JPH05256918A - 粒子線検査方法 - Google Patents
粒子線検査方法Info
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- JPH05256918A JPH05256918A JP4316071A JP31607192A JPH05256918A JP H05256918 A JPH05256918 A JP H05256918A JP 4316071 A JP4316071 A JP 4316071A JP 31607192 A JP31607192 A JP 31607192A JP H05256918 A JPH05256918 A JP H05256918A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/305—Contactless testing using electron beams
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Measurement Of Radiation (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 粒子線検査方法を、高速の定性的検査に適す
るように、最大の測定感度を得られるように、また比較
的簡単に実施可能であるように構成する。 【構成】 駆動ユニットＡＥからの少なくとも１つの設
定電圧ＵＥ１を用いて試料Ｐのそれぞれの測定個所Ｍに
おいて実際‐試料電圧ストロークＵＰ１が発生され、ま
た駆動ユニットのなかでそれぞれの測定個所に対する目
標‐試料電圧ストロークＵＰＳが発生され、また逆電界
電極ＧＮに供給され、それによって実際‐試料電圧スト
ロークがそれぞれの測定個所の目標‐試料電圧ストロー
クに一致し、従ってまた、試料Ｐが誤りなしであるかぎ
り、検出器電流ＩＡが一定にとどまる。
るように、最大の測定感度を得られるように、また比較
的簡単に実施可能であるように構成する。 【構成】 駆動ユニットＡＥからの少なくとも１つの設
定電圧ＵＥ１を用いて試料Ｐのそれぞれの測定個所Ｍに
おいて実際‐試料電圧ストロークＵＰ１が発生され、ま
た駆動ユニットのなかでそれぞれの測定個所に対する目
標‐試料電圧ストロークＵＰＳが発生され、また逆電界
電極ＧＮに供給され、それによって実際‐試料電圧スト
ロークがそれぞれの測定個所の目標‐試料電圧ストロー
クに一致し、従ってまた、試料Ｐが誤りなしであるかぎ
り、検出器電流ＩＡが一定にとどまる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、請求項１の前文による
粒子線検査方法に関する。
粒子線検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】この形式の方法はＳＰＩＥの論文集、Th
e International Society of OpticalEngineering、１
９８６年３月１１、１２日、サンタクララ、ＵＳＡ、第
６３２巻、第２３２〜２３６頁から知られている。これ
は“ソフトウェア‐調節ループ”を有する定量的電圧測
定のための電子線検査方法である。調節ループはたとえ
ば、逆電圧が、検出器電流が予め定められた参照電流に
等しくなり、また測定すべき試料電圧と生ずる逆電圧と
の間に直線的関係が生ずるように、追跡されるようにす
る。
e International Society of OpticalEngineering、１
９８６年３月１１、１２日、サンタクララ、ＵＳＡ、第
６３２巻、第２３２〜２３６頁から知られている。これ
は“ソフトウェア‐調節ループ”を有する定量的電圧測
定のための電子線検査方法である。調節ループはたとえ
ば、逆電圧が、検出器電流が予め定められた参照電流に
等しくなり、また測定すべき試料電圧と生ずる逆電圧と
の間に直線的関係が生ずるように、追跡されるようにす
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
に記載した種類の方法であって、なかんずく高速定量的
検査に適しており、最大測定感度を有し、また比較的簡
単に実施可能である方法を提供することである。
に記載した種類の方法であって、なかんずく高速定量的
検査に適しており、最大測定感度を有し、また比較的簡
単に実施可能である方法を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この課題は、本発明によ
れば、請求項１の特徴部分にあげられている特徴により
解決される。
れば、請求項１の特徴部分にあげられている特徴により
解決される。
【０００５】請求項２ないし６には本発明による方法の
有利な実施態様があげられている。
有利な実施態様があげられている。
【０００６】
【発明の効果】本発明により得られる利点は特に、検査
装置に対してたとえば調節増幅器のような帯域制限要素
が全く必要とされず、またそれによって比較的高い処理
速度が得られることにある。
装置に対してたとえば調節増幅器のような帯域制限要素
が全く必要とされず、またそれによって比較的高い処理
速度が得られることにある。
【０００７】
【実施例】以下、図面により本発明を一層詳細に説明す
る。
る。
【０００８】図１には、逆電圧追跡を有する公知の粒子
線検査方法を実施するための装置が示されており、その
際に一次電子線ＰＥが試料Ｐの測定個所Ｍに向けられて
いる。測定個所Ｍから二次電子線ＳＥ１が逆電界電極
（網）ＧＮのほうへ進み、また二次電子線の一部分ＳＥ
２は検出器Ｄに到達する。加算個所Ｓ１において、検出
器内で発生された検出器電流ＩＡが参照電流ＩＲと比較
され、また増幅器Ｖを経て逆電圧ＵＧの形態で逆電界電
極ＧＮに供給される。こうして、検出器電流ＩＡが常に
すべての試料電圧ＵＰに対して予め定められた参照電流
ＩＲに一致するように逆電界電極ＧＮにおける逆電圧Ｕ
Ｇを追跡する調節ループが構成されている。図２には、
図１に対するスペクトロメータ特性曲線を有するダイア
グラムが示されており、負の逆電圧−ＵＧにわたって検
出器電流ＩＡが記入されており、また試料電圧ＵＰが０
よりも大きい場合、ＵＰが０に等しい場合および０より
も小さい場合に対してそれぞれスペクトロメータ特性曲
線が示されている。検出器電流ＩＡは参照電流ＩＲの形
態で予め定められており、またスペクトロメータ特性曲
線はそれぞれの試料電圧ストロークだけしかＵＧ軸の方
向にずらされていないので、直線的関係がそれぞれの逆
電圧ストロークとそれぞれの試料電圧ストロークとの間
に存在する。参照電流ＩＲおよび０よりも大きい試料電
圧ＵＰに対するスペクトロメータ特性曲線はその際に、
逆電圧−ＵＧ＝Ｕ１に通ずる動作点１を形成する。相応
の仕方で、試料電圧ＵＰ＝０に対するスペクトロメータ
特性曲線は動作点２を形成し、また逆電圧−ＵＧ＝Ｕ２
に通じ、また０よりも小さい試料電圧ＵＰに対するスペ
クトロメータ特性曲線は動作点３および逆電圧−ＵＧ＝
Ｕ３に通ずる。逆電圧はその際に試料電圧ＵＰが負であ
るほど負になる。公知の粒子線検査方法は試料電圧スト
ロークと逆電圧ストロークとの間の直線的関係に基づい
て定量的検査のために特に良好に使用され得るが、調節
ループが必要であるために処理速度が比較的低い。
線検査方法を実施するための装置が示されており、その
際に一次電子線ＰＥが試料Ｐの測定個所Ｍに向けられて
いる。測定個所Ｍから二次電子線ＳＥ１が逆電界電極
（網）ＧＮのほうへ進み、また二次電子線の一部分ＳＥ
２は検出器Ｄに到達する。加算個所Ｓ１において、検出
器内で発生された検出器電流ＩＡが参照電流ＩＲと比較
され、また増幅器Ｖを経て逆電圧ＵＧの形態で逆電界電
極ＧＮに供給される。こうして、検出器電流ＩＡが常に
すべての試料電圧ＵＰに対して予め定められた参照電流
ＩＲに一致するように逆電界電極ＧＮにおける逆電圧Ｕ
Ｇを追跡する調節ループが構成されている。図２には、
図１に対するスペクトロメータ特性曲線を有するダイア
グラムが示されており、負の逆電圧−ＵＧにわたって検
出器電流ＩＡが記入されており、また試料電圧ＵＰが０
よりも大きい場合、ＵＰが０に等しい場合および０より
も小さい場合に対してそれぞれスペクトロメータ特性曲
線が示されている。検出器電流ＩＡは参照電流ＩＲの形
態で予め定められており、またスペクトロメータ特性曲
線はそれぞれの試料電圧ストロークだけしかＵＧ軸の方
向にずらされていないので、直線的関係がそれぞれの逆
電圧ストロークとそれぞれの試料電圧ストロークとの間
に存在する。参照電流ＩＲおよび０よりも大きい試料電
圧ＵＰに対するスペクトロメータ特性曲線はその際に、
逆電圧−ＵＧ＝Ｕ１に通ずる動作点１を形成する。相応
の仕方で、試料電圧ＵＰ＝０に対するスペクトロメータ
特性曲線は動作点２を形成し、また逆電圧−ＵＧ＝Ｕ２
に通じ、また０よりも小さい試料電圧ＵＰに対するスペ
クトロメータ特性曲線は動作点３および逆電圧−ＵＧ＝
Ｕ３に通ずる。逆電圧はその際に試料電圧ＵＰが負であ
るほど負になる。公知の粒子線検査方法は試料電圧スト
ロークと逆電圧ストロークとの間の直線的関係に基づい
て定量的検査のために特に良好に使用され得るが、調節
ループが必要であるために処理速度が比較的低い。
【０００９】なかんずく、多数の比較的簡単にかつ同種
に構成された要素を有する構造、たとえばＬＣＤ‐ポイ
ント‐マトリックスディスプレイまたはＤＲＡＭが、そ
れらの機能を果たす能力のみを検査されればよいが、そ
の代わりに比較的迅速に、たとえば３０秒の間に１０6
要素の速さで検査されるべきであれば、冒頭に記載した
公知の方法は比較的高い技術的費用をかけなければ実現
可能でない。
に構成された要素を有する構造、たとえばＬＣＤ‐ポイ
ント‐マトリックスディスプレイまたはＤＲＡＭが、そ
れらの機能を果たす能力のみを検査されればよいが、そ
の代わりに比較的迅速に、たとえば３０秒の間に１０6
要素の速さで検査されるべきであれば、冒頭に記載した
公知の方法は比較的高い技術的費用をかけなければ実現
可能でない。
【００１０】本発明による粒子線検査方法は、確かにた
とえば種々の試料電圧に対してそれぞれ最大の測定感度
を得るために逆電圧追跡を有するが、定性的検査（機能
を果たし得るか、エラーを有するか）方法であり、また
試料電圧ストロークと逆電圧ストロークとの間の直線的
関係が必要でないので、処理速度を制限する調節ループ
なしにすますことができる。
とえば種々の試料電圧に対してそれぞれ最大の測定感度
を得るために逆電圧追跡を有するが、定性的検査（機能
を果たし得るか、エラーを有するか）方法であり、また
試料電圧ストロークと逆電圧ストロークとの間の直線的
関係が必要でないので、処理速度を制限する調節ループ
なしにすますことができる。
【００１１】図３には本発明による粒子線検査方法を実
施するための装置の回路図が示されており、その際に、
図１の場合と類似して、一次電子線ＰＥが試料Ｐの測定
個所Ｍに向けられており、また二次電子線ＳＥ１を発生
する。場合によっては必要な別の電極ＡＮ、たとえば吸
引電極が比較的密に試料Ｐの上に設けられていてよく、
また一次電子線ＰＥの一部分および二次電子線ＳＥ１の
一部分を当てられる。二次電子線ＳＥ１の上記の別の電
極を通過する部分は参照符号ＳＥ３を付されており、ま
た逆電界電極（網）ＧＮに到達する。二次電子線ＳＥ３
の逆電界電極ＧＮを通過する部分は参照符号ＳＥ２を付
されており、また、図１で既に説明したように、検出器
Ｄ内に検出器電流ＩＡを発生する。試料Ｐはたとえば駆
動端子Ａ１…Ａ３を有し、これらは駆動ユニットＡＥに
より駆動可能である。例として基準電位に対する端子Ａ
１における設定電圧ＵＥ１が記入されている。逆電界電
極には、加算個所Ｓ３において基本逆電圧ＵＧ１と駆動
ユニットＡＥのなかで形成可能な目標‐試料電圧ストロ
ークＵＰＳとから発生される逆電圧ＵＧが与えられてい
る。相応の仕方で場合によっては別の電極ＡＮに、加算
個所Ｓ２において基本電極電圧ＵＡ１と目標‐試料電圧
ＵＰＳとから発生可能である電極電圧ＵＡが与えられて
いる。試料Ｐの測定個所Ｍと基準電位との間には設定電
圧、たとえば設定電圧ＵＥ１に基づいて試料電圧ＵＰが
与えられている。
施するための装置の回路図が示されており、その際に、
図１の場合と類似して、一次電子線ＰＥが試料Ｐの測定
個所Ｍに向けられており、また二次電子線ＳＥ１を発生
する。場合によっては必要な別の電極ＡＮ、たとえば吸
引電極が比較的密に試料Ｐの上に設けられていてよく、
また一次電子線ＰＥの一部分および二次電子線ＳＥ１の
一部分を当てられる。二次電子線ＳＥ１の上記の別の電
極を通過する部分は参照符号ＳＥ３を付されており、ま
た逆電界電極（網）ＧＮに到達する。二次電子線ＳＥ３
の逆電界電極ＧＮを通過する部分は参照符号ＳＥ２を付
されており、また、図１で既に説明したように、検出器
Ｄ内に検出器電流ＩＡを発生する。試料Ｐはたとえば駆
動端子Ａ１…Ａ３を有し、これらは駆動ユニットＡＥに
より駆動可能である。例として基準電位に対する端子Ａ
１における設定電圧ＵＥ１が記入されている。逆電界電
極には、加算個所Ｓ３において基本逆電圧ＵＧ１と駆動
ユニットＡＥのなかで形成可能な目標‐試料電圧ストロ
ークＵＰＳとから発生される逆電圧ＵＧが与えられてい
る。相応の仕方で場合によっては別の電極ＡＮに、加算
個所Ｓ２において基本電極電圧ＵＡ１と目標‐試料電圧
ＵＰＳとから発生可能である電極電圧ＵＡが与えられて
いる。試料Ｐの測定個所Ｍと基準電位との間には設定電
圧、たとえば設定電圧ＵＥ１に基づいて試料電圧ＵＰが
与えられている。
【００１２】図４には図３の装置に対するスペクトロメ
ータ特性曲線を有するダイアグラムが示されており、そ
こには負の逆電圧−ＵＧにわたって検出器電流ＩＡが記
入されており、また試料電圧ＵＰ＝ＵＰ１に対する第１
のスペクトロメータ特性曲線、試料電圧ＵＰ＝ＵＰ１−
ＵＰＳに対する第２のスペクトロメータ特性曲線および
試料電圧ＵＰ＝ＵＰ１−ＵＰＩに対する第３のスペクト
ロメータ特性曲線が示されており、ここでＵＰ１はたと
えば０であってもよい基本試料電圧、ＵＰＩは誤りがあ
る場合の実際‐試料電圧ストローク、またＵＰＳは目標
‐試料電圧ストロークである。目標‐試料電圧ストロー
クＵＰＳが０に等しく、従ってまた試料電圧が試料基本
電圧ＵＰ１に等しい場合には、相対的逆電圧ＵＧは基本
逆電圧ＵＧ１に一致する。基本逆電圧ＵＧ１は試料電圧
ＵＰ＝ＵＰ１に対する第１のスペクトロメータ特性曲線
と一緒に動作点４に目標‐検出器電流Ｉ１を形成する。
いま、誤りがない場合に、測定個所Ｍにおける試料電圧
が基本試料電圧ＵＰ１および目標‐試料電圧ストローク
ＵＰＳから成るならば、加算個所Ｓ３における基本逆電
圧ＵＧ１が同じく正確に目標‐試料電圧ストロークに重
畳されるので、ＵＰ＝ＵＰ１に対する第１のスペクトロ
メータ特性曲線は単に図２の場合のようにＵＧ軸の方向
にずらされる。その結果、測定個所Ｍにおける試料電圧
ストロークが測定個所Ｍに対するそれぞれの目標‐試料
電圧ストロークに一致するかぎり、検出器電流ＩＡは目
標‐検出器電流Ｉ１に一致する。こうして図４で逆電圧
ＵＧ１−ＵＰＳはＵＰ＝ＵＰ１−ＵＰＳに対する第２の
スペクトロメータ特性曲線と一緒に動作点５で同じく目
標‐検出器電流Ｉ１に通ずる。動作点４、従ってまた動
作点５が、それがそれぞれのスペクトロメータ特性曲線
の最大急峻度を有する点を表すように選ばれることは有
利である。なぜならば、その際に最大の測定感度または
最大の電圧ストロークが可能であるからである。誤りの
ある試料Ｐの際に試料電圧ＵＰがたとえば誤りのない場
合のように強く負にならないと、実際‐試料電圧ストロ
ークＵＰＩの大きさは目標‐試料電圧ストロークＵＰＳ
の大きさよりも小さく、従って二次電子ＳＥ１のエネル
ギーは誤りのない場合のように強く高められず、また基
本試料電圧ＵＰ１の第１のスペクトロメータ特性曲線は
誤りのない場合のように強く負の逆電圧−ＵＧの方向に
ずらされない。しかし負の逆電圧−ＵＧは誤りのある試
料の場合にも基本逆電圧ＵＧ１と駆動ユニットＡＥから
の目標‐試料電圧ストロークＵＰＳとから形成されるの
で、その結果、逆電界電極ＧＮのそれぞれ等しい逆電界
により二次電子ＳＥ３は確かに両方の場合に等しく強く
制動されるが、二次電子ＳＥ１のエネルギーは誤りのあ
る場合にはより小さく、従ってまた誤りある試料では目
標‐検出器電流Ｉ１よりも小さい検出器電流Ｉ２が生ず
る。こうして図４には例として負の逆電圧−ＵＧ＝ＵＧ
１−ＵＰＳおよびＵＰ＝ＵＰ１−ＵＰＩに対する第３の
スペクトロメータ特性曲線に対して動作点６で検出器電
流Ｉ２が生ずる。誤りのある試料の検出器電流Ｉ２は誤
りの形式に応じて目標‐検出器電流Ｉ１よりも小さいこ
とも大きいこともあり得る。
ータ特性曲線を有するダイアグラムが示されており、そ
こには負の逆電圧−ＵＧにわたって検出器電流ＩＡが記
入されており、また試料電圧ＵＰ＝ＵＰ１に対する第１
のスペクトロメータ特性曲線、試料電圧ＵＰ＝ＵＰ１−
ＵＰＳに対する第２のスペクトロメータ特性曲線および
試料電圧ＵＰ＝ＵＰ１−ＵＰＩに対する第３のスペクト
ロメータ特性曲線が示されており、ここでＵＰ１はたと
えば０であってもよい基本試料電圧、ＵＰＩは誤りがあ
る場合の実際‐試料電圧ストローク、またＵＰＳは目標
‐試料電圧ストロークである。目標‐試料電圧ストロー
クＵＰＳが０に等しく、従ってまた試料電圧が試料基本
電圧ＵＰ１に等しい場合には、相対的逆電圧ＵＧは基本
逆電圧ＵＧ１に一致する。基本逆電圧ＵＧ１は試料電圧
ＵＰ＝ＵＰ１に対する第１のスペクトロメータ特性曲線
と一緒に動作点４に目標‐検出器電流Ｉ１を形成する。
いま、誤りがない場合に、測定個所Ｍにおける試料電圧
が基本試料電圧ＵＰ１および目標‐試料電圧ストローク
ＵＰＳから成るならば、加算個所Ｓ３における基本逆電
圧ＵＧ１が同じく正確に目標‐試料電圧ストロークに重
畳されるので、ＵＰ＝ＵＰ１に対する第１のスペクトロ
メータ特性曲線は単に図２の場合のようにＵＧ軸の方向
にずらされる。その結果、測定個所Ｍにおける試料電圧
ストロークが測定個所Ｍに対するそれぞれの目標‐試料
電圧ストロークに一致するかぎり、検出器電流ＩＡは目
標‐検出器電流Ｉ１に一致する。こうして図４で逆電圧
ＵＧ１−ＵＰＳはＵＰ＝ＵＰ１−ＵＰＳに対する第２の
スペクトロメータ特性曲線と一緒に動作点５で同じく目
標‐検出器電流Ｉ１に通ずる。動作点４、従ってまた動
作点５が、それがそれぞれのスペクトロメータ特性曲線
の最大急峻度を有する点を表すように選ばれることは有
利である。なぜならば、その際に最大の測定感度または
最大の電圧ストロークが可能であるからである。誤りの
ある試料Ｐの際に試料電圧ＵＰがたとえば誤りのない場
合のように強く負にならないと、実際‐試料電圧ストロ
ークＵＰＩの大きさは目標‐試料電圧ストロークＵＰＳ
の大きさよりも小さく、従って二次電子ＳＥ１のエネル
ギーは誤りのない場合のように強く高められず、また基
本試料電圧ＵＰ１の第１のスペクトロメータ特性曲線は
誤りのない場合のように強く負の逆電圧−ＵＧの方向に
ずらされない。しかし負の逆電圧−ＵＧは誤りのある試
料の場合にも基本逆電圧ＵＧ１と駆動ユニットＡＥから
の目標‐試料電圧ストロークＵＰＳとから形成されるの
で、その結果、逆電界電極ＧＮのそれぞれ等しい逆電界
により二次電子ＳＥ３は確かに両方の場合に等しく強く
制動されるが、二次電子ＳＥ１のエネルギーは誤りのあ
る場合にはより小さく、従ってまた誤りある試料では目
標‐検出器電流Ｉ１よりも小さい検出器電流Ｉ２が生ず
る。こうして図４には例として負の逆電圧−ＵＧ＝ＵＧ
１−ＵＰＳおよびＵＰ＝ＵＰ１−ＵＰＩに対する第３の
スペクトロメータ特性曲線に対して動作点６で検出器電
流Ｉ２が生ずる。誤りのある試料の検出器電流Ｉ２は誤
りの形式に応じて目標‐検出器電流Ｉ１よりも小さいこ
とも大きいこともあり得る。
【００１３】少なくとも１つの別の電極（ＡＮ）が測定
個所（Ｍ）と逆電界電極（ＧＮ）との間に位置してお
り、また部分的に一次電子線を当てられる場合には、測
定個所（Ｍ）とそれぞれの別の電極との間の電圧は、検
出器電流（ＩＡ）の不純化を受けないように、できるか
ぎり試料電圧ＵＰの変化、すなわち試料電圧ストローク
に無関係でなければならない。本発明により、図３に示
されているように、それぞれの基本電極電圧ＵＡ１に測
定個所（Ｍ）に対する目標‐試料電圧ストローク（ＵＰ
Ｓ）が重畳されると、検出器電流の不純化が誤りのない
試料の場合には回避され、また誤りのある試料の場合に
は減ぜられ得る。
個所（Ｍ）と逆電界電極（ＧＮ）との間に位置してお
り、また部分的に一次電子線を当てられる場合には、測
定個所（Ｍ）とそれぞれの別の電極との間の電圧は、検
出器電流（ＩＡ）の不純化を受けないように、できるか
ぎり試料電圧ＵＰの変化、すなわち試料電圧ストローク
に無関係でなければならない。本発明により、図３に示
されているように、それぞれの基本電極電圧ＵＡ１に測
定個所（Ｍ）に対する目標‐試料電圧ストローク（ＵＰ
Ｓ）が重畳されると、検出器電流の不純化が誤りのない
試料の場合には回避され、また誤りのある試料の場合に
は減ぜられ得る。
【００１４】駆動ユニットＡＥは各測定個所Ｍに対する
最も複雑な場合には端子Ａ１…Ａ３に対する異なった設
定電圧ベクトルおよびそれぞれ異なった目標‐電圧スト
ロークＵＰＳを供給し得る。１つの実現可能性はこの場
合にたとえば後段に接続されているディジタル‐アナロ
グ変換器を有するメモリまたは計算機の形態にある。さ
らに駆動ユニットＡＥのなかに、各測定個所に対してそ
れぞれの設定電圧ベクトルに相応の目標‐試料電圧スト
ロークＵＰＳを形成する機能を果たす試料が使用され得
る。しかしＬＣＤ‐ポイント‐マトリックスディスプレ
イの検査のためには非常に簡単な駆動ユニットＡＥ´が
使用され得る。なぜならば、ＬＣＤ‐ポイント‐マトリ
ックスディスプレイのすべての要素は同時にまた同種に
能動化または駆動され得るし、またそれぞれの目標‐試
料電圧ストロークＵＰＳが各要素に対して、すなわち各
測定個所に対して等しいからである。このような駆動ユ
ニットＡＥ´は図５に示されており、またたとえば抵抗
Ｒ１および抵抗Ｒ２から成る分圧器と接続されている直
流電圧原ＵＥを有する。直流電圧原ＵＥはその際に試料
Ｐのすべての端子Ａ１…Ａ３に対して同時にそれぞれの
設定電圧を供給し、また分圧器により抵抗Ｒ１にすべて
の測定個所に対して等しい目標‐電圧ストロークＵＰＳ
が発生される。
最も複雑な場合には端子Ａ１…Ａ３に対する異なった設
定電圧ベクトルおよびそれぞれ異なった目標‐電圧スト
ロークＵＰＳを供給し得る。１つの実現可能性はこの場
合にたとえば後段に接続されているディジタル‐アナロ
グ変換器を有するメモリまたは計算機の形態にある。さ
らに駆動ユニットＡＥのなかに、各測定個所に対してそ
れぞれの設定電圧ベクトルに相応の目標‐試料電圧スト
ロークＵＰＳを形成する機能を果たす試料が使用され得
る。しかしＬＣＤ‐ポイント‐マトリックスディスプレ
イの検査のためには非常に簡単な駆動ユニットＡＥ´が
使用され得る。なぜならば、ＬＣＤ‐ポイント‐マトリ
ックスディスプレイのすべての要素は同時にまた同種に
能動化または駆動され得るし、またそれぞれの目標‐試
料電圧ストロークＵＰＳが各要素に対して、すなわち各
測定個所に対して等しいからである。このような駆動ユ
ニットＡＥ´は図５に示されており、またたとえば抵抗
Ｒ１および抵抗Ｒ２から成る分圧器と接続されている直
流電圧原ＵＥを有する。直流電圧原ＵＥはその際に試料
Ｐのすべての端子Ａ１…Ａ３に対して同時にそれぞれの
設定電圧を供給し、また分圧器により抵抗Ｒ１にすべて
の測定個所に対して等しい目標‐電圧ストロークＵＰＳ
が発生される。
【００１５】二次電子を発生するための粒子線としては
前記のように一次電子線のほかにイオン線またはレーザ
ー線も使用され得る。
前記のように一次電子線のほかにイオン線またはレーザ
ー線も使用され得る。
【００１６】電極としての役割をする吸引電極、逆電界
電極および別の電極はその際にそれぞれスリット状の孔
を有する板の形態の相応の電極により置換可能である。
電極および別の電極はその際にそれぞれスリット状の孔
を有する板の形態の相応の電極により置換可能である。
【図１】公知の粒子線検査方法を実施するための装置の
回路図。
回路図。
【図２】図１に対するスペクトロメータ特性曲線を有す
るダイアグラム。
るダイアグラム。
【図３】本発明による粒子線検査方法を実施するための
装置の回路図。
装置の回路図。
【図４】図３に対するスペクトロメータ特性曲線を有す
るダイアグラム。
るダイアグラム。
【図５】図３に対する駆動ユニットの実施例。
Ａ１〜Ａ３ 端子 ＡＥ、ＡＥ´ 駆動ユニット ＡＮ 別の電極 Ｄ 検出器 ＧＮ 逆電界電極 Ｉ１ 目標‐検出器電流 Ｉ２ 実際‐検出器電流 ＩＡ 検出器電流 Ｍ 測定個所 Ｐ 試料 ＰＥ 粒子線 Ｒ１、Ｒ２ 分圧器 ＳＥ１ 二次電子 ＳＥ２ 二次電子の一部分 ＵＡ 電極電圧 ＵＡ１ 基本電極電圧 ＵＥ 直流電圧源 ＵＥ１ 設定電圧 ＵＧ 逆電圧 ＵＧ１ 基本逆電圧 ＵＰＩ 実際‐試料電圧ストローク ＵＰＳ 目標‐試料電圧ストローク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｊ 37/28 Ａ
Claims (6)
- 【請求項１】 粒子線（ＰＥ）、特に電子線が試料
（Ｐ）のそれぞれ１つの測定個所（Ｍ）に向けられ、ま
たその結果として二次電子（ＳＥ１）が形成され、二次
電子の一部分（ＳＥ２）が少なくとも１つの逆電界電極
（ＧＮ）を横断し、検出器（Ｄ）に到達し、またそこで
検出器電流（ＩＡ）を生じさせ、検出器電流（ＩＡ）が
それぞれの測定個所（Ｍ）における試料電圧（ＵＰ）お
よび逆電界電極の逆電圧（ＵＧ）に関係し、また試料電
圧（ＵＰ）の変化の際に逆電圧が追跡される粒子線検査
方法において、駆動ユニット（ＡＥ）により試料（Ｐ）
の少なくとも１つの端子（Ａ１）が設定電圧（ＵＥ１）
を供給され、測定個所（Ｍ）に少なくとも１つの設定電
圧に基づいてそれぞれの実際‐試料電圧ストローク（Ｕ
Ｐ１）が発生され、逆電圧が、駆動ユニット（ＡＥ）に
より基本逆電圧（ＵＧ１）に重畳される目標‐試料電圧
ストローク（ＵＰＳ）が発生されて基本逆電圧と一緒に
逆電界電極（ＧＮ）における逆電圧（ＵＧ）を形成する
ことにより追跡され、少なくとも１つの設定電圧（ＵＥ
１）の変化の際に検出器電流（ＩＡ）が一定にとどま
り、また、測定個所（Ｍ）における実際‐試料電圧スト
ローク（ＵＰ１）がそれぞれの測定個所（Ｍ）に対する
目標‐試料電圧ストローク（ＵＰＳ）と等しい値を有す
るかぎり、目標‐検出器電流（Ｉ１）に一致し、また誤
りを有する試料が検出器電流（ＩＡ）の変化に基づいて
検出されることを特徴とする粒子線検査方法。 - 【請求項２】 測定個所（Ｍ）と逆電界電極（ＧＮ）と
の間に少なくとも１つの別の電極（ＡＮ）が位置し、ま
た粒子線（ＰＥ）を部分的に当てられ、目標‐試料電圧
ストローク（ＵＰＳ）が少なくともそれぞれの別の電極
（ＡＮ）に対する基本電極電圧（ＵＡ１）によりそれぞ
れの電極電圧（ＵＡ）として重畳され、またそれぞれの
電極電圧（ＵＡ）がそれぞれの別の電極（ＡＮ）に供給
されることを特徴とする請求項１記載の粒子線検査方
法。 - 【請求項３】 目標‐検出器電流（Ｉ１）が、目標‐検
出器電流（Ｉ１）と実際‐検出器電流（Ｉ２）との間の
最大差が生ずるように選ばれることを特徴とする請求項
１または２記載の粒子線検査方法。 - 【請求項４】 駆動ユニット（ＡＥ´）が直流電圧源
（ＵＥ）および分圧器（Ｒ１、Ｒ２）からのみ成ってお
り、試料（Ｐ）の複数の駆動端子（Ａ１、Ａ２、Ａ３）
が同時に直流電圧源と接続されており、またすべての測
定点（Ｍ）に対して等しい目標‐試料電圧ストロークが
分圧器により直流電圧源の電圧から形成されることを特
徴とする請求項１ないし３の１つに記載の粒子線検査方
法。 - 【請求項５】 逆電界電極および（または）別の電極
は、これらが存在するかぎり、網の形態で構成されてい
ることを特徴とする請求項１ないし４の１つに記載の粒
子線検査方法。 - 【請求項６】 逆電界電極および（または）別の電極
は、これらが存在するかぎり、スリット状の孔を有する
板の形態で構成されていることを特徴とする請求項１な
いし４の１つに記載の粒子線検査方法。
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-
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