JP2008021540A - シールドカバー、微細駆動装置、ナノピンセット装置および試料観察装置 - Google Patents
シールドカバー、微細駆動装置、ナノピンセット装置および試料観察装置 Download PDFInfo
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- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 239000010974 bronze Substances 0.000 abstract description 4
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】ナノピンセットホルダ11のナノピンセット1にシールドカバー300を被せる。これにより、FIB装置使用時における装置から放射される集束イオンビーム、試料から放射される反射電子や二次電子によるナノピンセット1のチャージアップを防止する。シールドカバー300は、表カバー310と裏カバー320とからなる。表カバー310および裏カバー320は、りん青銅などの金属材料からなる。
【選択図】図6
Description
(2)請求項2の発明は、請求項1の微細駆動装置において、微細駆動部は静電アクチュエータであることを特徴とする。
(3)請求項3の発明は、請求項1または2に記載の微細駆動装置において、シールドカバーは、微細駆動部の上下面を覆うように構成されていることを特徴とする。
(4)請求項4の発明の試料観察装置は、請求項1乃至3の微細駆動装置と、微細駆動装置で操作される試料を収容する真空チャンバと、真空チャンバ内において、試料に電子ビームを照射する電子銃またはイオンビームを照射するイオンビーム源とを備えることを特徴とする。
(5)請求項5の発明は、請求項4の試料観察装置において、微細駆動装置は静電アクチュエータで駆動されるナノピンセットであることを特徴とする。
(6)請求項6の発明は、請求項4の試料観察装置において、真空チャンバ内に照射源と対向配置され、試料を保持する試料台をさらに備え、ナノピンセットは試料台と照射源との間に配置されることを特徴とする。
(7)請求項7の発明のナノピンセット装置は、静電アクチュエータで駆動されるナノピンセットと、静電アクチュエータを上下面からシールドして電荷のチャージアップを防止するシールドカバーとを備えることを特徴とする。
(8)請求項8の発明は、請求項7のナノピンセット装置において、シールドカバーは一対の上カバーと下カバーとを備え、上下カバーは互いに係合して静電アクチュエータの表裏面を覆い、上下カバーは接地されていることを特徴とする。
(9)請求項9の発明のシールドカバーは、請求項1乃至8のいずれか1項に記載されているものである。
(1)シールドカバー300でナノピンセット1をシールドするので、ナノピンセット1のチャージアップを防止することができる。とくにナノピンセット1の上下面を覆うようにシールドカバー300は構成されているので、ナノピンセット1が用いられる各種の装置から放射される集束イオンビームや電子ビームのみならず、試料から放射される反射電子や二次電子によるナノピンセット1のチャージアップを防止することができる。したがって、チャージアップによりナノピンセット1が動作不良になることはない。また、ナノピンセット1におけるゴミの付着も防止することができる。
(1)シールドカバー300の材料はりん青銅であるが、バネ性が高い金属材料であればりん青銅に限定されない。
(2)ナノピンセット1がチャージアップする照射源であれば集束イオンビームの照射源に限定されず、電子顕微鏡装置のように電子ビームを照射する照射源においても本発明を適用できる。
(3)MEMS(micro electro mechanical systems)素子である微細駆動装置として、ナノピンセット1を一例として説明したが、駆動装置を有する素子であればナノピンセット1に限定されない。
(4)微細駆動部として静電アクチュエータを例示したが、チャージアップにより動作不良を引き起こすようなアクチュエータであれば、静電方式以外のアクチュエータを用いる微細駆動装置にも本発明を適用できる。
3a,3b:アーム 4a,4b:静電アクチュエータ
5a,5b:固定電極 6a,6b:可動電極
7a,7b:支持部 8a,8b:連結部
9a,9b:アーム支持部 10:台座
11:ナノピンセットユニット 30:ホルダ
32:プリント配線 40:ケーブル
50:ナノピンセット装置 51,52:樹脂
300:シールドカバー 310:表カバー
320:裏カバー 350:FIB装置
351:真空チャンバ 352:集束イオンビーム源
353:試料台 354:試料
355:マニピュレータ
Claims (9)
- 微細駆動部を有する微細素子と、
前記微細駆動部をシールドして電荷のチャージアップを防止するシールドカバーとを備えることを特徴とする微細駆動装置。 - 請求項1の微細駆動装置において、
前記微細駆動部は静電アクチュエータであることを特徴とする微細駆動装置。 - 請求項1または2に記載の微細駆動装置において、
前記シールドカバーは、前記微細駆動部の上下面を覆うように構成されていることを特徴とする微細駆動装置。 - 請求項1乃至3の微細駆動装置と、
前記微細駆動装置で操作される試料を収容する真空チャンバと、
前記真空チャンバ内において、前記試料に電子ビームを照射する電子銃またはイオンビームを照射するイオンビーム源とを備えることを特徴とする試料観察装置。 - 請求項4の試料観察装置において、
前記微細駆動装置は静電アクチュエータで駆動されるナノピンセットであることを特徴とする試料観察装置。 - 請求項4の試料観察装置において、
前記真空チャンバ内に前記照射源と対向配置され、前記試料を保持する試料台をさらに備え、
前記ナノピンセットは前記試料台と前記照射源との間に配置されることを特徴とする試料観察装置。 - 静電アクチュエータで駆動されるナノピンセットと、
前記静電アクチュエータを上下面からシールドして電荷のチャージアップを防止するシールドカバーとを備えることを特徴とするナノピンセット装置。 - 請求項7のナノピンセット装置において、
前記シールドカバーは一対の上カバーと下カバーとを備え、上下カバーは互いに係合して前記静電アクチュエータの表裏面を覆い、上下カバーは接地されていることを特徴とするナノピンセット装置。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載のシールドカバー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006192527A JP4658872B2 (ja) | 2006-07-13 | 2006-07-13 | シールドカバー、微細駆動装置、ナノピンセット装置および試料観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006192527A JP4658872B2 (ja) | 2006-07-13 | 2006-07-13 | シールドカバー、微細駆動装置、ナノピンセット装置および試料観察装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008021540A true JP2008021540A (ja) | 2008-01-31 |
JP4658872B2 JP4658872B2 (ja) | 2011-03-23 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006192527A Active JP4658872B2 (ja) | 2006-07-13 | 2006-07-13 | シールドカバー、微細駆動装置、ナノピンセット装置および試料観察装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4658872B2 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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