JP5417428B2 - 電子顕微鏡および試料保持方法 - Google Patents
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Description
2 一次電子加速電極
3 高圧電源
4 電子レンズ
5 絞り
6 走査コイル
7 2次電子検出器
8 電子対物レンズ
9 ウエハ
10 静電チャック
11 Yステージ
12 Xステージ
13 筐体
14 電子ビーム
15 2次電子
16 X−Yステージ
17 コンタクトピン
18 貫通穴
19 絶縁パイプ
20 鍔
21 ボルト
22 カバー
23 コイルバネ
24 スペーサ
25,26 内部電極
27,28 直流電源
29,42 リターディング電源
30 電流計
31 リターディング用スイッチ
32,33 直流電源用スイッチ
34,36 誘電体膜静電容量
35,37 誘電体膜抵抗
38 接触抵抗
39 リターディング電源用スイッチ
40 カバー
41 圧縮部材
43 第二のコンタクトピン
44 導通用電源
45 スイッチ
Claims (10)
- 電子源から放出された電子ビームを、試料支持台上に配置された試料上にて走査する走査電子顕微鏡において、
試料に負電圧を印加することによって、前記電子ビームに対する減速電界を形成する負電圧印加電源と、
複数の内部電極間に電位差を与えて試料に対する吸着力を発生する静電チャック機構と、
前記試料支持台上に、試料を配置したときに、前記試料に接触するように構成された接触端子と、
当該接触端子の接続先を、前記負電圧印加電源とアースとの間で切り替えるスイッチとを備え、
前記静電チャック機構は、前記接触端子が前記試料に接した状態であり、且つ前記スイッチの選択によって、前記接触端子の接続先が前記アースとなっている状態で、前記内部電極間に電位差を生じさせ、
当該電位差を生じさせた後に、前記スイッチの切り替えによって、前記接触端子に前記負電圧印加電源より負の電圧を印加することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記接触端子と、前記負電圧印加電源との間に流通する電流を検出する電流計を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項2において、
前記静電チャック機構は、前記電流計によって検出される電流量が所定の条件を満たさなかった場合に、前記電位差を大きくするように制御されることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記接触端子は、前記試料に対し、弾性部材によって押圧される構成を備えていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記試料に接触する接触端子が2つ設けられることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項5において、
前記2つの接触端子の内、1の接触端子と試料間に、所定の電流が流通しない場合に、前記2つの接触端子の内、他の接触端子から、前記試料に対し、前記負電圧印加電源から負電圧を印加されることを特徴とする電子顕微鏡。 - 静電チャックにより試料を保持しつつ電子ビームを用いて前記試料表面を計測する走査電子顕微鏡において、
リターディング電圧を印加するリターディング電圧電源と、
複数の内部電極間に電位差を与えて試料に対する吸着力を発生する静電チャック機構と、
前記静電チャックの表面から突出するように弾性部材に保持されたコンタクトピンと、
当該コンタクトピンの接続先を、前記リターディング電圧電源と、アースとの間で切り替えるスイッチとを備え、
前記静電チャック機構は、前記コンタクトピンが前記試料に接した状態であり、且つ前記スイッチの切り替えによって、前記コンタクトピンの接続先が前記アースとなっている状態で、前記複数の内部電極に絶対値の異なる直流電圧を印加し、当該絶対値の異なる直流電圧を印加した後に、且つ前記スイッチの切り替えによって、前記コンタクトピンにリターディング電圧を印加することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 内部に複数の電極を備えた静電チャックにより試料を保持しつつ電子ビームを用いて前記試料表面を計測する走査電子顕微鏡の試料保持方法であって、
前記静電チャックの表面から突出するように弾性部材に保持されたコンタクトピンに前記試料を接触させ、且つ前記コンタクトピンの接続先をアースとするステップと、前記コンタクトピンを前記試料に接触させ、且つ前記コンタクトピンの接続先をアースとした状態で、前記静電チャックの内部電極に絶対値の異なる直流電圧を印加するステップと、当該絶対値の異なる直流電圧を印加した後であり、且つ前記スイッチの切り替えによって、少なくとも前記コンタクトピンに対してはリターディング電圧を印加するステップを有することを特徴とする走査電子顕微鏡の試料保持方法。 - 静電チャックにより試料を保持しつつ電子ビームを用いて前記試料表面を計測する走査電子顕微鏡において、リターディング電圧を印加するリターディング電圧電源と、複数の内部電極間に電位差を与えて試料に対する吸着力を発生する静電チャック機構と、前記静電チャックの表面から突出するように弾性部材に保持された少なくとも2つのコンタクトピンと、当該少なくとも2つのコンタクトピンの一方のコンタクトピンの接続先を、前記リターディング電圧電源と、アースとの間に切り替える第1のスイッチと、前記少なくとも2つのコンタクトピンの他方のコンタクトピンをアースに接続するか当該アースから遮断するかを切り替える第2のスイッチとを備え、前記静電チャック機構は、前記少なくとも2つのコンタクトピンが前記試料に接した状態であり、且つ前記第2のスイッチの切り替えによって、前記他方のコンタクトピンの接続先がアースになっている状態で、前記内部電極間に電位差を生じさせ、当該電位差を生じさせた後に、前記第1のスイッチの切り替えによって、前記リターディング電圧電源から前記一方のコンタクトピンに対し、リターディング電圧を印加し、当該一方のコンタクトピンに対するリターディング電圧印加後、前記他方のコンタクトピンを、前記アースから遮断するように、前記第2のスイッチを切り替えることを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 内部に複数の電極を備えた静電チャックにより試料を保持しつつ電子ビームを用いて前記試料表面を計測する走査電子顕微鏡の試料保持方法であって、
該試料保持方法は前記電子ビームを前記試料に照射する以前に、前記静電チャックの表面から突出するように弾性部材に保持された少なくとも2つのコンタクトピンに前記試料を接触させるステップと、前記少なくとも2つのコンタクトピンの一方に接続され、当該一方のコンタクトピンの接続先を、リターディング電圧電源とアースとの間で切り替える第1のスイッチの切り替えによって、当該一方のコンタクトピンが前記アースに接続された状態であり、且つ前記少なくとも2つのコンタクトピンの他方に接続され、当該他方のコンタクトピンを、アースに接続するか当該アースから遮断するかを切り替える第2のスイッチの切り替えによって、当該他方のコンタクトピンの接続先がアースになっている状態で、前記内部電極間に電位差を生じさせるステップと、当該電位差を生じさせた後に、前記一方のコンタクトピンに対してリターディング電圧を印加するように前記第1のスイッチを切り替えるステップと、前記一方のコンタクトピンに対するリターディング電圧印加後、前記他方のコンタクトピンを、前記アースから遮断するように、前記第2のスイッチを切り替えるステップ有することを特徴とする走査電子顕微鏡の試料保持方法。
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