JP2009202475A - インクジェットヘッドの製造装置、およびインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】この発明は、駆動電極の表面に均一な絶縁膜を成膜できるインクジェットヘッドの製造装置、およびインクジェットヘッドの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】電着装置５０は、インクジェットヘッド１１のチャンバー４０へ電着塗料を流通させるためのポンプ６２、流通管６１を通る電着塗料に含まれる気泡を除去する脱気装置６６、およびインクジェットヘッド１１の複数の駆動電極２６にバイアス電圧を印加するための電源装置６８を有する。
【選択図】図１０

Description

この発明は、微小インク滴を吐出させて記録するインクジェットヘッドの製造装置、およびインクジェットヘッドの製造方法に関する。

従来、インクジェットヘッドとして、ＰＺＴ基板にインク流路となる複数の溝を形成し、各溝の内面に駆動電極となる電極膜を形成し、電極膜の表面に絶縁膜等を被覆して、電極膜を保護するようにしたインクジェットヘッドが知られている（例えば、特許文献１参照）。

電極膜表面に絶縁膜を被覆する場合、電極膜を形成した組み上げ後のヘッドを電着塗料に浸漬し、同様に電着塗料に浸漬させた陽極側の導電部材とヘッドの電極膜との間に直流電圧を印加する。これにより、電着塗料が電極膜表面に堆積して絶縁膜が成膜される。

しかし、電極膜を形成した溝の幅は８０［μｍ］、深さは３００［μｍ］であるため、このような微細な溝の内面に均一な膜を形成することは難しい。例えば、上述したディッピング法によると、成膜後、ヘッドを電着塗料から引き上げた際に、液垂れが生じ、膜厚が不均一になる可能性が高い。

また、ヘッドを電着塗料に浸漬させているだけでは、微細な溝内に電着塗料が十分に入り込まずに気泡が残り易い。気泡が溝内に残ると絶縁膜にピンホールができてしまう。
特開２００４−１２２６８４号公報（［００３４］、［００４５］段落、図３）

この発明の目的は、駆動電極の表面に均一な絶縁膜を成膜できるインクジェットヘッドの製造装置、およびインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明のインクジェットヘッドの製造装置は、インクを循環させる複数の流路を有し、これら各流路の内面に薄膜状の駆動電極をそれぞれ有し、上記複数の流路それぞれに対応したインク吐出口を有するインクジェットヘッドを製造する装置であって、上記複数の流路に絶縁膜を形成するための電着液を循環させて流通させる循環装置と、上記複数の駆動電極にバイアス電圧を印加して各駆動電極の表面に上記電着液による絶縁膜を成膜する電源装置と、を有する。

また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、インクを循環させる複数の流路を有し、これら各流路の内面に薄膜状の駆動電極をそれぞれ有し、上記複数の流路それぞれに対応したインク吐出口を有するインクジェットヘッドを製造する方法であって、上記複数の流路に絶縁膜を形成するための電着液を流通させる循環工程と、上記複数の駆動電極にバイアス電圧を印加して各駆動電極の表面に上記電着液による絶縁膜を成膜する成膜工程と、を有する。

上記発明によると、インクを循環させるための複数の流路内に電着液を流通させて、各流路の内面にある駆動電極にバイアス電圧を印加することで、各駆動電極の表面に絶縁膜を成膜するようにしたため、数十［μｍ］程度の径を有する微細な流路であっても、流路の隅々まで電着液を均一に行き渡らせることができ、流路内に気泡が残ることがなく、複数の駆動電極の表面に均一な絶縁膜を成膜できる。

この発明のインクジェットヘッドの製造装置は、上記のような構成および作用を有しているので、駆動電極の表面に均一な絶縁膜を成膜できる。

以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１には、この発明の実施の形態に係る製造装置を用いて製造されるインクジェットヘッド１１の外観斜視図を示してある。図１では、インクジェットヘッド１１の内部構造を説明するため、ヘッドの一部を部分的に破断して図示してある。また、図２には、図１のインクジェットヘッド１１をII-IIで切断した断面図を示してある。図２では、後述する圧力室２４に沿ってヘッドを切断した断面図を示してある。ここでは、本発明の実施の形態に係る製造装置について説明する前に、まず、インクジェットヘッド１１について詳細に説明する。

図１および図２に示すように、インクジェットヘッド１１は、略矩形板状の基板１２と、この基板１２の表面上に接着された枠部材１３と、この枠部材１３の基板１２から離間した端部に接着された略矩形板状のカバー部材１４と、枠部材１３の内側で基板１２の表面上に接着された一対の圧電部材１５と、これら一対の圧電部材１５を駆動するためのヘッド駆動用の複数個のＩＣ１６と、を有している。ＩＣ１６は、図２のみに図示してある。このインクジェットヘッド１１は、いわゆるインク循環式のサイドシュータ型のインクジェットヘッドである。

基板１２は、アルミナやＰＺＴなどのセラミック材料により形成されている。この基板１２には、複数の供給口３１と複数の排出口３２が基板１２を貫通して形成されている。複数の供給口３１は、基板１２の長手方向に沿って略中央に並べて形成され、複数の排出口３２は、基板１２の長手方向に沿ってエッジ寄りに並べて形成されている。

枠部材１３は、セラミック材料或いは金属材料によって形成され、表面が絶縁材料によって被覆されている。枠部材１３の内周壁は、図１に示すように、基板１２に形成した排出口３２を塞がないように波状に湾曲している。

カバー部材１４は、矩形のポリイミド製の板状部材によって形成されている。カバー部材１４には、一対のノズル列２１が形成されている。各ノズル列２１には、それぞれがインク滴の吐出孔として機能する複数のノズル２２が等間隔でカバー部材１４を貫通して形成されている。

このカバー部材１４は、他の樹脂フィルムで形成しても良く、後述するようにレーザーを用いてノズル２２を形成容易な材料であれば良い。また、このカバー部材１４のインク滴吐出側の表面には、フッ素樹脂などにより撥水膜４３が形成されている。なお、カバー部材１４は、図２に示すように樹脂フィルム層４２と金属箔層４４の２層構造として、面方向の強度を高めることが望ましい。

一対の圧電部材１５は、それぞれ、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）製の２枚の圧電板２３を互いの分極方向を対向させるように張り合わせて形成されている。各圧電部材１５は、断面台形状で、主走査方向に延びた棒状に形成されている。なお、上述した複数の供給口３１は２本の圧電部材１５の間で主走査方向に並んで設けられ、複数の排出口３２は各圧電部材１５を供給口３１との間に挟む位置で主走査方向に沿って並んで形成されている。

また、各圧電部材１５には、基板１２から離間した側から、その長手方向（主走査方向）と交差する方向（副走査方向）に延びた複数本の微細な溝が切削形成され、主走査方向に等間隔で並んだ複数の細長い圧力室２４が形成されている。このように、主走査方向に並べて複数本の圧力室２４を形成することで、各圧電部材１５には、主走査方向に隣接する圧力室２４を区画するように、各圧力室２４の両側部に設けられる駆動素子である複数の壁２５が形成される。

そして、それぞれ、隣接する２つの壁２５が圧力室２４に対面する側面およびその間の圧力室２４の底部を連続して（すなわち、各圧力室２４の内面に）駆動電極２６が形成されている。駆動電極２６は、圧力室２４毎に設けられている。

各圧電部材１５は、カバー部材１４に形成されたノズル列２１に対応するよう位置決めされて基板１２の表面上に接着される。このとき、各ノズル列２１の複数のノズル２２と各圧電部材１５の複数の圧力室２４が対向するよう、カバー部材１４が圧電部材１５に対して位置決めされる。つまり、圧力室２４および壁２５は、ノズル２２と同じピッチで形成されている。

このとき、カバー部材１４の周縁部が枠部材１３の基板１２から離間した端部に接着され、基板１２、枠部材１３、およびカバー部材１４によって囲まれたインク室４０が形成される。また、このとき、カバー部材１４が、圧電部材１５の複数の壁の基板１２から離間した端部に接着される。

この他に、基板１２上には、複数の電気配線２７が設けられている。各電気配線２７は、その一端で上述した駆動電極２６に接続されるとともに、他端でヘッド駆動用のＩＣ１６に接続されている。つまり、この電気配線２７も上述したノズル２２、圧力室２４、および壁２５と同じピッチで形成されている。

上記構造のインクジェットヘッド１１を搭載したプリンタ（図示せず）で印刷処理を実行する場合、まず、プリンタの図示しないインクタンクからインクジェットヘッド１１にインクが供給される。このとき、インクは、基板１２に形成された複数の供給口３１を介してインクジェットヘッド１１へ供給される。

複数の供給口３１を介してヘッド１１へ供給されたインクは、基板１２、枠部材１３、およびカバー部材１４によって概ね密閉されたチャンバー４０内に流入される。このとき、供給口３１を介して流入されたインクは、２つの圧電部材１５にそれぞれ形成された複数本の圧力室２４を通って基板１２の外方に向けて流通し、基板１２のエッジ近くに形成された複数の排出口３２を介してヘッド１１から排出される。

このとき、インクジェットヘッド１１に供給されるインクの供給圧力および排出量は、チャンバー４０の内壁に付着する気泡を押し流すことができ、且つカバー部材１４の複数のノズル２２からインクが押し出されることのない適当な値に設定される。つまり、ヘッド１１に供給されるインクは、チャンバー４０を概ね満たすとともに滞留することのないよう流通される。なお、ヘッド１１で使用されなかったインクは、排出口３２を介して排出されて図示しないインクタンクに回収される。

この状態で、ユーザーがプリンタに対して印刷を指示すると、プリンタの図示しない制御部は、インクジェットヘッド１１のヘッド駆動用のＩＣ１６に対して印刷信号を出力する。印刷信号を受けたヘッド駆動用のＩＣ１６は、電気配線２７を介して駆動パルス電圧を駆動電極２６に印加する。これにより、インク滴を吐出させることが選択された圧力室２４の両側にある左右一対の壁２５は、シェアモード変形を行って湾曲するように離反する。そして、これらを初期位置に復帰させて当該圧力室２４内の圧力を高くすることで、対向するノズル２２からインク滴が勢い良く吐出される。

次に、上述したインクジェットヘッド１１の製造方法について、図３に示すフローチャートとともに図４乃至図８を参照して説明する。
まず、焼成前のセラミックスシートで構成される基板１２に対して、プレス成形によって上述した複数の供給口３１および排出口３２を形成する（図３、ステップ１）。或いは、矩形板状の基板１２を用意して機械加工によって供給口３１および排出口３２を形成する。これら供給口３１および排出口３２の位置精度は低くて良い。なお、基板１２は焼成しておく。

続いて、基板１２の表面に一対の圧電部材１５を接着する（ステップ２）。各圧電部材１５は、上述した供給口３１の両側で排出口３２との間に接着される。このとき、一対の圧電部材１５は、図示しない治具によって保持されて、互いに高精度に位置決めされる。一対の圧電部材１５を基板１２に接着した状態を図４に示す。

圧電部材１５は、図４に示すように、２枚の圧電板２３を分極方向が逆向きになるように接着剤５１を挟んで貼り合せて形成されている。２枚の圧電板２３を貼り合せる接着剤５１、および圧電部材１５を基板１２に貼り合せる接着剤５１は、加熱により硬化するエポキシ系の接着剤であり、本実施の形態では、１２０［℃］で２［ｈ］加熱して硬化させるようにしている。なお、接着剤５１は、接着の対象となる部材との間に気泡が残らないようにすることが望ましい。

圧電部材１５を基板１２に接着した後、図５に示すように、各圧電部材１５の長手方向に沿った両側面１５ａを斜めに切削加工する。このとき、各側面１５ａに連続するように基板１２の表面も少し削り取る。これにより、基板１２と圧電部材１５を接着した接着剤５１の余剰部分を削り取ることができる。または、基板１２と圧電部材１５との間に接着剤５１が不足した場合、この不足した空洞部分を削り取ることができる。

さらにこの後、図５に示すように断面台形状にした圧電部材１５の基板１２から離間した図示上方から複数の溝２４（圧力室２４）を形成する（ステップ３）。この溝加工は、例えば、ＩＣウェハーの切断等に用いられているダイシングソーのダイヤモンドホイールを用いる。複数の圧力室２４は、図１に示すように、圧電部材１５の長手方向に沿って等間隔で並べて形成される。この結果、隣接する圧力室２４の間には、それぞれ、壁２５が形成される。

そして、図６に示すように、複数の圧力室２４の内面に駆動電極２６を形成するとともに、基板１２上に電気配線２７を形成する（ステップ４）。駆動電極２６および電気配線２７は、無電解メッキによって形成された例えばニッケル薄膜で構成されている。駆動電極２６および電気配線２７を形成する際には、まずニッケル薄膜を基板１２および圧電部材１５の全表面にメッキし、レーザーでパターニングして駆動電極２６および電気配線２７以外の部位のニッケル薄膜を除去する。なお、駆動電極２６および電気配線２７の表面には、絶縁膜を被膜しておく。

この後、図６に示すように、一対の圧電部材１５を囲むように、基板１２の表面に枠部材１３を接着し（ステップ５）、図７に示すように、枠部材１３および圧電部材１５を覆うようにカバー部材１４を接着する（ステップ６）。カバー部材１４は、上述したように、枠部材１３の端部１３ａおよび圧電部材１５の複数の壁２５の端部２５ａに接着される。

さらにこの後、カバー部材１４にレーザーを照射して複数のノズル２２を形成する（ステップ７）。各ノズル２２は、カバー部材１４の表面に円形の吐出口を形成し、複数の圧力室２４にそれぞれ連通するよう形成される。

このとき、レーザー照射によって駆動電極２６の表面に被覆した絶縁層が部分的に破壊されることがある。このため、基板１２の配線２７にＩＣ１６を取り付ける前に、絶縁層を補修する必要がある。

つまり、ステップ７でノズル２２を形成した後、ＩＣ１６を搭載していない図１に示す状態のインクジェットヘッド１１を、図８に示す電着装置５０（製造装置）にセットする。そして、インクジェットヘッド１１の供給口３１を介してチャンバー４０内に電着塗料（電着液）を流し入れ、排出口３２を介して電着塗料を排出し、ヘッド１１内に電着塗料を流通させる。この状態で、電気配線２７を介して複数の駆動電極２６にバイアス電圧を印加し、駆動電極２６の表面に電着塗料を付着させ、レーザー照射によって破壊された絶縁層の部位を修復する（ステップ８）。

そして、修復を終えたインクジェットヘッド１１を電着装置５０から取り出して、基板１２上の電気配線２７に接続するように駆動回路（ヘッド駆動用のＩＣ１６）を取り付ける（ステップ９）。さらに、基板１２に対して図示しないインクケースを接着して（ステップ１０）、インクジェットヘッド１１の製造工程が終了する。

以下、上述したステップ８の修復工程について、電着装置５０の構造とともに、図８乃至図１０を参照してより詳細に説明する。図８には、電着装置５０の外観斜視図を示してあり、図９には、電着装置５０にインクジェットヘッド１１をセットするための冶具について説明するための分解斜視図を示してあり、図１０には、電着装置５０の機能について説明するための模式図を示してある。なお、図１０では、説明を分かり易くするため、一対の圧電部材１５のうち片方のみを図示してある。

図８および図９に示すように、電着装置５０は、位置決めのための複数本のピン５１（図８にのみ図示）を立設したベース部材５２、インクジェットヘッド１１を上下両面から挟む位置に配置される下側弾性部材５３および上側弾性部材５４、ベース部材５２の上に重ねてセットされた下側弾性部材５３、インクジェットヘッド１１、および上側弾性部材５４をベース部材５２との間で挟む位置にセットされる押さえブロック５５、および、この押さえブロック５５を上方から押圧して上述した冶具５２、５３、５４、５５をインクジェットヘッド１１とともに圧接させるためのトグル機構５６を有する。

なお、ベース部材５２の上面には、図９に示すように複数本（本実施の形態では６本）のピン５１を圧入するための複数の穴５２ａが形成されている。また、下側弾性部材５３および上側弾性部材５４は、ゴム材料によって形成されている。

また、図１０に示すように、電着装置５０は、電着装置５０にセットしたインクジェットヘッド１１に電着塗料を流通させるためのポンプ６２、このポンプ６２を作動させて流通管６１を通して流通させた電着塗料を排出させるためのバルブ６４、流通管６１を流れる電着塗料に含まれる気泡を除去する脱気装置６６、インクジェットヘッド１１の基板１２の表面に導出された電気配線２７を介して複数の駆動電極２６にバイアス電圧を印加するための電源装置６８を有する。

なお、流通管６１は、導電性の材料によって形成されており、接地されている。そして、電源装置６８は、治具５２、５３、５４、５５に形成されたそれぞれ２つの切り欠き部分に露出したインクジェットヘッド１１の基板１２の部位に通電のための図示しないクリップを挟んでバイアス電圧を印加する。

上記構造の電着装置５０にインクジェットヘッド１１をセットする場合、まず、図８に示すように、ベース部材５２に立設された複数本のピン５１の間に、下側弾性部材５３をセットする。そして、インクジェットヘッド１１、上側弾性部材５４、押さえブロック５５の順に下側弾性部材５３に重ねてピン５１の間にセットする。さらに、ベース部材５２と押さえブロック５５との間に、下側弾性部材５３、インクジェットヘッド１１、および上側弾性部材５４を挟むように、トグル機構５６によって全ての部材５２、５３、１１、５４、５５を密着させる。このとき、各治具５２、５３、５４、５５、およびインクジェットヘッド１１の面方向の位置決めは適当でよく、６本のピン５１の案内によってただ単に重ねれば良い。

下側弾性部材５３は、図９に示すように、インクジェットヘッド１１の複数の供給口３１に連通するよう長手方向に延びた細長いスリット５３ａ、および、インクジェットヘッド１１の複数の排出口３２に連通するよう長手方向に延び且つスリット５３ａの両側に配置された２本のスリット５３ｂを、下側弾性部材５３を貫通して有する。

一方、ベース部材５２の下側弾性部材５３が載置される上面には、図９に示すように、下側弾性部材５３の中央のスリット５３ａと略一致する形状の細長い溝５２ｂ、および、下側弾性部材５３の排出用の２本のスリット５３ｂと略一致する形状の細長い２本の溝５２ｃが形成されている。つまり、複数本のピン５１によって案内されて下側弾性部材５３がベース部材５２の上面に載置されると、下側弾性部材５３の中央のスリット５３ａとベース部材５２の中央の溝５２ｂが対向し、且つ下側弾性部材５３の両側のスリット５３ｂとベース部材５２の両側の溝５２ｃがそれぞれ対向するようになっている。

図９に示すように、ベース部材５２の図中前面には、電着塗料を流通させるための流通管６１を接続するための供給側の孔７１が形成されている。また、ベース部材５２の図中右側面には、流通管６１を接続するための排出側の孔７２が形成されている。そして、供給側の孔７１は、ベース部材５２の中を通って上述した中央の溝５２ｂに連通し、排出側の孔７２は、ベース部材５２の中を通って上述した２本の溝５２ｃに連通している。

つまり、流通管６１を通して孔７１からベース部材５２に流入された電着塗料は、ベース部材５２の上面にある中央の溝５２ｂおよび下側弾性部材５３の中央のスリット５３ａを順次満たして、インクジェットヘッド１１の複数の供給口３１を介してチャンバー４０内へ流入される。また、インクジェットヘッド１１の複数の排出口３２を介してチャンバー４０から排出された電着塗料は、下側弾性部材５３の２つのスリット５３およびベース部材５２の２つの溝５２ｃを順次満たして、ベース部材５２の孔７２に接続された流通管６１へ流出される。このように、電着塗料は、インクジェットヘッド１１内を流通される。

このとき、チャンバー４０内を流通される電着塗料が、複数の圧力室２４に対応して形成された複数のノズル２２を介して、僅かに流出することが考えられる。しかし、ノズル２２からインクジェットヘッド１１の外へ流出した電着塗料は、上側弾性部材５４の比較的大きな開口部５４ａと押さえブロック５５とカバー部材１４との間で規定された空間に溜まり、外部へ流出する心配は無い。また、この空間に溜まった電着塗料は、電着塗料の流通の過程で、チャンバー４０内に再び戻ることも考えられる。つまり、この空間を設けることで、ノズル２２を通して電着塗料を流通させることもできる。

以上のように、電着装置５０にインクジェットヘッド１１をセットして電着塗料を流通させた状態で、電源装置６８を介して複数の駆動電極２６にバイアス電圧を印加すると、電着塗料が駆動電極２６に付着して堆積し、レーザー照射によって破壊された絶縁層の部位が修復される。

以上のように、本実施の形態によると、インクジェットヘッド１１の複数の圧力室２４（流路）を通して電着塗料を流通させながら複数の駆動電極２６にバイアス電圧を印加するようにしたため、幅８０［μｍ］程度の微細な圧力室２４の隅々まで電着塗料を行き渡らせることができ、駆動電極２６の表面に均一で安定した膜厚の絶縁層を被膜することができる。特に、本実施の形態によると、電着塗料を流動させながら電着させるため、電着塗料に含まれる気泡が圧力室２４内に滞留することがなく、駆動電極２６の部位で気泡の存在によって絶縁層にピンホールが形成されることも無い。なお、圧力室２４内を流通する電着塗料の一部がノズル２２を介して流出するため、圧力室２４内の気泡をノズル２２を介して排出することもできる。

また、本実施の形態の電着装置５０は、電着塗料を流通させる流通管６１の途中に脱気装置６６を有するため、脱気装置６６で気泡を除去した電着塗料を流通管６１を介してインクジェットヘッド１１へ供給することができ、電着塗料に含まれる気泡をより効果的に除去することができる。さらに、本実施の形態の電着装置５０は、流通管６１の途中にバルブ６４を有し、気泡を含む電着塗料を排出することもできる。

なお、この発明は、上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、上述した実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除しても良い。

例えば、上述した実施の形態では、一定量の電着塗料をインクジェットヘッド１１へ供給して１方向に流通させる場合について説明したが、これに限らず、一定時間毎に電着塗料の流通方向を逆転させるようにしても良い。この場合、流通管６１の途中に配置したポンプ６２によって電着塗料の流通方向を交互に切り換え、電着塗料を振動させれば良い。

これにより、上述した実施の形態のように電着塗料を流通させるだけでは除去できない気泡をも除去することができる。つまり、電着塗料が流通する経路の内壁に気泡が付着しているような場合であっても、気泡を流通経路から確実に取り除くことができ、絶縁層にピンホールが形成される不具合をより確実に防止できる。

なお、この場合、単に電着塗料を振動させているだけでは、気泡を含んだ電着塗料がインクジェットヘッド１１内に滞留してしまうため、一定時間ポンプ６２を作動させた後、バルブ６４を開いて流通経路にある全ての電着塗料を押し流して、気泡を含まない新たな電着塗料を流通管６１に供給することが望ましい。

また、このように電着塗料を振動させる代わりに、電着塗料を脈動させて１方向に流通させても良く、或いは、電着塗料を脈動させながら交互に流通方向を切り換えるようにしても良い。この場合、上述したように電着塗料を振動させる場合と同様に、電着塗料の流通経路の内壁に付着した気泡を効果的に取り除くことができ、絶縁層のピンホールを無くすことができる。

また、上述した実施の形態では、インクジェットヘッド１１内に電着塗料を流通させて、複数の駆動電極２６に一定のバイアス電圧を印加する場合について説明したが、これに限らず、振動する波形を有するバイアス電圧を印加するようにしても良い。この場合、電源装置６８によって複数の駆動電極２６に振動波形のバイアス電圧を印加するようにしても良いが、インクジェットヘッド１１を介して実際のパターンを印字するときの駆動電圧を複数の駆動電極２６に印加するようにしても良い。

これにより、複数の圧力室２４の壁２５が変形し、特に、圧力室２４の内壁に付着している気泡を効果的に取り除くことができる。つまり、電着塗料を流通させつつ駆動電極に振動波形のバイアス電圧を印加することで、一定のバイアス電圧を印加しただけでは取り除くことのできない気泡をも取り除くことができ、絶縁層のピンホールをより確実に無くすことができる。

さらに、上述した実施の形態では、レーザー照射によって駆動電極２６を被覆した絶縁層が破壊された部位を修復するため、電着装置５０を用いた場合について説明したが、これに限らず、インクジェットヘッド１１を製造する他の工程に本実施の形態の電着装置５０を用いても良い。

例えば、図３のステップ３で圧電部材１５に複数の溝（圧力室）２４を形成して、ステップ４で複数の駆動電極２６を形成した後、圧電部材１５を接着した状態の基板１２を電着装置５０にセットして、駆動電極２６の表面に絶縁層を被覆するようにしても良い。また、このように絶縁層を被覆した後、基板を電着装置５０にセットしたまま、流通管６１を通して純水を流通させて、チャンバー４０および圧力室２４を洗浄する洗浄工程を実施しても良い。さらに、この洗浄工程は、上述したステップ８の修復工程の後に実施しても良い。

この発明の実施の形態に係るインクジェットヘッドを示す外観斜視図。 図１のインクジェットヘッドをII-IIで切断した断面図。 図１のインクジェットヘッドの製造方法を説明するためのフローチャート。 基板に圧電部材を接着した状態を示す断面図。 圧電部材の側面を切削加工した状態を示す断面図。 電極および配線を形成して枠部材を接着した状態を示す断面図。 枠部材の端部および壁の端部にカバー部材を接着した状態を示す断面図。 図７の状態のインクジェットヘッドをセットして駆動電極表面の絶縁層を修復するための電着装置の概略構造を示す外観斜視図。 図８の電着装置の治具を示す分解斜視図。 図８の電着装置の機能を説明するための模式図。

符号の説明

１１…インクジェットヘッド、１２…基板、１３…枠部材、１４…カバー部材、１５…圧電部材、１６…ＩＣ、２１…ノズル列、２２…ノズル、２４…圧力室、２５…壁、２６…駆動電極、２７…電気配線、３１…供給口、３２…排出口、４０…インク室、５０…電着装置、５１…ピン、５２…ベース部材、５２ｂ、５２ｃ…溝、５３…下側弾性部材、５３ａ、５３ｂ…スリット、５４…上側弾性部材、５４ａ…開口、５５…押さえブロック、６１…流通管、６２…ポンプ、６４…バルブ、６６…脱気装置、６８…電源装置。

Claims (11)

1. インクを循環させる複数の流路を有し、これら各流路の内面に薄膜状の駆動電極をそれぞれ有し、上記複数の流路それぞれに対応したインク吐出口を有するインクジェットヘッドの製造装置であって、
   上記複数の流路に絶縁膜を形成するための電着液を循環させて流通させる循環装置と、
   上記複数の駆動電極にバイアス電圧を印加して各駆動電極の表面に上記電着液による絶縁膜を成膜する電源装置と、
   を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造装置。
2. 上記循環装置は、上記電着液の流通方向を交互に切り換えるポンプを有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造装置。
3. 上記循環装置は、上記電着液を脈動させながら上記複数の流路内を流通させるポンプを有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造装置。
4. 上記循環装置は、上記複数の流路を流通させる電着液に含まれる気泡を除去するための脱気装置を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造装置。
5. 上記電源装置は、振動波形を有するバイアス電圧を上記複数の駆動電極に印加することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造装置。
6. インクを循環させる複数の流路を有し、これら各流路の内面に薄膜状の駆動電極をそれぞれ有し、上記複数の流路それぞれに対応したインク吐出口を有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
   上記複数の流路に絶縁膜を形成するための電着液を流通させる流通工程と、
   上記複数の駆動電極にバイアス電圧を印加して各駆動電極の表面に上記電着液による絶縁膜を成膜する成膜工程と、
   を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
7. 上記流通工程では、上記電着液の流通方向を交互に切り換えて振動させることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
8. 上記流通工程では、上記電着液を振動させた後、この振動させた電着液を気泡を含まない新たな電着液で押し流すことを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
9. 上記流通工程では、上記電着液を脈動させながら上記複数の流路内を流通させることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
10. 上記流通工程では、上記複数の流路を流通させる電着液に含まれる気泡を除去することを特徴とする請求項６、７、９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
11. 上記成膜工程では、振動波形を有するバイアス電圧を上記複数の駆動電極に印加することを特徴とする請求項６乃至請求項１０のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。

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