DE102006042642B4 - Terahertz Time-Domain Spektrometer - Google Patents

Terahertz Time-Domain Spektrometer Download PDF

Info

Publication number
DE102006042642B4
DE102006042642B4 DE102006042642A DE102006042642A DE102006042642B4 DE 102006042642 B4 DE102006042642 B4 DE 102006042642B4 DE 102006042642 A DE102006042642 A DE 102006042642A DE 102006042642 A DE102006042642 A DE 102006042642A DE 102006042642 B4 DE102006042642 B4 DE 102006042642B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
terahertz
laser
prisms
transmitting antenna
path
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE102006042642A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102006042642A1 (de
Inventor
Rico Hohmuth
Wolfgang Richter
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BATOP GmbH
Original Assignee
BATOP GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BATOP GmbH filed Critical BATOP GmbH
Priority to DE102006042642A priority Critical patent/DE102006042642B4/de
Publication of DE102006042642A1 publication Critical patent/DE102006042642A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102006042642B4 publication Critical patent/DE102006042642B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
    • G01N21/3586—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation by Terahertz time domain spectroscopy [THz-TDS]
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3563—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing solids; Preparation of samples therefor

Abstract

Terahertz Time-Domain Spektrometer unter Verwendung einer photoleitenden Sendeantenne (1) und einer Empfangsantenne (2), die mit einem Pulslaser (3) getaktet werden, und mit einer variablen Verzögerungsstrecke (4), dadurch gekennzeichnet, dass sich die Verzögerungsstrecke (4) im Terahertz-Strahlengang (5) befindet.

Description

  • Die Erfindung betrifft den Aufbau eines Terahertz Time-Domain Spektrometers zur Messung der elektromagnetischen Materialeigenschaften von Stoffen im Terahertz Spektralgebiet. Anwendung finden Terahertz Time-Domain Spektrometer beispielsweise bei der Analyse chemischer Verbindungen, der Kontrolle verpackter Gegenstände, in der Medizin zur Krebserkennung und in der Personenkontrolle.
  • Terahertz-Strahlung ist elektromagnetische Strahlung im Frequenzbereich von etwa 0,1 bis 100 THz. Da es im Frequenzbereich der Terahertz-Strahlung Molekülschwingungen unterschiedlicher Substanzen gibt, kann mittels Absorptionsspektroskopie im Terahertz-Bereich die Untersuchung von Substanzen erfolgen und auch der Nachweis bestimmter chemischer Verbindungen geführt werden. So können beispielsweise Objekte im Terahertz-Bereich abgebildet werden (siehe beispielsweise EP 0 828 162 A2 ) oder tomographisch untersucht werden (siehe beispielsweise EP 0 864 857 A1 ).
  • Es ist bekannt, dass Terahertz-Strahlung mit photoleitenden Antennen (englisch PCA – photoconductive antenna) unter Verwendung ultrakurzer Lichtpulse eines Lasers mit Pulsdauern ≤1 ps sowohl erzeugt als auch nachgewiesen werden kann ( US 5 789 750 A ). Zum Aufbau eines Terahertz Time-Domain Spektrometers ist es erforderlich, mittels einer einstellbaren Verzögerungsleitung dafür zu sorgen, dass der zeitliche Pulsverlauf der die Probe passierenden Terahertz-Strahlung an der Empfangsantenne abgetastet werden kann, um anschließend mittels einer Fouriertransformation des gemessenen zeitlichen Verlaufs des Terahertz-Pulses das Terahertz-Spektrum berechnen zu können (siehe beispielsweise WO 2006/000831 A1 ).
  • In allen bisher bekannten Terahertz Time-Domain Spektrometern ist die Verzögerungsstrecke in einem der beiden Wege der optischen Laserpulse entweder vor der Sendeantenne oder vor der Empfangsantenne angeordnet ( US 6957099 B1 , GB 2380920 A , US 6747736 B2 , JP 2003083888 A , CA 2396695 A1 , WO 00/79248 A1 , GB 2372929 A , GB 2350673 A , US 5789750 A , US 2005/0253071 A1 , JP 2005315708 A , US 2004/0196660 A1 , JP 2004279352 A , JP 2004 198 250 A , WO 2004/106900 A1 , WO 2004/106905 A1 , WO 2006/000831 A1 , GB 2417554 A , US 2005/0179905 A1 , GB 2415777 A , EP 1630542 A1 , EP 0828162 A2 , US 2005/0258368 A1 ). Diese Anordnung der Verzögerungsstrecke im Weg des optischen Laserpulses ist dann zweckmäßig, wenn wie bisher üblich der Pulslaser ein Festkörperlaser ist und die Strahlführung des Laserpulses in Luft erfolgt. In diesem Fall werden hauptsächlich die standardmäßig in Pulslasersystemen verwendeten Verzögerungsstrecken mit Retroreflektoren eingesetzt.
  • Bei der Verwendung moderner Faserlaser zur Erzeugung der optischen Pulse und der Führung der Laserpulse mittels Lichtleitfasern direkt an die photoleitenden Terahertz-Antennen besitzt jedoch der Einsatz einer Freistrahl-Verzögerungsstrecke der Laserpulse den Nachteil, dass das aus der Faser kommende Laserlicht erst kollimiert und nach der Verzögerungsstrecke wieder in die Faser fokussiert werden muss. Wegen der erforderlichen hohen Justiergenauigkeit kann eine derartige Anordnung nur mit hohem technischen Aufwand mechanisch so stabil gestaltet werden, dass ein mobiler Einsatz des Terahertz Time-Domain Spektrometers möglich ist.
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Terahertz Time-Domain Spektrometer anzugeben, bei dem die mechanischen Präzisionsanforderungen an die erforderliche Verzögerungsstrecke gering sind und das deshalb robust ist und kostengünstig herzustellen ist.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gemäß dem Patentanspruch 1 dadurch gelöst, dass sich die Verzögerungsstrecke nicht wie bisher üblich im Lichtweg des Pulslasers, sondern im Lichtweg der Terahertz-Strahlung befindet. Da die Wellenlänge der Terahertz-Strahlung etwa um den Faktor 1000 größer ist als die Wellenlänge des Laserlichtes, sind die erforderlichen Justiergenauigkeiten für die Terahertz-Strahlung entsprechend geringer. Es ist bekannt, dass elektromagnetische Wellen nur mit einer Genauigkeit im Bereich der Wellenlänge fokussiert werden können. Entsprechend verringern sich auch die Genauigkeitsanforderungen bei der Justierung von Optiken für Wellen mit größerer Wellenlänge.
  • Durch die erfindungsgemäße Anordnung der Verzögerungsstrecke im Lichtweg der Terahertz-Strahlung wird erreicht, dass insbesondere bei der Verwendung eines Faserlasers und fasergekoppelten photoleitenden Antennen ein erschütterungsunempfindlicheres und kostengünstigeres Terahertz Time-Domain Spektrometer gebaut werden kann. Die Terahertz-Strahlung wird von der Sendeantenne ohnehin frei abgestrahlt, so dass der Einbau der Verzögerungsstrecke an dieser Stelle keine zusätzlichen kollimierenden und fokussierenden Optiken erfordert, wie das im wellenleitenden Strahlengang der Laserpulse erforderlich ist.
  • Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist im Patentanspruch 2 angegeben. Die Weiterbildung gemäß Patentanspruch 2 besteht darin, dass die Verzögerungsstrecke im kollimierten Strahlengang der Terahertz-Strahlung angeordnet ist, der mittels einer an der Sendeantenne angebrachten asphärischen kollimierenden Substratlinse erreicht wird. Eine Substratlinse wird zur Ein- und Auskopplung der Terahertzstrahlung üblicherweise verwendet, um eine große Apertur zu erreichen und gleichzeitig die Terahertz-Strahlung zu führen. Wird die Substratlinse der Sendeantenne als asphärische kollimierende Linse ausgeführt, so ist bereits ein geeigneter Parallelstrahl für die Verzögerungstrecke vorhanden. Weitere optische Elemente sind zum Einsatz der Verzögerungsstrecke im Terahertz-Strahlengang dann nicht erforderlich.
  • Die im Patentanspruch 3 angegebene Möglichkeit des Einsatzes eines Faserlasers als Pulslaser vereinfacht den Aufbau des Terahertz Time-Domain Spektrometers, weil die Fasern direkt an die Antennen geführt werden können und keine Justierelemente erforderlich sind. Dadurch wird der gesamte Aufbau mechanisch sehr stabil.
  • Im Patentanspruch 4 wird eine weitere Vereinfachung des Aufbaus des Terahertz Time-Domain Spektrometers vorgeschlagen, indem die Sendeantenne gleichzeitig als Modelocker des Faserlasers eingesetzt ist und direkt auf das Faserende des Pulslasers montiert ist. Bei einer derartigen Anordnung entfällt die sonst erforderliche Lichtleitfaser zwischen Faserlaser und Sendeantenne, wodurch der Aufbau vereinfacht wird.
  • Die Ausgestaltung der Erfindung gemäß Anspruch 5 besteht darin, dass die Verzögerungsstrecke aus zwei Keilen mit gleichen Keilwinkeln aus einem für die Terahertz-Strahlung transparenten Material mit einer Brechzahl n größer als Eins besteht, wobei die Keile gegeneinander verschiebbar sind und deren Oberflächen senkrecht zum Terahertz-Strahlengang orientiert sind. Beim Verschieben der Keile wird der optische Weg der Terahertz-Strahlung verändert, ohne deren Ausbreitungsrichtung zu beeinflussen. Die Verzögerungszeit τ bei einer Dickenänderung Δd der beiden Keile ergibt sich aus der Beziehung τ = (n – 1)·Δd/c,wobei c die Vakuum-Lichtgeschwindigkeit und n die Brechzahl des Keilmaterials ist.
  • Erfindungsgemäße Anordnungen eines Terahertz Time-Domain Spektrometers sind nachfolgend an Hand von drei Ausführungsbeispielen näher erläutert. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen
  • 1 ein erstes Ausführungsbeispiel eines Terahertz Time-Domain Spektrometers.
  • 2 ein zweites Ausführungsbeispiel eines Terahertz Time-Domain Spektrometers mit einer Verzögerungsstrecke, die aus Retroreflektoren besteht.
  • 3 ein drittes Ausführungsbeispiel eines Terahertz Time-Domain Spektrometers mit einer Verzögerungsstrecke, die aus verschiebbaren Prismen besteht.
  • 1 zeigt das erste Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Terahertz Time-Domain Spektrometers entsprechend den Patentansprüchen 1, 2 und 3. Zur Erzeugung der Terahertz-Strahlung 5 ist eine photoleitende Sendeantenne 1 mit einer asphärischen Substratlinse 6 eingesetzt. Die asphärischen Substratlinse 6 erzeugt einen kollimierten Strahlengang der Terahertz-Strahlung 5. Eine Verzögerungsstrecke 4 ist im Terahertz-Strahlengang angebracht. Die Terahertz-Strahlung 5 wird von einer Substratlinse 7 auf die Empfangsantenne 2 fokussiert, nachdem sie das Untersuchungsobjekt 8 passiert hat. Die optischen Pulse werden vom Faserlaser 3 erzeugt und mit den Lichtleitfasern 9, 10 an die Sendeantenne 1 und die Empfangsantenne 2 geleitet. Alle optischen Pulse werden in Lichtleitfasern geführt, so dass dieser Teil des Terahertz Time-Domain Spektrometers im Betrieb nicht justiert werden muss und mechanisch sehr stabil ist.
  • 2 zeigt das zweite Ausführungsbeispiel des Terahertz Time-Domain Spektrometers gemäß den Patentansprüchen 1 bis 4. Die Sendeantenne 1 fungiert gleichzeitig als Modelocker für den Faserlaser 3, wodurch keine zusätzliche optische Verbindung zwischen dem Faserlaser 3 und der Sendeantenne 1 erforderlich ist. Die Führung der Laserpulse ist damit extrem vereinfacht und stabil. Als Verzögerungsstrecke 4 ist im Terahertz-Strahlengang 5 ein in der Optik üblicher Retroreflektor eingesetzt. Die mechanischen Anforderungen an die Justier- und Führungsgenauigkeit des Retroreflektors sind wegen der großen Wellenlänge der Terahertz-Strahlung wesentlich geringer als wenn sich der Retroreflektor im Strahlengang der Laserpulse befinden würde.
  • 3 zeigt das dritte Ausführungsbeispiel des Terahertz Time-Domain Spektrometers gemäß den Patentansprüchen 1 bis 5. Im Unterschied zum zweiten Ausführungsbeispiel besteht die Verzögerungsstrecke 4 aus zwei Prismen 11, die aus einem für die Terahertz-Strahlung transparenten Material Picarin mit der Brechzahl n = 1,7 bestehen. Diese Prismen 11 besitzen den gleichen Prismenwinkel α = 30° und sind gegeneinander verschiebbar. Die Prismen 11 sind so orientiert, dass die Außenseiten ihrer Oberflächen senkrecht zum Terahertz-Strahlengang 5 stehen. Der Vorteil der Nutzung transparenter Prismen anstelle eines Retroreflektors in der Verzögerungsstrecke besteht darin, dass in einer Transmissionsanordnung kleine Verkippungen gegenüber der optische Achse nur sehr geringe Auswirkungen auf die Justierung besitzen. Durch die Verwendung der Prismen 11 ist das Terahertz Time-Domain Spektrometer sehr stabil und für einen mobilen Einsatz gut geeignet.
    • 1
    Sendeantenne
    2
    Empfangsantenne
    3
    Pulslaser
    4
    Verzögerungsstrecke
    5
    Terahertz-Strahlung
    6
    Substratlinse der Sendeantenne
    7
    Substratlinse der Empfangsantenne
    8
    Probe
    9
    Lichtleitfaser zur Sendeantenne
    10
    Lichtleitfaser zur Empfangsantenne
    11
    Prismen
    α
    Prismenwinkel

Claims (5)

  1. Terahertz Time-Domain Spektrometer unter Verwendung einer photoleitenden Sendeantenne (1) und einer Empfangsantenne (2), die mit einem Pulslaser (3) getaktet werden, und mit einer variablen Verzögerungsstrecke (4), dadurch gekennzeichnet, dass sich die Verzögerungsstrecke (4) im Terahertz-Strahlengang (5) befindet.
  2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass (a) an der Sendeantenne (1) eine asphärische Substratlinse (6) angebracht ist, welche die Terahertz-Strahlung kollimiert und (b) die Verzögerungsstrecke (4) im kollimierten Terahertz-Strahlengang (5) angebracht ist.
  3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Pulslaser (3) ein Faserlaser ist.
  4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Sendeantenne gleichzeitig als Modelocker des Pulslasers (3) eingesetzt ist und direkt auf ein Faserende des Faserlasers montiert ist.
  5. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass (a) die Verzögerungsstrecke (4) aus zwei Prismen (11) aus einem für die Terahertz-Strahlung transparenten Material mit einer Brechzahl größer als Eins besteht, (b) die Prismen (11) gegeneinander verschiebbar sind, (c) die Prismen (11) den gleichen Prismenwinkel (α) besitzen und (d) die Außenseiten der Oberflächen der Prismen (11) senkrecht zum Terahertz-Strahlengang (5) orientiert sind.
DE102006042642A 2006-09-12 2006-09-12 Terahertz Time-Domain Spektrometer Active DE102006042642B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006042642A DE102006042642B4 (de) 2006-09-12 2006-09-12 Terahertz Time-Domain Spektrometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006042642A DE102006042642B4 (de) 2006-09-12 2006-09-12 Terahertz Time-Domain Spektrometer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102006042642A1 DE102006042642A1 (de) 2008-03-27
DE102006042642B4 true DE102006042642B4 (de) 2010-06-24

Family

ID=39104606

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102006042642A Active DE102006042642B4 (de) 2006-09-12 2006-09-12 Terahertz Time-Domain Spektrometer

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102006042642B4 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010032382A1 (de) 2010-07-27 2012-02-02 Batop Gmbh Fasergekoppeltes Terahertz Time-Domain Spektrometer

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009084712A1 (en) * 2007-12-28 2009-07-09 Canon Kabushiki Kaisha Waveform information acquisition apparatus and method
JP4975001B2 (ja) 2007-12-28 2012-07-11 キヤノン株式会社 波形情報取得装置及び波形情報取得方法

Citations (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0828162A2 (de) * 1996-09-10 1998-03-11 Lucent Technologies Inc. Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung im Terahertzbereich
US5789750A (en) * 1996-09-09 1998-08-04 Lucent Technologies Inc. Optical system employing terahertz radiation
EP0864857A1 (de) * 1997-03-14 1998-09-16 Lucent Technologies Inc. Verfahren und Vorrichtung zur tomographischen Abbildung im Terahertzbereich
GB2350673A (en) * 1999-06-04 2000-12-06 Toshiba Res Europ Ltd Three dimensional imaging using terahertz or Far IR radiation
WO2000079248A1 (fr) * 1999-06-21 2000-12-28 Hamamatsu Photonics K.K. Spectrometre a ondes terahertz
CA2396695A1 (en) * 1999-12-28 2001-07-05 Picometrix, Inc. System and method for monitoring changes in state of matter with terahertz radiation
GB2372929A (en) * 2000-03-03 2002-09-04 Tera View Ltd Apparatus and method for investigating a sample using terahertz radiation
JP2003083888A (ja) * 2001-09-10 2003-03-19 Communication Research Laboratory テラヘルツ電磁波時間分解分光装置
GB2380920A (en) * 2001-09-12 2003-04-16 Teraview Ltd Terahertz radiation imaging
JP2004198250A (ja) * 2002-12-18 2004-07-15 Tochigi Nikon Corp 時間分解反射測定方法およびテラヘルツ時間分解反射測定装置
JP2004279352A (ja) * 2003-03-18 2004-10-07 Tochigi Nikon Corp テラヘルツ光を用いた測定装置
US20040196660A1 (en) * 2001-09-21 2004-10-07 Mamoru Usami Terahertz light apparatus
WO2004106900A1 (ja) * 2003-05-29 2004-12-09 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha 反射型テラヘルツ分光測定装置及び測定方法
WO2004106905A1 (en) * 2003-06-02 2004-12-09 Teraview Limited Method and apparatus for quantitative analysis using terahertz radiation
US20050179905A1 (en) * 2004-02-17 2005-08-18 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha Multi-channeled measuring method and apparatus for measuring spectrum of terahertz pulse
US6957099B1 (en) * 1999-02-23 2005-10-18 Teraview Limited Method and apparatus for terahertz imaging
JP2005315708A (ja) * 2004-04-28 2005-11-10 Japan Science & Technology Agency テラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置
US20050253071A1 (en) * 2002-11-13 2005-11-17 Bradley Ferguson Diffraction mode terahertz tomography
US20050258368A1 (en) * 2004-05-19 2005-11-24 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha Semiconductor crystal for generating terahertz waves, terahertz wave-generator incorporating the crystal, semiconductor crystal for detecting terahertz waves, and terahertz waves detector incorporating the crystal
GB2415777A (en) * 2004-06-29 2006-01-04 Tera View Ltd Imaging using Terahertz radiation
GB2417554A (en) * 2004-08-26 2006-03-01 Teraview Ltd Terahertz pulsed spectroscopy apparatus and method

Patent Citations (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5789750A (en) * 1996-09-09 1998-08-04 Lucent Technologies Inc. Optical system employing terahertz radiation
EP0828162A2 (de) * 1996-09-10 1998-03-11 Lucent Technologies Inc. Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung im Terahertzbereich
EP0864857A1 (de) * 1997-03-14 1998-09-16 Lucent Technologies Inc. Verfahren und Vorrichtung zur tomographischen Abbildung im Terahertzbereich
US6957099B1 (en) * 1999-02-23 2005-10-18 Teraview Limited Method and apparatus for terahertz imaging
GB2350673A (en) * 1999-06-04 2000-12-06 Toshiba Res Europ Ltd Three dimensional imaging using terahertz or Far IR radiation
WO2000079248A1 (fr) * 1999-06-21 2000-12-28 Hamamatsu Photonics K.K. Spectrometre a ondes terahertz
US6747736B2 (en) * 1999-06-21 2004-06-08 Hamamatsu Photonics K.K. Terahertz wave spectrometer
CA2396695A1 (en) * 1999-12-28 2001-07-05 Picometrix, Inc. System and method for monitoring changes in state of matter with terahertz radiation
GB2372929A (en) * 2000-03-03 2002-09-04 Tera View Ltd Apparatus and method for investigating a sample using terahertz radiation
JP2003083888A (ja) * 2001-09-10 2003-03-19 Communication Research Laboratory テラヘルツ電磁波時間分解分光装置
GB2380920A (en) * 2001-09-12 2003-04-16 Teraview Ltd Terahertz radiation imaging
US20040196660A1 (en) * 2001-09-21 2004-10-07 Mamoru Usami Terahertz light apparatus
US20050253071A1 (en) * 2002-11-13 2005-11-17 Bradley Ferguson Diffraction mode terahertz tomography
JP2004198250A (ja) * 2002-12-18 2004-07-15 Tochigi Nikon Corp 時間分解反射測定方法およびテラヘルツ時間分解反射測定装置
JP2004279352A (ja) * 2003-03-18 2004-10-07 Tochigi Nikon Corp テラヘルツ光を用いた測定装置
WO2004106900A1 (ja) * 2003-05-29 2004-12-09 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha 反射型テラヘルツ分光測定装置及び測定方法
EP1630542A1 (de) * 2003-05-29 2006-03-01 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha Terahertz-spektrometer vom reflexionstyp und spektrometrisches verfahren
WO2004106905A1 (en) * 2003-06-02 2004-12-09 Teraview Limited Method and apparatus for quantitative analysis using terahertz radiation
US20050179905A1 (en) * 2004-02-17 2005-08-18 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha Multi-channeled measuring method and apparatus for measuring spectrum of terahertz pulse
JP2005315708A (ja) * 2004-04-28 2005-11-10 Japan Science & Technology Agency テラヘルツ電磁波を用いた物性測定装置
US20050258368A1 (en) * 2004-05-19 2005-11-24 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha Semiconductor crystal for generating terahertz waves, terahertz wave-generator incorporating the crystal, semiconductor crystal for detecting terahertz waves, and terahertz waves detector incorporating the crystal
GB2415777A (en) * 2004-06-29 2006-01-04 Tera View Ltd Imaging using Terahertz radiation
WO2006000831A1 (en) * 2004-06-29 2006-01-05 Teraview Limited Imaging of sample using terahertz time domain spectroscopy in reflection mode to identify in a first material like normal breast tissue a second material like cancerous tissue by evaluating the phase change at the interface between the sample and a window like a quartz window, against which the sample is pressed
GB2417554A (en) * 2004-08-26 2006-03-01 Teraview Ltd Terahertz pulsed spectroscopy apparatus and method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010032382A1 (de) 2010-07-27 2012-02-02 Batop Gmbh Fasergekoppeltes Terahertz Time-Domain Spektrometer

Also Published As

Publication number Publication date
DE102006042642A1 (de) 2008-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102008056559B4 (de) Sensoranordnung
DE10325942B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Dickenmessung transparanter Körper
DE102013113265B4 (de) Vorrichtung zur berührungslosen optischen Abstandsmessung
DE102017131224A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung einer Fokuslage eines Laserstrahls
DE102013205589A1 (de) Vorrichtung zur optischen Messung einer Distanz zu einem reflektierenden oder streuenden Zielobjekt
DE19742053C1 (de) Infrarotmeßanordnung mit erweitertem Meßbereich
DE4434822C1 (de) Vorrichtung zur berührungslosen Messung von Abständen zu reflektierenden Grenzflächen oder Abstandsdifferenzen dazwischen, insbesondere zur Bestimmung der Dicke von Meßobjekten aus transparentem Material
EP0048014B1 (de) Messeinrichtung zur Bestimmung des Extinktionswertes von Laserentfernungsmessern
DE102006042642B4 (de) Terahertz Time-Domain Spektrometer
DE102020204847A1 (de) Optische testvorrichtung
DE112017008083T5 (de) Ferninfrarotlichtquelle und ferninfrarotspektrometer
DE19510034B4 (de) Vorrichtung zur Bestimmung von Partikelgrößen und/oder Partikelgrößenverteilungen mittels Lichtbeugung
DE102007061213A1 (de) Anordnung zum Bestimmen des Reflexionsgrades einer Probe
DE102010008091B4 (de) Optisches Bauteil, Messgerät und Messverfahren
EP0864083B1 (de) Nephelometer
DE102010032382A1 (de) Fasergekoppeltes Terahertz Time-Domain Spektrometer
DE102008050258A1 (de) Optische Sonde (I)
DE102006014766A1 (de) Interferometrische Messvorrichtung
EP1889040A1 (de) Messeinrichtung zur ramanspektrometrischen, nichtinvasiven glucosebestimmung
DE4343345A1 (de) Verfahren und Vorrichtungen zur Messung der reflektiven bzw. transmittierenden optischen Eigenschaften einer Probe
DE102010029818A1 (de) Positionssensor
DE102008002968A1 (de) Interferometrische Einrichtung zur Positionsmessung und Koordinaten-Messmaschine
DE102004018754B4 (de) Vorrichtung für die Messung der Lichtstreuung und Lichtabsorption von Proben
DE19744565C2 (de) Wellenlängenmeßgerät für kurze Laserpulse
DE102008050847A1 (de) Optischer Weglängenmodulator

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition