JP7449198B2 - 荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
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Description
<荷電粒子ビーム装置の全体構成、対象物に関する状態>
図1は、実施の形態1に係る荷電粒子ビーム装置の全体的な構成を示すブロック図である。荷電粒子ビーム装置は、複数の機能ブロックを備えているが、図1には説明に必要な機能ブロックのみが描かれている。同図において、1は荷電粒子ビーム装置を示している。荷電粒子ビーム装置1は、荷電粒子源2、表示部5、高電圧発生装置10および静電チャック11_21を備えている。また、図1において、4は対象物を示しており、図1には、対象物4が荷電粒子ビーム装置1に固定された状態が示されている。
図2は、実施の形態1に係る高電圧発生装置の構成を示す回路図である。図2では、11および21が静電チャック11_21を示している。すなわち、静電チャック11_21が、2個の直列接続されたコンデンサにより構成された等価回路として描かれている。ここで、コンデンサの電極11pは、図11で示した+電極11pを示し、コンデンサの電極21pは、図11で示した-電極21pを示している。
次に、計測信号DT100と模擬信号DT111について、図面を用いて説明する。計測信号DT100は、静電チャック電流I100の時系列変化に応じて変化するため、計測信号DT100は、静電チャック電流I100の時系列変化を示していると見なすことができる。
図4は、実施の形態1に係る荷電粒子ビーム装置の動作を示すフローチャート図である。
次に、ステップS106で実行されるエッジ電界調整を説明する。図5は、実施の形態1に係るエッジ電界調整を説明するための図である。図5には、静電チャック11_21において、電極11pに関わる部分が描かれている。電極11pには、図2で説明したように電圧生成部100から高電圧が供給される。なお、図5では、図1に示した電流計測部101は省略されている。図5において、1003は、静電チャック11_21の絶縁体の周辺部に配置されたエッジ電界調整電極を示し、1004は、エッジ電界調整電極用電源を示している。エッジ電界調整電極用電源1004は、電圧源1001と電流制限用の出力抵抗1002とによって構成され、電圧源1001と出力抵抗1002は、エッジ電界調整電極1003と接地電圧Vsとの間で直列的に接続されている。なお、出力抵抗を介して電極11pに接続される電圧源103の極性と、出力抵抗を介してエッジ電界調整電極1003に接続される電圧源1001の極性とは逆になっている。
図2では、電流波形模擬部111等をアナログ回路で構成する例を示したが、これに限定されるものではない。変形例1においては、デジタル回路により構成された状態判別部が提供される。
図2に示した構成では、差分積分部116から出力される積分値と閾値との比較は連続時間で行われていた。変形例2においては、一定時間間隔で、積分値と閾値との比較が行われる。
図9は、実施の形態2に係る荷電粒子ビーム装置の構成を示す回路図である。実施の形態2に係る荷電粒子ビーム装置は、実施の形態1で説明した高電圧発生装置10に加えて負極性の高電圧を発生する負高電圧発生装置20を備えている。
2 荷電粒子源
3 荷電粒子ビーム
4 対象物
5 表示部
10 高電圧発生装置
11_21 静電チャック
100、300 電圧生成部
101 電流計測部
102 出力抵抗
110 状態判別部
111 電流波形模擬部
115 差分出力部
116 差分積分部
119 差分判別部
120 出力電圧制御部
Claims (7)
- 検査対象物を吸着する静電チャックと、
前記静電チャックに供給する電圧を生成する第1電圧生成部と、
前記検査対象物に関する状態を判別する第1状態判別部と、
を備え、
前記第1状態判別部は、
前記静電チャックが、正常に前記検査対象物を吸着した時に、前記第1電圧生成部を流れる静電チャック電流の時系列変化を模擬する、第1電流波形模擬部と、
前記第1電流波形模擬部により生成される模擬電流の時系列変化と、前記第1電圧生成部を流れる静電チャック電流の時系列変化との間の差分の積分値を取得する第1差分積分部と、
前記差分の積分値に基づいて、吸着時における前記検査対象物の状態と、前記検査対象物の形状的特徴とを判別する、第1判定部と、
を備える、荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記検査対象物の形状的特徴を表示またはログ出力する表示部を、さらに備える、荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記第1電流波形模擬部は、CR微分回路またはRL微分回路を備え、前記模擬電流の時系列変化は、前記CR微分回路またはRL微分回路によって生成され、
前記第1差分積分部は、RC積分回路またはLR積分回路を備え、前記差分の積分値は、前記RC積分回路またはLR積分回路によって生成される、荷電粒子ビーム装置。 - 請求項3に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記差分の積分値は、一定時間ごとに取得される、荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記第1電流波形模擬部および前記第1差分積分部は、デジタル回路によって構成されている、荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記第1電圧生成部が生成する電圧の極性とは異なる極性の電圧を生成し、前記静電チャックに供給する第2電圧生成部と、
前記検査対象物に関する状態を判別する第2状態判別部と、
を、さらに備え、
前記第2状態判別部は、
前記静電チャックが、正常に前記検査対象物を吸着した時に、前記第2電圧生成部を流れる静電チャック電流の時系列変化を模擬する、第2電流波形模擬部と、
前記第2電流波形模擬部により生成される模擬電流の時系列変化と、前記第2電圧生成部を流れる静電チャック電流の時系列変化との間の差分の積分値を取得する第2差分積分部と、
前記差分の積分値に基づいて、吸着時における前記検査対象物の状態と、前記検査対象物の形状的特徴とを判別する、第2判定部と、
を備える、荷電粒子ビーム装置。 - 請求項6に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記検査対象物は、半導体ウェハである、荷電粒子ビーム装置。
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