JP2009192546A - 誘導型変位検出装置及びマイクロメータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】誘導型変位検出装置はロータリ型であり、送信巻線105はステータに配置されている。送信巻線105は、端子T1からリング状に延びて送信折返し部25に至るリング部27及び送信折返し部25からリング部27と異なる半径でリング状に延びて端子T2に至るリング部29を含む。送信巻線105は、上下方向に互いに間隔が設けられた上層導体15と下層導体17を備える。
【選択図】図22
Description
第1実施形態に係る誘導型変位検出装置は、ロータリ型エンコーダである。このエンコーダの受信巻線を円弧状にすることにより、送信巻線の送信折返し部から受信巻線を離している。これにより、送信折返し部と受信巻線とのクロストークを防止している。
て受信折返し部22で折り返し再び波状に延びることにより構成される複数の受信ループ21を含む。図4は一つの受信ループ21の平面図である。
第2実施形態は、送信折返し部や引出部からの磁場をシールドするシールド層を設けることにより、1信号周期で発生するクロストークが原因となる測定誤差を低減している。まず、このクロストークから説明する。
第3実施形態では、送信折返し部と引出部を、基板の裏面側の異なる層に重なるように配置することにより、第2実施形態と同様の効果を達成している。つまり、1信号周期で発生するクロストークが原因となる測定誤差を低減している(又はなくしている)。
図18は、第4実施形態に係るエンコーダのステータ133の平面図である。図1に示す第1実施形態との主な相違点を説明する。受信巻線9,11,13は円周状を有する。送信巻線23の送信折返し部25及び引出部31と、受信巻線9,11,13の受信折返し部22とは、受信ループ21(図4)1個分以上離れている。送信折返し部25及び引出部31は、受信巻線9,11,13と重なる位置にある。送信折返し部25及び引出部31は、図11及び図12に示す構造と同様であり、絶縁基板7の裏面93に配置されている。
第5実施形態は、上下方向に互いに間隔が設けられた上層導体と下層導体とで送信巻線を構成することにより、送信巻線の信号強度を大きくしている。第5実施形態は、送信巻線の構成以外、第1実施形態と同じなので、送信巻線について主に説明する。
第6実施形態に係るエンコーダは、リニア型エンコーダであり、送信巻線の構成を第5実施形態と同様に上層導体と下層導体の二層構造にしている。第6実施形態に係る誘導型変位検出装置を搭載したものとして、例えばノギスがある。第6実施形態について、図23〜図25を用いて説明する。図23は、第6実施形態に係るエンコーダのセンサヘッド107の平面図であり、図24はスケール109の平面図であり、図25は送信巻線111の斜視図である。
第5及び第6実施形態によれば、送信巻線に流れる送信信号の強度を増加できると共にミスアライメントの影響を受けにくくすることができる。この効果についてシミュレーションを基にして説明する。図26はこのシミュレーションで用いた送信巻線のモデルを示す図である。(A)はモデル1〜4の平面図であり、(B)はモデル5の斜視図であり、(C)はモデル6の平面図である。
Claims (5)
- 互いに対向するように配置された一方及び他方の巻線保持部材と、
互いに間隔を空けて配置され並列接続された上層導体と下層導体とを含み、これら上層導体と下層導体の積層方向から見た位置が重なるように前記一方の巻線保持部材に配置された送信巻線と、
前記送信巻線に沿って複数の受信ループを前記一方の巻線保持部材に配置して構成された受信巻線と、
前記送信巻線及び前記受信巻線に磁束結合可能に前記他方の巻線保持部材に配置されると共に前記送信巻線及び前記受信巻線に対して相対移動可能な磁束結合巻線と、
を備えることを特徴とする誘導型変位検出装置。 - 前記一方の巻線保持部材はステータであり、
前記他方の巻線保持部材はロータであり、
前記送信巻線は、一端からリング状に延びて送信折返し部に至る第1のリング部及び前記送信折返し部から前記第1のリング部と異なる半径でリング状に延びて他端に至る第2のリング部を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の誘導型変位検出装置。 - 前記一方の巻線保持部材はセンサヘッドであり、
前記他方の巻線保持部材は、前記センサヘッドに対してリニア方向に相対移動可能なスケールであり、
前記送信巻線は、一端からリニア状に延びて送信折返し部に至る第1のリニア部及び前記送信折返し部からリニア状に延びて他端に至る第2のリニア部を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の誘導型変位検出装置。 - 前記第1のリング部と前記第2のリング部との間に前記受信巻線が位置する、
ことを特徴とする請求項2に記載の誘導型変位検出装置。 - 請求項2及び4のいずれか一項に記載の誘導型変位検出装置が搭載されたマイクロメータ。
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