JP2009175127A - 波形情報取得装置及び波形情報取得方法 - Google Patents
波形情報取得装置及び波形情報取得方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009175127A JP2009175127A JP2008287755A JP2008287755A JP2009175127A JP 2009175127 A JP2009175127 A JP 2009175127A JP 2008287755 A JP2008287755 A JP 2008287755A JP 2008287755 A JP2008287755 A JP 2008287755A JP 2009175127 A JP2009175127 A JP 2009175127A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- terahertz wave
- unit
- propagation
- waveform
- waveform information
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 47
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims abstract description 37
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 78
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 35
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 32
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 30
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 13
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000001328 terahertz time-domain spectroscopy Methods 0.000 claims description 11
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims description 7
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims description 3
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 abstract description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 description 28
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 23
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 21
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 20
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 19
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 19
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 19
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 16
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 16
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 15
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 13
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 10
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 8
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 8
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 8
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 6
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 5
- KXNLCSXBJCPWGL-UHFFFAOYSA-N [Ga].[As].[In] Chemical compound [Ga].[As].[In] KXNLCSXBJCPWGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 5
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 4
- KMVXENDYYJFUGZ-UHFFFAOYSA-N n-methoxy-n-(5-phenylpent-4-enyl)aniline Chemical compound C=1C=CC=CC=1N(OC)CCCC=CC1=CC=CC=C1 KMVXENDYYJFUGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001246 colloidal dispersion Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005697 Pockels effect Effects 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- XKUKSGPZAADMRA-UHFFFAOYSA-N glycyl-glycyl-glycine Natural products NCC(=O)NCC(=O)NCC(O)=O XKUKSGPZAADMRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 108010067216 glycyl-glycyl-glycine Proteins 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- MGFYIUFZLHCRTH-UHFFFAOYSA-N nitrilotriacetic acid Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CC(O)=O MGFYIUFZLHCRTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001443 photoexcitation Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920005678 polyethylene based resin Polymers 0.000 description 1
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000003362 semiconductor superlattice Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910021653 sulphate ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 description 1
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】 テラヘルツ波を発生させるための発生部と、前記発生部から発生したテラヘルツ波を伝播させるための伝播部と、テラヘルツ波の波形情報を検出するための検出部と、テラヘルツ波の伝播速度を変化させるための第1の遅延部と、前記伝播部におけるテラヘルツ波の伝播速度を変化させるように前記第1の遅延部を制御するための制御部と、を有し、
前記検出部で検出されるテラヘルツ波の時間波形に関する情報を取得することを特徴とする波形情報取得装置。
【選択図】 図1
Description
テラヘルツ波を発生させるための発生部と、
テラヘルツ波の波形情報を検出するための検出部と、
テラヘルツ波が前記発生部で発生してから、該テラヘルツ波の波形情報として前記検出部で検出されるまでの時間を変えるための第1の遅延部と、を有し、
前記第1の遅延部は、前記発生部により発生したテラヘルツ波の伝播速度を変えるように構成され、
前記発生部により発生したテラヘルツ波ごとに、前記検出部で検出されたテラヘルツ波の波形情報と前記伝播速度とを関連付けることを特徴とする。
テラヘルツ波を発生させるための発生部と、
前記発生部から発生したテラヘルツ波を伝播させるための伝播部と、
テラヘルツ波の波形情報を検出するための検出部と、
前記発生部により発生したテラヘルツ波の前記伝播部における伝播速度を変化させるための第1の遅延部と、
前記伝播部を伝播するテラヘルツ波の伝播速度を変化させるために、前記第1の遅延部を制御するための制御部と、を有し、
前記検出部で検出されるテラヘルツ波の時間波形に関する情報を取得することを特徴とする。
テラヘルツ波を伝播させる工程と、
第1の伝播速度で伝播したテラヘルツ波の波形情報を取得する工程と、
前記テラヘルツ波の伝播速度を第2の伝播速度に変化させる工程と、
前記第2の伝播速度で伝播したテラヘルツ波の波形情報を取得する工程と、
前記第1の伝播速度及び前記第2の伝播速度で伝播したテラヘルツ波の波形情報から取得される時間波形に関する情報を取得する工程と、
を有することを特徴とする。
テラヘルツ波を発生し、
前記発生したテラヘルツ波を伝播させ、
前記伝播したテラヘルツ波に関する情報を検出し、
前記検出したテラヘルツ波に関する情報からテラヘルツ波の時間波形を構築するテラヘルツ時間領域分光方法において、
前記時間波形を得るために、前記テラヘルツ波の伝播速度を変えることを特徴とする。
第1の実施形態に係る波形情報取得装置について、図1を用いて説明する。
上述した実施形態に係る波形情報取得装置が有する伝播部103が、空気などの気体も含む(テラヘルツ波が空間を伝播する)場合について、図1(c)を用いて説明する。
本実施形態に係る波形情報取得方法は、少なくとも以下の1)から5)の工程を有する。
1)テラヘルツ波を伝播させる工程。
2)第1の伝播速度で伝播したテラヘルツ波の波形情報を取得する工程。
3)前記テラヘルツ波の伝播速度を第2の伝播速度に変化させる工程。
4)前記第2の伝播速度で伝播したテラヘルツ波の波形情報を取得する工程。
5)前記第1の伝播速度及び前記第2の伝播速度で伝播したテラヘルツ波の波形情報から取得される時間波形に関する情報を取得する工程。
第2の実施形態に係る波形情報取得装置について、図2を用いて説明する。
301は、テラヘルツ波を発生させるための発生部である。また、303は、テラヘルツ波を検出するための検出部である。なお、これらの部分はそれぞれ独立して構成しなくても、発生と検出の機能を兼ねるように構成していてもよい。
テラヘルツ波の信号は、応答速度が速い信号であるため、実時間で取得することは困難である。そのため、トリガ信号を用いて、テラヘルツ波をサンプリングして応答波形を取得することが多い。トリガ信号は、多くの場合、数10〜数100フェムト秒のパルス形状を用いる。この時、検出部303は、トリガ信号が存在する間、つまり数10〜数100フェムト秒間、動作する。検出部303が動作する時間は、テラヘルツ波の時間波形に対して、十分小さい。このとき、検出部303で検出するテラヘルツ波は、トリガ信号が存在する瞬間の値を測定する。この瞬間の値は、テラヘルツ波の電場強度に相当する値である。
ここで、伝播部302、第1の遅延部304、遅延調整部305によって、伝送線路遅延器を構成している。
第1の遅延部304は、ある屈折率を有する部材(石英やポリエチレン系の部材)である。本実施形態においては、第1の遅延部304は、伝播部302を構成する第1電極310の長手方向に対して垂直となる位置に配置される。ただし、本発明は上述のように、垂直である必要はない。
図4の時間波形401から404は、それぞれ、第2の遅延部309の位置(遅延量)を調整することにより検出部303が検出されたテラヘルツ波の時間波形である。各時間波形のスペクトルの違いは、第1の遅延部304を調整することによって伝播部302の屈折率分布を変化させることによって生じたものである。
例えば時間波形401は、次のように取得する。すなわち、第1の遅延部304と伝播部302の距離をある距離x1に固定した状態で、第2の遅延部309でトリガ信号を掃引(時間遅延)する。同様に、時間波形402はx2の状態で取得されたテラヘルツ波の時間波形である。
以下に本実施形態の波形情報取得装置の動作を説明する。
演算処理部307では、第2の遅延部309の位置を観測時間tnに固定(例えば5ピコ秒)した状態で、遅延調整部305により第1の遅延部304を調整する。遅延調整部305の調整量と検出部303の出力を参照し、演算処理部307によりテラヘルツ波の時間波形が構築される。
また、伝播部302を含む領域の屈折率の変化に伴い、テラヘルツ波の時間波形の形状が歪む。具体的には、テラヘルツ波の強度とパルス幅が変化する。
上述したように、テラヘルツ時間領域分光法(THz−TDS:Terahertz Time Domain Spectroscopy)では、テラヘルツ波の時間波形を取得している。この時間波形を取得するとき、テラヘルツ波の発生位置と検出位置とに光照射するタイミングを変化させる方法が、一般的に用いられている。ここで、この方法を用いるとき、テラヘルツ波の伝播時間を変化させることはしない。また、この方法を用いるときは、テラヘルツ波の伝播時間を一定にさせることが望ましい。
実施例1について図7を用いて説明する。
なお、樹脂部材713の材質や形状は、上述したものに限らない。調整量に応じて適宜選択され、材質はセラミック材料や半導体材料でもよい。例えば、実効的な伝播距離の調整量を大きくしたい場合、より屈折率の大きいSI−Si基板を用いることも可能である。また、樹脂部材713の長手方向の形状を大きくし、第1電極710の相互作用長を稼ぐことにより、調整量を大きくすることもできる。
実施例2について、図10を用いて説明する。
実施例3について、図11を用いて説明する。
誘電体や基準電極の構成によっては、伝播部の屈折率分布を調整する形態は図13や図14の構成でも良い。
実施例4について、図15を用いて説明する。
102 伝播部
103、113 検出部
104、114 第1遅延部
105、115 制御部
120 テラヘルツ波
206 補正部
Claims (14)
- テラヘルツ波の時間波形に関する情報を取得するための波形情報取得装置であって、
テラヘルツ波を発生させるための発生部と、
テラヘルツ波の波形情報を検出するための検出部と、
テラヘルツ波が前記発生部で発生してから、該テラヘルツ波の波形情報として前記検出部で検出されるまでの時間を変えるための第1の遅延部と、を有し、
前記第1の遅延部は、前記発生部により発生したテラヘルツ波の伝播速度を変えるように構成され、
前記発生部により発生したテラヘルツ波ごとに、前記検出部で検出されたテラヘルツ波の波形情報と前記伝播速度とを関連付けることを特徴とする波形情報取得装置。 - 前記第1の遅延部は、前記発生部により発生したテラヘルツ波が伝播する領域の屈折率を変えるように構成されることを特徴とする請求項1に記載の波形情報取得装置。
- 前記第1の遅延部は、前記発生部により発生したテラヘルツ波が伝播する領域の屈折率とは異なる屈折率を有する部材を含み構成され、
前記部材と前記領域との相対位置を変える、あるいは前記部材が前記領域を占有する割合を変えるように構成されることを特徴とする請求項1あるいは2に記載の波形情報取得装置。 - 前記発生部から発生したテラヘルツ波を伝播させるための伝播部と、
前記伝播部を伝播するテラヘルツ波の伝播速度を変化させるために、前記第1の遅延部を制御するための制御部と、を有し、
前記第1の遅延部は、前記発生部により発生したテラヘルツ波の前記伝播部における伝播速度を変化させることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の波形情報取得装置。 - 前記制御部は、前記伝播部を伝播するテラヘルツ波が伝播する領域の屈折率を制御することにより、前記伝播部を伝播するテラヘルツ波の伝播速度を制御することを特徴とする請求項4に記載の波形情報取得装置。
- 前記制御部は、前記伝播部と前記第1の遅延部との距離を調整することにより、前記伝播部を伝播するテラヘルツ波が伝播する領域の屈折率を制御することを特徴とする請求項5に記載の波形情報取得装置。
- 前記制御部は、電気的な手段を用いて前記第1の遅延部を調整することにより、前記伝播部を伝播するテラヘルツ波が伝播する領域の屈折率を制御することを特徴とする請求項4に記載の波形情報取得装置。
- 前記検出部で検出されるテラヘルツ波の時間波形に関する情報を、前記伝播部におけるテラヘルツ波の伝播速度を変化させる前の時間波形の形状となるように補正するための処理部と、を有することを特徴とする請求項4から7のいずれか1項に記載の波形情報取得装置。
- 前記検出部によりテラヘルツ波を検出するためのトリガ信号を出すトリガ部と、
前記トリガ信号が出る位置と前記検出部のテラヘルツ波を検出する位置との距離を調整するための第2の遅延部と、を有し、
前記処理部は、前記第2の遅延部及び前記第1の遅延部により検出されたテラヘルツ波の時間波形から用意された補正値を用いて、テラヘルツ波の時間波形を補正することを特徴とする請求項8に記載の波形情報取得装置。 - 前記トリガ信号が前記発生部への光照射であり、前記発生部或いは前記検出部が光照射によりキャリアを発生するキャリア発生層を含み構成され、前記キャリアに電界を印加することによりテラヘルツ波を発生或いは検出することを特徴とする請求項9に記載の波形情報取得装置。
- 前記キャリアに電界を印加する第1電極と、
前記電界の基準となる電位を規定する基準電極と、
前記伝播部が、前記キャリア発生層と前記第1電極と前記基準電極とを含み構成され、且つ、前記キャリアから発生するテラヘルツ波が伝播する伝送線路であることを特徴とする請求項10に記載の波形情報取得装置。 - テラヘルツ波を伝播させる工程と、
第1の伝播速度で伝播したテラヘルツ波の波形情報を取得する工程と、
前記テラヘルツ波の伝播速度を第2の伝播速度に変化させる工程と、
前記第2の伝播速度で伝播したテラヘルツ波の波形情報を取得する工程と、
前記第1の伝播速度及び前記第2の伝播速度で伝播したテラヘルツ波の波形情報から取得される時間波形に関する情報を取得する工程と、
を有することを特徴とする波形情報取得方法。 - 前記時間波形に関する情報を、前記テラヘルツ波の伝播速度を変化させる前の時間波形の形状となるように補正する工程と、を有することを特徴とする請求項12に記載の波形情報取得方法。
- テラヘルツ波を発生し、前記発生したテラヘルツ波を伝播させ、前記伝播したテラヘルツ波に関する情報を検出し、前記検出したテラヘルツ波に関する情報からテラヘルツ波の時間波形を構築するテラヘルツ時間領域分光方法において、
前記時間波形を得るために、テラヘルツ波の伝播速度を変えることを特徴とするテラヘルツ時間領域分光方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008287755A JP4975001B2 (ja) | 2007-12-28 | 2008-11-10 | 波形情報取得装置及び波形情報取得方法 |
US12/680,889 US8129683B2 (en) | 2007-12-28 | 2008-12-25 | Waveform information acquisition apparatus and waveform information acquisition method |
PCT/JP2008/073925 WO2009084712A1 (en) | 2007-12-28 | 2008-12-25 | Waveform information acquisition apparatus and method |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007340392 | 2007-12-28 | ||
JP2007340392 | 2007-12-28 | ||
JP2008287755A JP4975001B2 (ja) | 2007-12-28 | 2008-11-10 | 波形情報取得装置及び波形情報取得方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009175127A true JP2009175127A (ja) | 2009-08-06 |
JP4975001B2 JP4975001B2 (ja) | 2012-07-11 |
Family
ID=41030358
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008287755A Expired - Fee Related JP4975001B2 (ja) | 2007-12-28 | 2008-11-10 | 波形情報取得装置及び波形情報取得方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8129683B2 (ja) |
JP (1) | JP4975001B2 (ja) |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011030877A1 (ja) * | 2009-09-10 | 2011-03-17 | 株式会社アドバンテスト | 収容具、収容具配置方法および測定方法 |
JP2011203718A (ja) * | 2010-03-04 | 2011-10-13 | Canon Inc | テラヘルツ波発生素子、テラヘルツ波検出素子、およびテラヘルツ時間領域分光装置 |
JP2012002793A (ja) * | 2010-05-18 | 2012-01-05 | Canon Inc | テラヘルツ波の測定装置及び測定方法 |
EP2546634A1 (en) | 2011-07-14 | 2013-01-16 | Dainippon Screen Mfg., Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
EP2631635A1 (en) | 2012-02-24 | 2013-08-28 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
JP2013238401A (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-28 | Canon Inc | 電磁波を用いる測定装置及び測定方法 |
EP2679987A1 (en) | 2012-06-28 | 2014-01-01 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Inspecting device and inspecting method |
EP2772750A1 (en) | 2013-02-28 | 2014-09-03 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Inspecting device and inspecting method |
EP2775288A1 (en) | 2013-03-08 | 2014-09-10 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Inspecting device and inspecting method |
EP2824469A2 (en) | 2013-07-10 | 2015-01-14 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Photo device inspection apparatus and photo device inspection method |
EP2840382A1 (en) | 2013-08-23 | 2015-02-25 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
JP2016125976A (ja) * | 2015-01-08 | 2016-07-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | テラヘルツ波時間波形取得装置 |
US9404874B2 (en) | 2014-03-25 | 2016-08-02 | SCREEN Holdings, Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
US9450536B2 (en) | 2014-02-18 | 2016-09-20 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
US10001441B2 (en) | 2014-09-26 | 2018-06-19 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Modification processing device, modification monitoring device and modification processing method |
US10158325B2 (en) | 2013-12-10 | 2018-12-18 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5653212B2 (ja) * | 2007-07-12 | 2015-01-14 | ピコメトリクス、エルエルシー | 時間領域データ内のパルスの通過時間位置を測定するシステムおよび方法 |
JP5632599B2 (ja) | 2009-09-07 | 2014-11-26 | キヤノン株式会社 | 発振器 |
JP5552321B2 (ja) * | 2010-01-08 | 2014-07-16 | キヤノン株式会社 | 電磁波の測定装置及び方法 |
JP2012053450A (ja) * | 2010-08-05 | 2012-03-15 | Canon Inc | テラヘルツ波発生素子、テラヘルツ波検出素子、テラヘルツ波発生装置、テラヘルツ波検出装置、テラヘルツ波測定装置、及びテラヘルツ波トモグラフィックイメージング装置 |
JP5735824B2 (ja) | 2011-03-04 | 2015-06-17 | キヤノン株式会社 | 情報取得装置及び情報取得方法 |
TWI628413B (zh) * | 2016-10-11 | 2018-07-01 | 國立中山大學 | 矽電極兆赫波全波段之液晶相位調變器 |
JP7362409B2 (ja) | 2019-10-17 | 2023-10-17 | キヤノン株式会社 | 照明装置およびカメラシステム |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004061455A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-02-26 | Communication Research Laboratory | テラヘルツ電磁波による粉体物性測定装置および方法 |
JP2005017644A (ja) * | 2003-06-25 | 2005-01-20 | Canon Inc | 高周波電気信号制御装置及びセンシングシステム |
JP2007503582A (ja) * | 2003-08-27 | 2007-02-22 | テラビュー リミテッド | 非平面的試料を調査するための方法及び装置 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5032975A (en) | 1987-08-07 | 1991-07-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Controller for automatic assembling apparatus |
US6448553B1 (en) | 1999-04-26 | 2002-09-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Signal detector to be used with scanning probe and atomic force microscope |
US6828558B1 (en) * | 1999-06-04 | 2004-12-07 | Teraview Limited | Three dimensional imaging |
JP2002310882A (ja) | 2001-04-17 | 2002-10-23 | Canon Inc | 走査型プローブによる信号検出装置、該装置によるプローブ顕微鏡、及び走査型プローブによる信号検出方法、該方法を用いてサンプル表面を観察する観察方法 |
DE602004023847D1 (de) | 2003-06-25 | 2009-12-10 | Canon Kk | Steuergerät zur erzeugung elektrischer hochfrequenzsignale und sensorsystem |
JP4136858B2 (ja) | 2003-09-12 | 2008-08-20 | キヤノン株式会社 | 位置検出装置、及び情報入力装置 |
US7016102B2 (en) * | 2004-03-05 | 2006-03-21 | Agilent Technologies, Inc. | Apparatus and method for shifting the frequency of an optical signal by two-stage Raman scattering |
JP4217646B2 (ja) | 2004-03-26 | 2009-02-04 | キヤノン株式会社 | 認証方法及び認証装置 |
JP2005274496A (ja) | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Tochigi Nikon Corp | 成分分析方法およびその方法を用いた成分分析装置 |
JP2006121643A (ja) | 2004-09-21 | 2006-05-11 | Canon Inc | 平面アンテナ |
JP4878180B2 (ja) | 2005-03-24 | 2012-02-15 | キヤノン株式会社 | 電磁波を用いる検査装置 |
US20070164842A1 (en) * | 2006-01-19 | 2007-07-19 | Lumera Corporation | Electro-Optic Radiometer to Detect Radiation |
JP5132146B2 (ja) | 2006-03-17 | 2013-01-30 | キヤノン株式会社 | 分析方法、分析装置、及び検体保持部材 |
JP4898472B2 (ja) | 2006-04-11 | 2012-03-14 | キヤノン株式会社 | 検査装置 |
JP4709059B2 (ja) | 2006-04-28 | 2011-06-22 | キヤノン株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
DE102006042642B4 (de) | 2006-09-12 | 2010-06-24 | Batop Gmbh | Terahertz Time-Domain Spektrometer |
JP5031330B2 (ja) | 2006-11-15 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | 検体分析装置、及び検体分析方法 |
JP4977048B2 (ja) | 2007-02-01 | 2012-07-18 | キヤノン株式会社 | アンテナ素子 |
US8067739B2 (en) | 2007-06-22 | 2011-11-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoconductive element for generation and detection of terahertz wave |
JP4975000B2 (ja) | 2007-12-07 | 2012-07-11 | キヤノン株式会社 | 電磁波発生素子、電磁波集積素子、及び電磁波検出装置 |
JP5328319B2 (ja) | 2008-01-29 | 2013-10-30 | キヤノン株式会社 | テラヘルツ波を用いた検査装置及び検査方法 |
JP5178398B2 (ja) | 2008-08-27 | 2013-04-10 | キヤノン株式会社 | 光伝導素子 |
-
2008
- 2008-11-10 JP JP2008287755A patent/JP4975001B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-12-25 US US12/680,889 patent/US8129683B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004061455A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-02-26 | Communication Research Laboratory | テラヘルツ電磁波による粉体物性測定装置および方法 |
JP2005017644A (ja) * | 2003-06-25 | 2005-01-20 | Canon Inc | 高周波電気信号制御装置及びセンシングシステム |
JP2007503582A (ja) * | 2003-08-27 | 2007-02-22 | テラビュー リミテッド | 非平面的試料を調査するための方法及び装置 |
Cited By (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8330110B2 (en) | 2009-09-10 | 2012-12-11 | Advantest Corporation | Container, container positioning method, and measuring method |
JP5291801B2 (ja) * | 2009-09-10 | 2013-09-18 | 株式会社アドバンテスト | 収容具、収容具配置方法および測定方法 |
WO2011030877A1 (ja) * | 2009-09-10 | 2011-03-17 | 株式会社アドバンテスト | 収容具、収容具配置方法および測定方法 |
JP2011203718A (ja) * | 2010-03-04 | 2011-10-13 | Canon Inc | テラヘルツ波発生素子、テラヘルツ波検出素子、およびテラヘルツ時間領域分光装置 |
US10331010B2 (en) | 2010-03-04 | 2019-06-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Terahertz-wave generating element terahertz-wave detecting element and terahertz time-domain spectroscopy device |
US9152009B2 (en) | 2010-03-04 | 2015-10-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Terahertz-wave generating element, terahertz-wave detecting element, and terahertz time-domain spectroscopy device |
WO2011108557A3 (en) * | 2010-03-04 | 2014-08-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Terahertz-wave generating element, terahertz-wave detecting element, and terahertz time-domain spectroscopy device |
JP2012002793A (ja) * | 2010-05-18 | 2012-01-05 | Canon Inc | テラヘルツ波の測定装置及び測定方法 |
US8981301B2 (en) | 2010-05-18 | 2015-03-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus and method of measuring terahertz wave |
US8872114B2 (en) | 2011-07-14 | 2014-10-28 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
EP2546634A1 (en) | 2011-07-14 | 2013-01-16 | Dainippon Screen Mfg., Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
EP2631635A1 (en) | 2012-02-24 | 2013-08-28 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
US9103870B2 (en) | 2012-02-24 | 2015-08-11 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
JP2013238401A (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-28 | Canon Inc | 電磁波を用いる測定装置及び測定方法 |
EP2679987A1 (en) | 2012-06-28 | 2014-01-01 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Inspecting device and inspecting method |
US9234934B2 (en) | 2012-06-28 | 2016-01-12 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Inspecting device and inspecting method |
EP2772750A1 (en) | 2013-02-28 | 2014-09-03 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Inspecting device and inspecting method |
US9151669B2 (en) | 2013-02-28 | 2015-10-06 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Inspecting device and inspecting method |
EP2775288A1 (en) | 2013-03-08 | 2014-09-10 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Inspecting device and inspecting method |
US9541508B2 (en) | 2013-03-08 | 2017-01-10 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Inspecting device and inspecting method |
EP2824469A2 (en) | 2013-07-10 | 2015-01-14 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Photo device inspection apparatus and photo device inspection method |
US9651607B2 (en) | 2013-07-10 | 2017-05-16 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Photo device inspection apparatus and photo device inspection method |
EP2840382A1 (en) | 2013-08-23 | 2015-02-25 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
US9383321B2 (en) | 2013-08-23 | 2016-07-05 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
US10158325B2 (en) | 2013-12-10 | 2018-12-18 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
US9450536B2 (en) | 2014-02-18 | 2016-09-20 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
US9404874B2 (en) | 2014-03-25 | 2016-08-02 | SCREEN Holdings, Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
US10001441B2 (en) | 2014-09-26 | 2018-06-19 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Modification processing device, modification monitoring device and modification processing method |
JP2016125976A (ja) * | 2015-01-08 | 2016-07-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | テラヘルツ波時間波形取得装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100258727A1 (en) | 2010-10-14 |
US8129683B2 (en) | 2012-03-06 |
JP4975001B2 (ja) | 2012-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4975001B2 (ja) | 波形情報取得装置及び波形情報取得方法 | |
JP4807707B2 (ja) | 波形情報取得装置 | |
JP5227327B2 (ja) | 集積型テラヘルツアンテナおよび送信機および/または受信機ならびにその製造方法 | |
JP4975000B2 (ja) | 電磁波発生素子、電磁波集積素子、及び電磁波検出装置 | |
US8405031B2 (en) | Terahertz wave generator | |
JP4402026B2 (ja) | センシング装置 | |
JP5489906B2 (ja) | テラヘルツ波トランシーバ及び断層像取得装置 | |
CN103954802B (zh) | 长波长扫描近场显微分析系统 | |
JP5341488B2 (ja) | テラヘルツ波を測定するための装置及び方法 | |
JP5654760B2 (ja) | 光素子 | |
JP6238058B2 (ja) | テラヘルツ分光システム | |
Kuznetsov et al. | Electrically driven microcavity exciton-polariton optomechanics at 20 GHz | |
CN108956537A (zh) | 一种超快时间分辨瞬态反射光谱仪 | |
JP2010048721A (ja) | テラヘルツ計測装置 | |
US11112355B2 (en) | Narrowband, acoustically mediated spintronic terahertz emitter | |
Angrisani et al. | THz measurement systems | |
WO2003046519A1 (en) | Delay time modulation femtosecond time-resolved scanning probe microscope apparatus | |
WO2009084712A1 (en) | Waveform information acquisition apparatus and method | |
Nallappan et al. | A dynamically reconfigurable terahertz array antenna for near-field imaging applications | |
JP2006145372A (ja) | テラヘルツ電磁波発生装置 | |
JP2013002995A (ja) | 光伝導基板およびこれを用いた電磁波発生検出装置 | |
Luo et al. | Infrared and terahertz integration detection based on optical antennas | |
JP2013138112A (ja) | テラヘルツ波発生装置および測定装置 | |
Zaman | Fast Terahertz Metamaterial/Graphene-Based Optoelectronic Devices for Wireless Communication | |
Shen | Terahertz time-domain characterization of amplifying quantum cascade metasurface |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100201 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20100630 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110906 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111104 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120313 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120410 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150420 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |