー用ホルダーに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】マイクログリッパーは、顕微鏡下などに
おいて原生物や微小機械素子の把持、移動、組立、変
形、加工、細胞融合等の微細作業をするために用いられ
るものであり、一対のフィンガーを開閉させることによ
り微小物質を把持するものである。
【0003】このようなマイクログリッパーの一例とし
て、本件発明者は、特開平5−253870号公報に開
示されたマイクログリッパーを提供した。すなわち、本
件発明者は、支持体と、該支持体に一端が支持されて対
向した一対のフィンガーと、前記一対のフィンガーを開
閉させる開閉手段としての、前記一対のフィンガーに形
成したコイル層と、前記支持体の表面に形成された複数
の電極パットと、を備えたマイクログリッパーを提供し
た。このマイクログリッパーでは、外部磁場下に配置し
て前記電極パットを介して前記コイル層に電流を流すこ
とにより発生するローレンツ力で、前記フィンガーが開
閉動作をするものである。
【0004】また、前記特開平5−253870号公報
には、静電方式のマイクログリッパーや圧電素子を用い
たマイクログリッパーも開示されている。
【0005】以上説明したマイクログリッパーは、一般
的に、支持体と、該支持体に一端が支持されて対向した
一対のフィンガーと、前記一対のフィンガーを開閉させ
る開閉手段と、前記支持体の表面に形成された複数の電
極パットと、を備えた構成とされている。
【0006】そして、前述の実際の微細作業において
は、マイクログリッパーをホルダーに取り付け(保持さ
せ)、さらに該ホルダーを3次元の油圧駆動型マニピュ
レータの移動部の先端に固定し、把持対象とマイクログ
リッパーのフィンガーを顕微鏡下或いはテレビモニター
に映し出した顕微イメージで観察しつつ、該油圧駆動型
マニピュレータのマスター入力装置(ジョイスティッ
ク)を用いてマイクログリッパーの全体を移動させなが
ら、さらに人間(オペレータ)の指で駆動するフィンガ
ー駆動用のマスター入力装置を用いてマイクログリッパ
ーを駆動して前記フィンガーに開閉動作を行わせること
によって、前述した微細作業を行ってきた。
【0007】ここで、従来のマイクログリッパーの一例
について、図7を参照して説明する。図7は、従来のマ
イクログリッパー1を示す斜視図である。
【0008】このマイクログリッパー1は、図7に示す
ように、支持体5と、支持体5に一端が支持されて対向
した一対のフィンガー6,7と、前記一対のフィンガー
6,7を開閉させる開閉手段としての、各フィンガー
6,7の外側面に形成されたコイル層(駆動用薄膜部
材)8と、を備えている。本例では、各フィンガー6,
7は、可撓性プレートから構成され、具体的には、窒化
珪素膜9,10から構成されている。また、支持体5
は、シリコン層11と、その両面に形成された窒化珪素
膜9,10とから構成されている。コイル層8は、支持
体5の上にも延びて、支持体5上に形成された外部との
電気的接続のための電極パット12,13に接続されて
いる。なお、コイル層8及び電極パット12,13は、
同一の導電材料で構成され、一体化されている。なお、
このマイクログリッパー1は、半導体製造技術を用いて
製造することができる。このマイクログリッパー1で
は、外部磁場下に配置して各フィンガー6,7のコイル
層8に電流を流すことにより発生するローレンツ力で、
フィンガー6,7が撓んで開閉動作をするものである。
【0009】そして、本件発明者は、前記マイクログリ
ッパー1を図6に示すマイクログリッパー用ホルダー1
20に取り付けていた。図6は、前記マイクログリッパ
ー1を保持した状態の従来のホルダー120を示す概略
側面図である。
【0010】このホルダ120ーは、プラスチック製の
本体121と、スペーサー122と、挟持板123と、
止めネジ124と、金属ネジ127とで構成されてい
る。
【0011】このホルダー120によれば、マイクログ
リッパー1を保持するときには、マイクログリッパー1
の支持体5及びスペーサー122に挟持板123を当接
し、止めネジ124を挟持板123の挿通孔に挿通して
本体121に螺合して締め付ける。これにより、マイク
ログリッパー1の支持体5が本体121と挟持板123
との間に挟持固定される。その後、マイクログリッパー
1の電極パット12,13にワイヤーボンディング法に
より取り付けた通電用金線125を、導電製ペースト1
26により金属ネジ127に固定する。該金属ネジ12
7に駆動電流を供給するための金属配線129をつな
ぐ。前記ホルダー120では、これらの作業を行うこと
により、マイクログリッパー1の保持と、コイル層8へ
の駆動電流の供給が可能となる。
【0012】なお、図6中、128は、前記油圧駆動型
マニピュレータの移動部に固定されているシャフトであ
り、該シャフト128にホルダー120の本体121が
取り付けられている。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のホルダー120では、マイクログリッパー1をホル
ダー120に取り付ける際には前述したような作業を行
わなければならなかったので、その取り付け作業に著し
く手数を要する欠点があった。また、ホルダー120と
マイクログリッパー1との間が、金線125によって、
電気的に接続されるのみならず機械的にも結合されてし
まっていたので、マイクログリッパー1の交換も困難で
あった。
【0014】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、マイクログリッパーの取り付け及び交換が極
めて容易となるマイクログリッパー用ホルダーを提供す
ることを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明の第1の態様によるマイクログリッパー用ホ
ルダーは、支持体と、該支持体に一端が支持されて対向
した一対のフィンガーと、該フィンガーを開閉させる開
閉手段と、前記支持体の表面に形成された複数の電極パ
ットとを備えたマイクログリッパーを保持するマイクロ
グリッパー用ホルダーにおいて、ホルダー本体と、一方
端部が前記ホルダー本体に固定されるとともに他方端部
が前記支持体を保持すべき位置に延在し、前記支持体を
挟持する複数の固定用バネ部材と、一方端部が前記ホル
ダー本体に固定されるとともに、他方端部が、前記支持
体を保持すべき位置に延在して、前記支持体が挟持され
たときに前記複数の電極パットにそれぞれ圧接する導電
性を有する複数の通電用バネ部材と、を備えたものであ
る。
【0016】本発明の第2の態様によるマイクログリッ
パー用ホルダーは、前記第1の態様によるマイクログリ
ッパー用ホルダーにおいて、前記複数の固定用バネ部材
のうちの少なくとも1つが前記通電用バネ部材として兼
用されたものである。
【0017】本発明の第3の態様によるマイクログリッ
パー用ホルダーは、前記第1又は第2の態様によるマイ
クログリッパー用ホルダーにおいて、前記複数の固定用
バネ部材のうちの少なくとも1つの前記他方端部の先端
が前記支持体に形成された溝に適合するものである。な
お、この溝は断面V字状の形状を有することが、前記先
端の位置を厳密にする上で、好ましい。
【0018】本発明の第4の態様によるマイクログリッ
パー用ホルダーは、前記第1乃至第3のいずれかの態様
によるマイクログリッパー用ホルダーにおいて、前記ホ
ルダー本体に、前記支持体を挟持したときに前記支持体
の端部と適合する溝を形成したものである。
【0019】本発明の第5の態様によるマイクログリッ
パー用ホルダーは、前記第1乃至第4のいずれかの態様
によるマイクログリッパー用ホルダーにおいて、前記ホ
ルダー本体に、前記通電用バネ部材に電気的に接続され
た配線パターンが形成されたものである。
【0020】本発明の第6の態様によるマイクログリッ
パー用ホルダーは、前記第5の態様によるマイクログリ
ッパー用ホルダーにおいて、前記配線パターンに導線を
電気的に接続するための接続具を更に備えたものであ
る。
【0021】
【作用】本発明の第1乃至第6の態様によるマイクログ
リッパー用ホルダーは、一方端部がホルダー本体に固定
されるとともに他方端部がマイクログリッパーの支持体
を保持すべき位置に延在し、前記支持体を挟持する複数
の固定用バネ部材を有している。したがって、このホル
ダーによれば、マイクログリッパーの支持体を取り付け
る場合には、固定用バネ部材のバネ力を利用することに
より、マイクログリッパーの支持体を固定用バネ部材に
簡単に挟持固定させることができる。
【0022】そして、このホルダーは、一方端部が前記
ホルダー本体に固定されるとともに、他方端部が、前記
支持体を保持すべき位置に延在して、前記支持体が挟持
されたときに前記複数の電極パットにそれぞれ圧接する
導電性を有する複数の通電用バネ部材を有している。し
たがって、マイクログリッパーの支持体を固定用バネ部
材に挟持固定させると同時に、通電用バネ部材がそのバ
ネ力により自動的にマイクログリッパーの電極パットに
圧接する。このため、マイクログリッパーとホルダーと
の間の電気的な接続が自動的に行われ、その接続作業を
全く排除することができる。さらに、通電用バネ部材が
電極パットに圧接されるのみで機械的に結合されるもの
ではなく、また、固定用バネ部材も単にマイクログリッ
パーの支持体を挟持しているにすぎないので、マイクロ
グリッパーの交換も極めて容易である。
【0023】また、前記第2の態様のように、複数の固
定用バネ部材のうちの少なくとも1つを通電用バネ部材
として兼用すれば、バネ部材全体の数を減らすことがで
きるので、好ましい。
【0024】また、前記第3の態様のように、複数の固
定用バネ部材のうちの少なくとも1つの他方端部の先端
がマイクログリッパーの支持体に形成された溝に適合さ
せれば、マイクログリッパーを交換する場合などにおい
て、ホルダーに対するマイクログリッパーの取り付け位
置を厳密にすることができ、好ましい。
【0025】さらに、前記第4の態様のように、ホルダ
ー本体に、マイクログリッパーの支持体を挟持したとき
に前記支持体の端部と適合する溝を形成すれば、マイク
ログリッパーの取り付け位置を厳密にすることができ、
好ましい。
【0026】さらにまた、前記第5の態様のように、ホ
ルダー本体に、前記通電用バネ部材に電気的に接続され
た配線パターンを形成すれば、導線による配線を減らす
ことができ、好ましい。この場合、前記第6の態様のよ
うに、配線パターンに導線を電気的に接続するための接
続具を設けておけば、配線作業を一層効率化することが
できる。
【0027】
【実施例】以下、本発明の一実施例によるマイクログリ
ッパー用ホルダーについて、図1及び図2を参照して説
明する。
【0028】図1は、本発明の一実施例によるマイクロ
グリッパー用ホルダー1を示す図であり、図1(a)は
その斜視図、図1(b)はその正面図である。図2は、
図1に示すマイクログリッパー用ホルダー1にマイクロ
グリッパー51を取り付けた状態を示す図であり、図2
(a)はその正面図、図2(b)はその側面図である。
【0029】まず、本実施例によるマイクログリッパー
用ホルダー21について説明する前に、本実施例による
マイクログリッパー用ホルダー21に取り付けられるマ
イクログリッパー51の一例について、図3を参照して
説明する。
【0030】図3は、このマイクログリッパー51を示
す斜視図である。図3において、図7に示すマイクログ
リッパー1と同一構成要素には同一符号を付し、その説
明は省略する。
【0031】このマイクログリッパー51が図7に示す
従来のマイクログリッパー1と異なる所は、支持体5
に、後述する固定用バネ部材の端部の先端が適合する溝
52が形成されている点のみである。溝52の断面形状
はV字状とされている。
【0032】本実施例によるホルダー21は、ホルダー
本体22と、一方端部がホルダー本体22に固定される
とともに他方端部がマイクログリッパー51の支持体5
を保持すべき位置に延在し、支持体5を挟持する複数の
固定用バネ部材23と、一方端部がホルダー本体22に
固定されるとともに、他方端部が、支持体5を保持すべ
き位置に延在して、支持体5が挟持されたときに複数の
電極パット12,13にそれぞれ圧接する導電性を有す
る複数の通電用バネ部材24と、を備えている。
【0033】ホルダー本体22は、例えば、プラスチッ
ク材料やセラミック材料を用いて構成することができ
る。また、本実施例では、ホルダー本体22は、直方体
形状に対して矩形状の切欠部を設けたような形状を有し
ている。もっとも、本発明では、ホルダー本体22の形
状は限定されるものではない。
【0034】また、本実施例では、ホルダー本体22に
は、通電用バネ部材24のそれぞれに電気的に接続され
る配線パターン25が形成されている。図面には示して
いないが、通電用バネ部材24は導電性ペースト等を用
いて配線パターン25と接続されている。さらに、配線
パターン25には、外部機器等との間の電気的接続を容
易にするべく、導線を電気的に接続するための接続具と
して、金属ネジ26がホルダー本体22に取り付けられ
ている。このような接続具としてコネクタを設けてもよ
い。
【0035】さらに、本実施例では、ホルダー本体22
に、マイクログリッパー51の支持体5を挟持したとき
に支持体5の端部と適合する溝27が形成されている。
もっとも、ホルダー21に対するマイクログリッパー5
1の取り付け位置が厳密でない場合は、この溝27は必
ずしも形成しなくともよい。
【0036】また、本実施例では、固定用バネ部材23
として、ベリリウムカッパー等の材料からなる板バネを
用いている。もっとも、固定用バネ部材23の材質はこ
れに限定されるものではないし、また、固定用バネ部材
23は、必ずしも板バネである必要はないし、導電性を
有していなくてもよい。
【0037】なお、バネ部材23,24のホルダー本体
22への固定は、接着剤を用いたり、ネジを用いたり、
任意の方法で行うことができる。例えば、ホルダー本体
22がプラスチック材料等で構成されている場合は、予
めバネ部材23,24の周囲の適位置にホルダー本体2
2から一体に形成した突起を設けておき、バネ部材2
3,24の固定時に当該突起を加熱して変形させた後に
固化させることによって、バネ部材23,24をホルダ
ー本体22に固定することができる。
【0038】なお、図1及び図2中、28は、油圧駆動
型マニピュレータの移動部に固定されているシャフトで
あり、該シャフト28にホルダー本体22が取り付けら
れている。
【0039】以上説明した本実施例によるホルダー21
によれば、マイクログリッパー1の支持体5を取り付け
る場合には、固定用バネ部材23のバネ力を利用するこ
とにより、マイクログリッパー1の支持体5を固定用バ
ネ部材5に簡単に挟持固定させることができる。
【0040】そして、マイクログリッパー1の支持体5
を固定用バネ部材23に挟持固定させると同時に、通電
用バネ部材24がそのバネ力により自動的にマイクログ
リッパー1の電極パット12,13に圧接する。このた
め、マイクログリッパー1とホルダー21との間の電気
的な接続が自動的に行われ、その接続作業を全く排除す
ることができる。さらに、通電用バネ部材24が電極パ
ット12,13に圧接されるのみで機械的に結合される
ものではなく、また、固定用バネ部材23も単にマイク
ログリッパー1の支持体5を挟持しているにすぎないの
で、マイクログリッパー1の交換も極めて容易である。
【0041】また、本実施例では、固定用バネ部材23
の先端がマイクログリッパー1の支持体5に形成された
溝に適合させれば、マイクログリッパー1を交換する場
合などにおいて、ホルダー21に対するマイクログリッ
パー1の取り付け位置を厳密にすることができ、好まし
い。
【0042】さらに、本実施例では、ホルダー本体22
には、支持体5の端部と適合する溝27が形成されてい
るので、マイクログリッパーの取り付け位置を厳密にす
ることができ、好ましい。
【0043】さらにまた、本実施例では、ホルダー本体
22に、通電用バネ部材24に電気的に接続された配線
パターン25が形成されているので、導線による配線を
減らすことができ、好ましい。そして、配線パターン2
5に導線を電気的に接続するための金属ネジ26が設け
られているので、外部機器等との間の配線作業を一層効
率化することができる。
【0044】本実施例によるホルダー21には、図7に
示すように、前記溝52のないマイクログリッパー1で
あっても取り付けることができる。
【0045】また、本実施例によるホルダー21には、
図4に示すフィンガー体61と、該フィンガー体61と
対称に構成されたフィンガー体(図示せず)とを、単に
背合わせにするのみで接着せずに、単に差し込むだけで
取り付けることもできる。なお、図4に示すフィンガー
体61は、図3に示すマイクログリッパー51を実質的
に2分割したような構成となっており、図4において図
3中の構成要素と同一又は対応する要素には同一符号を
付し、その説明は省略する。
【0046】さらに、前述したマイクログリッパー21
では、電極パット12,13の数が全部で4つであった
が、電気的なあるいは熱的な計測機能や、把持試料の加
熱機能を有したマイクログリッパーでは、駆動電流の供
給だけではなく計測や加熱などのための電気的な接続用
の電極パットも備えることになる。この場合には、その
電極パットに合わせて、前記通電用バネ部材24、配線
パターン25及び金属ネジ26の数を増やせばよい。
【0047】次に、本発明の他の実施例によるマイクロ
グリッパー用ホルダー71について、図5を参照して説
明する。
【0048】図5は、本発明の一実施例によるマイクロ
グリッパー用ホルダー71にマイクログリッパー51を
取り付けた状態を示す図であり、図5(a)はその正面
図、図5(b)はその側面図である。
【0049】図5において、図1及び図2に示す構成要
素と同一又は対応する構成要素には、同一符号を付し、
その説明は省略する。
【0050】図5に示すホルダー71が図1及び図2に
示すホルダー21と異なる所は、固定用バネ部材23が
削除され、通電用バネ部材24が固定用バネ部材として
兼用されている点と、図1及び図2中の溝27が削除さ
れている点である。なお、図5に示すマイクログリッパ
ー51では、溝52が削除され、電極パット12,13
の位置も若干変更されている。
【0051】図5に示すホルダー71では、図1及び図
2に示すホルダー21に比べて、バネ部材全体の数を減
らすことができるので、好ましい。
【0052】以上、本発明の各実施例について説明した
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。
【0053】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
マイクログリッパーの取り付け及び交換が極めて容易と
なる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例によるマイクログリッパー用
ホルダーを示す図であり、(a)はその斜視図、(b)
はその正面図である。
【図2】図1に示すマイクログリッパー用ホルダーにマ
イクログリッパーを取り付けた状態を示す図であり、
(a)はその正面図、(b)はその側面図である。
【図3】マイクログリッパーの一例を示す斜視図であ
る。
【図4】フィンガー体の一例を示す斜視図である。
【図5】本発明の他の実施例によるマイクログリッパー
用ホルダーにマイクログリッパーを取り付けた状態を示
す図であり、(a)はその正面図、(b)はその側面図
である。
【図6】マイクログリッパーを保持した状態の従来のマ
イクログリッパー用ホルダーを示す概略側面図である。
【図7】従来のマイクログリッパーを示す斜視図であ
る。
【符号の説明】
1,51 マイクログリッパー 5 支持体 6,7 フィンガー 8 配線パターン 12,13 電極パット 21,71 ホルダー 22 ホルダー本体 23 固定用バネ部材 24 通電用バネ部材 25 配線パターン 26 金属ネジ 27 溝 52 溝 61 フィンガー体

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 支持体と、該支持体に一端が支持されて
    対向した一対のフィンガーと、該フィンガーを開閉させ
    る開閉手段と、前記支持体の表面に形成された複数の電
    極パットとを備えたマイクログリッパーを保持するマイ
    クログリッパー用ホルダーにおいて、 ホルダー本体と、 一方端部が前記ホルダー本体に固定されるとともに他方
    端部が前記支持体を保持すべき位置に延在し、前記支持
    体を挟持する複数の固定用バネ部材と、 一方端部が前記ホルダー本体に固定されるとともに、他
    方端部が、前記支持体を保持すべき位置に延在して、前
    記支持体が挟持されたときに前記複数の電極パットにそ
    れぞれ圧接する導電性を有する複数の通電用バネ部材
    と、 を備えたことを特徴とするマイクログリッパー用ホルダ
    ー。
  2. 【請求項2】 前記複数の固定用バネ部材のうちの少な
    くとも1つが前記通電用バネ部材として兼用されたこと
    を特徴とする請求項1記載のマイクログリッパー用ホル
    ダー。
  3. 【請求項3】 前記複数の固定用バネ部材のうちの少な
    くとも1つの前記他方端部の先端が前記支持体に形成さ
    れた溝に適合することを特徴とする請求項1又は2記載
    のマイクログリッパー用ホルダー。
  4. 【請求項4】 前記ホルダー本体に、前記支持体を挟持
    したときに前記支持体の端部と適合する溝を形成したこ
    とを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のマイ
    クログリッパー用ホルダー。
  5. 【請求項5】 前記ホルダー本体に、前記通電用バネ部
    材に電気的に接続された配線パターンが形成されたこと
    を特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のマイク
    ログリッパー用ホルダー。
  6. 【請求項6】 前記配線パターンに導線を電気的に接続
    するための接続具を更に備えたことを特徴とする請求項
    5記載のマイクログリッパー用ホルダー。
JP7096144A 1995-03-29 1995-03-29 マイクログリッパー用ホルダー Pending JPH08257954A (ja)

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Citations (4)

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JPS62145899A (ja) * 1985-12-20 1987-06-29 松下電器産業株式会社 電子部品装着装置
JPH04123085U (ja) * 1991-04-25 1992-11-06 ビー・エル・オートテツク株式会社 電気コネクタ
JPH05154784A (ja) * 1991-12-05 1993-06-22 Mishima Kosan Co Ltd 電気コネクタ
JPH05253870A (ja) * 1992-03-09 1993-10-05 Nikon Corp マイクログリッパー

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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