JP2009173019A - 分割体の製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】板状素材11を挟持するための弾性材料からなる一対の当て板部材21と、板状素材11を挟持した状態の当て板部材21を挿通可能な挿通間隙部22を有しその挿通方向に沿って離間して並べられた複数の台部材23,24と、これら台部材23,24の間で一方の当て板部材21の背面側から両当て板部材21を板状素材11を挟持した状態で弾性変形させる圧下部材25とを備え、当て板部材21の挟持面に板状素材11における分割溝12の形成部位に当接する複数の凸条部32が設けられ、台部材23,24は、圧下部材25の圧下位置に当て板部材21の凸条部32が配置されたときに、その前後の凸条部32の背面で当て板部材21に接触可能な位置に配設されている。
【選択図】 図1
Description
この実施形態の製造装置によって分割される板状素材は、パワーモジュール用の絶縁基板となるものであり、例えばAlN(窒化アルミニウム)のセラミックスによって形成されている。その板状素材11には、分割予定部の片面に、レーザ加工やダイヤモンドホイールによる切削加工等によって分割溝12が形成されている。この分割溝12は、例えば、分割によって矩形の絶縁基板(分割体)13を複数形成するために、縦方向及び横方向にそれぞれ一定の間隔で配置されることにより全体として格子状に形成されている。また、分割溝12によって区画された領域内には、その両面にアルミニウム等の金属板14がろう付け等によって貼り付けられており、その一方の金属板14の表面が、パワーモジュールの電子部品の搭載面とされ、他方の金属板14はヒートシンク等への伝熱体とされる構成である。なお、この板状素材12は一例であり、設計に応じて適宜変更可能である。
あらかじめ板状素材11の片面に格子状に分割溝12を形成し、この分割溝12により囲まれた領域の両面に金属板14をろう付けにより貼り付けておく。
このように、当て板部材21の帯板状部31による弾性変形と、凸条部32による板状素材11への拘束機能との両方の作用が相俟って、板状素材11を「あばれ」を生じさせることなく分割し、かつ、分割状態に保持することができるものである。
当て板部材21を台部材24の間から抜き取って、両当て板部材21の間に別の板状素材11を挟持し、同様にして台部材23の挿通間隙部22に通して間欠送りしながら分割溝12の部分から1個ずつ分割する作業を繰り返すことが行われる。
なお、その他の第1実施形態の構成と共通部分には同一符号を付して説明を省略する。
なお、この第2実施形態においても、当て板部材41,42は弾性変形可能な材料によって形成されるが、プーリ44に巻回されることにより張力が付与されるので、第1実施形態の当て板部材21よりも弾性率が小さいものも適用可能である。
また、この欠けの発生とともに分割時の微粉の発生も抑制され、表面の清浄度が著しく改善される。さらに、両面から拘束された状態で分割されるため、分割面の真直度も増し、寸法精度が向上する。このため、この製造装置によって製造された分割体13は、使用中における割れの発生が極めて少なくなり、高い信頼性を維持することができる。
例えば、上記実施形態では、二つの当て板部材を硬質ゴムで形成したが、分割対象の板状素材より大きい弾性を有するものであれば、他の材料で形成してもよい。また、各実施形態では二つの当て板部材とも同じ材料によって同じ程度の弾性のものとされているが、板状素材が変形して分割されるまでの間、及び分割後においても両当て板部材の間に板状素材又は分割体を保持できるものであれば、必ずしも両方が同じ特性でなくてもよい。さらに、当て板部材の帯板状部と凸条部との材料を変えてもよく、帯板状部は弾性を有する材料により構成し、凸条部は板状素材に当接するため耐摩耗性材料として硬質プラスチック等により構成するようにしてもよい。また、板状素材の片面にのみ分割溝を形成した例を示したが、両面に分割溝を形成したものに適用してもよい。また、本発明は、パワーモジュール用基板以外にも、各種半導体基板等を分割して製造する場合に適用することができる。
12 分割溝
13 絶縁基板(分割体)
14 金属板
21 当て板部材
22 挿通間隙部
23,24 台部材
23A,24A 上部材
23B,24B 下部材
25 圧下部材
31 帯板状部
32 凸条部
41,42 当て板部材
43 帯板状部
44 プーリ
45 板状素材供給部
Claims (5)
- あらかじめ分割溝が形成された脆性材料からなる板状素材を湾曲させることにより前記分割溝から分割して複数の分割体を製造する分割体製造装置であって、
前記板状素材を挟持するための弾性材料からなる一対の当て板部材と、前記板状素材を挟持した状態の当て板部材を挿通可能な挿通間隙部を有しその挿通方向に沿って離間して並べられた複数の台部材と、これら台部材の間で一方の当て板部材の背面側から両当て板部材を前記板状素材を挟持した状態で弾性変形させる圧下部材とを備え、
前記当て板部材の挟持面に前記板状素材における前記分割溝の形成部位に当接する複数の凸条部が設けられ、前記台部材は、前記圧下部材の圧下位置に前記当て板部材の凸条部が配置されたときに、その前後の凸条部の背面で当て板部材に接触可能な位置に配設されていることを特徴とする分割体製造装置。 - 前記当て板部材は無端ベルトとされ、これら無端ベルトを巻回したプーリに、両無端ベルトを走行させる駆動部が設けられていることを特徴とする請求項1記載の分割体製造装置。
- 前記無端ベルトは上下に対向配置され、その下側無端ベルトは、上側無端ベルトよりも走行方向の上流方向に突出して形成され、その突出部の上面が板状素材供給部とされていることを特徴とする請求項2記載の分割体製造装置。
- あらかじめ分割溝が形成された脆性材料からなる板状素材を湾曲させることにより前記分割溝から分割して複数の分割体を製造する方法であって、
前記板状素材の両面に弾性材料からなる一対の当て板部材を配置するとともに、これら当て板部材の挟持面に形成した複数の凸条部を前記板状素材における前記分割溝の形成部位に当接した状態とし、これら当て板部材を長さ方向に間隔をあけて配置した複数の台部材により支持し、これら台部材の間で一方の当て板部材の凸条部の背面側を圧下部材により圧下して両当て板部材を弾性変形させることにより、前記板状素材を分割する工程を有し、
前記台部材は、前記圧下部材が前記当て板部材の凸条部の背面側を圧下するときに、その前後の凸条部の背面で両当て板部材に接触することを特徴とする分割体の製造方法。 - あらかじめ分割溝が形成された脆性材料からなる板状素材を請求項1から3のいずれか一項に記載の分割体製造装置を用いて湾曲させることにより、前記分割溝から分割して複数の分割体を製造することを特徴とする分割体の製造方法。
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