JP2019508001A - 電磁モータ及びステージ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[001] 本出願は、2016年2月12日に出願された欧州特許出願第16155377.1号及び2016年4月28日に出願された欧州特許出願第16167411.4号の優先権を主張する。これらは参照により全体が本願に含まれる。
コイルシステムと、
コイルシステムに対して平行に、第1の主駆動方向に移動可能な磁石システムと、
を備え、
コイルシステムは、磁石システムと相互作用する磁界を発生して、第1の主駆動方向の駆動力により、磁石システムをコイルシステムに対して移動させ、
コイルシステムは複数のコイルアセンブリを含み、各コイルアセンブリは第1の主駆動方向の第1の寸法を有し、第1の主駆動方向で見た場合に隣接するコイルアセンブリ間に非ゼロの第1のギャップが存在し、
磁石システムは磁石のアレイを有する磁石アセンブリを含み、磁石アセンブリにおける隣接した磁石は反対の極性を有し、
磁石アセンブリは、各コイルアセンブリの第1の寸法のJ倍に第1のギャップのJ/2倍を加えたものと実質的に等しい第1の主駆動方向の第1の寸法を有し、Jは正の整数である、多相モータが提供される。
第1の方向の磁気ピッチを有する交番磁界を発生するように構成された磁石アセンブリと、
磁石アセンブリと共働して第1の方向の第1の力を発生するように構成された複数のコイルを含むコイルアセンブリであって、複数のコイルは第1のコイルセット及び第2のコイルセットに配置され、第1の方向における第1のコイルセットの第1のコイルピッチは第1の方向における第2のコイルセットの第2のコイルピッチとは異なる、コイルアセンブリと、
を備える電磁モータが提供される。
第1の方向の第1の磁気ピッチ及び第2の方向の第2の磁気ピッチを有する2次元交番磁界を発生するように構成された磁石アセンブリと、
磁石アセンブリと共働して第1の方向の第1の力及び第2の方向の第2の力を発生するように構成されたコイルアセンブリであって、第1の力を発生するための複数の第1のコイルを含む第1のコイルセット及び第2の力を発生するための複数の第2のコイルを含む第2のコイルセットを含み、第1の磁気ピッチに対する第1のコイルセットの第1の方向の第1のコイルピッチの比R1は、第2の磁気ピッチに対する第2のコイルセットの第2の方向の第2のコイルピッチの比R2とは異なる、コイルアセンブリと、
を備える電磁モータが提供される。
オブジェクトを保持するように構成されたオブジェクトテーブルと、
本発明に従った1つ以上の電磁モータであって、オブジェクトテーブルを変位させるように構成された1つ以上の電磁モータと、
を備えるステージ装置が提供される。
放射ビームを調節するように構成された照明システムと、
パターニングデバイスを支持するように構築されたサポートであって、パターニングデバイスは放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付き放射ビームを形成することができる、サポートと、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
パターン付き放射ビームを基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、を備え、
装置は更に、本発明に従った、あるいはサポート又は基板テーブルを位置決めするステージ装置を備えるリソグラフィ装置が提供される。
Claims (28)
- 第1の方向の磁気ピッチを有する交番磁界を発生するように構成された磁石アセンブリと、
前記磁石アセンブリと共働して前記第1の方向の第1の力を発生するように構成された複数のコイルを含むコイルアセンブリであって、前記複数のコイルは第1のコイルセット及び第2のコイルセットに配置され、前記第1の方向における前記第1のコイルセットの第1のコイルピッチは前記第1の方向における前記第2のコイルセットの第2のコイルピッチとは異なる、コイルアセンブリと、
を備える、電磁モータ。 - 前記第1のコイルセットの前記コイルは、第1の3相電力供給によって給電されるように構成された1つ以上の第1のコイルトリプレットに配置されている、請求項1に記載の電磁モータ。
- 前記第2コイルセットの前記コイルは、第2の3相電力供給によって給電されるように構成された1つ以上の第2のコイルトリプレットに配置されている、請求項1又は2に記載の電磁モータ。
- 前記第1のコイルセットの前記コイルは、1つ以上の第1のコイルトリプレットに配置され、
前記第2のコイルセットの前記コイルは、1つ以上の第2のコイルトリプレットに配置され、
前記1つ以上の第1のコイルトリプレット及び前記1つ以上の第2のコイルトリプレットは、3相電力供給によって給電されるように構成され、これによって、前記3相電力供給の同一の相によって給電されるように構成された前記1つ以上の第1のコイルトリプレット及び前記1つ以上の第2のコイルトリプレットのコイルは直列に接続されている、請求項1に記載の電磁モータ。 - 前記1つ以上の第1のコイルトリプレットのコイルの巻線の断面は、前記1つ以上の第2のコイルトリプレットのコイルの巻線の断面と実質的に等しい、請求項4に記載の電磁モータ。
- 前記1つ以上の第1のコイルトリプレットのコイルの巻線の高さは、前記1つ以上の第2のコイルトリプレットのコイルの巻線の高さと実質的に等しい、請求項1から5のいずれか一項に記載の電磁モータ。
- 前記磁石アセンブリは、前記第1の方向の前記磁気ピッチを有する前記交番磁界を発生するように構成された複数の永久磁石を含む、請求項1から6のいずれか一項に記載の電磁モータ。
- Pc1<Pc2<2Pc1であり、ここで、
Pc1=前記第1のコイルピッチ、
Pc2=前記第2のコイルピッチである、請求項1から7のいずれか一項に記載の電磁モータ。 - Pc1=4/3Pm、
Pc2=5/3Pmであり、ここで、
Pc1=前記第1のコイルピッチ、
Pc2=前記第2のコイルピッチ、
Pm=前記磁気ピッチである、請求項1から8のいずれか一項に記載の電磁モータ。 - 第1の方向の第1の磁気ピッチ及び第2の方向の第2の磁気ピッチを有する2次元交番磁界を発生するように構成された磁石アセンブリと、
前記磁石アセンブリと共働して前記第1の方向の第1の力及び前記第2の方向の第2の力を発生するように構成されたコイルアセンブリであって、前記第1の力を発生するための複数の第1のコイルを含む第1のコイルセット及び前記第2の力を発生するための複数の第2のコイルを含む第2のコイルセットを含み、前記第1の磁気ピッチに対する前記第1のコイルセットの前記第1の方向の第1のコイルピッチの比R1は、前記第2の磁気ピッチに対する前記第2のコイルセットの前記第2の方向の第2のコイルピッチの比R2とは異なる、コイルアセンブリと、
を備える、電磁モータ。 - Pm1=Pm2=Pmであり、ここで、
Pm1=前記第1の磁気ピッチ、
Pm2=前記第2の磁気ピッチ、
Pm=磁気ピッチである、請求項10に記載の電磁モータ。 - Pc1=4/3Pm、
Pc2=5/3Pmである、請求項11に記載の電磁モータ。 - 前記第1のコイルセットの前記複数の第1のコイルは、第1の3相電力供給によって給電されるように構成された1つ以上の第1のコイルトリプレットに配置されている、請求項10から12のいずれか一項に記載の電磁モータ。
- 前記第2のコイルセットの前記複数の第2のコイルは、第2の3相電力供給によって給電されるように構成された1つ以上の第2のコイルトリプレットに配置されている、請求項10から13のいずれか一項に記載の電磁モータ。
- オブジェクトを位置決めするように構成されたステージ装置であって、
前記オブジェクトを保持するように構成されたオブジェクトテーブルと、
請求項1から14のいずれか一項に記載の1つ以上の電磁モータであって、前記オブジェクトテーブルを変位させるように構成された、1つ以上の電磁モータと、
を備える、ステージ装置。 - 放射ビームを調節するように構成された照明システムと、
パターニングデバイスを支持するように構築されたサポートであって、前記パターニングデバイスは前記放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付き放射ビームを形成することができる、サポートと、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
前記パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、を備え、
更に、前記サポート又は前記基板テーブルを位置決めするための請求項15に記載のステージ装置を備える、
リソグラフィ装置。 - パターニングデバイスから基板にパターンを転写することを含むデバイス製造方法であって、
前記パターンを転写することは、請求項15に記載のステージ装置を用いて前記パターニングデバイス又は前記基板を位置決めすることを含む、デバイス製造方法。 - コイルシステムと、
前記コイルシステムに対して平行に、第1の主駆動方向に移動可能な磁石システムと、
を備え、
前記コイルシステムは、前記磁石システムと相互作用する磁界を発生して、前記第1の主駆動方向の駆動力により、前記磁石システムを前記コイルシステムに対して移動させ、
前記コイルシステムは、複数のコイルアセンブリを含み、各コイルアセンブリは、前記第1の主駆動方向の第1の寸法を有し、前記第1の主駆動方向で見た場合に隣接するコイルアセンブリ間に非ゼロの第1のギャップが存在し、
前記磁石システムは、磁石のアレイを有する磁石アセンブリを含み、前記磁石アセンブリにおける隣接した磁石は、反対の極性を有し、
前記磁石アセンブリは、各コイルアセンブリの前記第1の寸法のJ倍に前記第1のギャップのJ/2倍を加えたものと実質的に等しい前記第1の主駆動方向の第1の寸法を有し、Jは正の整数である、
多相モータ。 - 前記コイルシステムに対向して配置された別のコイルシステムを更に備え、
前記磁石システムは、対称構成で前記コイルシステムと前記別のコイルシステムとの間に配置されている、請求項18に記載のモータ。 - 前記モータは、3相モータである、請求項18に記載のモータ。
- 各コイルアセンブリは、少なくとも1つの多相コイルを含む、請求項18に記載のモータ。
- 各コイルアセンブリは、1つ以上の3相コイルを含む、請求項21に記載のモータ。
- 前記モータは、リニアモータである、請求項18に記載のモータ。
- 前記磁石システムは、前記コイルシステムに対して平行に、前記第1の主駆動方向に垂直な第2の主駆動方向に移動可能であり、各コイルアセンブリは、前記第2の主駆動方向の第2の寸法を有し、前記第2の主駆動方向で見た場合に隣接するコイルアセンブリ間に非ゼロの第2のギャップが存在し、
前記磁石アセンブリは、各コイルアセンブリの前記第2の寸法のK倍に前記第2のギャップのK/2倍を加えたものと実質的に等しい前記第2の主駆動方向の第2の寸法を有し、Kは正の整数である、請求項18に記載のモータ。 - 請求項18に記載の多相モータを備える、リソグラフィ装置。
- 放射ビームを調節するように構成された照明システムと、
パターニングデバイスを支持するように構築されたサポートであって、前記パターニングデバイスは前記放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付き放射ビームを形成することができる、サポートと、
軸に対して平行な1つ以上のコラムに配置された複数のターゲット部分を有する基板を保持するように構築された基板テーブルと、
前記パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
前記基板テーブル又は前記サポートを位置決めするためのポジショナであって、請求項18に記載のモータを含む、ポジショナと、
を更に備える、請求項25に記載のリソグラフィ装置。 - 前記ポジショナは、粗動位置決めのためのロングストロークモジュール及び微動位置決めのためのショートストロークモジュールを含み、
前記ロングストロークモジュールは、請求項1に記載のモータを含む、請求項25に記載のリソグラフィ装置。 - 請求項18に記載の多相モータを使用する、デバイス製造方法。
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Families Citing this family (4)
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---|---|---|---|---|
WO2019076525A1 (en) * | 2017-10-17 | 2019-04-25 | Asml Netherlands B.V. | ENGINE, TWO-STAGE STAGE AND LITHOGRAPHIC APPARATUS |
CN109660064B (zh) * | 2019-01-29 | 2024-05-17 | 苏州隐冠半导体技术有限公司 | 一种基于混合位移传感器和平面电机的位移装置 |
CN111835177A (zh) * | 2019-04-17 | 2020-10-27 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 磁浮电机及其控制方法 |
CN116961356B (zh) * | 2023-09-19 | 2023-12-12 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种可提供动子z向浮力的长行程运动电机 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000278931A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-10-06 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータ |
JP2000333437A (ja) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータ |
US20100238425A1 (en) * | 2009-03-23 | 2010-09-23 | Nikon Corporation | Coil Variations for an Oval Coil Planar Motor |
JP2010213546A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Yaskawa Electric Corp | キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ |
JP2012060852A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Yaskawa Electric Corp | マルチヘッド形コア付きリニアモータ |
JP2014531189A (ja) * | 2011-10-27 | 2014-11-20 | ザ・ユニバーシティ・オブ・ブリティッシュ・コロンビア | 変位装置及び変位装置を製造、使用、制御する方法 |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0813184B2 (ja) * | 1985-07-25 | 1996-02-07 | 日立金属株式会社 | リニアモータ |
JP2638419B2 (ja) | 1993-01-31 | 1997-08-06 | 株式会社島津製作所 | Mri装置の直交型rfコイル |
US6208045B1 (en) * | 1998-11-16 | 2001-03-27 | Nikon Corporation | Electric motors and positioning devices having moving magnet arrays and six degrees of freedom |
US6147421A (en) * | 1998-11-16 | 2000-11-14 | Nikon Corporation | Platform positionable in at least three degrees of freedom by interaction with coils |
JP4433523B2 (ja) * | 1999-09-14 | 2010-03-17 | 株式会社安川電機 | コアレスリニアモータ |
TW498368B (en) * | 2000-05-23 | 2002-08-11 | Koninkl Philips Electronics Nv | Displacement device |
EP1311056B1 (en) * | 2000-06-19 | 2010-03-17 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Linear motor |
US7170202B2 (en) | 2003-04-11 | 2007-01-30 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Linear motor |
JP4577491B2 (ja) * | 2004-10-26 | 2010-11-10 | 株式会社安川電機 | ムービングコイル形リニアモータ |
CN2894058Y (zh) * | 2006-04-06 | 2007-04-25 | 深圳市大族精密机电有限公司 | 无铁芯动圈式直线电机 |
JP2008005665A (ja) | 2006-06-26 | 2008-01-10 | Hitachi Ltd | 円筒リニアモータ及びそれを用いた車両 |
US8115350B2 (en) | 2007-05-09 | 2012-02-14 | Sumida Corporation | Oscillation type electromagnetic power generator and method for manufacturing oscillation type electromagnetic power generator |
WO2008147175A1 (en) * | 2007-05-25 | 2008-12-04 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
TW200846832A (en) * | 2007-05-25 | 2008-12-01 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
EP2221668B1 (en) * | 2009-02-24 | 2021-04-14 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and positioning assembly |
CN101552523A (zh) * | 2009-05-19 | 2009-10-07 | 哈尔滨工业大学 | 高推力密度圆筒型直线电机 |
JP5574173B2 (ja) | 2010-03-18 | 2014-08-20 | 株式会社安川電機 | 永久磁石形同期リニアモータおよびそれを用いたテーブル送り装置 |
JP5741573B2 (ja) * | 2010-03-23 | 2015-07-01 | 日立金属株式会社 | リニアモータ |
NL2006714A (en) * | 2010-06-07 | 2011-12-08 | Asml Netherlands Bv | Displacement device, lithographic apparatus and positioning method. |
EP2492928A3 (en) | 2011-02-22 | 2017-08-30 | ASML Netherlands BV | Electromagnetic actuator, stage apparatus and lithographic apparatus |
JP5812680B2 (ja) | 2011-05-17 | 2015-11-17 | 三菱重工業株式会社 | リニアバーニアモータ |
NL2008696A (en) | 2011-05-25 | 2012-11-27 | Asml Netherlands Bv | A multi-stage system, a control method therefor, and a lithographic apparatus. |
DE102011056249A1 (de) | 2011-12-09 | 2013-06-13 | Thyssenkrupp Transrapid Gmbh | Linear-Synchronmotor |
WO2013112759A1 (en) * | 2012-01-25 | 2013-08-01 | Nikon Corporation | Planar motor with asymmetrical magnet arrays |
US20130258307A1 (en) * | 2012-02-16 | 2013-10-03 | Nikon Corporation | Magnet Array Configuration for Higher Efficiency Planar Motor |
JP5921005B2 (ja) * | 2012-05-02 | 2016-05-24 | 三菱電機エンジニアリング株式会社 | 振動発電機 |
KR101553381B1 (ko) * | 2013-09-26 | 2015-09-16 | 효성전기주식회사 | 모터의 코일 권선구조 |
TWM486849U (zh) * | 2014-05-21 | 2014-09-21 | Mantoni Shoses Internat Co Ltd | 移動式廣告裝置 |
NL2015092B1 (en) * | 2015-07-06 | 2017-01-30 | Ding Chenyang | Displacement device. |
-
2017
- 2017-01-05 JP JP2018535106A patent/JP6697564B2/ja active Active
- 2017-01-05 CN CN201780010621.XA patent/CN108604853B/zh active Active
- 2017-01-05 WO PCT/EP2017/050199 patent/WO2017137181A1/en active Application Filing
-
2022
- 2022-03-09 US US17/690,203 patent/US11837931B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000278931A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-10-06 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータ |
JP2000333437A (ja) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータ |
JP2010213546A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Yaskawa Electric Corp | キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ |
US20100238425A1 (en) * | 2009-03-23 | 2010-09-23 | Nikon Corporation | Coil Variations for an Oval Coil Planar Motor |
JP2012060852A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Yaskawa Electric Corp | マルチヘッド形コア付きリニアモータ |
JP2014531189A (ja) * | 2011-10-27 | 2014-11-20 | ザ・ユニバーシティ・オブ・ブリティッシュ・コロンビア | 変位装置及び変位装置を製造、使用、制御する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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