KR20090096314A - 리니어 축의 케이블 처리 기구 및 이를 이용한 기판 반송 장치 - Google Patents

리니어 축의 케이블 처리 기구 및 이를 이용한 기판 반송 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 리니어 축을 가지는 장치에 있어서 높이 방향이나 폭 방향으로 제한이 있는 경우이라도 리니어 축의 케이블 처리 기구가 필요한 스페이스를 작게 할 수 있고, 또한 리니어 축을 2개 병설하는 경우이라도 장치 사이즈를 작게 하는 것이다.
본 발명의 케이블 가이드(37, 38)가 일단이 베이스 부재(34)에 고정되고, U자 형상으로 만곡되고, 그 타단이 슬라이드 부재(27)에 고정되고, 슬라이드 부재(27)의 진퇴 방향을 따라 연재하도록 배치되고, 슬라이드 부재(27)의 진퇴 방향으로부터 보아 베이스 부재(34)에 대해서 경사지도록 배치했다.
메니풀레이터(manipulator), 리니어 축, 케이블 가이드, 핸드, 웨이퍼

Description

리니어 축의 케이블 처리 기구 및 이를 이용한 기판 반송 장치{CABLE PROCESSING DEVICES OF LINEAR AXIS AND SUBSTRATE TRANSFERRING APPARATUS USING THE SAME}
본 발명은 직선적으로 가동하는 부재를 가지는 리니어 축에 있어서 케이블(cable)을 처리하는 케이블 처리 기구에 관한 발명이고, 또 이를 구비한 기판 반송 장치에 관한 것이다.
반송 장치에서는 가동 부분에 리니어(직선) 축이 이용되는 것이 있다. 리니어 축을 구비한 반송 장치의 예로서는, 예를 들면 특허 문헌 1과 같은 장치가 개시되어 있다. 특허 문헌 1에서는 웨이퍼(wafer) 등의 기판을 보유하는 보유 암(arm)이, 이 문헌의 도 8에 개시되어 있는 리니어 축의 기구에 의해 직선적으로 슬라이드(slide)하는 것이 기재되어 있다.
이러한 리니어 축이 가동할 때, 전력을 공급하는 케이블(cable)이나, 에어(air), 냉각수라고 하는 유체를 공급하는 케이블을 상대적으로 움직이는 2개의 부위의 사이에 적절히 안내하기 위한 케이블 처리 기구로서 케이블 가이드(cable guide)가 사용된다. 케이블 가이드는 케이블을 수용하여 리니어 축을 따르도록 배 치되고, U자 형상으로 만곡되면서 케이블을 안내하는 것으로, 종래부터 여러가지 장치에 사용되고 있다(예를 들면, 특허 문헌 2).
도 9는 특허 문헌 1과 같은 반송 장치의 리니어 축에 있어서 케이블이 케이블 가이드에 의해 처리되어 있는 것을 나타내는 도로서 리니어 축의 축 방향으로부터 당해 반송 장치를 본 단면도이다. 도 9에서는 병설된 2개의 리니어 축을 가지는 반송 장치를 나타내고 있다.
기대(其臺)의 테이블(34)에 대해서 수직으로, 또한 서로 평행이 되도록 장착된 2개의 리니어 가이드 장착판(33)의 수직면의 외측에, 또한 각각 리니어 가이드(31)가 부설되어 있다. 그 리니어 가이드 가동부(32)에는 2개의 핸드(hand)(27)의 기단측이 각각 장착되어 있다. 리니어 가이드(31)는 도의 깊이 방향(depth direction)으로 부설되어 있고, 리니어 가이드 가동부(32)는 리니어 가이드(31)에 접동(摺動)하면서 직선 형상으로 안내된다. 따라서 도에 있어서의 깊이 방향이 당해 반송 장치의 리니어 축의 동작 방향이다. 2개의 핸드(27)의 각각의 선단측에는 웨이퍼(28)가 탑재되고, 도시를 생략한 모터에 의해, 도에 있어서의 깊이 방향으로 각각의 핸드(27)가 서로 독립하여 동작하면서 웨이퍼(28)가 반송된다. 여기서, 핸드(27)가 웨이퍼(28)를 파지하거나, 또는 웨이퍼(28)의 유무를 전기적으로 검출하려고 하거나 하는 경우에는, 핸드(27)에 전력이나 에어를 공급할 필요가 생기고, 그 전력이나 에어를 공급하는 케이블을 안내하기 위한 기구가 필요하게 된다. 도 9의 경우, 이들 케이블 처리를 위해서 이용되는 케이블 가이드(38)는, 도에 나타내듯이, 리니어 축을 따라 배치되고, 리니어 축의 축 방향으로 U자 형상으로 만곡되 도록 배치된다. 케이블 가이드(38)의 일단은 케이블 가이드 고정측 부재(39)로 테이블(34)에 고정되고, 타단은 케이블 가이드 가동측 지주(支柱)(40)를 통해 핸드(27)의 기단부에 고정된다. 베이스(34)측으로부터 케이블 가이드(38)의 내부로 도시하지 않은 케이블이 삽입 통과되고, 핸드(27)에 대해서 전력이나 유체가 공급된다. 이 구성에 의해, 핸드(27)가 리니어 축으로 가동하면, 그 동작에 따라 케이블 가이드(38)의 타단도 가동하면서 그 내부에 수용한 케이블을 다른 부재에 간섭시키는 일 없이 적절히 안내할 수 있다.
특허 문헌 1 : 일본국 특허공개공보 2005－93812호(제5도, 제8도)
특허 문헌 2 : 일본국 특허공개공보 1999－122790호(제6도)
그러나, 상기와 같은 리니어 축에 있어서, 도 9와 같이 케이블 가이드(38)를 배치하여 설치하면 가이드(38)의 U자 부분의 휨 반경이 큰 경우에는 간극(42)이 필요하게 되어 높이 방향의 장치 사이즈(size)가 커지는 문제가 있었다.
또한, 리니어 축을 2개 병설하는 경우는 2개 만큼의 케이블 처리 기구의 스페이스(space)가 필요하게 되어 장치 사이즈가 커지는 문제가 있었다.
또, 도 10과 같이 장치의 높이를 억제하기 위해서 케이블 가이드(38)를 외측에 배치하여도 평면 방향의 장치 사이즈가 커지는 문제가 있었다.
또한, 리니어 축을 다수 병설하는 경우에는, 이상의 문제에 의해 장치 사이즈가 커지는 영향이 현저하게 나타나는 것 외에 케이블 가이드의 배치가 복잡하게 된다고 하는 문제가 있었다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것이고, 리니어 축을 가지는 장치에 있어서 높이 방향이나 폭 방향으로 제한이 있는 경우이라도 리니어 축의 케이블 처리 기구가 필요한 스페이스를 작게 할 수 있고, 또한 리니어 축을 2개 병설하는 경우이라도 장치 사이즈를 작게 하는 것을 목적으로 한다.
또, 2개를 초과하는 리니어 축을 병설하는 경우에도 장치 사이즈를 작게 한 기판 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 문제를 해결하기 위해, 본 발명은 다음과 같이 구성한 것이다.
청구항 1에 기재의 발명은, 베이스 부재와, 상기 베이스 부재에 대해서 직선적으로 평행 슬라이드(slide)하여 진퇴 가능한 슬라이드 부재와, 상기 베이스 부재와 상기 슬라이드 부재를 연결하도록 배치되고, 상기 베이스 부재로부터 상기 슬라이드 부재에 배치되어 설치되는 케이블을 수납하고 안내하는 케이블 가이드를 구비한 리니어 축의 케이블 처리 기구에 있어서, 상기 케이블 가이드는 일단이 상기 베이스 부재에 고정되고, U자 형상으로 만곡되고, 그 타단이 상기 슬라이드 부재에 고정되고, 상기 슬라이드 부재의 진퇴 방향을 따라 연재하도록 배치되고, 상기 슬라이드 부재의 진퇴 방향으로부터 보아 상기 베이스 부재에 대해서 경사지도록 배치된 것을 특징으로 하는 리니어 축의 케이블 처리 기구로 하는 것이다.
청구항 2에 기재의 발명은, 상기 슬라이드 부재가 상기 베이스 부재에 대해서 직선적으로 평행 슬라이드하고, 서로 평행으로 또한 개별적으로 진퇴 가능한 제1 및 제2 슬라이드 부재로 구성되고, 상기 케이블 가이드가 상기 베이스 부재와 상기 제1 슬라이드 부재를 연결하도록 배치되고, 상기 베이스 부재로부터 상기 제1 슬라이드 부재에 배치되어 설치되는 제1 케이블을 수납하고 안내하는 제1 케이블 가이드와, 상기 베이스 부재와 상기 제2 슬라이드 부재를 연결하도록 배치되고, 상기 베이스 부재로부터 상기 제2 슬라이드 부재에 배치되어 설치되는 제2 케이블을 수납하고 안내하는 제2 케이블 가이드로 구성되고, 상기 제1 및 제2 케이블 가이드가 상기 만곡된 부분의 내측이 서로 대향하고, 상기 슬라이드 부재의 진퇴 방향으로부터 보아 크로스(cross)하도록 배치된 것을 특징으로 하는 청구항 1의 기재의 리니어 축의 케이블 처리 기구로 하는 것이다.
청구항 3에 기재의 발명은, 상기 케이블 가이드를 이용하지 않고, 상기 케이블 자신이 상기 베이스 부재에 고정되고, U자 형상으로 만곡되고, 상기 슬라이드 부재에 고정되고, 상기 슬라이드 부재의 진퇴 방향을 따라 연재하도록 배치되고, 상기 슬라이드 부재의 진퇴 방향으로부터 보아 상기 베이스 부재에 대해서 경사지도록 배치된 것을 특징으로 하는 청구항 1의 기재의 리니어 축의 케이블 처리 기구로 하는 것이다.
청구항 4에 기재의 발명은, 상기 제1 케이블 가이드를 이용하지 않고, 상기 제1 케이블 자신이 상기 베이스 부재에 고정되고, U자 형상으로 만곡되고, 상기 제1 슬라이드 부재에 고정되고, 상기 제2 케이블 가이드를 이용하지 않고, 상기 제2 케이블 자신이 상기 베이스 부재에 고정되고, U자 형상으로 만곡되고, 상기 제2 슬라이드 부재에 고정되고, 상기 제1 및 제2 케이블이 상기 만곡된 부분의 내측이 서로 대향하고, 상기 제1 및 제2 슬라이드 부재의 진퇴 방향으로부터 보아 크로스(cross)하도록 배치된 것을 특징으로 하는 청구항 2 기재의 리니어 축의 케이블 처리 기구로 하는 것이다.
청구항 5에 기재의 발명은, 청구항 1 내지 청구항 4의 어느 한 항에 기재의 리니어 축의 케이블 처리 기구를 구비한 기판 반송 장치로 하는 것이다.
청구항 6에 기재의 발명은, 수평으로 설치된 베이스 부재와, 상기 베이스 부재에 대해서 직선적으로 수평 방향으로 평행 슬라이드하고, 서로 평행으로 또한 개별적으로 진퇴하고, 기판을 탑재 가능한 제1 및 제2 핸드와, 상기 베이스 부재와 상기 제1 핸드를 연결하도록 배치되고, 상기 베이스 부재로부터 상기 제1 핸드에 병설되는 제1 케이블을 수납하고 안내하는 제1 케이블 가이드와, 상기 베이스 부재와 상기 제2 핸드를 연결하도록 배치되고, 상기 베이스 부재로부터 상기 제2 핸드에 배치되어 설치되는 제2 케이블을 수납하고 안내하는 제2 케이블 가이드를 리니어 축의 케이블 처리 기구를 구비한 기판 반송 장치에 있어서, 상기 제1 및 제2 케이블 가이드는, 각각의 일단이 상기 베이스 부재에 고정되고, U자 형상으로 만곡되고, 그 타단이 상기 제1 및 제2 핸드에 각각 고정되고, 상기 제1 및 제2 핸드의 진퇴 방향을 따라 연재하도록 배치되고, 상기 만곡된 부분의 내측이 서로 대향하고, 상기 핸드의 진퇴 방향으로부터 보아 크로스(cross)하도록 배치되고,　상기 제1 및 제2 핸드의 각각은, 상기 베이스 부재의 수평면에 평행으로 연장 설치된 후, 수직 방향으로 연장 설치되고, 다시 수평 방향으로 연장 설치되고, 서로 상하로 겹치도록 배치된 것을 특징으로 하는 리니어 축의 케이블 처리 기구를 구비한 기판 반송 장치로 하는 것이다.
청구항 7에 기재의 발명은, 청구항 6에 기재의 기판 반송 장치가 복수 대(臺) 있고, 상기 복수 대의 기판 반송 장치가 수직 방향으로 다단으로 겹쳐지고, 상기 복수 대의 기판 반송 장치의 각각의 상기 제1 및 제2 핸드가, 상기 복수 대 중 가장 상부에 위치하는 상기 기판 반송 장치의 상면에 있어서 상하로 겹치도록 배치된 것을 특징으로 하는 리니어 축의 케이블 처리 기구를 구비한 기판 반송 장치로 하는 것이다.
이상, 본 발명에 의하면, 리니어 축을 가지는 장치에 있어서, 장치의 높이 방향이나 폭 방향으로 제한이 있어도 케이블 가이드 또는 케이블 자신을 베이스에 대해서 경사지게 함으로써 목적의 방향의 장치 길이를 작게 할 수가 있다.
특히 병설된 2개의 리니어 축의 곳에 전력이나 에어를 공급하는 경우에도, 각각의 리니어 축의 케이블 가이드를 리니어 축의 접동 방향으로부터 보아 크로스로 배치함으로써 장치 사이즈를 작게 할 수 있다.
또, 이 구성을 그대로 상하 방향으로 다단으로 쌓고, 핸드의 연장 설치 형태를 본 발명과 같이 함으로써 장치 사이즈를 작게 한 기판 반송 장치를 구성할 수가 있다.
이하, 본 발명의 실시의 형태에 대해서 도를 참조하여 설명한다.
<실시예 1>
우선, 본 발명을 이용한 반송 장치인 웨이퍼 반송용 메니풀레이터(manipulator)에 대해서 설명한다. 도 2는 본 발명의 케이블 처리 기구를 이용한 리니어 축을 가지는 웨이퍼 반송용 메니풀레이터 전체의 사시도이다.
도에 있어서, 메니풀레이터(21)는 지주 형상으로 형성된 메니풀레이터 승강 구동부(26)의 메니풀레이터 상부 장착부(22)와 메니풀레이터 하부 장착부(23)가, 도시(圖示)를 생략한 반도체 제조 장치의 가대(架臺)에 고정되는 반송 장치이다. 메니풀레이터 지지부(25)는 Z축을 따른 자유도를 갖고, 메니풀레이터 승강 구동부(26) 내에 배치된 도시하지 않은 모터에 의해 승강 동작된다. 리니어 축 구동부(24)는 S축을 중심으로 하는 회전 방향의 자유도를 갖고, 메니풀레이터 지지 부(25) 내에 배치된 도시하지 않은 모터에 의해 선회 동작된다. 제1 핸드(27a)와 제2 핸드(27b)는 X축을 따른 자유도를 갖고, 리니어 축 구동부(24) 내에 배치된 도시하지 않은 모터에 의해 각각 개별적으로 진퇴 동작된다. 또한 메니풀레이터(21)의 동작 중에 제1 핸드(27a)나 제2 핸드(27b)에 탑재한 웨이퍼(28)를 낙하시키지 않도록 제1 및 제2 핸드(27a, 27b)에는 웨이퍼(28)를 파지하는 기구나, 웨이퍼(28)의 유무를 검출하는 기구가 조립되어 넣어져 있다. 이상으로 구성되는 메니풀레이터(21)는 미리 등록된 데이터에 따라 동작되고, 제1 및 제2 핸드(27a, 27b)의 위치, 각도가 제어된다.
다음에 상기 메니풀레이터(21)에 구비한 리니어 축에 있어서 본 발명의 케이블 처리 기구에 관해서 설명한다.
도 1은 리니어 축 구동부(24)의 투시 사시도이고, 도 2와 같은 방향으로부터 본 사시도이다. 도 3은 리니어 축 구동부(24)의 투시 평면도(상면도)이다. 도 1, 도 3 모두, 후술하는 설명을 위해서 제1 및 제2 핸드(27a, 27b), 웨이퍼(28)는 도시를 생략하고 있다. 도 4는 도 3에 있어서의 화살표 A로부터 본 리니어 축 구동부(24)의 투시 측면도이다.
도에 있어서, 테이블(34)은 메니풀레이터 지지부(25)에 대해서 S축을 중심으로 회전 가능하게 장착되어 있다. 리니어 가이드 장착판(33)은 테이블(34)에 대해서 수직으로 장착되어 있다. 이 2개의 리니어 가이드 장착판(33)은 병설되어 장착되어 있고, 양단으로 각각 옆판(35)과 결합함으로써 리니어 가이드 장착판(33)의 강성을 확보하고 있다. 또한 2개의 리니어 가이드 장착판(33)의 외측의 수직면에는 각각 리니어 가이드(31)가 장착된다. 리니어 가이드(31)는 X축을 따라 연재하도록 고정되어 있다. 리니어 가이드 가동부(32)는 각각의 리니어 가이드(31)에 접동하면서 가동하는 부분으로서 이에 제1 및 제2 핸드(27a, 27b)가 장착되어 있다. 각각의 핸드(27)는 리니어 가이드(31)에 의해 정밀하게 X축을 따라 안내되면서, 모터(36)와 도시하지 않은 벨트에 의해 진퇴 동작된다. 이상에 의해, 리니어 축 구동부(24)는 제1 및 제2 핸드(27a, 27b)를 각각 X축을 따라 구동하는 제1 리니어 축(43)과 제2 리니어 축(44)의 합계 2개의 리니어 축을 가지고 있다.
또한, 2개의 리니어 축의 사이로서 테이블(34)의 상면에는 2개의 케이블 가이드 고정측 부재(39)가 장착되어 있고, 각각의 케이블 가이드 고정측 부재(39)에는 제1 케이블 가이드(37)와 제2 케이블 가이드(38)의 일단이 장착되어 있다. 제1 및 제2 케이블 가이드(37, 38)는 X축을 따라 배치되고, U자 형상으로 만곡된 후, 제1 및 제2 케이블 가이드(37, 38)의 각각의 타단이, 핸드(27)와 기계적으로 결합된 케이블 가이드 가동측 지주(40)에 장착된다. 제1 및 제2 케이블 가이드(37, 38)의 내부에는 메니풀레이터 지지부(25)를 경유하여 인도되고, 도시 생략된 전력 공급용의 전선, 에어(air)나 냉각수 등의 유체용 튜브(tube), 및 접지 처리를 위한 전선을 포함하는 케이블이 수용되어 있다. 이들 케이블에 의해 웨이퍼(28)를 파지하는 기구를 구비한 핸드(27)에 전력이나 에어를 공급하는 것이 가능하다.
그리고, 제1 및 제2 케이블 가이드(37, 38)는, 도 4와 같이, 2개의 리니어 축의 중간을 통과하는 연직(vertical)인 축(본 실시예의 경우 S축과 동일)에 대해서 대칭으로, 리니어 축의 동작에 의해 서로 간섭하지 않도록 리니어 축의 접동 방 향(X축의 축 방향)으로부터 보아 크로스로 배치한다. 즉, 제1 및 제2 케이블 가이드(37, 38)는 U자 형상의 만곡 부분의 내측이 대향하도록 배치한다. 본 실시예의 경우, 장치의 높이 방향을 억제하기 위해, 크로스(cross)의 평면에 대한 경사각(α)이 완만하게 되도록 배치된다. 장치의 폭 방향을 억제하려면 경사각(α)을 크게 하면 좋다. 또, 당연히 제1 핸드(27a) 및 제2 핸드(27b)가 리니어 축(X축)의 전후단(前後端)에 도달해도, 제1 및 제2 케이블 가이드(37, 38)의 U자 형상의 내측의 대향 부분은 접촉하지 않도록 각 케이블 가이드의 길이가 설정되어 있다.
이상의 구성에 의해, 제1 및 제2 핸드(27a, 27b)가 독립하여 전후 동작하는 경우에도 제1 및 제2 케이블 가이드(37, 38)는 서로 간섭하는 일 없이 동작 가능하고, 또한 케이블 처리에 의한 리니어 축 구동부(24)의 높이 방향이나 평면 방향의 사이즈 확대를 억제하고, 컴팩트(compact)한 장치를 실현할 수 있다. 또 메니풀레이터 지지부(25)를 경유하고, S축을 따라 인도된 전선이나 에어 튜브(air tube)를 순조롭게(smooth) 제1 및 제2 핸드(27a, 27b)로 인도할 수가 있다.
그 때문에, 공간 절약화나 작은 풋프린트(footprint)화의 요구가 많은 웨이퍼 반송용 메니풀레이터에 있어서, 전후 구동부(리니어 축)를 구비하는 메니풀레이터의 소형화에 특히 유효한 발명이다.
또, 본 실시예에서는 전선이나 에어 튜브는 메니풀레이터 지지부(25)를 경유시켜 리니어 축 구동부(24) 내로 인도하였지만, 예를 들면 특허 문헌 1의 제5 도와 같이 외부로부터 직접 리니어 축 구동부(24) 내로 인도하여도 좋다. 또 케이블 가이드 고정측 부재(39)는 테이블(34)에 고정하고 있지만, 이것을 리니어 가이드 장 착판(33)에 고정해도 좋다.
또한, 전선이나 에어 튜브 자체가 어느 정도의 강성을 가지고 있고, 케이블 가이드에 수납되지 않아도 U자 형상의 자세를 보유할 수 있는 것이면, 전선이나 에어 튜브를 케이블 가이드(38) 내에 수납하지 않고, 전선이나 에어 튜브 자신을 본 실시예와 같이 배치하여도 좋다.
또, 본 실시예에서는 제1 및 제2 케이블 가이드(37, 38)를 리니어 축의 접동 방향(X축의 축 방향)으로부터 보아 크로스로 배치했지만, 예를 들면 제2의 케이블 가이드(38) 및 그것에 수용되는 케이블이 불필요하다면, 제1 케이블 가이드(37)만을 본 실시예와 같이 경사지게 설치하는 것만으로도, 종래(도 9나 도 10)보다도 장치의 높이 방향이나 폭 방향의 길이를 억제할 수가 있다.
또, 본 실시예의 리니어 축은 제1 핸드(27a) 및 제2 핸드(27b)와 같은 가동부가 수평 방향으로 이동하는 것을 예시했지만, 이에 한정하지 않고 가동부가 수직 방향이나 경사진 방향으로 이동하는 리니어 축에서도 본 발명을 적용할 수 있다.
<실시예 2>
도 5는 본 발명을 적용한 웨이퍼 반송용 메니풀레이터의 다른 실시예를 나타내는 도이다. 도 2에서 설명한 실시예 1에 있어서는 지주 형상으로 형성된 메니풀레이터 승강 구동부(26)와, 그 측면에서 승강되는 메니풀레이터 지지부(25)와, 메니풀레이터 지지부(25)로 지지되어 선회 가능한 리니어 축 구동부(24)로 구성되어 있고, 메니풀레이터 승강 구동부(26)와, 리니어 축 구동부(24)가 평면적으로 다른 위치에 배치되어 있었지만, 도 5에 의한 본 실시예에서는 리니어 축 구동부(24)의 직하에 메니풀레이터 지지부(25)와 메니풀레이터 승강 구동부(26)가 배치되어 있다.
<실시예 3>
도 6 내지 도 8은 핸드(27)를 4개 구비한 리니어 축 구동부(24)의 실시예를 설명하는 도이다.
실시예 1에서 설명한 리니어 축 구동부는, 제1 및 제2 핸드(27a, 27b)의 각각이 리니어 가이드 가동부(32)로부터 일단 수평 외측을 향해 뻗고, 그 후 연직 방향 상측으로 연장 설치되고 다시 장치의 내측으로 연장 설치되도록 형성되어 있고, 또 각각의 케이블 가이드는 2개의 리니어 축의 사이에 있어서, 리니어 축(X축) 방향으로부터 보았을 때, 그 중간을 지나는 연직인 축에 대해 대칭으로, 리니어 축의 동작에 의해 서로 간섭하지 않도록 크로스로 배치되어 있기 때문에, 상하에 다단으로 겹쳐 쌓는 것이 용이하다.
본 실시예에서는 전술의 리니어 축 구동부를 상하 2단 쌓기로 하고, 4개의 리니어 가이드 장착판(33)의 양단을 옆판(35)과 결합함으로써 리니어 가이드 장착판(33)의 강성을 확보하고 있다.
본 구조에 의하면, 4개의 핸드(27)가 독립하여 전후 동작해도 제1 및 제2 케이블 가이드(37, 38)가 서로 간섭하는 일 없이 동작 가능하고, 또한 케이블 처리에 의한 리니어 축 구동부(24)의 평면 방향이나 높이 방향의 사이즈 확대를 억제하고, 컴팩트한 장치를 실현할 수 있고, 또 S축을 따라 인도된 전선이나 에어 튜브를 순조롭게 각각의 핸드(27)로 인도할 수가 있다.
또, 본 실시예에서는 4개의 핸드를 가지는 경우를 설명했지만, 3개 혹은 5개 이상의 핸드의 경우에도, 마찬가지로 상하 방향으로 다단으로 쌓음으로써 같은 효과를 실현할 수 있다.
본 실시예에서는 기판 반송용 메니풀레이터에 대해서 설명했지만, 리니어 축을 2개 내지는 다수 병설하는 반송 장치에 있어서, 반송 물품을 파지 혹은 검지하는 기구를 구비한 핸드에의 전력 배선이나 에어 배관의 처리 전반에 있어서, 본 발명의 이용은 가능하다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예를 나타내는 리니어 축 구동부 투시 사시도이다.
도 2는 본 발명의 리니어 축 구동부를 이용한 메니풀레이터 전체 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예를 나타내는 리니어 축 구동부 투시 평면도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예를 나타내는 리니어 축 구동부 투시 측면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예를 나타내는 메니풀레이터 전체 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예를 나타내는 4개 핸드의 리니어 축 구동부 사시도이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예를 나타내는 4개 핸드의 리니어 축 구동부 투시 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제3 실시예를 나타내는 4개 핸드의 리니어 축 구동부 투시 측면도이다.
도 9는 종래의 리니어 축 구동부 투시 측면도이다.
도 10은 종래의 리니어 축 구동부 투시 측면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
21　메니풀레이터(manipulator)
22　메니풀레이터 상부 장착부
23　메니풀레이터 하부 장착부
24　리니어 축 구동부
25　메니풀레이터 지지부
26　메니풀레이터
27　핸드(hand) 28　웨이퍼(wafer)
31　리니어 가이드(linear guide)
32　리니어 가이드 가동부
33　리니어 가이드 장착판
34　테이블(table) 35 옆판
36　모터(motor)
37　제1 케이블 가이드
38　제2 케이블 가이드
39　케이블 가이드 고정측 부재
40　케이블 가이드 가동측 지주(支柱)
42　간극
43　제1 리니어 축 44　제2 리니어 축
α　　경사각

Claims (7)

  1. 베이스 부재와,
    상기 베이스 부재에 대해서 직선적으로 평행 슬라이드하여 진퇴 가능한 슬라이드 부재와,
    상기 베이스 부재와 상기 슬라이드 부재를 연결하도록 배치되고, 상기 베이스 부재로부터 상기 슬라이드 부재에 배치되어 설치되는 케이블을 수납하고 안내하는 케이블 가이드를 구비한 리니어 축의 케이블 처리 기구에 있어서,
    상기 케이블 가이드는 일단이 상기 베이스 부재에 고정되고, U자 형상으로 만곡되고, 그 타단이 상기 슬라이드 부재에 고정되고, 상기 슬라이드 부재의 진퇴 방향을 따라 연재하도록 배치되고, 상기 슬라이드 부재의 진퇴 방향으로부터 보아 상기 베이스 부재에 대해서 경사지도록 배치된 것을 특징으로 하는 리니어 축의 케이블 처리 기구.
  2. 제1항에 있어서.
    상기 슬라이드 부재가 상기 베이스 부재에 대해서 직선적으로 평행 슬라이드하고, 서로 평행으로 또한 개별적으로 진퇴 가능한 제1 및 제2 슬라이드 부재로 구성되고,
    상기 케이블 가이드가 상기 베이스 부재와 상기 제1 슬라이드 부재를 연결하도록 배치되고, 상기 베이스 부재로부터 상기 제1 슬라이드 부재에 배치되어 설치 되는 제1 케이블을 수납하고 안내하는 제1 케이블 가이드와, 상기 베이스 부재와 상기 제2 슬라이드 부재를 연결하도록 배치되고, 상기 베이스 부재로부터 상기 제2 슬라이드 부재에 배치되어 설치되는 제2 케이블을 수납하고 안내하는 제2 케이블 가이드로 구성되고,
    상기 제1 및 제2 케이블 가이드가 상기 만곡된 부분의 내측이 서로 대향하고, 상기 슬라이드 부재의 진퇴 방향으로부터 보아 크로스(cross)하도록 배치된 것을 특징으로 하는 리니어 축의 케이블 처리 기구.
  3. 제1항에 있어서.
    상기 케이블 가이드를 이용하지 않고, 상기 케이블 자신이 상기 베이스 부재에 고정되고, U자 형상으로 만곡되고, 상기 슬라이드 부재에 고정되고, 상기 슬라이드 부재의 진퇴 방향을 따라 연재하도록 배치되고, 상기 슬라이드 부재의 진퇴 방향으로부터 보아 상기 베이스 부재에 대해서 경사지도록 배치된 것을 특징으로 하는 리니어 축의 케이블 처리 기구.
  4. 제2항에 있어서.
    상기 제1 케이블 가이드를 이용하지 않고, 상기 제1 케이블 자신이 상기 베이스 부재에 고정되고, U자 형상으로 만곡되고, 상기 제1 슬라이드 부재에 고정되고,
    상기 제2 케이블 가이드를 이용하지 않고, 상기 제2 케이블 자신이 상기 베 이스 부재에 고정되고, U자 형상으로 만곡되고, 상기 제2 슬라이드 부재에 고정되고,
    　상기 제1 및 제2 케이블이 상기 만곡된 부분의 내측이 서로 대향하고, 상기 제1 및 제2 슬라이드 부재의 진퇴 방향으로부터 보아 크로스(cross)하도록 배치된 것을 특징으로 하는 리니어 축의 케이블 처리 기구.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재의 리니어 축의 케이블 처리 기구를 구비한 기판 반송 장치.
  6. 수평으로 설치된 베이스 부재와, 상기 베이스 부재에 대해서 직선적으로 수평 방향으로 평행 슬라이드하고, 서로 평행으로 또한 개별적으로 진퇴하고, 기판을 탑재 가능한 제1 및 제2 핸드와, 상기 베이스 부재와 상기 제1 핸드를 연결하도록 배치되고, 상기 베이스 부재로부터 상기 제1 핸드에 배치되어 설치되는 제1 케이블을 수납하고 안내하는 제1 케이블 가이드와, 상기 베이스 부재와 상기 제2 핸드를 연결하도록 배치되고, 상기 베이스 부재로부터 상기 제2 핸드에 배치되어 설치되는 제2 케이블을 수납하고 안내하는 제2 케이블 가이드를 구비한 리니어 축의 케이블 처리 기구를 구비한 기판 반송 장치에 있어서,
    상기 제1 및 제2 케이블 가이드는, 각각의 일단이 상기 베이스 부재에 고정되고, U자 형상으로 만곡되고, 그 타단이 상기 제1 및 제2 핸드에 각각 고정되고, 상기 제1 및 제2 핸드의 진퇴 방향을 따라 연재하도록 배치되고, 상기 만곡된 부분 의 내측이 서로 대향하고, 상기 핸드의 진퇴 방향으로부터 보아 크로스하도록 배치되고,
    상기 제1 및 제2 핸드의 각각은, 상기 베이스 부재의 수평면에 평행으로 연장 설치된 후, 수직 방향으로 연장 설치되고, 다시 수평 방향으로 연장 설치되고, 서로 상하로 겹치도록 배치된 것을 특징으로 하는 리니어 축의 케이블 처리 기구를 구비한 기판 반송 장치.
  7. 청구항 6에 기재의 기판 반송 장치가 복수 대 있고, 상기 복수 대의 기판 반송 장치가 수직 방향으로 다단으로 겹쳐지고,
    상기 복수 대의 기판 반송 장치의 각각의 상기 제1 및 제2 핸드가, 상기 복수 대 중 가장 상부에 위치하는 상기 기판 반송 장치의 상면에 있어서 상하로 겹치도록 배치된 것을 특징으로 하는 리니어 축의 케이블 처리 기구를 구비한 기판 반송 장치.
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