JP3433261B2 - 粒子線検査方法 - Google Patents
粒子線検査方法Info
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/305—Contactless testing using electron beams
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、粒子線が試料の１つの
測定個所に向けられ、またその結果として二次電子が形
成され、二次電子の一部分が少なくとも１つの逆電界電
極を通過して検出器に到達し、またそこで検出器電流を
生じさせ、検出器電流が特定の測定個所における試料電
圧と逆電界電極の逆電圧に関係し、また試料電圧の変化
の際に逆電圧が追従する粒子線検査方法に関する。
測定個所に向けられ、またその結果として二次電子が形
成され、二次電子の一部分が少なくとも１つの逆電界電
極を通過して検出器に到達し、またそこで検出器電流を
生じさせ、検出器電流が特定の測定個所における試料電
圧と逆電界電極の逆電圧に関係し、また試料電圧の変化
の際に逆電圧が追従する粒子線検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】この形式の方法はＳＰＩＥの論文集、Ｔ
ｈｅ ＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌＳｏｃｉｅｔｙ ｏ
ｆ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ、１９８
６年３月１１、１２日、サンタクララ、ＵＳＡ、第６３
２巻、第２３２〜２３６頁から知られている。これは”
ソフトウェア−制御ループ”を有する定量的電圧測定の
ための電子線検査方法である。制御ループはたとえば、
検出器電流が予め定められた参照電流に等しくなり、ま
た測定すべき試料電圧と設定されている逆電圧との間に
直線的関係が存在するように、追従すべき逆電圧を生ず
るべく作用する。
ｈｅ ＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌＳｏｃｉｅｔｙ ｏ
ｆ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ、１９８
６年３月１１、１２日、サンタクララ、ＵＳＡ、第６３
２巻、第２３２〜２３６頁から知られている。これは”
ソフトウェア−制御ループ”を有する定量的電圧測定の
ための電子線検査方法である。制御ループはたとえば、
検出器電流が予め定められた参照電流に等しくなり、ま
た測定すべき試料電圧と設定されている逆電圧との間に
直線的関係が存在するように、追従すべき逆電圧を生ず
るべく作用する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
に記載した種類の方法であって、なかんずく高速定量的
検査に適しており、最大測定感度を有し、また比較的簡
単に実施可能である方法を提供することである。
に記載した種類の方法であって、なかんずく高速定量的
検査に適しており、最大測定感度を有し、また比較的簡
単に実施可能である方法を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この課題は、粒子線（Ｐ
Ｅ）が試料（Ｐ）のそれぞれ１つの測定個所（Ｍ）に向
けられ、またその結果として二次電子（ＳＥ１）が形成
され、二次電子の一部分（ＳＥ２）が少なくとも１つの
逆電界電極（ＧＮ）を通過して検出器（Ｄ）に到達し、
またそこで検出器電流（ＩＡ）を生じさせ、検出器電流
（ＩＡ）が特定の測定個所（Ｍ）における試料電圧（Ｕ
Ｐ）と逆電界電極の逆電圧（ＵＧ）に関係し、また試料
電圧（ＵＰ）の変化の際に逆電圧が追従する粒子線検査
方法において、駆動ユニット（ＡＥ）により試料（Ｐ）
の少なくとも１つの端子（Ａ１）が設定電圧（ＵＥ１）
を供給され、測定個所（Ｍ）に少なくとも１つの設定電
圧に基づいてそれぞれの実際の試料電圧変化（ＵＰ１）
が発生され、駆動ユニット（ＡＥ）により基本逆電圧
（ＵＧ１）に重畳される目標の試料電圧変化（ＵＰＳ）
が発生されて基本逆電圧と一緒に逆電界電極（ＧＮ）に
おける逆電圧（ＵＧ）を形成することにより逆電圧が追
従し、少なくとも１つの設定電圧（ＵＥ１）の変化の際
に検出器電流（ＩＡ）が一定にとどまり、また、測定個
所（Ｍ）における実際の試料電圧変化（ＵＰ１）がそれ
ぞれの測定個所（Ｍ）に対する目標の試料電圧変化（Ｕ
ＰＳ）と等しい値を有するかぎり、目標の検出器電流
（Ｉ１）に一致し、また欠陥を有する試料が検出器電流
（ＩＡ）の変化に基づいて検出されることを特徴とする
粒子線検査方法により解決される。
Ｅ）が試料（Ｐ）のそれぞれ１つの測定個所（Ｍ）に向
けられ、またその結果として二次電子（ＳＥ１）が形成
され、二次電子の一部分（ＳＥ２）が少なくとも１つの
逆電界電極（ＧＮ）を通過して検出器（Ｄ）に到達し、
またそこで検出器電流（ＩＡ）を生じさせ、検出器電流
（ＩＡ）が特定の測定個所（Ｍ）における試料電圧（Ｕ
Ｐ）と逆電界電極の逆電圧（ＵＧ）に関係し、また試料
電圧（ＵＰ）の変化の際に逆電圧が追従する粒子線検査
方法において、駆動ユニット（ＡＥ）により試料（Ｐ）
の少なくとも１つの端子（Ａ１）が設定電圧（ＵＥ１）
を供給され、測定個所（Ｍ）に少なくとも１つの設定電
圧に基づいてそれぞれの実際の試料電圧変化（ＵＰ１）
が発生され、駆動ユニット（ＡＥ）により基本逆電圧
（ＵＧ１）に重畳される目標の試料電圧変化（ＵＰＳ）
が発生されて基本逆電圧と一緒に逆電界電極（ＧＮ）に
おける逆電圧（ＵＧ）を形成することにより逆電圧が追
従し、少なくとも１つの設定電圧（ＵＥ１）の変化の際
に検出器電流（ＩＡ）が一定にとどまり、また、測定個
所（Ｍ）における実際の試料電圧変化（ＵＰ１）がそれ
ぞれの測定個所（Ｍ）に対する目標の試料電圧変化（Ｕ
ＰＳ）と等しい値を有するかぎり、目標の検出器電流
（Ｉ１）に一致し、また欠陥を有する試料が検出器電流
（ＩＡ）の変化に基づいて検出されることを特徴とする
粒子線検査方法により解決される。
【０００５】請求項２ないし６には本発明による方法の
有利な実施態様があげられている。
有利な実施態様があげられている。
【０００６】
【実施例】以下、図面により本発明を一層詳細に説明す
る。
る。
【０００７】図１には、逆電圧追従を有する公知の粒子
線検査方法を実施するための装置が示されており、その
際に一次電子線ＰＥが試料Ｐの測定個所Ｍに向けられて
いる。測定個所Ｍから二次電子線ＳＥ１が逆電界電極
（網）ＧＮのほうへ進み、また二次電子線の一部分ＳＥ
２は検出器Ｄに到達する。加算個所Ｓ１において、検出
器内で発生された検出器電流ＩＡが参照電流ＩＲと比較
され、また増幅器Ｖを経て逆電圧ＵＧの形態で逆電界電
極ＧＮに供給される。こうして、検出器電流ＩＡが常に
すべての試料電圧ＵＰに対して予め定められた参照電流
ＩＲに一致するように逆電界電極ＧＮにおける逆電圧Ｕ
Ｇが追従する制御ループが構成されている。図２には、
図１に対するスペクトロメータ特性曲線を有するダイア
グラムが示されており、負の逆電圧−ＵＧにわたって検
出器電流ＩＡが記入されており、また試料電圧ＵＰが正
の場合、ＵＰが０に等しい場合および負の場合に対して
それぞれスペクトロメータ特性曲線が示されている。検
出器電流ＩＡは参照電流ＩＲの形態で予め定められてお
り、またスペクトロメータ特性曲線は特定の試料電圧変
化だけしかＵＧ軸の方向にずらされていないので、直線
的関係が特定の逆電圧変化と特定の試料電圧変化との間
に存在する。参照電流ＩＲおよび正の試料電圧ＵＰに対
するスペクトロメータ特性曲線はその際に、逆電圧−Ｕ
Ｇ＝Ｕ１に通ずる動作点１を形成する。相応の仕方で、
試料電圧ＵＰ＝０に対するスペクトロメータ特性曲線は
動作点２を形成し、また逆電圧−ＵＧ＝Ｕ２に通じ、ま
た負の試料電圧ＵＰに対するスペクトロメータ特性曲線
は動作点３および逆電圧−ＵＧ＝Ｕ３に通ずる。逆電圧
はその際に試料電圧ＵＰが負であるほど負になる。公知
の粒子線検査方法は試料電圧変化と逆電圧変化との間の
直線的関係に基づいて定量的検査のために特に良好に使
用され得るが、制御ループが必要であるために処理速度
が比較的低い。
線検査方法を実施するための装置が示されており、その
際に一次電子線ＰＥが試料Ｐの測定個所Ｍに向けられて
いる。測定個所Ｍから二次電子線ＳＥ１が逆電界電極
（網）ＧＮのほうへ進み、また二次電子線の一部分ＳＥ
２は検出器Ｄに到達する。加算個所Ｓ１において、検出
器内で発生された検出器電流ＩＡが参照電流ＩＲと比較
され、また増幅器Ｖを経て逆電圧ＵＧの形態で逆電界電
極ＧＮに供給される。こうして、検出器電流ＩＡが常に
すべての試料電圧ＵＰに対して予め定められた参照電流
ＩＲに一致するように逆電界電極ＧＮにおける逆電圧Ｕ
Ｇが追従する制御ループが構成されている。図２には、
図１に対するスペクトロメータ特性曲線を有するダイア
グラムが示されており、負の逆電圧−ＵＧにわたって検
出器電流ＩＡが記入されており、また試料電圧ＵＰが正
の場合、ＵＰが０に等しい場合および負の場合に対して
それぞれスペクトロメータ特性曲線が示されている。検
出器電流ＩＡは参照電流ＩＲの形態で予め定められてお
り、またスペクトロメータ特性曲線は特定の試料電圧変
化だけしかＵＧ軸の方向にずらされていないので、直線
的関係が特定の逆電圧変化と特定の試料電圧変化との間
に存在する。参照電流ＩＲおよび正の試料電圧ＵＰに対
するスペクトロメータ特性曲線はその際に、逆電圧−Ｕ
Ｇ＝Ｕ１に通ずる動作点１を形成する。相応の仕方で、
試料電圧ＵＰ＝０に対するスペクトロメータ特性曲線は
動作点２を形成し、また逆電圧−ＵＧ＝Ｕ２に通じ、ま
た負の試料電圧ＵＰに対するスペクトロメータ特性曲線
は動作点３および逆電圧−ＵＧ＝Ｕ３に通ずる。逆電圧
はその際に試料電圧ＵＰが負であるほど負になる。公知
の粒子線検査方法は試料電圧変化と逆電圧変化との間の
直線的関係に基づいて定量的検査のために特に良好に使
用され得るが、制御ループが必要であるために処理速度
が比較的低い。
【０００８】なかんずく、多数の比較的簡単にかつ同種
に構成された要素を有する構造、たとえばＬＣＤ−ポイ
ント−マトリックスディスプレイまたはＤＲＡＭが、そ
れらの機能を果たす能力のみを検査されればよいが、そ
の代わりに比較的迅速に、たとえば３０秒の間に１０6
要素の速さで検査されるべきであれば、冒頭に記載した
公知の方法は比較的高い技術的費用をかけなければ実現
可能でない。
に構成された要素を有する構造、たとえばＬＣＤ−ポイ
ント−マトリックスディスプレイまたはＤＲＡＭが、そ
れらの機能を果たす能力のみを検査されればよいが、そ
の代わりに比較的迅速に、たとえば３０秒の間に１０6
要素の速さで検査されるべきであれば、冒頭に記載した
公知の方法は比較的高い技術的費用をかけなければ実現
可能でない。
【０００９】本発明による粒子線検査方法は、確かにた
とえば種々の試料電圧に対してそれぞれ最大の測定感度
を得るために逆電圧追従を有するが、定性的検査（実施
可能であるかあるいは欠陥か）方法であり、また試料電
圧変化と逆電圧変化との間の直線的関係が必要でないの
で、処理速度を制限する制御ループなしにすますことが
できる。
とえば種々の試料電圧に対してそれぞれ最大の測定感度
を得るために逆電圧追従を有するが、定性的検査（実施
可能であるかあるいは欠陥か）方法であり、また試料電
圧変化と逆電圧変化との間の直線的関係が必要でないの
で、処理速度を制限する制御ループなしにすますことが
できる。
【００１０】図３には本発明による粒子線検査方法を実
施するための装置の回路図が示されており、その際に、
図１の場合と類似して、一次電子線ＰＥが試料Ｐの測定
個所Ｍに向けられており、また二次電子線ＳＥ１を発生
する。場合によっては必要な別の電極ＡＮ、たとえば吸
引電極が比較的密に試料Ｐの上に設けられていてよく、
また一次電子線ＰＥの一部分および二次電子線ＳＥ１の
一部分を当てられる。二次電子線ＳＥ１の上記の別の電
極を通過する部分は参照符号ＳＥ３を付されており、ま
た逆電界電極（網）ＧＮに到達する。二次電子線ＳＥ３
の逆電界電極ＧＮを通過する部分は参照符号ＳＥ２を付
されており、また、図１で既に説明したように、検出器
Ｄ内に検出器電流ＩＡを発生する。試料Ｐはたとえば駆
動端子Ａ１…Ａ３を有し、これらは駆動ユニットＡＥに
より駆動可能である。例として基準電位に対する端子Ａ
１における設定電圧ＵＥ１が記入されている。逆電界電
極には、加算個所Ｓ３において基本逆電圧ＵＧ１と駆動
ユニットＡＥのなかで形成可能な目標の試料電圧変化Ｕ
ＰＳとから発生される逆電圧ＵＧが与えられている。相
応の仕方で場合によっては別の電極ＡＮに、加算個所Ｓ
２において基本電極電圧ＵＡ１と目標の試料電圧ＵＰＳ
とから発生可能である電極電圧ＵＡが与えられている。
試料Ｐの測定個所Ｍと基準電位との間には設定電圧、た
とえば設定電圧ＵＥ１に基づいて試料電圧ＵＰが与えら
れている。
施するための装置の回路図が示されており、その際に、
図１の場合と類似して、一次電子線ＰＥが試料Ｐの測定
個所Ｍに向けられており、また二次電子線ＳＥ１を発生
する。場合によっては必要な別の電極ＡＮ、たとえば吸
引電極が比較的密に試料Ｐの上に設けられていてよく、
また一次電子線ＰＥの一部分および二次電子線ＳＥ１の
一部分を当てられる。二次電子線ＳＥ１の上記の別の電
極を通過する部分は参照符号ＳＥ３を付されており、ま
た逆電界電極（網）ＧＮに到達する。二次電子線ＳＥ３
の逆電界電極ＧＮを通過する部分は参照符号ＳＥ２を付
されており、また、図１で既に説明したように、検出器
Ｄ内に検出器電流ＩＡを発生する。試料Ｐはたとえば駆
動端子Ａ１…Ａ３を有し、これらは駆動ユニットＡＥに
より駆動可能である。例として基準電位に対する端子Ａ
１における設定電圧ＵＥ１が記入されている。逆電界電
極には、加算個所Ｓ３において基本逆電圧ＵＧ１と駆動
ユニットＡＥのなかで形成可能な目標の試料電圧変化Ｕ
ＰＳとから発生される逆電圧ＵＧが与えられている。相
応の仕方で場合によっては別の電極ＡＮに、加算個所Ｓ
２において基本電極電圧ＵＡ１と目標の試料電圧ＵＰＳ
とから発生可能である電極電圧ＵＡが与えられている。
試料Ｐの測定個所Ｍと基準電位との間には設定電圧、た
とえば設定電圧ＵＥ１に基づいて試料電圧ＵＰが与えら
れている。
【００１１】図４には図３の装置に対するスペクトロメ
ータ特性曲線を有するダイアグラムが示されており、そ
こには負の逆電圧−ＵＧにわたって検出器電流ＩＡが記
入されており、また試料電圧ＵＰ＝ＵＰ１に対する第１
のスペクトロメータ特性曲線、試料電圧ＵＰ＝ＵＰ１−
ＵＰＳに対する第２のスペクトロメータ特性曲線および
試料電圧ＵＰ＝ＵＰ１−ＵＰＩに対する第３のスペクト
ロメータ特性曲線が示されており、ここでＵＰ１はたと
えば０であってもよい基本試料電圧、ＵＰＩは欠陥があ
る場合の実際の試料電圧変化、またＵＰＳは目標の試料
電圧変化である。目標の試料電圧変化ＵＰＳが０に等し
く、従ってまた試料電圧が試料基本電圧ＵＰ１に等しい
場合には、相対的逆電圧ＵＧは基本逆電圧ＵＧ１に一致
する。基本逆電圧ＵＧ１は試料電圧ＵＰ＝ＵＰ１に対す
る第１のスペクトロメータ特性曲線と一緒に動作点４に
目標の検出器電流Ｉ１を形成する。いま、欠陥がない場
合に、測定個所Ｍにおける試料電圧が基本試料電圧ＵＰ
１および目標の試料電圧変化ＵＰＳから成るならば、加
算個所Ｓ３における基本逆電圧ＵＧ１が同じく正確に目
標の試料電圧変化に重畳されるので、ＵＰ＝ＵＰ１に対
する第１のスペクトロメータ特性曲線は単に図２の場合
のようにＵＧ軸の方向にずらされる。その結果、測定個
所Ｍにおける試料電圧変化が測定個所Ｍに対する特定の
目標の試料電圧変化に一致するかぎり、検出器電流ＩＡ
は目標の検出器電流Ｉ１に一致する。こうして図４で逆
電圧ＵＧ１−ＵＰＳはＵＰ＝ＵＰ１−ＵＰＳに対する第
２のスペクトロメータ特性曲線と一緒に動作点５で同じ
く目標の検出器電流Ｉ１に通ずる。動作点４、従ってま
た動作点５が、それがそれぞれのスペクトロメータ特性
曲線の最大急峻度を有する点を表すように選ばれること
は有利である。なぜならば、その際に最大の測定感度ま
たは最大の電圧変化が可能であるからである。欠陥のあ
る試料Ｐの際に試料電圧ＵＰがたとえば欠陥のない場合
のように強く負にならないと、実際の試料電圧変化ＵＰ
Ｉの大きさは目標の試料電圧変化ＵＰＳの大きさよりも
小さく、従って二次電子ＳＥ１のエネルギーは欠陥のな
い場合のように強く高められず、また基本試料電圧ＵＰ
１の第１のスペクトロメータ特性曲線は欠陥のない場合
のように強く負の逆電圧−ＵＧの方向にずらされない。
しかし負の逆電圧−ＵＧは欠陥のある試料の場合にも基
本逆電圧ＵＧ１と駆動ユニットＡＥからの目標の試料電
圧ストロークＵＰＳとから形成されるので、その結果、
逆電界電極ＧＮのそれぞれ等しい逆電界により二次電子
ＳＥ３は確かに両方の場合に等しく強く制動されるが、
二次電子ＳＥ１のエネルギーは欠陥のある場合にはより
小さく、従ってまた欠陥のある試料では目標の検出器電
流Ｉ１よりも小さい検出器電流Ｉ２が生ずる。こうして
図４には例として負の逆電圧−ＵＧ＝ＵＧ１−ＵＰＳお
よびＵＰ＝ＵＰ１−ＵＰＩに対する第３のスペクトロメ
ータ特性曲線に対して動作点６で検出器電流Ｉ２が生ず
る。欠陥のある試料の検出器電流Ｉ２は欠陥の形式に応
じて目標の検出器電流Ｉ１よりも小さいことも大きいこ
ともあり得る。
ータ特性曲線を有するダイアグラムが示されており、そ
こには負の逆電圧−ＵＧにわたって検出器電流ＩＡが記
入されており、また試料電圧ＵＰ＝ＵＰ１に対する第１
のスペクトロメータ特性曲線、試料電圧ＵＰ＝ＵＰ１−
ＵＰＳに対する第２のスペクトロメータ特性曲線および
試料電圧ＵＰ＝ＵＰ１−ＵＰＩに対する第３のスペクト
ロメータ特性曲線が示されており、ここでＵＰ１はたと
えば０であってもよい基本試料電圧、ＵＰＩは欠陥があ
る場合の実際の試料電圧変化、またＵＰＳは目標の試料
電圧変化である。目標の試料電圧変化ＵＰＳが０に等し
く、従ってまた試料電圧が試料基本電圧ＵＰ１に等しい
場合には、相対的逆電圧ＵＧは基本逆電圧ＵＧ１に一致
する。基本逆電圧ＵＧ１は試料電圧ＵＰ＝ＵＰ１に対す
る第１のスペクトロメータ特性曲線と一緒に動作点４に
目標の検出器電流Ｉ１を形成する。いま、欠陥がない場
合に、測定個所Ｍにおける試料電圧が基本試料電圧ＵＰ
１および目標の試料電圧変化ＵＰＳから成るならば、加
算個所Ｓ３における基本逆電圧ＵＧ１が同じく正確に目
標の試料電圧変化に重畳されるので、ＵＰ＝ＵＰ１に対
する第１のスペクトロメータ特性曲線は単に図２の場合
のようにＵＧ軸の方向にずらされる。その結果、測定個
所Ｍにおける試料電圧変化が測定個所Ｍに対する特定の
目標の試料電圧変化に一致するかぎり、検出器電流ＩＡ
は目標の検出器電流Ｉ１に一致する。こうして図４で逆
電圧ＵＧ１−ＵＰＳはＵＰ＝ＵＰ１−ＵＰＳに対する第
２のスペクトロメータ特性曲線と一緒に動作点５で同じ
く目標の検出器電流Ｉ１に通ずる。動作点４、従ってま
た動作点５が、それがそれぞれのスペクトロメータ特性
曲線の最大急峻度を有する点を表すように選ばれること
は有利である。なぜならば、その際に最大の測定感度ま
たは最大の電圧変化が可能であるからである。欠陥のあ
る試料Ｐの際に試料電圧ＵＰがたとえば欠陥のない場合
のように強く負にならないと、実際の試料電圧変化ＵＰ
Ｉの大きさは目標の試料電圧変化ＵＰＳの大きさよりも
小さく、従って二次電子ＳＥ１のエネルギーは欠陥のな
い場合のように強く高められず、また基本試料電圧ＵＰ
１の第１のスペクトロメータ特性曲線は欠陥のない場合
のように強く負の逆電圧−ＵＧの方向にずらされない。
しかし負の逆電圧−ＵＧは欠陥のある試料の場合にも基
本逆電圧ＵＧ１と駆動ユニットＡＥからの目標の試料電
圧ストロークＵＰＳとから形成されるので、その結果、
逆電界電極ＧＮのそれぞれ等しい逆電界により二次電子
ＳＥ３は確かに両方の場合に等しく強く制動されるが、
二次電子ＳＥ１のエネルギーは欠陥のある場合にはより
小さく、従ってまた欠陥のある試料では目標の検出器電
流Ｉ１よりも小さい検出器電流Ｉ２が生ずる。こうして
図４には例として負の逆電圧−ＵＧ＝ＵＧ１−ＵＰＳお
よびＵＰ＝ＵＰ１−ＵＰＩに対する第３のスペクトロメ
ータ特性曲線に対して動作点６で検出器電流Ｉ２が生ず
る。欠陥のある試料の検出器電流Ｉ２は欠陥の形式に応
じて目標の検出器電流Ｉ１よりも小さいことも大きいこ
ともあり得る。
【００１２】少なくとも１つの別の電極（ＡＮ）が測定
個所（Ｍ）と逆電界電極（ＧＮ）との間に位置してお
り、また部分的に一次電子線を当てられる場合には、測
定個所（Ｍ）とそれぞれの別の電極との間の電圧は、検
出器電流（ＩＡ）の誤りを生じないように、できるかぎ
り試料電圧ＵＰの変化、すなわち試料電圧変化に無関係
でなければならない。本発明により、図３に示されてい
るように、それぞれの基本電極電圧ＵＡ１に測定個所
（Ｍ）に対する目標の試料電圧変化（ＵＰＳ）が重畳さ
れると、検出器電流の誤りが欠陥のない試料の場合には
回避され、また欠陥のある試料の場合には減ぜられ得
る。
個所（Ｍ）と逆電界電極（ＧＮ）との間に位置してお
り、また部分的に一次電子線を当てられる場合には、測
定個所（Ｍ）とそれぞれの別の電極との間の電圧は、検
出器電流（ＩＡ）の誤りを生じないように、できるかぎ
り試料電圧ＵＰの変化、すなわち試料電圧変化に無関係
でなければならない。本発明により、図３に示されてい
るように、それぞれの基本電極電圧ＵＡ１に測定個所
（Ｍ）に対する目標の試料電圧変化（ＵＰＳ）が重畳さ
れると、検出器電流の誤りが欠陥のない試料の場合には
回避され、また欠陥のある試料の場合には減ぜられ得
る。
【００１３】駆動ユニットＡＥは各測定個所Ｍに対する
最も複雑な場合には端子Ａ１…Ａ３に対する異なった設
定電圧べクトルおよびそれぞれ異なった目標の電圧変化
ＵＰＳを供給し得る。１つの実現可能性はこの場合にた
とえば後段に接続されているディジタル−アナログ変換
器を有するメモリまたは計算機の形態にある。さらに駆
動ユニットＡＥのなかに、各測定個所に対してそれぞれ
の設定電圧べクトルに相応の目標の試料電圧変化ＵＰＳ
を形成する機能を果たす試料が使用され得る。しかしＬ
ＣＤ−ポイント−マトリックスディスプレイの検査のた
めには非常に簡単な駆動ユニットＡＥ´が使用され得
る。なぜならば、ＬＣＤ−ポイント−マトリックスディ
スプレイのすべての要素は同時にまた同種に能動化また
は駆動され得るし、またそれぞれの目標の試料電圧変化
ＵＰＳが各要素に対して、すなわち各測定個所に対して
等しいからである。このような駆動ユニットＡＥ´は図
５に示されており、またたとえば抵抗Ｒ１および抵抗Ｒ
２から成る分圧器と接続されている直流電圧源ＵＥを有
する。直流電圧源ＵＥはその際に試料Ｐのすべての端子
Ａ１…Ａ３に対して同時にそれぞれの設定電圧を供給
し、また分圧器により抵抗Ｒ１にすべての測定個所に対
して等しい目標の電圧変化ＵＰＳが発生される。
最も複雑な場合には端子Ａ１…Ａ３に対する異なった設
定電圧べクトルおよびそれぞれ異なった目標の電圧変化
ＵＰＳを供給し得る。１つの実現可能性はこの場合にた
とえば後段に接続されているディジタル−アナログ変換
器を有するメモリまたは計算機の形態にある。さらに駆
動ユニットＡＥのなかに、各測定個所に対してそれぞれ
の設定電圧べクトルに相応の目標の試料電圧変化ＵＰＳ
を形成する機能を果たす試料が使用され得る。しかしＬ
ＣＤ−ポイント−マトリックスディスプレイの検査のた
めには非常に簡単な駆動ユニットＡＥ´が使用され得
る。なぜならば、ＬＣＤ−ポイント−マトリックスディ
スプレイのすべての要素は同時にまた同種に能動化また
は駆動され得るし、またそれぞれの目標の試料電圧変化
ＵＰＳが各要素に対して、すなわち各測定個所に対して
等しいからである。このような駆動ユニットＡＥ´は図
５に示されており、またたとえば抵抗Ｒ１および抵抗Ｒ
２から成る分圧器と接続されている直流電圧源ＵＥを有
する。直流電圧源ＵＥはその際に試料Ｐのすべての端子
Ａ１…Ａ３に対して同時にそれぞれの設定電圧を供給
し、また分圧器により抵抗Ｒ１にすべての測定個所に対
して等しい目標の電圧変化ＵＰＳが発生される。
【００１４】二次電子を発生するための粒子線としては
前記のように一次電子線のほかにイオン線またはレーザ
ー線も使用され得る。
前記のように一次電子線のほかにイオン線またはレーザ
ー線も使用され得る。
【００１５】電極としての役割をする吸引電極、逆電界
電極および別の電極はその際にそれぞれスリット状の孔
を有する板の形態の相応の電極により置換可能である。
電極および別の電極はその際にそれぞれスリット状の孔
を有する板の形態の相応の電極により置換可能である。
【００１６】
【発明の効果】
本発明により得られる利点は特に、検査
装置に対してたとえば制御増幅器のような帯域制限要素
が全く必要とされず、またそれによって比較的高い処理
速度が得られることにある。
装置に対してたとえば制御増幅器のような帯域制限要素
が全く必要とされず、またそれによって比較的高い処理
速度が得られることにある。
【図１】公知の粒子線検査方法を実施するための装置の
回路図。
回路図。
【図２】図１に対するスペクトロメータ特性曲線を有す
るグイアグラム。
るグイアグラム。
【図３】本発明による粒子線検査方法を実施するための
装置の回路図。
装置の回路図。
【図４】図３に対するスペクトロメータ特性曲線を有す
るダイアグラム。
るダイアグラム。
【図５】図３に対する駆動ユニットの実施例。
Ａ１〜Ａ３ 端子
ＡＥ、ＡＥ´ 駆動ユニット
ＡＮ 別の電極
Ｄ 検出器
ＧＮ 逆電界電極
Ｉ１ 目標の検出器電流
Ｉ２ 実際の検出器電流
ＩＡ 検出器電流
Ｍ 測定個所
Ｐ 試料
ＰＥ 粒子線
Ｒ１、Ｒ２ 分圧器
ＳＥ１ 二次電子
ＳＥ２ 二次電子の一部分
ＵＡ 電極電圧
ＵＡ１ 基本電極電圧
ＵＥ 直流電圧源
ＵＥ１ 設定電圧
ＵＧ 逆電圧
ＵＧ１ 基本逆電圧
ＵＰ１ 実際の試料電圧変化
ＵＰＳ 目標の試料電圧変化
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01R 31/302
G01N 23/225
G01T 1/28
H01J 37/244
H01J 37/28
Claims (6)
- 【請求項１】 粒子線（ＰＥ）が試料（Ｐ）のそれぞれ
１つの測定個所（Ｍ）に向けられ、またその結果として
二次電子（ＳＥ１）が形成され、二次電子の一部分（Ｓ
Ｅ２）が少なくとも１つの逆電界電極（ＧＮ）を通過し
て検出器（Ｄ）に到達し、またそこで検出器電流（Ｉ
Ａ）を生じさせ、検出器電流（ＩＡ）が特定の測定個所
（Ｍ）における試料電圧（ＵＰ）と逆電界電極の逆電圧
（ＵＧ）に関係し、また試料電圧（ＵＰ）の変化の際に
逆電圧が追従する粒子線検査方法において、駆動ユニッ
ト（ＡＥ）により試料（Ｐ）の少なくとも１つの端子
（Ａ１）が設定電圧（ＵＥ１）を供給され、測定個所
（Ｍ）に少なくとも１つの設定電圧に基づいてそれぞれ
の実際の試料電圧変化（ＵＰ１）が発生され、駆動ユニ
ット（ＡＥ）により基本逆電圧（ＵＧ１）に重畳される
目標の試料電圧変化（ＵＰＳ）が発生されて基本逆電圧
と一緒に逆電界電極（ＧＮ）における逆電圧（ＵＧ）を
形成することにより逆電圧が追従し、少なくとも１つの
設定電圧（ＵＥ１）の変化の際に検出器電流（ＩＡ）が
一定にとどまり、また、測定個所（Ｍ）における実際の
試料電圧変化（ＵＰ１）がそれぞれの測定個所（Ｍ）に
対する目標の試料電圧変化（ＵＰＳ）と等しい値を有す
るかぎり、目標の検出器電流（Ｉ１）に一致し、また欠
陥を有する試料が検出器電流（ＩＡ）の変化に基づいて
検出されることを特徴とする粒子線検査方法。 - 【請求項２】 測定個所（Ｍ）と逆電界電極（ＧＮ）と
の間に少なくとも１つの別の電極（ＡＮ）が位置し、ま
た少なくとも１つの別の電極（ＡＮ）には粒子線（Ｐ
Ｅ）が部分的に当てられ、目標の試料電圧変化（ＵＰ
Ｓ）には少なくともそれぞれの別の電極（ＡＮ）に対す
る基本電極電圧（ＵＡ１）によりそれぞれの電極電圧
（ＵＡ）として重畳され、またそれぞれの電極電圧（Ｕ
Ａ）がそれぞれの別の電極（ＡＮ）に供給されることを
特徴とする請求項１記載の粒子線検査方法。 - 【請求項３】 目標の検出器電流（Ｉ１）が、この目標
の検出器電流（Ｉ１）と実際の検出器電流（Ｉ２）との
間に最大差が生ずるように選ばれることを特徴とする請
求項１または２記載の粒子線検査方法。 - 【請求項４】 駆動ユニット（ＡＥ´）が直流電圧源
（ＵＥ）および分圧器（Ｒ１、Ｒ２）からのみ成ってお
り、試料（Ｐ）の複数の駆動端子（Ａ１、Ａ２、Ａ３）
が同時に直流電圧源と接続されており、またすべての測
定点（Ｍ）に対して等しい目標の試料電圧変化が分圧器
により直流電圧源の電圧から形成されることを特徴とす
る請求項１ないし３の１つに記載の粒子線検査方法。 - 【請求項５】 逆電界電極および別の電極の少なくとも
一方は、これらが存在するかぎり、網の形態で構成され
ていることを特徴とする請求項２ないし４の１つに記載
の粒子線検査方法。 - 【請求項６】 逆電界電極および別の電極の少なくとも
一方は、これらが存在するかぎり、スリット状の孔を有
する板の形態で構成されていることを特徴とする請求項
２ないし４の１つに記載の粒子線検査方法。
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-
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