JP2009164422A - ステージ装置及びそれを有する露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リニアモータ4、5によって可動部2を移動し、リニアモータ4、5が備える少なくとも一つのコイル4C1U〜Wを含む閉回路を構成してブレーキを働かせることによって可動部2を減速させるステージ装置は、閉回路内においてコイル4C1U〜Wに接続可能で、抵抗値の異なる複数の抵抗R1〜R3と、可動部2の移動速度を検出する速度検出部9と、速度検出部9の検出結果に基づいてコイル4C1U〜Wと複数の抵抗R1〜R3とを接続又は切断する切換スイッチ27と、を有する。
【選択図】図3
Description
・ リニアモータ
4C1、4C2、5C1、5C2 可動子
4C1U〜W コイル
6 X可動部
8 レーザ干渉計(位置検出部)
9 レーザ干渉計(速度検出部)
12 上位コントローラ
19 ブレーキコントローラ(制御部)
25 ブレーキ主スイッチ(閉回路構成スイッチ)
26 抵抗器
27 切換スイッチ
33 記憶部
R1、R2、R3 抵抗
Claims (6)
- リニアモータによって可動部を移動し、前記リニアモータが備える少なくとも一つのコイルを含む閉回路を構成してブレーキを働かせることによって前記可動部を減速させるステージ装置において、
前記閉回路内において前記コイルに接続可能で抵抗値の異なる複数の抵抗と、
前記可動部の移動速度を検出する速度検出部と、
前記速度検出部の検出結果に基づいて前記コイルと前記複数の抵抗とを接続又は切断する切換スイッチと、
を有することを特徴とするステージ装置。 - 前記速度検出部が検出する前記可動部の移動方向と直交する方向における、前記可動部の位置を検出する位置検出部を更に有し、
前記切換スイッチは、前記速度検出部と前記位置検出部の検出結果に基づいて前記複数の抵抗の一つを選択することを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。 - 前記閉回路を構成する閉回路構成スイッチと、
前記閉回路構成スイッチを開閉するタイミングを制御する制御部と、
を更に有することを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。 - 前記可動部の位置を検出する位置検出部と、
前記可動部の前記速度と前記位置とを記憶する記憶部と、
前記記憶部が記憶した前記可動部の前記速度と前記位置に基づいて、前記切換スイッチは、前記複数の抵抗の一つを選択することを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。 - 光源からの光を利用して原版のパターンを基板に露光する露光装置であって、
請求項1乃至4のうちいずれか一項に記載のステージ装置を用いて前記原版又は前記基板を駆動することを特徴とする露光装置。 - 請求項5に記載された露光装置を使用して基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップと、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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