JP2009200117A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 一対の基板を接合する接合装置であって、
   一方の基板の位置を検出して、検出した位置に基づいて、前記一方の基板が他方の基板に近接する方向及び前記一方の基板が前記他方の基板から離間する方向への前記一方の基板の移動を制御する位置制御部と、
   前記一対の基板が所定の大きさの間隔以下の大きさの間隔で互いに近接していること、または、前記一対の基板が互いに接触していることを検出する近接検知部と、
   前記近接検知部が前記一対の基板の近接または接触を検知した後に、前記一対の基板の間で作用する圧力を検出し、当該圧力が所与の目標圧力に到達するまで、前記一方の基板を前記他方の基板に向けて加圧する圧力制御部と
   を備える接合装置。
2. 前記位置制御部は、前記近接検知部が前記一対の基板の近接または接触を検知したとき、前記他方の基板へ向けての前記一方の基板の移動速度を減速させる請求項１に記載の接合装置。
3. 前記位置制御部は、前記一対の基板の間隔が小さくなるほど前記近接の移動速度を小さくする請求項１または請求項２に記載の接合装置。
4. 前記位置制御部は、検出した前記一方の基板の位置に基づいて目標位置を設定する目標位置設定部と、
   前記近接検知部が前記一対の基板の近接または接触を検知するまで、前記目標位置を、既に設定された前記目標位置よりも前記他方の基板に近接した位置に更新する目標位置更新部とを有する請求項１から３のいずれか一項に記載の接合装置。
5. 前記圧力制御部は、前記圧力が小さいほど、増圧量を小さくする請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の接合装置。
6. 前記接合装置は、前記他方の基板を保持する基板保持部をさらに備え、
   前記圧力制御部は、前記基板保持部に配されて、前記他方の基板に対向する面内の異なる三以上の位置において前記他方の基板が受ける圧力を測定する複数の圧力検知部を含む請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載の接合装置。
7. 前記近接検知部は、前記一対の基板の各中央部間の距離と前記他方の基板に対する前記一方の基板の傾斜角度とを検出し、検出した距離及び傾斜角度から、前記一方の基板の縁部の前記他方の基板に最も近接した部分と該他方の基板との間隔を算出し、算出した該間隔の大きさが所定の大きさ以下であるかを検出し、前記間隔の大きさが前記所定の大きさ以下である場合、前記一対の基板が互いに近接していると判断する請求項１から６のいずれか一項に記載の接合装置。
8. 前記一対の基板を撮影する撮像部を更に備え、前記近接検知部は、前記一対の基板間の間隔が前記撮像部の解像度の限界に達したときに前記一対の基板が互いに近接または接触したと判断し、前記圧力制御部は、前記一対の基板の間隔が撮像部の解像度の限界に達した後、前記一方の基板の移動速度が、前記撮像部の解像度が限界に達する前の前記一方の基板の速度よりも遅くなるように該一方の基板の移動を制御する請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の接合装置。
9. 前記撮像部は、その撮像範囲内に前記他方の基板が入るように配置されており、前記位置制御部は、前記一方の基板が前記撮像部の撮像範囲内に入ったとき、前記一方の基板の移動速度が、前記一方の基板が前記撮像範囲内に入る前の前記一方の基板の速度よりも遅くなるように該一方の基板の移動を制御する請求項８に記載の接合装置。
10. 前記一方の基板を傾動させるべく少なくとも前記位置制御部の制御下で作動するアクチュエータを更に備え、前記位置制御部は、前記近接検知部が前記一対の基板の近接または接触を検知するまで、前記一方の基板の移動を制御すると共に、前記一方の基板が前記他方の基板に平行になるように前記アクチュエータの作動を制御する請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載の接合装置。
11. 一対の基板を接合して接合基板を製造する接合基板の製造方法であって、
    一方の基板の位置を検出して、前記一方の基板の位置が目標位置に到達するまで、前記一方の基板を他方の基板に対して近接移動させ、
    前記一対の基板が十分に近接していること、または、接触していることを検出し、
    前記一対の基板の近接または接触を検知した後に、前記一対の基板の間で作用する圧力を検出し、当該圧力が所与の目標圧力に到達するまで、前記一方の基板を前記他方の基板に向けて加圧する製造方法。