JP2001162795A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】異物によるインク吐出孔４の目詰まりと、気泡
によるインク滴の吐出性能の劣化を防止するとともに、
圧電セラミックスからなる隔壁１が変位することで発生
する熱によるインクの粘度低下を防止する。 【解決手段】駆動用電極３を備える圧電セラミック製の
複数の隔壁１にて仕切られた複数のインク流路２を有す
るとともに、上記各インク流路２を連通するインク吐出
孔４を備えたインクジェット記録ヘッドに、前記各イン
ク流路２内のインクを循環させる循環機構を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、微細なインク吐出
孔からインク滴を吐出して文字や画像等を記録媒体に印
刷する各種プリンタや記録計、あるいは捺染分野や窯業
分野で文様形成等に用いる印刷機等の記録装置に搭載さ
れるインクジェット記録ヘッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、マルチメディアの浸透に伴い、少
量多品種の用途に適した小型軽量の各種情報の印刷とし
て、インパクト方式の記録装置に代わり、インク滴を記
録媒体に吐出して印刷するインクジェット方式や、イン
クリボンを記録媒体上に接触させて加熱及び浸透させる
熱転写方式などのノンインパクト方式の記録装置が開発
され、これらの利用範囲が各種産業分野や一般家庭分野
等に拡大している。

【０００３】かかるノンインパクト方式の記録装置のな
かでも、前記インクジェット方式の記録装置は、多階調
化やカラー化が容易で、ランニングコストが低いことか
ら将来性が注目されている。

【０００４】このインクジェット方式の記録装置に搭載
されるインクジェット記録ヘッドとしては、必要なイン
ク滴だけを吐出するドロップ・オン・デマンド型が主流
になっており、具体的には、カイザー型やサーマルジェ
ット型が代表的な方式として採用されている。

【０００５】カイザー型は、隔壁にて仕切られたインク
流路を密閉する薄肉のカバープレートを圧電素子にて変
形させ、インク流路内のインクを加圧してインク吐出孔
からインク滴を吐出するタイプであり、また、サーマル
ジェット型は、隔壁にて仕切られたインク流路内の一部
に発熱体を設け、インク流路内のインクを加熱する際に
発生する気泡の体積膨張を利用してインクを加圧し、イ
ンク吐出孔からインク滴を吐出するタイプである。

【０００６】しかしながら、カイザー型は、カバープレ
ート上に圧電素子を設ける必要があることから、インク
ジェット記録ヘッドの小型化が困難であり、また、サー
マルジェット型は、インクを急激に高温に加熱するた
め、インクの種類が限定されるとともに、インクを熱膨
張させるのに時間がかかり、応答性が悪いといった問題
点があった。

【０００７】そこで、前記問題点を解決するものとし
て、図４や図５に示すようなインクジェット記録ヘッド
が提案されている。

【０００８】図４に示すインクジェット記録ヘッドは、
圧電セラミック板に一端が閉じられた複数の溝を並設
し、各溝をインク流路３１とするとともに、各インク流
路３１を仕切る壁を隔壁３０とした流路部材３３と、前
記各隔壁３０の側面上半分に形成された駆動用電極３２
と、各隔壁３０の頂部に接合され、各インク流路３１と
連通するインク供給穴３５を備えたカバープレート３４
と、流路部材３３の開放端側に接合され、各インク流路
３１と連通するインク吐出孔３７を備えたノズル板３６
とからなるもので、また、図５に示すインクジェット記
録ヘッドは、圧電セラミック板に両端が閉じられた複数
の溝を並設し、各溝をインク流路５１とするとともに、
各インク流路５１を仕切る壁を隔壁５０としてなり、各
インク流路５１の底部にはインク吐出孔５４を備えた流
路部材５３と、前記各隔壁５０の側面上半分に形成され
た駆動用電極５２と、各隔壁５０の頂部に接合され、各
インク流路５１と連通するインク供給穴５６を備えたカ
バープレート５５とからなるものがあった。

【０００９】なお、図４中、３８は駆動用電極３２に通
電するための引出線、３９は駆動用電極３２に通電し、
隔壁３０を変位させるためのドライバーＩＣ、４０は不
図示の外部駆動用回路とドライバーＩＣ３９を接続する
ための配線であり、図５中、５７は駆動用電極５２に通
電するための引出線、５９は駆動用電極５２に通電し、
隔壁５０を変位させるためのドライバーＩＣ、５８は不
図示の外部駆動回路とドライバーＩＣ５９を接続するた
めの配線で、インク流路５１を挟んで流路部材５３の両
側にそれぞれ配してある。また、図４及び図５の隔壁３
０，５０は、いずれも高さ方向に分極処理してある。

【００１０】そして、図４及び図５に示すインクジェッ
ト記録ヘッドは、いずれも駆動用電極３２，５２に電圧
を印加し、隔壁３０，５０を形成する圧電セラミックス
の剪断モード変形を利用して隔壁３０，５０を「く」字
状に変位させ、インク流路３１，５１内のインクを加圧
することにより、インク吐出孔３７，５４からインク滴
を吐出するようになっていた。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４及
び図５に示すインクジェット記録ヘッドを繰り返し駆動
させると、誤動作によってインク吐出孔３７，５４から
インク流路３１，５１内に気泡が入り込むことがあり、
インク流路３１，５１内に気泡が入り込むと、この気泡
によってインク流路３１，５１の体積変化に伴う圧力が
吸収されるため、インクへの加圧や減圧が阻害され、所
望のインク滴を吐出させることができなくなるといった
課題があった。

【００１２】また、インク流路３１，５１には加工屑等
の異物が付着していたり、インクに異物が混入している
ことがあり、これらの異物がインク流路３１，５１内に
入り込むと、インク吐出孔３７，５４を詰まらせ、イン
ク滴の吐出ができなくなるといった課題もあった。

【００１３】さらに、前述したサーマルジェット型のヘ
ッドほどではないが、隔壁３０，５０を変位させると熱
を発生し、インクの温度が上昇することによって、イン
クの粘度が低下するために、インク滴の吐出特性がかわ
り、記録する文字や画像の品質が安定しなくなるといっ
た課題もあった。

【００１４】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記課
題に鑑み、駆動用電極を有する圧電セラミック製の隔壁
にて仕切られた複数のインク流路を有するとともに、上
記各インク流路と連通するインク吐出孔を備え、前記駆
動用電極に通電して隔壁を屈曲変位させることにより、
上記インク流路内のインクを加圧してインク吐出孔から
インク滴を吐出させるインクジェット記録ヘッドであっ
て、前記各インク流路にはその内部のインクを循環させ
る循環機構を設けたことを特徴とする。

【００１５】

【作用】本発明のインクジェット記録ヘッドによれば、
インク流路内のインクを循環させる循環機構を設けたこ
とにより、気泡や異物などがインク流路内に入り込んだ
としても、循環によってインク流路内の気泡や異物をイ
ンクとともに排出することができるため、インク流路内
に気泡や異物が滞在することを防ぐことができるととも
に、インクを循環させることで、インク流路内における
インクの粘度が大きく低下することを防止することがで
きる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。

【００１７】図１は本発明に係るインクジェット記録ヘ
ッドの一部を破断した斜視図、図２は図１のインクジェ
ット記録ヘッドにおけるインクの循環機構を説明するた
めの模式図、図３（ａ）（ｂ）は図１のインクジェット
記録ヘッドの駆動原理を説明するための断面図である。

【００１８】このインクジェット記録ヘッド（以下、ヘ
ッドと称す）は、厚み方向に分極した圧電セラミック板
に両端が閉じられた複数の溝を並設し、これらの溝をイ
ンク流路２とするとともに、各インク流路２を仕切る壁
を隔壁１となし、各インク流路２の底部中央付近にはイ
ンク吐出孔４を備えた流路部材５と、各隔壁１の側面上
半分に形成された駆動用電極３と、各隔壁１の頂面に接
合させ、各インク流路２と連通するインク供給穴９及び
インク回収穴１０をそれぞれ有するカバープレート６
と、上記インク供給穴９と連通するインク供給通路１２
及びインク回収穴１０と連通するインク回収通路１３を
有する容器１１とから構成してある。

【００１９】カバープレート６のインク供給穴９とイン
ク回収穴１０は、各インク流路２の両端にそれぞれ位置
するように配置してあり、容器１１のインク供給通路１
２には、図２に示すように、メインタンク２２より供給
されたインクがフィルタ２４を経て供給されるようにな
っており、インク供給穴９を介して各インク流路２に供
給されたインクは、インク回収穴１０を介してインク回
収通路１３に回収され、サブタンク２３に貯められたあ
と、フィルタ２５にて気泡や異物を取り除き、ポンプ２
１を経由してメインタンク２２に戻されるようになって
おり、各インク流路２内のインクを循環させる循環機構
を構成してある。

【００２０】また、インク流路２の内壁全面には、図３
に示すように、インクによる駆動用電極３の劣化を防ぐ
ため、窒化珪素等のセラミック膜や樹脂膜を保護膜１４
として被着してある。ただし、保護膜１４は必ずしもイ
ンク流路２の内壁全面に設ける必要はなく、駆動用電極
３のみ被着してあれば良い。

【００２１】なお、図１中、７は駆動用電極３に通電す
るための引出線、８は駆動用電極３に通電し、隔壁１を
変位させるためのドライバーＩＣ、１５は不図示の外部
駆動用回路とドライバーＩＣ８を接続するための配線
で、インク流路２を挟んで流路部材５の両側にそれぞれ
配置してある。

【００２２】そして、このヘッドを用いてインク滴を吐
出するには、図２に示すポンプ２１を駆動させ、メイン
タンク２２から容器１１のインク供給通路１２にインク
を供給するとともに、図１に矢印で示すように、インク
をインク供給穴９から各インク流路２へ供給し、さらに
インク回収穴１０から容器１１のインク回収通路１３に
回収するように循環させた状態で、図３（ａ）に示すよ
うに、駆動用電極３ｂ，３ｃ，３ｈ，３ｉにそれぞれ負
極の電圧を、駆動用電極３ａ，３ｄ，３ｅ，３ｆ，３
ｇ，３ｊに正極の電圧をそれぞれ印加すると、隔壁１ａ
及び隔壁１ｂがインク流路２ａ側へ屈曲変位するととも
に、隔壁１ｄ，１ｅがインク流路２ｄ側へ屈曲変位する
ため、インク流路２ａ，２ｄ内に充填されたインクを加
圧し、インク吐出孔４よりインク滴を吐出するようにな
っており、次に、各駆動用電極３ａ〜３ｊへの通電を遮
断すると、屈曲変位していた隔壁１ａ，１ｂ，１ｄ，１
ｅが弾性作用によって元の形状に戻り、さらに前述した
駆動用電極３ａ〜３ｊへ正負を逆転して電圧を印加する
と、図３（ｂ）に示すように隔壁１ａ，１ｂがインク流
路２ａに対して外側へ屈曲変位するとともに、隔壁１
ｄ，１ｅがインク流路２ｄに対して外側へ屈曲変位する
ため、インク流路２ａ，２ｄ内がさらに減圧されてイン
クが充填されることになる。そして、各駆動用電極３ａ
〜３ｊへの通電を遮断すると、屈曲変位していた隔壁１
ａ，１ｂ，１ｄ，１ｅが弾性作用によって元の形状に戻
り、次のインク滴の吐出段階に入るようになっており、
これらの動作を順次繰り返すことでインク滴の吐出を連
続的に行うようになっている。なお、図３（ａ）（ｂ）
において矢印は、各隔壁１ａ〜１ｅの分極方向を示す。

【００２３】そして、本発明によれば、前述したよう
に、インク流路２内のインクを循環させる循環機構を有
することから、ヘッドの誤動作によってインク吐出孔４
からインク流路２内に気泡が侵入したり、インク流路２
に付着していた加工屑等の異物やインクに混入していた
異物がインク流路２に入り込んだとしても、インク回収
穴１０より排出することができるため、隔壁１の変位に
よってインクに与えた圧力が気泡によって吸収されるこ
とがなく、安定した所望の圧力をインクに加えることが
できるため、インク吐出孔４から所定量のインク滴を安
定して吐出することができるとともに、異物によってイ
ンク吐出孔４が目詰まりを起こすことを効果的に防止す
ることができる。

【００２４】また、インク流路２内のインクを循環させ
ることで、隔壁１の変位に伴って発生する熱によるイン
クの温度上昇を抑え、インクの粘度が低下することを防
止することもできるため、インク滴の吐出特性を安定さ
せることができる。

【００２５】ところで、循環機構を設ける場合、インク
流路２の長手方向に対して垂直にインク吐出孔４が開口
するヘッドに適用することが重要である。

【００２６】即ち、図４に示す従来のヘッドのように、
インク吐出孔３７がインク流路３１の長手方向に開口し
たものでは、インクの循環機構を設けた場合、インクの
流れがインク滴の吐出方向と同じであると、インクを加
圧する圧力がインクの流れに吸収され、逆にインクの流
れがインク滴の吐出方向と逆の方向であると、インクの
流れがインクを加圧する圧力と衝突して吐出圧が吸収さ
れるというように、いずれの場合においてもインク滴の
吐出性能が低下するのに対し、インク流路２の長手方向
に対して垂直にインク吐出孔４が開口するヘッドでは、
インクを加圧する圧力が吸収されることなく、大きな吐
出圧を得ることができるからである。

【００２７】また、インク吐出孔４は、インク流路２の
底部のいずれに形成しても構わないが、隔壁１を変位さ
せた時に最も大きな変位が得られ、大きな圧力を発生さ
せることができるインク流路２の中央付近に設けること
が好ましい。

【００２８】次に、本発明のインクジェット記録ヘッド
の製造方法について説明する。

【００２９】まず、予め厚み方向に分極を施した、チタ
ン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ系）、マグネシウムニオブ酸
鉛（ＰＭＮ系）、ニッケルニオブ酸鉛（ＰＮＮ系）等を
主成分とする圧電セラミック板を用意し、その表面に、
蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、ＣＶＤ
などの真空成膜法により、アルミニウム、パラジウム、
ニッケル、金、銅などの金属膜を被着し、フォトレジス
ト法にて引出線７と配線１５を形成した後、圧電セラミ
ック板上に、ダイヤモンドブレードによって両端が閉じ
られた複数の溝を研削し、溝をインク流路２とするとと
もに、溝を仕切る壁を隔壁１としてなる流路部材５を製
作する。

【００３０】次に、各隔壁１の側面上半分に、前述した
真空成膜法にて、アルミニウム、パラジウム、ニッケ
ル、金、銅などの金属膜を被着して駆動用電極３を形成
するとともに、引出線７と接続した後、駆動用電極３を
覆うように、インク流路２の内壁全面に、窒化珪素等の
セラミック膜や樹脂膜を保護膜１４として被着し、次い
でレーザー加工等にて各インク流路２の底部中央付近に
インク吐出孔４を穿設する。

【００３１】しかる後、各隔壁１の頂面に、インク供給
穴９とインク回収穴１０が開口した、ガラスやセラミッ
クスからなるカバープレート６を接着等にて接合した
後、カバープレート６のインク供給穴９上に容器１１の
インク供給通路１２が、カバープレート６のインク回収
穴１０上に容器１１のインク回収通路１３がそれぞれ位
置するように位置合わせした状態で容器１１をカバープ
レート６に接着等にて接合し、次いで、ドライバーＩＣ
８を引出線７及び配線１５と接続して流路部材５の両端
にそれぞれ搭載することにより、図１のヘッドを得るこ
とができ、得られたヘッドの容器１１に、図２に示す循
環機構を接続すれば良い。

【００３２】なお、本実施形態では、ヘッドを形成する
流路部材５として、圧電セラミックスにより一体的に形
成したものを示したが、絶縁性セラミック板上に圧電セ
ラミックスからなる複数の隔壁を接着にて並設した流路
部材であっても良く、また、インク吐出孔４は必ずしも
インク流路２の底部に限らず、カバープレートに形成
し、インク流路２の底部にインク供給穴９とインク回収
穴１０を形成したものでも良い。さらにインクの循環機
構としては図２に示すものだけに限定されず、インクを
循環させる機構を備えていれば、どのようなものでも良
いというように、これらに限らず、本発明の要旨を逸脱
しない範囲であれば改良や変更できることは言うまでも
ない。

【００３３】

【実施例】ここで、図１に示す本発明のインクジェット
記録ヘッドと、図５に示す従来のインクジェット記録ヘ
ッドとを用意し、各インクジェット記録ヘッドを駆動さ
せた時のインク滴の吐出性能を調べる実験を行った。

【００３４】本実験では、５０ｍｍ×２５ｍｍ×１ｍｍ
の板状をなし、予め厚み方向に分極処理したチタン酸ジ
ルコン酸鉛を主成分とする圧電セラミック板を用意し、
その表面に真空蒸着法により、膜厚が１μｍ程度のアル
ミニウム膜を被着した後、フォトレジスト法にて引出線
７，５７及び配線１５，５８を形成し、次いで、圧電セ
ラミック板上に、厚みが６０μｍのダイヤモンドブレー
ドによって、長さ１０ｍｍ、深さ４５０μｍの溝を１０
０μｍのピッチで２３４本形成し、溝をインク流路２，
５１とするとともに、溝を仕切る壁を隔壁１，５０とし
た流路部材５，５３を製作した。

【００３５】次に、真空蒸着法にて隔壁１，５０の側面
上半分に、膜厚が１μｍ程度のアルミニウム膜を被着し
て駆動用電極３，５２を形成するとともに、引出線７，
５７と接続した後、インク流路２，５１の内壁全面に、
真空蒸着法にて窒化珪素の保護膜１４を被着し、さらに
ＹＡＧレーザーにてインク流路２，５１の底部中央にイ
ンク吐出孔４，５４を穿設した。

【００３６】一方、５０ｍｍ×９ｍｍ×１ｍｍのアルミ
ナセラミック板を用意し、ＣＯ₂レーザーによって断面
形状が４２ｍｍ×２ｍｍの長方形をしたインク供給穴９
とインク回収穴１０を開口させたカバープレート６と、
断面形状が４２ｍｍ×２ｍｍの長方形をしたインク供給
穴５６のみを開口させたカバープレート５５を製作し
た。

【００３７】そして、流路部材５の各隔壁１の頂面に、
カバープレート６を接着にて接合するとともに、カバー
プレート６上にインク供給通路１２とインク回収通路１
３を有する容器１１を接着した後、ドライバーＩＣ８を
引出線７及び配線１５と接続して流路部材５の両端に搭
載し、次いで図２に示すメインタンク２２、サブタンク
２３、ポンプ２１、フィルタ２４，２５からなるインク
の循環機構を接続することにより、本発明のインクジェ
ット記録ヘッドを製作した。

【００３８】また、流路部材５３の各隔壁５０の頂面
に、カバープレート５５を接着にて接合した後、ドライ
バーＩＣ５９を引出線５７及び配線５８と接続して流路
部材５３の両端に搭載することにより、従来のインクジ
ェット記録ヘッドを製作した。

【００３９】そして、製作した各インクジェット記録ヘ
ッドを、インク吐出孔群が印刷の主走査方向に対して垂
直になるように各ヘッドを記録装置に搭載し、各ヘッド
を主走査方向に往復移動させながらインク滴の吐出を行
うとともに、記録用紙を副走査方向に送ることにより、
３５０ｄｐｉの線や格子模様及び文字などからなる同一
面積のモノクロテストパターン印刷を行い、目視により
印刷の濃度ムラを観察したあと、各ヘッドを連続駆動さ
せ、印刷不良が発生するまでの印刷時間について調べる
実験を行った。

【００４０】また、各ヘッドを固定し、紙を除去した状
態で、拡大鏡とＣＣＤカメラによる高速撮影によって、
インク滴の吐出状態を観察し、画像解析によってインク
滴の大きさが最大となる時の駆動周波数をそれぞれ求め
たあと、その駆動周波数で各ヘッドを駆動させた時のイ
ンク滴の直径とそのバラツキを印刷用紙上の印刷面から
求めた。なお、印刷用紙には、インク滴の直径が安定す
るように、シリカのコーティングを施したインクジェッ
ト専用紙を用いた。

【００４１】それぞれの結果は表１に示す通りである。

【００４２】

【表１】

【００４３】この結果、従来のインクジェット記録ヘッ
ドは、本発明のインクジェット記録ヘッドと比較して、
インク滴の直径及びバラツキが大きく、また印刷画像に
濃淡の差が現れた。

【００４４】そこで、各ヘッドを３０分間連続駆動させ
た後、流路部材５，５３の底部に温度センサーを接触さ
せて発熱具合を測定したところ、本発明のインクジェッ
ト記録ヘッドでは、試験開始前の２０℃から３５℃に上
昇した程度であったのに対し、従来のインクジェット記
録ヘッドは、試験開始前の２０℃から６５℃まで上昇し
ており、インク流路４１内のインクが熱せられ、インク
の粘度が下がったことにより、インク滴の直径が大きく
なり、ばらつきが発生したことが判った。

【００４５】また、インク吐出孔４，５４のメンテナン
スなしに連続印刷を繰り返したところ、従来のインクジ
ェット記録ヘッドは、４．５時間でインク吐出孔５４の
目詰まりに起因する印刷不良が生じたのに対し、本発明
のインクジェット記録ヘッドでは、２２時間の連続印刷
までインク吐出孔４の目詰まりはなく、安定した印刷を
長時間持続させることができた。

【００４６】さらに、このような安定性の要因を詳細に
検討するため、本発明のインクジェット記録ヘッドと従
来のインクジェット記録ヘッドに、わざと直径１〜１０
μmのセラミック粉体や気泡をインクに混入させ、印刷
を行ったところ、従来のインクジェット記録ヘッドで
は、セラミック粉体がインク吐出孔５４を詰まらせ、ま
た、気泡がインク流路５１に達した場合、インク吐出孔
５４からインク滴を吐出させることができなかったのに
対し、本発明のインクジェット記録ヘッドでは、セラミ
ック粉体や気泡が、インクの循環と共にインク流路２を
通過する際にインク滴の吐出が一時的に停止するだけ
で、セラミック粉体や気泡がインク流路２を抜けると、
インク滴の吐出が可能となり、インク流路２内に異物や
気泡が入り混んでもそれを排出し、連続駆動させること
ができることが確認できた。

【００４７】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、駆動用
電極を有する圧電セラミック製の隔壁にて仕切られた複
数のインク流路を有するとともに、上記各インク流路と
連通するインク吐出孔を備え、前記駆動用電極に通電し
て隔壁を屈曲変位させることにより、上記インク流路内
のインクを加圧してインク吐出孔からインク滴を吐出さ
せるインクジェット記録ヘッドであって、前記各インク
流路にはその内部のインクを循環させる循環機構を設け
たことから、気泡や異物などがインク流路内に入り込ん
だとしても、循環によってインク流路内の気泡や異物を
インクとともに排出することができるため、インク流路
内に気泡や異物が滞在することを防ぐことができるとと
もに、インクを循環させることで、インク流路内におけ
るインクの粘度が低下することを防止することができ
る。

【００４８】その為、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドを用いれば、インク吐出孔の目詰まりがなく、また、
インク吐出孔から所望のインク滴を安定して吐出するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るインクジェット記録ヘッドを示す
一部を破断した斜視図である。

【図２】図１のインクジェット記録ヘッドにおけるイン
クの循環機構を説明するための模式図である。

【図３】（ａ）（ｂ）は図１のインクジェット記録ヘッ
ドの駆動原理を説明するための断面図である。

【図４】従来のインクジェット記録ヘッドを示す一部を
破断した斜視図である。

【図５】従来の他のインクジェット記録ヘッドを示す一
部を破断した斜視図である。

【符号の説明】

１：隔壁 ３１：インク
流路 ２：インク流路 ３２：駆動用
電極 ３：駆動用電極 ３３：流路部
材 ４：インク吐出孔 ３４：カバー
プレート ５：流路部材 ３５：インク
供給穴 ６：カバープレート ３６：ノズル
板 ７：引出線 ３７：インク
吐出孔 ８：ドライバーＩＣ ３８：引出線 ９：インク供給穴 ３９：ドライ
バーＩＣ １０：インク回収穴 ４０：配線 １１：容器 ５０：隔壁 １２：インク供給通路 ５１：イン
ク流路 １３：インク回収通路 ５２：駆動
用電極 １４：保護膜 ５３：流路
部材 １５：配線 ５４：イン
ク吐出孔 ２１：ポンプ ５５：カバ
ープレート ２２：メインタンク ５６：イン
ク供給穴 ２３：サブタンク ５７：引出
線 ２４，２５：フィルタ ５８：配線 ３０：隔壁 ５９：ドラ
イバーＩＣ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】駆動用電極を有する圧電セラミック製の隔
   壁にて仕切られた複数のインク流路を有するとともに、
   上記各インク流路と連通するインク吐出孔を備え、前記
   駆動用電極に通電して隔壁を屈曲変位させることによ
   り、上記インク流路内のインクを加圧してインク吐出孔
   からインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドであ
   って、前記各インク流路はその内部のインクを循環させ
   る循環機構を有することを特徴とするインクジェット記
   録ヘッド。