JP2009200012A - 色素増感太陽電池、その作製方法、及び導電基板上の金属配線を絶縁保護する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】集電配線の両側それぞれに、ガラスまたはセラミックス材料からなる一対の側面保護層を前記集電配線と同じ高さに形成した後、前記集電配線の上面及び前記それぞれの側面保護層の上面によって形成される平面をさらに、ガラスまたはセラミックス材料で絶縁保護する等、前記集電配線上に、ガラスまたはセラミックス材料を複数回に分けて被覆処理を行うことにより、または被覆処理と研磨処理を組み合わせて行うことにより、前記集電配線上に上面の平坦な絶縁保護層を形成し、該絶縁保護層を用いて両電極を貼り合わせる。
【選択図】図9
Description
前記第一電極及び第二電極は、光電極または対極のいずれかであって、互いに異なる電極であり、
前記第一電極は、第一集電配線を備え、
前記隔壁は少なくとも、前記第一集電配線を絶縁保護するとともに前記両電極の周縁部を封止するように形成されており、
前記隔壁の側面は、実質的にくびれを有しないことを特徴とする色素増感太陽電池である。
前記第一電極及び第二電極は、光電極または対極のいずれかであって、互いに異なる電極であり、
前記作製方法は、
(1)第一集電配線を備える第一電極を準備する工程と、
(2)前記第一電極上に、ガラスまたはセラミックス材料を用いて第一絶縁保護層を形成する工程であって、
前記第一絶縁保護層は少なくとも、前記第一集電配線を絶縁保護するとともに前記第一電極上の周縁部にもあるように形成され、
前記第一絶縁保護層のうち、前記第一集電配線を絶縁保護する部分については、前記前記第一集電配線上に、ガラスまたはセラミックス材料を複数回に分けて被覆処理を行うことにより、または被覆処理と研磨処理を組み合わせて行うことにより、上面が平坦な第一絶縁保護層を形成する工程と、
(3)前記第一電極と第二電極を貼り合わせる際に、前記第一電極上の第一絶縁保護層と対向することになる前記第二電極の部分に、ガラスまたはセラミックス材料からなる第二絶縁保護層を形成する工程と、
(4)荷重を印加しながら加熱により、前記第一電極上の第一絶縁保護層と前記第二電極上の第二絶縁保護層とを溶融接着することにより、両電極の周縁部を封止するとともに前記第一集電配線を絶縁保護する隔壁を形成して、両電極を貼り合わせる工程と、
を順に含み、ただし前記工程(3)は、前記工程(4)の前に行う限り、任意の順序で行ってもよいことを特徴とする色素増感太陽電池の作製方法である。
前記第一導電基板は第一金属配線を備え、
前記方法は、
(1)前記第一金属配線を備える第一導電基板を準備する工程と、
(2)前記第一金属配線の表面上に第一絶縁保護層を形成する工程であって、前記第一金属配線上に、ガラスまたはセラミックス材料を複数回に分けて被覆処理を行うことにより、または被覆処理と研磨処理を組み合わせて行うことにより、上面が平坦な第一絶縁保護層を形成する工程と、
(3)前記第一導電基板と第二導電基板を貼り合わせる際に、前記第一導電基板上の第一絶縁保護層と対向することになる前記第二導電基板上の位置に、ガラスまたはセラミックス材料からなる第二絶縁保護層を形成する工程と、
(4)荷重を印加しながら加熱により、前記第一導電基板上の第一絶縁保護層と、前記第二導電基板上の第二絶縁保護層とを溶融接着することにより、少なくとも前記第一金属配線を絶縁保護する隔壁を形成し、前記第一導電基板と前記第二導電基板とを貼り合わせる工程と、
を順に含み、ただし前記工程(3)は、前記工程(4)の前に行う限り任意の順序で行ってもよいことを特徴とする方法である。
(A)本発明の第一の態様は、第一電極と第二電極とがガラスまたはセラミックス材料の隔壁を用いて貼り合わされた色素増感太陽電池であって、
前記第一電極及び第二電極は、光電極または対極のいずれかであって、互いに異なる電極であり、
前記第一電極は、第一集電配線を備え、
前記隔壁は少なくとも、前記第一集電配線を絶縁保護するとともに前記両電極の周縁部を封止するように形成されており、
前記隔壁の側面は、実質的にくびれを有しないことを特徴とする色素増感太陽電池である。
(a)光電極周縁部に集電配線を備えるケース[たとえば図2及び図3参照]。
(b)光電極内側に集電配線を備えるケース[たとえば図5参照]。
(c)光電極周縁部及び内側の双方に集電配線を備えるケース[たとえば図6参照]。
(d)対極周縁部に集電配線を備えるケース[たとえば図3及び図4参照]。
(e)対極の内側に集電配線を備えるケース[たとえば図7参照]。
(f)対極の周縁部及び内側の双方に集電配線を備えるケース[たとえば図8参照]。
との組合せがさらに考えられる。
また、「対極内側」とは、対極上、該対極の周縁部より内側の部分をいう。
a. 本発明の光電極は、前記透明導電基板上に形成された金属酸化物半導体膜からなり、該金属酸化物半導体層には分光増感色素が担持されている。
(A)本発明の第二の態様は、前記本発明の第一の態様の色素増感太陽電池の作製方法に相当する。
i.前記第一集電配線の両側それぞれに、ガラスまたはセラミックス材料からなる一対の第一側面保護層を前記第一集電配線と同じ高さに形成した後、前記第一集電配線の上面及び前記それぞれの第一側面保護層の上面によって形成される平面をさらに、ガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第一集電配線の全面を絶縁保護するという二段階の方法、
ii.前記第一集電配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の上面を、前記第一集電配線の全面を被覆した状態を維持しつつ研磨して平坦にすることによって、前記第一集電配線の全面を絶縁保護するという二段階の方法、
iii.前記第一集電配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の上面を、前記第一集電配線の上面が露出するまで研磨して、前記第一集電配線の両側それぞれに一対の第一側面保護層を前記第一集電配線と同じ高さに形成した後、前記第一集電配線の上面及び前記それぞれの第一側面保護層の上面によって形成される平面をさらに、ガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第一集電配線の全面を絶縁保護するという三段階の方法、
または、
iv.前記第一集電配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の段差下部につき、該被覆層の上面が平坦になるようにさらにガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第一集電配線の全面を絶縁保護するという二段階の方法、
を挙げることができる。
前記第一集電配線を備えた光電極を準備し[工程(1)]、前記第一集電配線の両側それぞれに、ガラスまたはセラミックス材料からなる側面保護層を形成する[以下、「一対の第一側面保護層」という。工程(2)の部分工程(1)、図9(a)参照]。たとえば、集電配線である銀配線の両側にスクリーン印刷装置などを用いて、ガラスまたはセラミックス材料であるガラスフリットを印刷する。
前記第一集電配線を備えた光電極を準備し[工程(1)]、前記第一集電配線の全面、すなわち両側面及び上部に硝子またはセラミックス材料で同時に被覆層を形成する。たとえば、集電配線である銀配線上にスクリーン印刷でガラスフリットペーストを印刷して絶縁被覆する[工程(2)の部分工程(1)、図10(a)参照]。
前記第一集電配線を備えた光電極を準備し[工程(1)]、前記第一集電配線の全面、すなわち両側面及び上部に硝子またはセラミックス材料で同時に被覆層を形成する。たとえば、集電配線である銀配線上にスクリーン印刷でガラスフリットペーストを印刷して絶縁被覆する[工程(2)の部分工程(1)、図11(a)参照]。
前記第一集電配線を備えた光電極を準備し[工程(1)]、前記第一集電配線の全面、すなわち両側面及び上部にガラスまたはセラミックス材料で同時に被覆層を形成する。たとえば、集電配線である銀配線上にスクリーン印刷でガラスフリットペーストを印刷して絶縁被覆する[工程(2)の部分工程(1)、図12(a)参照]。これらの工程は、方法iii.における前記(E)の工程(1)、及び工程(2)の部分工程(1)に準じて行うことができる。
前記ii.、iii.またはiv.の方法において、たとえば前記第一集電配線の全面に前記被覆層をスクリーン印刷すると同時に、前記第一集電配線を絶縁保護する部分以外の部分についても、スクリーン印刷により絶縁保護層を形成できる。
a. この場合、前記工程(2)の前記光電極上の第一絶縁保護層は、前記光電極と前記対極を貼り合わせる際に、前記第二集電配線と対向することになる前記光電極の部分も含むように追加的に形成される。
i.前記第二集電配線の両側それぞれに、ガラスまたはセラミックス材料からなる一対の第二側面保護層を前記第二集電配線と同じ高さに形成した後、前記第二集電配線の上面及び前記それぞれの第二側面保護層の上面によって形成される平面をさらに、ガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第二集電配線の全面を絶縁保護するという二段階の方法、
ii.前記第二集電配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の上面を、前記第二集電配線の全面を被覆した状態を維持しつつ研磨してほぼ平坦にすることによって、前記第二集電配線の全面を絶縁保護するという二段階の方法、
iii.前記第二集電配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の上面を、前記第二集電配線の上面が露出するまで研磨して、前記第二集電配線の両側それぞれに一対の第二側面保護層を前記第二集電配線と同じ高さに形成した後、前記第二集電配線の上面及び前記それぞれの第二側面保護層の上面によって形成される平面をさらに、ガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第二集電配線の全面を絶縁保護するという三段階の方法、
または、
iv.前記第二集電配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の段差下部につき、該被覆層の上面が平坦になるようにさらにガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第二集電配線の全面を絶縁保護するという二段階の方法。
(A)本発明の第三の態様は、第一導電基板と第二導電基板とをガラスまたはセラミックス材料を用いて隔壁を形成し、もって両導電基板を貼り合わせることにより、導電基板上の金属配線を絶縁保護する方法である。
i. 前記第一及び第二集電配線をそれぞれ本態様における前記第一及び第二金属配線に、
ii. 前記第一及び第二電極をそれぞれ前記第一及び第二導電基板に、
それぞれ読み替えて、前記第二の態様の記載に準じて行えばよい。
a. 本態様における第一導電基板は、陰極または陽極のいずれかをいい、第二導電基板は、陰極または陽極のいずれかであって、第一導電基板とは異なるものをいう。具体例としては、チタン、ステンレス、導電性ガラス等が例示され、その中でも前記保護隔壁材料として用いる硝子またはセラミックス材料との熱膨張率の差が小さいことが電極との接着性には好ましいとの観点からは、導電性ガラスがより好ましい。
(セルの作製)
市販されている銀ペーストをFTO導電性ガラス基板(日本板硝子社製FTO膜付きガラス基板、形状50mm×50mm、厚さ約4mm)にスクリーン印刷機(マイクロ-テック(株)MT−320TV)を用いて印刷した。印刷の形状は外側の1辺の長さが24mm、内側の1辺の長さが22mmの4角形状の枠(枠の幅は2mm)とした。次に160℃で10分間乾燥させた後、500℃で30分間熱処理を行い、厚さが約10μmの銀配線を形成した。
表1に熱処理条件と、熱処理後のFTO基板同士の接着具合の結果を示した。この結果から、530℃以上で180分間熱処理を行った試料はFTOガラス基板同士が十分に接着していることが分った。30℃以上で180分間の条件で貼り合せた試料の断面の一部の概略図は図11(e)のように、実質的にくびれのない隔壁であった。
そこで、電解液の漏れの有無を確認するために、上記表1の処理番号3のセルにつき、2ヵ所の穴から電解液を導入し、UV硬化樹脂を接着剤として厚さが1mmのガラス(約10×10mm)で2ヵ所の穴を封止した。電解液として、3−メトキシプロピオニトリル溶液に0.15mol%のヨウ素とチオシアン酸グアニジン、1−メチルベンゾイミダゾール、ヨウ化1−メチル−3−プロピルイミダゾリウムを溶かしたものを使用した。封止後、封止穴およびガラスで接着した枠からの液漏れは観察されなかった。
(セルの作製)
市販されている銀ペーストをFTO導電性ガラス基板(日本板硝子社製FTO膜付きガラス基板、形状おおよそ50mm×50mm、厚さ約4mm)にスクリーン印刷機を用いて印刷した。印刷の形状は外側の1辺の長さが24mm、内側の1辺の長さが22mm、厚さ約10μmの4角形状の枠(枠の幅は2mm)とした。
そこで、電解液の漏れの有無を確認するために、2ヵ所の穴から実施例1で用いた電解液を導入し、UV硬化樹脂を接着剤として厚さが1mmのガラス(約10×10mm)で2ヵ所の穴を封止した。封止後、室温では封止穴およびガラスで接着した枠からの液漏れは観察されなかった。
(セルの作製)
対極は、以下のようにして作製した。
そこで、電解液の漏れの有無を確認するために、2ヵ所の穴から、まず自製の増感色素を注入し、チタニア層に吸着させた後、電解液を導入し、UV硬化樹脂を接着剤として厚さが1mmのガラス(約10×10mm)で4ヵ所の穴を封止した。その結果、室温では封止穴およびガラスで接着した枠からの液漏れは観察されなかった[図15参照]。
(セルの作製)
市販されている銀ペーストをFTO導電性ガラス基板(日本板硝子社製FTO膜付きガラス基板、厚さ約4mm)にスクリーン印刷機(マイクロ-テック(株)MT−320TV)を用いて印刷した。印刷の形状は外側の1辺の長さが24mm、内側の1辺の長さが22mm、厚さ約10μmの4角形状の枠(枠の幅は2mm)とした。次に160℃で10分間乾燥させた後、500℃で30分間熱処理を行い、銀配線を形成した。
電解液の漏れの有無を確認するために、2ヵ所の穴から電解液を導入したところ、未接着部分から電解液が漏れだした。
(セルの作製)
市販されている銀ペーストをFTO導電性ガラス基板(日本板硝子社製FTO膜付きガラス基板、縦および横は12.75cm、厚さ約4mm)にスクリーン印刷装置を用いて印刷した(ガラスフリットで被覆される銀配線の幅は1または2mm)。図13に印刷パターンの概略図を示した。これを160℃で10分間乾燥させた後、480℃で30分間熱処理を行い、銀配線をFTOガラス基板上に形成した。
次に、電解液の漏れの有無を確認するために、2ヵ所の穴から電解液を導入し、UV硬化樹脂を接着剤として厚さが1mmのガラス(約10×10mm)で4ヵ所の穴を封止した。その結果は、封止の30分後くらいから、セル上部の電極周辺部より、電解液が外部に漏れ出てくる様子が観察され、24時間後には銀配線の腐食も認められた[図20参照]。ここで、電解液注入後、60分後に電解液の浸入を観察することによって、くびれ率を計算すると、封止部隔壁で80%以上のくびれ率の領域があり、深いくびれの存在が認められた。
2 透明導電基板(ガラス基板)
3 集電配線(銀線)
4 対極の端子
5 光電極の端子
Claims (16)
- 第一電極と第二電極とがガラスまたはセラミックス材料の隔壁を用いて貼り合わされた色素増感太陽電池であって、
前記第一電極及び第二電極は、光電極または対極のいずれかであって、互いに異なる電極であり、
前記第一電極は、第一集電配線を備え、
前記隔壁は少なくとも、前記第一集電配線を絶縁保護するとともに前記両電極の周縁部を封止するように形成されており、
前記隔壁の側面は、実質的にくびれを有しないことを特徴とする色素増感太陽電池。 - 前記第一集電配線は、少なくとも前記第一電極内側に備えられ、
前記隔壁は、前記両電極の周縁部を封止する封止部隔壁と、前記封止部隔壁より内側に配置される保護部隔壁からなり、
前記保護部隔壁は少なくとも、前記第一集電配線の、前記第一電極内側部分を絶縁保護するように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の色素増感太陽電池。 - さらに、前記第二電極が第二集電配線を備え、
前記隔壁は前記第二集電配線をも絶縁保護するように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の色素増感太陽電池。 - さらに、前記第二電極が第二集電配線を備え、
前記隔壁は前記第二集電配線をも絶縁保護するように形成されており、
前記第二集電配線は、少なくとも前記第二電極内側に備えられ、
前記保護部隔壁は前記第二集電配線の、前記第二電極内側部分も絶縁保護するように形成されていることを特徴とする請求項2に記載の色素増感太陽電池。 - 前記第一電極が光電極であり、前記第二電極が対極であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の色素増感太陽電池。
- ガラスまたはセラミックス材料を用いて第一電極と第二電極を貼り合わせることにより、色素増感太陽電池を作製する方法であって、
前記第一電極及び第二電極は、光電極または対極のいずれかであって、互いに異なる電極であり、
前記作製方法は、
(1)第一集電配線を備える第一電極を準備する工程と、
(2)前記第一電極上に、ガラスまたはセラミックス材料を用いて第一絶縁保護層を形成する工程であって、
前記第一絶縁保護層は少なくとも、前記第一集電配線を絶縁保護するとともに前記第一電極上の周縁部にもあるように形成され、
前記第一絶縁保護層のうち、前記第一集電配線を絶縁保護する部分については、前記第一集電配線上に、ガラスまたはセラミックス材料を複数回に分けて被覆処理を行うことにより、または被覆処理と研磨処理を組み合わせて行うことにより、上面が平坦な第一絶縁保護層を形成する工程と、
(3)前記第一電極と第二電極を貼り合わせる際に、前記第一電極上の第一絶縁保護層と対向することになる前記第二電極の部分に、ガラスまたはセラミックス材料からなる第二絶縁保護層を形成する工程と、
(4)荷重を印加しながら加熱により、前記第一電極上の第一絶縁保護層と前記第二電極上の第二絶縁保護層とを溶融接着することにより、両電極の周縁部を封止するとともに前記第一集電配線を絶縁保護する隔壁を形成して、両電極を貼り合わせる工程と、
を順に含み、ただし前記工程(3)は、前記工程(4)の前に行う限り、任意の順序で行ってもよいことを特徴とする色素増感太陽電池の作製方法。 - 前記工程(2)において、上面が平坦な第一絶縁保護層を形成する方法として、
i.前記第一集電配線の両側それぞれに、ガラスまたはセラミックス材料からなる一対の第一側面保護層を前記第一集電配線と同じ高さに形成した後、前記第一集電配線の上面及び前記それぞれの第一側面保護層の上面によって形成される平面をさらに、ガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第一集電配線の全面を絶縁保護するか、
ii.前記第一集電配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の上面を、前記第一集電配線の全面を被覆した状態を維持しつつ研磨して平坦にすることによって、前記第一集電配線の全面を絶縁保護するか、
iii.前記第一集電配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の上面を、前記第一集電配線の上面が露出するまで研磨して、前記第一集電配線の両側それぞれに一対の第一側面保護層を前記第一集電配線と同じ高さに形成した後、前記第一集電配線の上面及び前記それぞれの第一側面保護層の上面によって形成される平面をさらに、ガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第一集電配線の全面を絶縁保護するか、
または、
iv.前記第一集電配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の段差下部につき、該被覆層の上面が平坦になるようにさらにガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第一集電配線の全面を絶縁保護するか、
のいずれかの方法を用いることを特徴とする請求項6に記載の色素増感太陽電池の作製方法。 - 請求項6または7に記載の色素増感太陽電池の作製方法であって、
前記工程(1)の前記第一集電配線は、少なくとも前記第一電極内側に形成され、
前記工程(4)において、前記隔壁は、前記両電極の周縁部を封止する封止部隔壁と、前記封止部隔壁より内側に配置される保護部隔壁からなり、
前記保護部隔壁は少なくとも、前記第一集電配線の、前記第一電極内側部分をも絶縁保護するように形成して、両電極を貼り合わせることを特徴とする色素増感太陽電池の作製方法。 - 請求項6または7に記載の色素増感太陽電池の作製方法であって、
前記第二電極は第二集電配線を備え、
前記工程(2)の第一絶縁保護層は、前記第一電極と前記第二電極を貼り合わせる際に、前記第二集電配線と対向することになる前記第一電極の部分も含むように形成され、
前記工程(3)の第二絶縁保護層は、前記第二集電配線をも絶縁保護するように形成され、
前記第二絶縁保護層のうち、前記第二集電配線を絶縁保護する部分については、前記第二集電配線上に、ガラスまたはセラミックス材料を複数回に分けて被覆処理を行うことにより、または被覆処理と研磨処理を組み合わせて行うことにより、上面が平坦な第二絶縁保護層が形成され、
前記隔壁は、前記第二集電配線をも絶縁保護するように形成されるものであることを特徴とする色素増感太陽電池の作製方法。 - 請求項8に記載の色素増感太陽電池の作製方法であって、
前記第二電極は第二集電配線を備え、
前記工程(2)の第一絶縁保護層は、前記第一電極と前記第二電極を貼り合わせる際に、前記第二集電配線と対向することになる前記第一電極の部分も含むように形成され、
前記工程(3)の第二絶縁保護層は、前記第二集電配線をも絶縁保護するように形成され、
前記第二絶縁保護層のうち、前記第二集電配線を絶縁保護する部分については、前記第二集電配線上に、ガラスまたはセラミックス材料を複数回に分けて被覆処理を行うことにより、または被覆処理と研磨処理を組み合わせて行うことにより、上面が平坦な第二絶縁保護層が形成され、
前記第二集電配線は、少なくとも前記第二電極内側に備えられ、
前記保護部隔壁は前記第二集電配線の、前記第二電極内側部分をも絶縁保護するように形成するものであることを特徴とする色素増感太陽電池の作製方法。 - 上面が平坦な第二絶縁保護層を形成する方法として、
i.前記第二集電配線の両側それぞれに、ガラスまたはセラミックス材料からなる一対の第二側面保護層を前記第二集電配線と同じ高さに形成した後、前記第二集電配線の上面及び前記それぞれの第二側面保護層の上面によって形成される平面をさらに、ガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第二集電配線の全面を絶縁保護するか、
ii.前記第二集電配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の上面を、前記第二集電配線の全面を被覆した状態を維持しつつ研磨して平坦にすることによって、前記第二集電配線の全面を絶縁保護するか、
iii.前記第二集電配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の上面を、前記第二集電配線の上面が露出するまで研磨して、前記第二集電配線の両側それぞれに一対の第二側面保護層を前記第二集電配線と同じ高さに形成した後、前記第二集電配線の上面及び前記それぞれの第二側面保護層の上面によって形成される平面をさらに、ガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第二集電配線の全面を絶縁保護するか、
または、
iv.前記第二集電配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の段差下部につき、該被覆層の上面が平坦になるようにさらにガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第二集電配線の全面を絶縁保護するか、
のいずれかの方法を用いることを特徴とする請求項9または10に記載の色素増感太陽電池の作製方法。 - 前記第一電極が光電極であり、前記第二電極が対極であることを特徴とする請求項6〜11のいずれかに記載の色素増感太陽電池の作製方法。
- 第一導電基板と第二導電基板とをガラスまたはセラミックス材料を用いて貼り合わせることにより、導電基板上の金属配線を絶縁保護する方法であって、
前記第一導電基板は第一金属配線を備え、
前記方法は、
(1)前記第一金属配線を備える第一導電基板を準備する工程と、
(2)前記第一金属配線の表面上に第一絶縁保護層を形成する工程であって、前記第一金属配線上に、ガラスまたはセラミックス材料を複数回に分けて被覆処理を行うことにより、または被覆処理と研磨処理を組み合わせて行うことにより、上面が平坦な第一絶縁保護層を形成する工程と、
(3)前記第一導電基板と第二導電基板を貼り合わせる際に、前記第一導電基板上の第一絶縁保護層と対向することになる前記第二導電基板上の位置に、ガラスまたはセラミックス材料からなる第二絶縁保護層を形成する工程と、
(4)荷重を印加しながら加熱により、前記第一導電基板上の第一絶縁保護層と、前記第二導電基板上の第二絶縁保護層とを溶融接着することにより、少なくとも前記第一金属配線を絶縁保護する隔壁を形成し、前記第一導電基板と前記第二導電基板とを貼り合わせる工程と、
を順に含み、ただし前記工程(3)は、前記工程(4)の前に行う限り任意の順序で行ってもよいことを特徴とする方法。 - 前記工程(2)が、
i.前記第一金属配線の両側それぞれに、ガラスまたはセラミックス材料からなる一対の第一側面保護層を前記第一金属配線と同じ高さに形成した後、前記第一金属配線の上面及び前記それぞれの第一側面保護層の上面によって形成される平面をさらに、ガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第一金属配線の全面を絶縁保護するか、
ii.前記第一金属配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の上面を、前記第一金属配線の全面を被覆した状態を維持しつつ研磨して平坦にすることによって、前記第一金属配線の全面を絶縁保護するか、
iii.前記第一金属配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の上面を、前記第一金属配線の上面が露出するまで研磨して、前記第一金属配線の両側それぞれに一対の第一側面保護層を前記第一金属配線と同じ高さに形成した後、前記第一金属配線の上面及び前記それぞれの第一側面保護層の上面によって形成される平面をさらに、ガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第一金属配線の全面を絶縁保護するか、
または、
iv.前記第一金属配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の段差下部につき、該被覆層の上面が平坦になるようにさらにガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第一金属配線の全面を絶縁保護するか、
のいずれかの方法により行われることを特徴とする請求項13に記載の方法。 - 請求項13または14に記載の方法であって、
前記第二導電基板は、前記第一導電基板と第二導電基板とを貼り合わせる際に、前記第一導電基板上の第一金属電配線と対向することになる前記第二導電基板上の位置に、第二金属配線を備え、
前記工程(3)の第二絶縁保護層は、前記第二金属配線上に、ガラスまたはセラミックス材料を複数回に分けて被覆処理を行うことにより、または被覆処理と研磨処理を組み合わせて行うことにより、上面が平坦な第二絶縁保護層が形成され、
前記隔壁は、前記第二金属配線も絶縁保護するように形成することを特徴とする方法。 - 上面が平坦な第二絶縁保護層を形成する方法として、
i.前記第二金属配線の両側それぞれに、ガラスまたはセラミックス材料からなる一対の第二側面保護層を前記第二金属配線と同じ高さに形成した後、前記第二金属配線の上面及び前記それぞれの第二側面保護層の上面によって形成される平面をさらに、ガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第二金属配線の全面を絶縁保護するか、
ii.前記第二金属配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の上面を、前記第二金属配線の全面を被覆した状態を維持しつつ研磨して平坦にすることによって、前記第二金属配線の全面を絶縁保護するか、
iii.前記第二金属配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の上面を、前記第二金属配線の上面が露出するまで研磨して、前記第二金属配線の両側それぞれに一対の第二側面保護層を前記第二金属配線と同じ高さに形成した後、前記第二金属配線の上面及び前記それぞれの第二側面保護層の上面によって形成される平面をさらに、ガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第二金属配線の全面を絶縁保護するか、
または、
iv.前記第二金属配線の全面をガラスまたはセラミックス材料で被覆し、次いで得られた被覆層の段差下部につき、該被覆層の上面が平坦になるようにさらにガラスまたはセラミックス材料で被覆することによって、前記第二金属配線の全面を絶縁保護するか、
のいずれかの方法を用いることを特徴とする請求項15に記載の方法。
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