JPH0586616B2 - - Google Patents
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- JPH0586616B2 JPH0586616B2 JP60061238A JP6123885A JPH0586616B2 JP H0586616 B2 JPH0586616 B2 JP H0586616B2 JP 60061238 A JP60061238 A JP 60061238A JP 6123885 A JP6123885 A JP 6123885A JP H0586616 B2 JPH0586616 B2 JP H0586616B2
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- deflector
- deflection
- electrode
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 44
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 14
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000010893 electron trap Methods 0.000 claims description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- AFYCEAFSNDLKSX-UHFFFAOYSA-N coumarin 460 Chemical compound CC1=CC(=O)OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C21 AFYCEAFSNDLKSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
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- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
電子ビームを試料に照射し該試料が放出する２
次電子を検出する電子ビーム装置において、 対物レンズを挟み試料に対向する検出器に入力
する２次電子が、電子ビームを振らせるための偏
向器により偏向されることを補正する手段を具え
たことによつて、 空間的に均一な２次電子信号の検出を可能とし
たものである。
次電子を検出する電子ビーム装置において、 対物レンズを挟み試料に対向する検出器に入力
する２次電子が、電子ビームを振らせるための偏
向器により偏向されることを補正する手段を具え
たことによつて、 空間的に均一な２次電子信号の検出を可能とし
たものである。
本発明は電子ビームを試料に照射し、該試料が
放出する２次電子を検出する電子ビーム装置の改
良に関する。
放出する２次電子を検出する電子ビーム装置の改
良に関する。
電子ビームを試料に照射したとき得られる２次
電子信号は、試料表面の電位情報を含む。そこ
で、かかる現象を利用した電子ビーム・プロービ
ングは、走査型電子顕微鏡の技術を母体とし、金
属プローブを当接できない微細パターンの電位
と、その時間変化を測定する電子ビーム装置とし
て、既に実用されている。
電子信号は、試料表面の電位情報を含む。そこ
で、かかる現象を利用した電子ビーム・プロービ
ングは、走査型電子顕微鏡の技術を母体とし、金
属プローブを当接できない微細パターンの電位
と、その時間変化を測定する電子ビーム装置とし
て、既に実用されている。
第６図は従来技術になる電子ビーム装置の要部
を示す模式図である。
を示す模式図である。
第６図において、図示しない電子銃から発射さ
れた電子ビーム１は、図示しないコンデンサレン
ズおよび鏡筒２の対物レンズ３により試料４の表
面に集束し、図示しない偏向電源に制御される偏
向器５に偏向され該表面を走査する。
れた電子ビーム１は、図示しないコンデンサレン
ズおよび鏡筒２の対物レンズ３により試料４の表
面に集束し、図示しない偏向電源に制御される偏
向器５に偏向され該表面を走査する。
そして、電子ビーム１の照射により試料４から
放出する２次電子６は、２次電子６に引出し電場
を与える引出し電極８と、引出された２次電子６
をエネルギの大きさに応じて選別する減速電極９
を透過し、検出器７により検出されたのち、増幅
器（図示せず）で増幅しブラウン管（図示せず）
に、例えば試料４の配線パターンの電圧値にほぼ
反比例した値として表示されることになる。
放出する２次電子６は、２次電子６に引出し電場
を与える引出し電極８と、引出された２次電子６
をエネルギの大きさに応じて選別する減速電極９
を透過し、検出器７により検出されたのち、増幅
器（図示せず）で増幅しブラウン管（図示せず）
に、例えば試料４の配線パターンの電圧値にほぼ
反比例した値として表示されることになる。
なお、検出器７はグリツド７ａとシンチレータ
７ｂとライトパイプ７ｃとフオトマルチプライア
７ｄ等にてなり、対物レンズ３の前面（下面）に
引出し電極８を設け、対物レンズ３の後面（上
面）に減速電極９を設け、減速電極９の後方（上
方）に検出器７が配設されている。
７ｂとライトパイプ７ｃとフオトマルチプライア
７ｄ等にてなり、対物レンズ３の前面（下面）に
引出し電極８を設け、対物レンズ３の後面（上
面）に減速電極９を設け、減速電極９の後方（上
方）に検出器７が配設されている。
しかしながら、従来技術になる前記電子ビーム
装置は、試料４から放出される２次電子６のエネ
ルギが電子ビーム１のエネルギより小さいことも
あつて、偏向器５の横方向磁界の影響を大きく受
けて偏向し、減速電極９への入射位置が変化する
ことになる。
装置は、試料４から放出される２次電子６のエネ
ルギが電子ビーム１のエネルギより小さいことも
あつて、偏向器５の横方向磁界の影響を大きく受
けて偏向し、減速電極９への入射位置が変化する
ことになる。
その結果、減速電極９を透過した２次電子６
（２次電子信号）の空間分布は、例えば第７図に
示す如く、縦軸を２次電子信号強度、横軸を試料
４の中心（電子ビーム１の直進中心）からの偏位
量ｄとすれば、前記分布特性は曲線Ａで示すよう
に山形となり、曲線Ａのピークとｄ＝０とが一致
しない。これは電子ビーム１の偏向により２次電
子も偏向し、２次電子の信号強度が変化するため
であり、そのことで試料４の電位測定の精度が低
下し、その改善が要望されていた。
（２次電子信号）の空間分布は、例えば第７図に
示す如く、縦軸を２次電子信号強度、横軸を試料
４の中心（電子ビーム１の直進中心）からの偏位
量ｄとすれば、前記分布特性は曲線Ａで示すよう
に山形となり、曲線Ａのピークとｄ＝０とが一致
しない。これは電子ビーム１の偏向により２次電
子も偏向し、２次電子の信号強度が変化するため
であり、そのことで試料４の電位測定の精度が低
下し、その改善が要望されていた。
上記問題点は、
電子ビーム１を試料４上に集束させる対物レン
ズ３、 前記対物レンズ３に配設した引出し電極６と減
速電極９と偏向器５等にてなる試料電位検出用エ
ネルギ分析器、 前記対物レンズ３の上方に設けた２次電子検出
器７、 および前記偏向器５による前記電子ビーム１の
偏向に伴う２次電子６の偏向を補正する手段を具
えたことを特徴とし、 さらには前記手段が前記電子ビーム１の偏向に
同期させ２次電子捕獲電界を変化させること、 前記偏向器５が静電偏向器２２と電磁偏向器２
１であり、前記手段が前記２種の偏向器２１，２
２による全偏向量を一定に保ち偏向器２１，２２
をそれぞれの偏向量の比率を変化させること、 前記対物レンズ３内で前記偏向器５を挟んで前
記引出し電極８に対向する中間電極３１を設け、
前記手段が前記中間電極３１に２次電子速度調整
電圧を印加すること、 を特徴とする電子ビーム装置により解決される。
ズ３、 前記対物レンズ３に配設した引出し電極６と減
速電極９と偏向器５等にてなる試料電位検出用エ
ネルギ分析器、 前記対物レンズ３の上方に設けた２次電子検出
器７、 および前記偏向器５による前記電子ビーム１の
偏向に伴う２次電子６の偏向を補正する手段を具
えたことを特徴とし、 さらには前記手段が前記電子ビーム１の偏向に
同期させ２次電子捕獲電界を変化させること、 前記偏向器５が静電偏向器２２と電磁偏向器２
１であり、前記手段が前記２種の偏向器２１，２
２による全偏向量を一定に保ち偏向器２１，２２
をそれぞれの偏向量の比率を変化させること、 前記対物レンズ３内で前記偏向器５を挟んで前
記引出し電極８に対向する中間電極３１を設け、
前記手段が前記中間電極３１に２次電子速度調整
電圧を印加すること、 を特徴とする電子ビーム装置により解決される。
上記手段によれば、引出しされた２次電子の空
間分布特性のピークを２次電子検出器が検出する
ことになり、その結果、高精度且つ効率的な電位
情報を検出可能となる。
間分布特性のピークを２次電子検出器が検出する
ことになり、その結果、高精度且つ効率的な電位
情報を検出可能となる。
以下に、本発明の実施例を添付図面に従つて説
明する。
明する。
第１図は本発明の第１の実施例になる電子ビー
ム装置の要部を示す模式図、第２図は本発明の第
１の実施例になる電子ビーム装置の要部を示す模
式図、第３図は本発明の第３の実施例になる電子
ビーム装置の要部を示す模式図、第４図イ，ロは
前記第３の実施例における電子ビームの偏向と２
次電子の偏向を説明するための模式図、第５図は
本発明の第４の実施例になる電子ビーム装置の要
部を示す模式図である。ただし、前出図と共通部
分には同一符号を使用している。
ム装置の要部を示す模式図、第２図は本発明の第
１の実施例になる電子ビーム装置の要部を示す模
式図、第３図は本発明の第３の実施例になる電子
ビーム装置の要部を示す模式図、第４図イ，ロは
前記第３の実施例における電子ビームの偏向と２
次電子の偏向を説明するための模式図、第５図は
本発明の第４の実施例になる電子ビーム装置の要
部を示す模式図である。ただし、前出図と共通部
分には同一符号を使用している。
第１図において、１１と１２は偏向器ドライ
バ、１３と１４は増幅器、１５と１６と１７は加
算増幅器であり、一対の検出器７は電子ビーム直
進軸と直交する同一面内で直交するように設けら
れている。偏向信号ｘはドライバ１１と増幅器１
３に入力し、偏向信号ｙはドライバ１２と増幅器
１４に入力し、ドライバ１１，１２に入力した偏
向信号ｘ，ｙが偏向器５を駆動させる。
バ、１３と１４は増幅器、１５と１６と１７は加
算増幅器であり、一対の検出器７は電子ビーム直
進軸と直交する同一面内で直交するように設けら
れている。偏向信号ｘはドライバ１１と増幅器１
３に入力し、偏向信号ｙはドライバ１２と増幅器
１４に入力し、ドライバ１１，１２に入力した偏
向信号ｘ，ｙが偏向器５を駆動させる。
一方、増幅器１３，１４に入力した信号ｘ，ｙ
は、それぞれが一定倍（ａ倍）されax，ayとな
り、一対の各検出器７のグリツドに接続された加
算増幅器１５または１６に入力される。そこで、
加算増幅器１５，１６には所定の電圧が印加され
ており、一方の検出器７のグリツドには前記所定
電圧と信号axの電圧とが増幅器１５で加算増幅
され印加される反面、他方の検出器７のグリツド
には前記所定電圧と信号ayの電圧とが増幅器１
６で加算増幅されて印加され、各検出器７の検出
信号は増幅器１７にて加算増幅され図示しないブ
ラウン管に入力される。
は、それぞれが一定倍（ａ倍）されax，ayとな
り、一対の各検出器７のグリツドに接続された加
算増幅器１５または１６に入力される。そこで、
加算増幅器１５，１６には所定の電圧が印加され
ており、一方の検出器７のグリツドには前記所定
電圧と信号axの電圧とが増幅器１５で加算増幅
され印加される反面、他方の検出器７のグリツド
には前記所定電圧と信号ayの電圧とが増幅器１
６で加算増幅されて印加され、各検出器７の検出
信号は増幅器１７にて加算増幅され図示しないブ
ラウン管に入力される。
かかる装置において、減速電極９の上方にでき
る２次電子捕獲電界は、電子ビーム１の偏向と同
期して変化するため、第７図に示す２次電子検出
効率の変動を相殺し、高精度な電位情報が検知で
きる。
る２次電子捕獲電界は、電子ビーム１の偏向と同
期して変化するため、第７図に示す２次電子検出
効率の変動を相殺し、高精度な電位情報が検知で
きる。
第２図において、１８は電子ビーム１を挟み検
出器７と対向する電極、１９は所定の電圧と信号
axの電圧とが入力しその加算増幅信号を電極１
８に印加する加算増幅器であり、偏向器ドライバ
１１と１２、増幅器１３と１４、加算増幅器１６
と１７とが、第１図の装置と同様に配設してあ
る。
出器７と対向する電極、１９は所定の電圧と信号
axの電圧とが入力しその加算増幅信号を電極１
８に印加する加算増幅器であり、偏向器ドライバ
１１と１２、増幅器１３と１４、加算増幅器１６
と１７とが、第１図の装置と同様に配設してあ
る。
かかる装置において、対物レンズ３と偏向器５
と検出器７は第１図の装置と同様に信号ｘ，ｙに
て動作すると共に、増幅器１３が信号ｘをａ倍し
た信号axは、増幅器１９にて所定電圧を加算増
幅し電極１８に印加される。その結果、減速電極
９の上方にできる２次電子捕獲電界は、電子ビー
ム１の偏向と同期して変化可能となり、第７図に
示す２次電子検出効率の変動を相殺し、高精度な
電位情報が検知できるようになる。
と検出器７は第１図の装置と同様に信号ｘ，ｙに
て動作すると共に、増幅器１３が信号ｘをａ倍し
た信号axは、増幅器１９にて所定電圧を加算増
幅し電極１８に印加される。その結果、減速電極
９の上方にできる２次電子捕獲電界は、電子ビー
ム１の偏向と同期して変化可能となり、第７図に
示す２次電子検出効率の変動を相殺し、高精度な
電位情報が検知できるようになる。
第３図において、２１は電磁偏向器、２２は静
電偏向器、２３は演算回路、２４，２５はマルチ
乗算器（MDAC）、２６は電磁偏向器ドライバ、
２７は静電偏向器ドライバであり、偏向信号ｘは
一対のMDAC２４，２５に入力する。
電偏向器、２３は演算回路、２４，２５はマルチ
乗算器（MDAC）、２６は電磁偏向器ドライバ、
２７は静電偏向器ドライバであり、偏向信号ｘは
一対のMDAC２４，２５に入力する。
いま、静電偏向器２２による偏向量をX1、電
磁偏向器２１による偏向量をX2、電磁偏向器２
１に印加される所要の励磁電流d、静電偏向器
２２に印加される所要の電圧をVdとし、k1，k2
を定数としたとき電子ビーム１の全偏向量Ｘは、 Ｘ＝X1＋X2 ＝k1・Vd＋k2・Id となる。
磁偏向器２１による偏向量をX2、電磁偏向器２
１に印加される所要の励磁電流d、静電偏向器
２２に印加される所要の電圧をVdとし、k1，k2
を定数としたとき電子ビーム１の全偏向量Ｘは、 Ｘ＝X1＋X2 ＝k1・Vd＋k2・Id となる。
そこで、静電偏向量k1・Vdと全偏向量Ｘとの
比をαとすれば、 α＝k1・Vd／Ｘ であり、全偏向量Ｘを確保するには、 Vd＝α・Ｘ／k1 Id＝（１−α）・Ｘ／k2 とすればよい。
比をαとすれば、 α＝k1・Vd／Ｘ であり、全偏向量Ｘを確保するには、 Vd＝α・Ｘ／k1 Id＝（１−α）・Ｘ／k2 とすればよい。
従つて、比率定数αを入力した演算回路２３
は、静電偏向器用MDAC２４と電磁偏向器用
MDAC２５に、それぞれα／k1，（１−α）／k2
のデータを送出する。
は、静電偏向器用MDAC２４と電磁偏向器用
MDAC２５に、それぞれα／k1，（１−α）／k2
のデータを送出する。
すると、偏向信号Ｘが入力されたMDAC２５
は、偏向信号Ｘをα／ｋ、倍した信号を静電偏向
器ドライバ２７に送出し、偏向信号Ｘが入力され
たMDAC２４は、偏向信号Ｘを（１−α）／k2
倍した信号を電磁偏光器ドライバ２４に送出し、
ドライバ２４，２５はそれぞれが接続された偏向
器２２，２１を駆動する。
は、偏向信号Ｘをα／ｋ、倍した信号を静電偏向
器ドライバ２７に送出し、偏向信号Ｘが入力され
たMDAC２４は、偏向信号Ｘを（１−α）／k2
倍した信号を電磁偏光器ドライバ２４に送出し、
ドライバ２４，２５はそれぞれが接続された偏向
器２２，２１を駆動する。
第４図イにおいて、電子ビーム１は静電偏向器
２２と電磁偏向器２１にて２段偏向する。
２２と電磁偏向器２１にて２段偏向する。
第４図ロにおいて、実線で示す２次電子６は偏
向器ドライバ２４，２５を前述のように駆動した
ときの偏向であり、電磁偏向器２１と静電偏向器
２２にて２段に偏向し、減速電流９のほぼ中心を
通過する。
向器ドライバ２４，２５を前述のように駆動した
ときの偏向であり、電磁偏向器２１と静電偏向器
２２にて２段に偏向し、減速電流９のほぼ中心を
通過する。
しかし、比例定数α＝０にすると一点鎖線で示
す如く、静電偏向器２２に偏向されないため、前
記実線径路から外れ、減速電極９より下方で減速
電極９の中心軸に交差する反面、比例定数α＝１
にすると二点鎖線で示す如く、電磁偏向器２１に
偏向されないため、前記実線径路から外れ減速電
極９の中心軸と交差することなく、減速電極９を
通過することになる。
す如く、静電偏向器２２に偏向されないため、前
記実線径路から外れ、減速電極９より下方で減速
電極９の中心軸に交差する反面、比例定数α＝１
にすると二点鎖線で示す如く、電磁偏向器２１に
偏向されないため、前記実線径路から外れ減速電
極９の中心軸と交差することなく、減速電極９を
通過することになる。
従つて、かかる装置は２種類の偏向器を使用し
てその偏向特性の違いを利用し、２次電子６の偏
向方向を制御することで安定し、かつ効率的な電
位情報が得られる。
てその偏向特性の違いを利用し、２次電子６の偏
向方向を制御することで安定し、かつ効率的な電
位情報が得られる。
第５図において、３１は偏向器５と減速電極９
との中間に設けた中間電極であり、一般に、引出
し電極８に1KV程度の引出し電圧（Ve）、減速電
極９に−10V〜＋10Vの可変電圧を印加するに対
し、中間電極３１に数100V〜1KV程度の電圧を
印加するようになつている。
との中間に設けた中間電極であり、一般に、引出
し電極８に1KV程度の引出し電圧（Ve）、減速電
極９に−10V〜＋10Vの可変電圧を印加するに対
し、中間電極３１に数100V〜1KV程度の電圧を
印加するようになつている。
従つて、試料４から放出する２次電子６は引出
し電極８により垂直方向に加速たれ、対物レンズ
３と偏向器５の発生する磁界中に入射する。そこ
で、中間電極３１がないと引出し電極８を通過し
た２次電子６は急激に減速され、偏向器５の偏向
磁界により大きく偏向されるが、中間電極３１に
より前記減速を調整することで対物レンズ３内で
偏向量が変わり、減速電極９のほぼ中心を通過さ
せることが可能になる。
し電極８により垂直方向に加速たれ、対物レンズ
３と偏向器５の発生する磁界中に入射する。そこ
で、中間電極３１がないと引出し電極８を通過し
た２次電子６は急激に減速され、偏向器５の偏向
磁界により大きく偏向されるが、中間電極３１に
より前記減速を調整することで対物レンズ３内で
偏向量が変わり、減速電極９のほぼ中心を通過さ
せることが可能になる。
その結果、検出器から安定で効率的な電位情報
が得られる。
が得られる。
以上説明した如く本発明によれば、電子ビーム
の偏向による２次電子の偏向を補正し、高精度の
電位測定が広範囲のフイールドに渡り可能とな
り、例えばLSIの高性能化や信頼性の改善に寄与
し得た効果は極めて大きい。
の偏向による２次電子の偏向を補正し、高精度の
電位測定が広範囲のフイールドに渡り可能とな
り、例えばLSIの高性能化や信頼性の改善に寄与
し得た効果は極めて大きい。
第１図は本発明の第１の実施例になる電子ビー
ム装置の要部を示す模式図、第２図は本発明の第
１の実施例になる電子ビーム装置の要部を示す模
式図、第３図は本発明の第３の実施例になる電子
ビーム装置の要部を示す模式図、第４図は前記第
３の実施例における電子ビームと２次電子を説明
するための模式図、第５図は本発明の第４の実施
例になる電子ビーム装置の要部を示す模式図、第
６図は従来技術になる電子ビーム装置の要部を示
す模式図、第７図は前記従来装置における２次電
子の空間分布例を示す図、である。 図中において、１は電子ビーム、３は対物レン
ズ、４は試料、５，２２は偏向器、６は２次電
子、７は２次電子検出器、８は引出し電極、９は
減速電極、１１〜１４は増幅器、１５〜１７は加
算増幅器、２２は静電偏向器、３１は中間電極、
を示す。
ム装置の要部を示す模式図、第２図は本発明の第
１の実施例になる電子ビーム装置の要部を示す模
式図、第３図は本発明の第３の実施例になる電子
ビーム装置の要部を示す模式図、第４図は前記第
３の実施例における電子ビームと２次電子を説明
するための模式図、第５図は本発明の第４の実施
例になる電子ビーム装置の要部を示す模式図、第
６図は従来技術になる電子ビーム装置の要部を示
す模式図、第７図は前記従来装置における２次電
子の空間分布例を示す図、である。 図中において、１は電子ビーム、３は対物レン
ズ、４は試料、５，２２は偏向器、６は２次電
子、７は２次電子検出器、８は引出し電極、９は
減速電極、１１〜１４は増幅器、１５〜１７は加
算増幅器、２２は静電偏向器、３１は中間電極、
を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 電子ビーム１を試料４上に集束させる対物レ
ンズ３、 前記対物レンズ３に配設した引出し電極８と減
速電極９と偏向器５等にてなる試料電位検出用エ
ネルギ分析器、 前記対物レンズ３の上方に設けた２次電子検出
器７、 および前記偏向器５による前記電子ビーム１の
偏向に伴う２次電子６の偏向を補正する手段を具
えたことを特徴とする電子ビーム装置。 ２ 前記手段が前記電子ビーム１の偏向に同期さ
せ２次電子捕獲電界を変化させること、を特徴と
する前記特許請求の範囲第１項記載の電子ビーム
装置。 ３ 前記偏向器５が静電偏向器２２と電磁偏向器
２１であり、 前記手段が前記２種の偏向器２１，２２による
全偏向量を一定に保ち偏向器２１，２２をそれぞ
れの偏向量の比率を変化させること、を特徴とす
る前記特許請求の範囲第１項記載の電子ビーム装
置。 ４ 前記対物レンズ３内で前記偏向器５を挟んで
前記引出し電極８に対向する中間電極３１を設
け、 前記手段が前記中間電極３１に２次電子速度調
整電圧を印加すること、を特徴とする前記特許請
求の範囲第１項記載の電子ビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60061238A JPS61220259A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 電子ビ−ム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60061238A JPS61220259A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 電子ビ−ム装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61220259A JPS61220259A (ja) | 1986-09-30 |
| JPH0586616B2 true JPH0586616B2 (ja) | 1993-12-13 |
Family
ID=13165447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60061238A Granted JPS61220259A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 電子ビ−ム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61220259A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3291880B2 (ja) * | 1993-12-28 | 2002-06-17 | 株式会社日立製作所 | 走査形電子顕微鏡 |
| JP4302316B2 (ja) | 1998-03-09 | 2009-07-22 | 株式会社日立製作所 | 走査形電子顕微鏡 |
-
1985
- 1985-03-26 JP JP60061238A patent/JPS61220259A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61220259A (ja) | 1986-09-30 |
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