JP2009208941A - リニア軸のケーブル処理機構およびそれを用いた基板搬送装置 - Google Patents
リニア軸のケーブル処理機構およびそれを用いた基板搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009208941A JP2009208941A JP2008055857A JP2008055857A JP2009208941A JP 2009208941 A JP2009208941 A JP 2009208941A JP 2008055857 A JP2008055857 A JP 2008055857A JP 2008055857 A JP2008055857 A JP 2008055857A JP 2009208941 A JP2009208941 A JP 2009208941A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cable
- base member
- linear shaft
- processing mechanism
- linear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
Abstract
【解決手段】ケーブルガイド37、38が、一端がベース部材34に固定され、U字状に湾曲して、その他端がスライド部材27a、27bに固定され、スライド部材27a、27bの進退方向に沿って延在するよう配置され、スライド部材27a、27bの進退方向から見てベース部材34に対して傾斜するよう配置した。
【選択図】図4
Description
このようなリニア軸が可動するとき、電力を供給するケーブルや、エアー、冷却水といった流体を供給するケーブルを、相対的に動く2つの部位の間で適切に案内するためのケーブル処理機構としてケーブルガイドが使用される。ケーブルガイドはケーブルを収容してリニア軸に沿うように配置され、U字状に湾曲しながらケーブルを案内するもので、従来から様々な装置で使用されている(例えば、特許文献2)。
図9は、特許文献1のような搬送装置のリニア軸におけるケーブルがケーブルガイドによって処理されていることを示す図であって、リニア軸の軸方向から当該搬送装置を見た断面図である。図9では並設された2つのリニア軸を有する搬送装置を示している。
基台のテーブル34に対して垂直に、かつ互いに平行になるように取り付けられた2つのリニアガイド取付板33の垂直面の外側に、さらにそれぞれリニアガイド31が敷設されている。そのリニアガイド可動部32には2つのハンド27の基端側がそれぞれ取り付けられている。リニアガイド31は図の奥行き方向に敷設されていて、リニアガイド可動部32はリニアガイド31に摺動しながら直線状に案内される。従って図における奥行方向が当該搬送装置のリニア軸の動作方向である。2つのハンド27のそれぞれの先端側にはウェハ28が搭載され、図示省略したモータにより、図における奥行方向にそれぞれのハンド27が互いに独立して動作しながらウェハ28が搬送される。ここで、ハンド27がウェハ28を把持したり、若しくはウェハ28の有無を電気的に検出しようとしたりする場合には、ハンド27に電力やエアを供給する必要が生じ、その電力やエアを供給するケーブルを案内するための機構が必要となる。図9の場合、これらケーブル処理のために用いられるケーブルガイド38は、図に示すように、リニア軸に沿って配置され、リニア軸の軸方向にU字状に湾曲するように配置される。ケーブルガイド38の一端はケーブルガイド固定側部材39でテーブル34に固定され、他端はケーブルガイド可動側支柱40を介してハンド27の基端部に固定される。ベース34側からケーブルガイド38の内部へと図示しないケーブルが挿通され、ハンド27に対して電力や流体が供給される。この構成により、ハンド27がリニア軸にて可動すると、その動作に伴ってケーブルガイド38の他端も可動しつつその内部に収容したケーブルを他の部材に干渉させることなく適切に案内できる。
さらにリニア軸を2本並設する場合は、2本分のケーブル処理機構のスペースが必要となって装置サイズが大きくなる問題があった。
また、図10のように装置の高さを抑えるためにケーブルガイド38を外側に配置しても、平面方向の装置サイズが大きくなる問題があった。
さらに、リニア軸を多数並設する場合には、以上の問題によって装置サイズが大きくなる影響が顕著に表れるほか、ケーブルガイドの配置が複雑になるという問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、リニア軸を有する装置において高さ方向や幅方向に制限がある場合であってもリニア軸のケーブル処理機構が必要なスペースを小さくでき、さらにリニア軸を2本並設する場合であっても、装置サイズを小さくすることを目的とする。
また、2本を越えるリニア軸を並設する場合でも、装置サイズを小さくした基板搬送装置を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、ベース部材と、前記ベース部材に対して直線的に平行スライドして進退可能なスライド部材と、前記ベース部材と前記スライド部材とを繋ぐように配置され、前記ベース部材から前記スライド部材へ配設されるケーブルを収納して案内するケーブルガイドと、を備えたリニア軸のケーブル処理機構において、前記ケーブルガイドは、一端が前記ベース部材に固定され、U字状に湾曲して、その他端が前記スライド部材に固定され、前記スライド部材の進退方向に沿って延在するよう配置され、前記スライド部材の進退方向から見て前記ベース部材に対して傾斜するよう配置されたことを特徴とするリニア軸のケーブル処理機構とするものである。
請求項2に記載の発明は、前記スライド部材が、前記ベース部材に対して直線的に平行スライドし、互いに平行にかつ個別に進退可能な第1及び第2スライド部材から構成され、前記ケーブルガイドが、前記ベース部材と前記第1スライド部材とを繋ぐように配置され、前記ベース部材から前記第1スライド部材へ配設される第1ケーブルを収納して案内する第1ケーブルガイドと、前記ベース部材と前記第2スライド部材とを繋ぐように配置され、前記ベース部材から前記第2スライド部材へ配設される第2ケーブルを収納して案内する第2ケーブルガイドと、から構成され、前記第1及び第2ケーブルガイドが、前記湾曲した部分の内側が互いに対向し、前記スライド部材の進退方向から見てクロスするよう配置されたことを特徴とする請求項1記載のリニア軸のケーブル処理機構とするものである。
請求項3に記載の発明は、前記ケーブルガイドを用いず、前記ケーブル自身が、前記ベース部材に固定され、U字状に湾曲して、前記スライド部材に固定され、前記スライド部材の進退方向に沿って延在するよう配置され、前記スライド部材の進退方向から見て前記ベース部材に対して傾斜するよう配置されたことを特徴とする請求項1記載のリニア軸のケーブル処理機構とするものである。
請求項4に記載の発明は、前記第1ケーブルガイドを用いず、前記第1ケーブル自身が、前記ベース部材に固定され、U字状に湾曲して、前記第1スライド部材に固定され、前記第2ケーブルガイドを用いず、前記第2ケーブル自身が、前記ベース部材に固定され、U字状に湾曲して、前記第2スライド部材に固定され、前記第1及び第2ケーブルが、前記湾曲した部分の内側が互いに対向し、前記第1及び第2スライド部材の進退方向から見てクロスするよう配置されたことを特徴とする請求項2記載のリニア軸のケーブル処理機構とするものである。
請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4いずれかに記載のリニア軸のケーブル処理機構を備えた基板搬送装置とするものである。
請求項6に記載の発明は、水平に設けられたベース部材と、前記ベース部材に対して直線的に水平方向に平行スライドし、互いに平行かつ個別に進退し、基板を搭載可能な第1及び第2ハンドと、前記ベース部材と前記第1ハンドとを繋ぐように配置され、前記ベース部材から前記第1ハンドへ配設される第1ケーブルを収納して案内する第1ケーブルガイドと、前記ベース部材と前記第2ハンドとを繋ぐように配置され、前記ベース部材から前記第2ハンドへ配設される第2ケーブルを収納して案内する第2ケーブルガイドと、を備えたリニア軸のケーブル処理機構を備えた基板搬送装置において、前記第1及び第2ケーブルガイドは、それぞれの一端が前記ベース部材に固定され、U字状に湾曲して、その他端が前記第1及び第2ハンドにそれぞれ固定され、前記第1及び第2ハンドの進退方向に沿って延在するよう配置され、前記湾曲した部分の内側が互いに対向し、前記ハンドの進退方向から見てクロスするよう配置され、 前記第1及び第2ハンドのそれぞれは、前記ベース部材の水平面に平行に延設されたのち、垂直方向に延設され、再び水平方向に延設され、互いに上下で重なるよう配置されたことを特徴とするリニア軸のケーブル処理機構を備えた基板搬送装置とするものである。
請求項7に記載の発明は、請求項6記載の基板搬送装置が複数台あって、前記複数台の基板搬送装置が垂直方向に多段に重ねられ、前記複数台の基板搬送装置のそれぞれの前記第1及び第2ハンドが、前記複数台のうち最も上部に位置する前記基板搬送装置の上面において上下で重なるよう配置されたことを特徴とするリニア軸のケーブル処理機構を備えた基板搬送装置とするものである。
特に並設された2本のリニア軸の先に電力やエアを供給する場合でも、それぞれのリニア軸のケーブルガイドをリニア軸の摺動方向から見てクロスに配置することにより、装置サイズを小さくできる。
また、この構成をそのまま上下方向に多段積みし、ハンドの延設形態を本発明のようにすることで、装置サイズを小さくした基板搬送装置を構成することができる。
図において、マニピュレータ21は、支柱状に形成されたマニピュレータ昇降駆動部26のマニピュレータ上部取付部22とマニピュレータ下部取付部23とが、図示省略した半導体製造装置の架台に固定される搬送装置である。マニピュレータ支持部25はZ軸に沿った自由度をもち、マニピュレータ昇降駆動部26内に配置された図示しないモータによって、昇降動作される。リニア軸駆動部24はS軸を中心とする回転方向の自由度をもち、マニピュレータ支持部25内に配置された図示しないモータによって旋回動作される。第1ハンド27aと第2ハンド27bはX軸に沿った自由度をもち、リニア軸駆動部24内に配置された図示しないモータによってそれぞれ個別に進退動作される。さらにマニピュレータ21の動作中に第1ハンド27aや第2ハンド27bに搭載したウェハ28を落下させないように、第1及び第2ハンド27a,bにはウェハ28を把持する機構や、ウェハ28の有無を検出する機構が組み込まれている。以上で構成されるマニピュレータ21は、予め登録されたデータに従って動作され、第1及び第2ハンド27a,bの位置、角度が制御される。
図1は、リニア軸駆動部24の透視斜視図であり、図2と同じ方向から見た斜視図である。図3はリニア軸駆動部24の透視平面図(上面図)である。図1、3ともに、後述する説明のために第1及び第2ハンド27a,b、ウェハ28は図示省略している。図4は、図3における矢印Aから見たリニア軸駆動部24の透視側面図である。
図において、テーブル34は、マニピュレータ支持部25に対してS軸を中心に回転可能に取り付けられている。リニアガイド取付板33は、テーブル34に対して垂直に取り付けられている。この2本のリニアガイド取付板33は並設されて取り付けられており、両端でそれぞれ横枠35と結合することで、リニアガイド取付板33の剛性を確保している。さらに2本のリニアガイド取付板33の外側の垂直面には、各々リニアガイド31が取り付けられる。リニアガイド31はX軸に沿って延在するよう固定されている。リニアガイド可動部32は、それぞれのリニアガイド31に摺動しながら可動する部分であって、これに第1及び第2ハンド27a,bが取り付けられている。それぞれのハンド27は、リニアガイド31によって精密にX軸に沿って案内されながら、モータ36と図示しないベルトとによって進退動作される。以上によって、リニア軸駆動部24は、第1及び第2ハンド27a,bをそれぞれX軸に沿って駆動する第1リニア軸43と第2リニア軸44の計2本のリニア軸を有している。
そして、第1及び第2ケーブルガイド37、38は、図4のように、2本のリニア軸の中間を通る鉛直な軸(本実施例の場合S軸と同一)に対して対称に、リニア軸の動作によって互いに干渉しないようにリニア軸の摺動方向(X軸の軸方向)から見てクロスに配置する。すなわち、第1及び第2ケーブルガイド37、38は、U字状の湾曲部分の内側が対向するように配置する。本実施例の場合、装置の高さ方向を抑えるため、クロスの平面に対する傾斜角αが緩やかになるように配置される。装置の幅方向を抑えるには傾斜角αを大きくすればよい。なお、当然ながら、第1ハンド27a及び第2ハンド27bがリニア軸(X軸)の前後端に到達しても、第1及び第2ケーブルガイド37、38のU字状の内側の対向部分は接触しないよう各ケーブルガイドの長さが設定されている。
そのため、省スペース化や小フットプリント化の要求が多いウェハ搬送用マニピュレータにおいて、前後駆動部(リニア軸)を備えるマニピュレータの小型化に特に有効な発明である。
さらに、電線やエアーチューブ自体がある程度の剛性を有していて、ケーブルガイドに収納されなくともU字状の姿勢を保持できるものであれば、電線やエアーチューブをケーブルガイド38内に収納せず、電線やエアーチューブ自身を本実施例のように配置しても良い。
また、本実施例では第1及び第2ケーブルガイド37、38をリニア軸の摺動方向(X軸の軸方向)から見てクロスに配置したが、例えば第2のケーブルガイド38及びそれに収容されるケーブルが不要であれば、第1ケーブルガイド37だけを本実施例のように傾斜して設置するだけでも、従来(図9や図10)よりも装置の高さ方向や幅方向の長さを抑えることができる。
また、本実施例のリニア軸は第1ハンド27a及び第2ハンド27bのような可動部が水平方向に移動するものを例示したが、これに限らず可動部が、垂直方向や傾斜した方向へ移動するリニア軸でも本発明を適用できる。
実施例1で説明したリニア軸駆動部は、第1及び第2ハンド27a,bのそれぞれがリニアガイド可動部32から一旦水平外側に向かって伸び、その後鉛直方向上側に延設されて再び装置の内側に延設されるよう形成されており、また、それぞれのケーブルガイドは2本のリニア軸の間にあって、リニア軸(X軸)方向から見たとき、その中間を通る鉛直な軸に対して対称に、リニア軸の動作によって互いに干渉しないようにクロスに配置されていることから、上下に多段に積み重ねることが容易である。
本実施例では、前述のリニア軸駆動部を上下2段積みとし、4本のリニアガイド取付板33の両端を横枠35と結合することで、リニアガイド取付板33の剛性を確保している。
本構造によれば、4つのハンド27が独立して前後動作しても第1及び第2ケーブルガイド37、38が互いに干渉することなく動作可能であり、さらにケーブル処理によるリニア軸駆動部24の平面方向や高さ方向のサイズ拡大を抑え、コンパクトな装置を実現でき、またS軸に沿って導かれた電線やエアーチューブをスムーズにそれぞれのハンド27に導くことができる。
22 マニピュレータ上部取付部
23 マニピュレータ下部取付部
24 リニア軸駆動部
25 マニピュレータ支持部
26 マニピュレータ昇降駆動部
27 ハンド
28 ウェハ
31 リニアガイド
32 リニアガイド可動部
33 リニアガイド取付板
34 テーブル
35 横枠
36 モータ
37 第1ケーブルガイド
38 第2ケーブルガイド
39 ケーブルガイド固定側部材
40 ケーブルガイド可動側支柱
42 隙間
43 第1リニア軸
44 第2リニア軸
α 傾斜角
Claims (7)
- ベース部材と、前記ベース部材に対して直線的に平行スライドして進退可能なスライド部材と、前記ベース部材と前記スライド部材とを繋ぐように配置され、前記ベース部材から前記スライド部材へ配設されるケーブルを収納して案内するケーブルガイドと、を備えたリニア軸のケーブル処理機構において、
前記ケーブルガイドは、一端が前記ベース部材に固定され、U字状に湾曲して、その他端が前記スライド部材に固定され、前記スライド部材の進退方向に沿って延在するよう配置され、前記スライド部材の進退方向から見て前記ベース部材に対して傾斜するよう配置されたことを特徴とするリニア軸のケーブル処理機構。 - 前記スライド部材が、前記ベース部材に対して直線的に平行スライドし、互いに平行にかつ個別に進退可能な第1及び第2スライド部材から構成され、
前記ケーブルガイドが、前記ベース部材と前記第1スライド部材とを繋ぐように配置され、前記ベース部材から前記第1スライド部材へ配設される第1ケーブルを収納して案内する第1ケーブルガイドと、前記ベース部材と前記第2スライド部材とを繋ぐように配置され、前記ベース部材から前記第2スライド部材へ配設される第2ケーブルを収納して案内する第2ケーブルガイドと、から構成され、
前記第1及び第2ケーブルガイドが、前記湾曲した部分の内側が互いに対向し、前記スライド部材の進退方向から見てクロスするよう配置されたことを特徴とする請求項1記載のリニア軸のケーブル処理機構。 - 前記ケーブルガイドを用いず、前記ケーブル自身が、前記ベース部材に固定され、U字状に湾曲して、前記スライド部材に固定され、前記スライド部材の進退方向に沿って延在するよう配置され、前記スライド部材の進退方向から見て前記ベース部材に対して傾斜するよう配置されたことを特徴とする請求項1記載のリニア軸のケーブル処理機構。
- 前記第1ケーブルガイドを用いず、前記第1ケーブル自身が、前記ベース部材に固定され、U字状に湾曲して、前記第1スライド部材に固定され、
前記第2ケーブルガイドを用いず、前記第2ケーブル自身が、前記ベース部材に固定され、U字状に湾曲して、前記第2スライド部材に固定され、
前記第1及び第2ケーブルが、前記湾曲した部分の内側が互いに対向し、前記第1及び第2スライド部材の進退方向から見てクロスするよう配置されたことを特徴とする請求項2記載のリニア軸のケーブル処理機構。 - 請求項1乃至4いずれかに記載のリニア軸のケーブル処理機構を備えた基板搬送装置。
- 水平に設けられたベース部材と、前記ベース部材に対して直線的に水平方向に平行スライドし、互いに平行かつ個別に進退し、基板を搭載可能な第1及び第2ハンドと、前記ベース部材と前記第1ハンドとを繋ぐように配置され、前記ベース部材から前記第1ハンドへ配設される第1ケーブルを収納して案内する第1ケーブルガイドと、前記ベース部材と前記第2ハンドとを繋ぐように配置され、前記ベース部材から前記第2ハンドへ配設される第2ケーブルを収納して案内する第2ケーブルガイドと、を備えたリニア軸のケーブル処理機構を備えた基板搬送装置において、
前記第1及び第2ケーブルガイドは、それぞれの一端が前記ベース部材に固定され、U字状に湾曲して、その他端が前記第1及び第2ハンドにそれぞれ固定され、前記第1及び第2ハンドの進退方向に沿って延在するよう配置され、前記湾曲した部分の内側が互いに対向し、前記ハンドの進退方向から見てクロスするよう配置され、
前記第1及び第2ハンドのそれぞれは、前記ベース部材の水平面に平行に延設されたのち、垂直方向に延設され、再び水平方向に延設され、互いに上下で重なるよう配置されたことを特徴とするリニア軸のケーブル処理機構を備えた基板搬送装置。 - 請求項6記載の基板搬送装置が複数台あって、前記複数台の基板搬送装置が垂直方向に多段に重ねられ、
前記複数台の基板搬送装置のそれぞれの前記第1及び第2ハンドが、前記複数台のうち最も上部に位置する前記基板搬送装置の上面において上下で重なるよう配置されたことを特徴とするリニア軸のケーブル処理機構を備えた基板搬送装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008055857A JP4816662B2 (ja) | 2008-03-06 | 2008-03-06 | リニア軸のケーブル処理機構およびそれを用いた基板搬送装置 |
KR1020090012297A KR101086982B1 (ko) | 2008-03-06 | 2009-02-16 | 리니어 축의 케이블 처리 기구 및 이를 이용한 기판 반송 장치 |
TW098105479A TWI437180B (zh) | 2008-03-06 | 2009-02-20 | A linear shaft cable handling mechanism and a substrate handling apparatus using the same |
US12/399,634 US7956286B2 (en) | 2008-03-06 | 2009-03-06 | Cable handling structure for linear axis, and substrate transfer device equipped with the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008055857A JP4816662B2 (ja) | 2008-03-06 | 2008-03-06 | リニア軸のケーブル処理機構およびそれを用いた基板搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009208941A true JP2009208941A (ja) | 2009-09-17 |
JP4816662B2 JP4816662B2 (ja) | 2011-11-16 |
Family
ID=41052423
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008055857A Expired - Fee Related JP4816662B2 (ja) | 2008-03-06 | 2008-03-06 | リニア軸のケーブル処理機構およびそれを用いた基板搬送装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7956286B2 (ja) |
JP (1) | JP4816662B2 (ja) |
KR (1) | KR101086982B1 (ja) |
TW (1) | TWI437180B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013110341A1 (de) | 2012-09-26 | 2014-03-27 | Denso Corporation | Drahtlose Leistungsübertragungsvorrichtung und Direktantriebssystem mit der Vorrichtung |
JP2016115887A (ja) * | 2014-12-17 | 2016-06-23 | ロボスター・カンパニー・リミテッド | マルチプルアームを備えた搬送ロボット |
EP3872173A1 (en) | 2020-02-28 | 2021-09-01 | CIC nanoGUNE - Asociación Centro de Investigación Cooperativa en Nanociencias | Method for producing crystalline nanocellulose |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5365416B2 (ja) * | 2009-08-25 | 2013-12-11 | 富士ゼロックス株式会社 | 配線保持部材、電子装置及び画像形成装置 |
US11944469B2 (en) | 2010-03-12 | 2024-04-02 | Mobius Imaging Llc | Caster system for mobile apparatus |
US9293317B2 (en) * | 2012-09-12 | 2016-03-22 | Lam Research Corporation | Method and system related to semiconductor processing equipment |
WO2014143890A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Mobius Imaging, Llc | Caster system for mobile apparatus |
US9022237B2 (en) | 2013-05-22 | 2015-05-05 | Glideware, Llc. | Extendable storage device |
KR101506188B1 (ko) * | 2013-08-30 | 2015-03-26 | 주식회사 로보스타 | 멀티플 암을 구비한 반송 로봇 |
CN104344080B (zh) * | 2014-10-21 | 2016-06-08 | 山东鲁能智能技术有限公司 | 一种用于曲线供电的电缆拖链移动装置及其工作方法 |
JP6232164B2 (ja) * | 2015-03-25 | 2017-11-15 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
US10901328B2 (en) * | 2018-09-28 | 2021-01-26 | Applied Materials, Inc. | Method for fast loading substrates in a flat panel tool |
CN112993904B (zh) * | 2021-02-09 | 2022-12-27 | 中国煤炭科工集团太原研究院有限公司 | 自动跟随式电缆拖拽装置和具有其的快速掘进系统 |
CN114044413B (zh) * | 2021-11-18 | 2022-06-28 | 中国科学院空间应用工程与技术中心 | 一种用于直线运动的线缆整理机构以及载荷试验装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6464741A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-10 | Tsuee Hirushiyuman Guregorii | Device for assembly system |
JPH01110014A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-26 | Mitsubishi Electric Corp | ケーブルガイド |
JPH02100892A (ja) * | 1988-10-08 | 1990-04-12 | Fanuc Ltd | 産業用ロボットの旋回機構部 |
JPH11163082A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
JP2000232273A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Nitto Electric Works Ltd | 引出しユニット |
JP2005216132A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Sumitomo Eaton Noba Kk | 移動装置の制御方法、及び移動装置の連動装置、及び移動装置の連動方法、及び半導体製造装置、及び液晶製造装置、及びメカニカルスキャンイオン注入装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5297910A (en) | 1991-02-15 | 1994-03-29 | Tokyo Electron Limited | Transportation-transfer device for an object of treatment |
JP2835890B2 (ja) | 1991-09-17 | 1998-12-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置 |
US6576840B1 (en) * | 1999-09-09 | 2003-06-10 | Umax Data Systems Inc. | Structure for protecting and guiding flat cable of traveling module |
JP2002185191A (ja) | 2000-12-12 | 2002-06-28 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子部品装着装置 |
US6945504B2 (en) * | 2002-08-20 | 2005-09-20 | King Slide Works Co., Ltd. | Adjustable cable management arm for furniture |
JP4660383B2 (ja) * | 2005-06-24 | 2011-03-30 | 矢崎総業株式会社 | ハーネス余長吸収機構 |
US7473846B2 (en) * | 2006-03-29 | 2009-01-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Reversible cable support arm |
US7569772B2 (en) * | 2007-03-28 | 2009-08-04 | Adc Dsl Systems, Inc. | Cable management system |
-
2008
- 2008-03-06 JP JP2008055857A patent/JP4816662B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-02-16 KR KR1020090012297A patent/KR101086982B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2009-02-20 TW TW098105479A patent/TWI437180B/zh not_active IP Right Cessation
- 2009-03-06 US US12/399,634 patent/US7956286B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6464741A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-10 | Tsuee Hirushiyuman Guregorii | Device for assembly system |
JPH01110014A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-26 | Mitsubishi Electric Corp | ケーブルガイド |
JPH02100892A (ja) * | 1988-10-08 | 1990-04-12 | Fanuc Ltd | 産業用ロボットの旋回機構部 |
JPH11163082A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
JP2000232273A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Nitto Electric Works Ltd | 引出しユニット |
JP2005216132A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Sumitomo Eaton Noba Kk | 移動装置の制御方法、及び移動装置の連動装置、及び移動装置の連動方法、及び半導体製造装置、及び液晶製造装置、及びメカニカルスキャンイオン注入装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013110341A1 (de) | 2012-09-26 | 2014-03-27 | Denso Corporation | Drahtlose Leistungsübertragungsvorrichtung und Direktantriebssystem mit der Vorrichtung |
US9601265B2 (en) | 2012-09-26 | 2017-03-21 | Denso Wave Incorporated | Wireless power transmission apparatus and direct drive type system including the apparatus |
DE102013110341B4 (de) | 2012-09-26 | 2021-10-21 | Denso Corporation | Drahtlose Leistungsübertragungsvorrichtung und Direktantriebssystem mit der Vorrichtung |
JP2016115887A (ja) * | 2014-12-17 | 2016-06-23 | ロボスター・カンパニー・リミテッド | マルチプルアームを備えた搬送ロボット |
EP3872173A1 (en) | 2020-02-28 | 2021-09-01 | CIC nanoGUNE - Asociación Centro de Investigación Cooperativa en Nanociencias | Method for producing crystalline nanocellulose |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090223697A1 (en) | 2009-09-10 |
TW201002973A (en) | 2010-01-16 |
KR20090096314A (ko) | 2009-09-10 |
JP4816662B2 (ja) | 2011-11-16 |
US7956286B2 (en) | 2011-06-07 |
KR101086982B1 (ko) | 2011-11-29 |
TWI437180B (zh) | 2014-05-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4816662B2 (ja) | リニア軸のケーブル処理機構およびそれを用いた基板搬送装置 | |
TWI520821B (zh) | Robot with end effector and its operation method | |
JP5071514B2 (ja) | 水平多関節ロボットおよびそれを備えた基板搬送システム | |
JP4980978B2 (ja) | 基板処理装置 | |
US9245783B2 (en) | Vacuum robot with linear translation carriage | |
JP5274339B2 (ja) | 基板処理装置および基板搬送方法 | |
KR101528716B1 (ko) | 반송 로봇, 그의 기판 반송 방법 및 기판 반송 중계 장치 | |
EP2353797B1 (en) | Substrate transfer robot and system | |
US9028197B2 (en) | Robot with plurality of belts and intermediate pulley | |
JP6779636B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2009023030A (ja) | 直線移動装置 | |
KR101863475B1 (ko) | 기판 반송 시스템 및 방법 | |
JP2017119325A (ja) | 水平多関節ロボットおよび製造システム | |
JP6630162B2 (ja) | 産業用ロボット | |
KR102539037B1 (ko) | 산업용 로봇 | |
JP6722460B2 (ja) | 産業用ロボット | |
CN110666784B (zh) | 工业用机器人 | |
JP6630148B2 (ja) | 製造システム | |
KR101126160B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR102575400B1 (ko) | 산업용 로봇 | |
KR20180119970A (ko) | 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클 | |
JP5706682B2 (ja) | 基板搬送中継装置 | |
JP2002231801A (ja) | 半導体基板搬送用フィンガ | |
JP2014073903A (ja) | ケーブル収容装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110407 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110413 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110518 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110802 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110815 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140909 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |