JP5179452B2 - リソグラフィ装置 - Google Patents
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- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
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-
- G—PHYSICS
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70716—Stages
- G03F7/70725—Stages control
Description
1.磁石の間のギャップの変動
2.磁石のサイズの変動
3.磁界強度及び磁石の磁化方向/向きの変動
4.理想的でないコイルの巻線
5.異なるコイルの異なる巻線
6.理想的でない転流(commutation)
7.局所的な温度の影響
[0035] 1.ステップモードにおいては、パターニングデバイスサポート(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは、基本的に静止状態に維持される一方、放射ビームに与えたパターン全体が1回でターゲット部分Cに投影される(すなわち単一静止露光)。次に、別のターゲット部分Cを露光できるように、基板テーブルWTがX方向及び/又はY方向に移動される。ステップモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、単一静止露光で像が形成されるターゲット部分Cのサイズが制限される。
[0036] 2.スキャンモードにおいては、パターニングデバイスサポート(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは同期的にスキャンされる一方、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する(つまり単一動的露光)。パターニングデバイスサポート(例えばマスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影システムPSの拡大(縮小)及び像反転特性によって求めることができる。スキャンモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、単一動的露光におけるターゲット部分の(非スキャン方向における)幅が制限され、スキャン動作の長さによってターゲット部分の(スキャン方向における)高さが決まる。
[0037] 3.別のモードでは、パターニングデバイスサポート(例えばマスクテーブル)MTはプログラマブルパターニングデバイスを保持して基本的に静止状態に維持され、基板テーブルWTを移動又はスキャンさせながら、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する。このモードでは、一般にパルス状放射源を使用して、基板テーブルWTを移動させる毎に、又はスキャン中に連続する放射パルスの間で、プログラマブルパターニングデバイスを必要に応じて更新する。この動作モードは、以上で言及したようなタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを使用するマスクレスリソグラフィに容易に利用できる。
Claims (6)
- リソグラフィ装置であって、
放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するサポートと、
基板を保持する基板テーブルと、
前記パターン付放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影する投影システムと、
前記装置の第2の部分に対して前記装置の第1の部分を位置決めするポジショナと、を備え、前記ポジショナが、
モータ入力とモータ出力との関係を定義するモータ位置に依存するモータ定数を有するモータと、
前記モータを駆動する制御システムであって、該制御システムが、前記第2の部分に対する前記第1の部分の所望の位置に基づいて基準信号を提供するセットポイントジェネレータと、該基準信号に基づいて前記モータに駆動信号を提供するコントローラとを備え、該コントローラが、前記モータ位置に依存するモータ定数について前記駆動信号を少なくとも部分的に補償する補償器を備える、制御システムと、
を備え、
前記モータが電磁平面モータであり、前記モータ入力がモータ電流であり、前記モータ出力がモータ力であり、
前記補償器は、1/K(x)(但し、K(x)は正規化された前記モータ位置に依存するモータ定数、xは前記モータ位置を表す)で表される補償値を前記駆動信号に乗算し、
前記モータ定数が、モータ位置に依存する成分と周波数に依存する成分に分割可能であり、前記モータ入力と該モータ入力に対する応答との関係に基づいて得られる、前記モータ及び該モータに装着された動力機構を含む伝達関数の前記モータ位置に依存する成分から導出される、
リソグラフィ装置。 - 前記コントローラがフィードフォワードシステムを備え、
前記フィードフォワードシステム及び前記補償器が直列に配置される、
請求項1に記載のリソグラフィ装置。 - 前記ポジショナが、前記モータの位置量を測定するセンサを備え、
前記コントローラが、前記基準信号と前記センサによって提供される信号の差分に基づいて前記モータに駆動信号を提供するフィードバックループシステムを備え、
前記補償器が、前記フィードバックループシステム内に配置される、
請求項1又は2に記載のリソグラフィ装置。 - 前記補償器が、前記基準信号に依存してモータ位置に依存する補償値を提供する、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。 - 前記補償器が、センサによって提供される信号に依存してモータ位置に依存する補償値を提供する、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。 - 前記第1の部分が前記サポートであり、
前記第2の部分が前記サポートを位置決めする位置決めデバイスである、
請求項1乃至5のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
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