JP2010093256A - 位置決めシステム、方法、及びリソグラフィ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リソグラフィ装置は、装置の第2の部分に対して装置の第1の部分を位置決めするポジショナを含み、ポジショナは、モータ入力とモータ出力との関係を定義するモータ位置に依存するモータ定数を有するモータと、モータを駆動する制御システムとを含み、制御システムは、第2の部分に対する第1の部分の所望の位置に基づいて基準信号を提供するセットポイントジェネレータと、基準信号に基づいてモータに駆動信号を提供するコントローラとを含み、コントローラは、モータ位置に依存するモータ定数について駆動信号を少なくとも部分的に補償する補償器を含む。さらに、本発明は、ポジショナと、位置決めシステムを最適化する方法と、モータ位置に依存するモータ定数を導出する方法とに関する。
【選択図】図2A
Description
1.磁石の間のギャップの変動
2.磁石のサイズの変動
3.磁界強度及び磁石の磁化方向/向きの変動
4.理想的でないコイルの巻線
5.異なるコイルの異なる巻線
6.理想的でない転流(commutation)
7.局所的な温度の影響
[0035] 1.ステップモードにおいては、パターニングデバイスサポート(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは、基本的に静止状態に維持される一方、放射ビームに与えたパターン全体が1回でターゲット部分Cに投影される(すなわち単一静止露光)。次に、別のターゲット部分Cを露光できるように、基板テーブルWTがX方向及び/又はY方向に移動される。ステップモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、単一静止露光で像が形成されるターゲット部分Cのサイズが制限される。
[0036] 2.スキャンモードにおいては、パターニングデバイスサポート(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは同期的にスキャンされる一方、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する(つまり単一動的露光)。パターニングデバイスサポート(例えばマスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影システムPSの拡大(縮小)及び像反転特性によって求めることができる。スキャンモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、単一動的露光におけるターゲット部分の(非スキャン方向における)幅が制限され、スキャン動作の長さによってターゲット部分の(スキャン方向における)高さが決まる。
[0037] 3.別のモードでは、パターニングデバイスサポート(例えばマスクテーブル)MTはプログラマブルパターニングデバイスを保持して基本的に静止状態に維持され、基板テーブルWTを移動又はスキャンさせながら、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する。このモードでは、一般にパルス状放射源を使用して、基板テーブルWTを移動させる毎に、又はスキャン中に連続する放射パルスの間で、プログラマブルパターニングデバイスを必要に応じて更新する。この動作モードは、以上で言及したようなタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを使用するマスクレスリソグラフィに容易に利用できる。
Claims (16)
- リソグラフィ装置であって、
放射ビームを調節するイルミネータと、
前記放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するサポートサポートと、
基板を保持する基板テーブルと、
前記パターン付放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影する投影システムと、
前記装置の第2の部分に対して前記装置の第1の部分を位置決めするポジショナと、を備え、前記ポジショナが、
モータ入力とモータ出力との関係を定義するモータ位置に依存するモータ定数を有するモータと、
前記モータを駆動する制御システムであって、該制御システムが、前記第2の部分に対する前記第1の部分の所望の位置に基づいて基準信号を提供するセットポイントジェネレータと、該基準信号に基づいて前記モータに駆動信号を提供するコントローラとを備え、該コントローラが、前記モータ位置に依存するモータ定数について前記駆動信号を少なくとも部分的に補償する補償器を備える、制御システムと、
を備える、リソグラフィ装置。 - 前記モータが電磁平面モータであり、前記モータ入力がモータ電流であり、前記モータ出力がモータ力である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記コントローラがフィードフォワードシステムを備え、前記フィードフォワードシステム及び前記補償器が直列に配置される、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記ポジショナが、前記モータの位置量を測定するセンサを備え、前記コントローラが、前記基準信号と前記センサによって提供される信号の差分に基づいて前記モータに駆動信号を提供するフィードバックループシステムを備え、前記補償器が、前記フィードバックループシステム内に配置される、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記補償器が、前記基準信号に依存してモータ位置に依存する補償値を提供する、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記補償器が、センサによって提供される信号に依存してモータ位置に依存する補償値を提供する、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1の部分が前記サポートであり、前記第2の部分が前記サポートを位置決めする位置決めデバイスである、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 第2のオブジェクトに対して第1のオブジェクトを位置決めするポジショナであって、
モータ入力とモータ出力との関係を定義するモータ位置に依存するモータ定数を有するモータと、
前記モータを駆動する制御システムであって、該制御システムが、前記第2のオブジェクトに対する前記第1のオブジェクトの所望の位置に基づいて基準信号を提供するセットポイントジェネレータと、該基準信号に基づいて前記モータに駆動信号を提供するコントローラとを備え、該コントローラが、前記モータ位置に依存するモータ定数について前記駆動信号を少なくとも部分的に補償する補償器を備える、制御システムと、
を備えるポジショナ。 - 第2のオブジェクトに対して第1のオブジェクトを位置決めするポジショナを最適化する方法であって、該ポジショナが、モータ入力とモータ出力との関係を定義するモータ位置に依存するモータ定数を有するモータと、該モータを駆動する制御システムとを備え、該制御システムが、前記第2のオブジェクトに対する前記第1のオブジェクトの所望の位置に基づいて基準信号を提供するセットポイントジェネレータと、該基準信号に基づいて前記モータに駆動信号を提供するコントローラとを備え、該コントローラが、前記モータ位置に依存するモータ定数についてモータ位置に依存する補償値で前記駆動信号を少なくとも部分的に補償する補償器を備え、前記方法が、
a)前記基準信号及びモータ位置に依存する補償値を前記ポジショナに提供し、前記基準信号とセンサによって提供される信号の差分である対応するエラー信号を測定すること、
b)前記ポジショナのモデルを導出して前記モータ位置に依存する補償値の変化の前記エラー信号への影響を予測すること、
c)前記モデル、前記基準信号、前記位置に依存する補償値、及び前記エラー信号を用いて前記エラー信号を低減させる前記モータ位置に依存する補償値の変化を予測すること、
を含む、方法。 - 前記補償器が、前記位置に依存する補償値の変化と前記エラー信号との線形な関係を得るパラメータで記述され、c)にて、前記基準信号と前記エラー信号が前記エラー信号を低減させる前記モータ位置に依存する補償値の変化を予想する前記モデルの逆数に提供される、請求項9に記載の方法。
- 一定の時間間隔後にa)〜c)が繰り返されて前記ポジショナ内の経時的な遅い変化に適合する、請求項9に記載の方法。
- 第2のオブジェクトに対して第1のオブジェクトを位置決めするポジショナのモータ位置に依存する補償値を導出する方法であって、前記ポジショナが、モータ入力とモータ出力との関係を定義するモータ位置に依存するモータ定数を有するモータと、該モータを駆動する制御システムとを備え、該制御システムが、前記第2のオブジェクトに対する前記第1のオブジェクトの所望の位置に基づいて基準信号を提供するセットポイントジェネレータと、該基準信号に基づいて前記モータに駆動信号を提供するコントローラとを備え、該コントローラが、前記モータ位置に依存するモータ定数について前記モータ位置に依存する補償値で前記駆動信号を少なくとも部分的に補償する補償器を備え、前記方法が、
a)異なるモータ位置で前記ポジショナに入力信号を提供すること、
b)前記異なるモータ位置でセンサを用いて前記モータの位置量を測定することで前記入力信号に対する前記モータの応答を測定すること、
c)前記異なるモータ位置で前記入力信号とそれに対応する応答との関係を決定すること、
d)前記モータ位置に依存する補償値が好ましい関係になるように、入力信号とそれに対応する応答との間の前記決定された関係と、入力信号とモータの応答との間の前記好ましい関係から前記モータ位置に依存する補償値を導出すること、
を含む方法。 - 入力信号とそれに対応する応答との前記関係が、前記ポジショナと前記モータとの動力学を含む、請求項12に記載の方法。
- a)における前記入力信号が、単一励起周波数で生起する、請求項12に記載の方法。
- モータのモータ位置に依存するモータ定数を導出する方法であって、
a)異なるモータ位置で入力信号を提供すること、
b)前記異なるモータ位置でセンサを用いて前記モータの位置量を測定することで前記入力信号に対する前記モータの応答を測定すること、
c)前記異なるモータ位置で前記入力信号とそれに対応する応答との関係を決定すること、
d)前記関係をモータ位置に依存する成分と周波数に依存する成分とに分割すること、
e)前記モータ位置に依存する成分から前記モータ位置に依存するモータ定数を導出すること、
を含む方法。 - a)における前記入力信号が、単一励起周波数で生起する、請求項15に記載の方法。
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