JP2019517762A - リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[001] 本出願は、2016年6月9日出願の欧州特許出願16173627.7の優先権を主張し、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
第1の方向に配列され、磁石アセンブリの外側に、第1の方向に空間的に変化する磁界分布を生成するように構成された永久磁石配列と、
永久磁石配列が取り付けられた強磁性部材と、
を含む磁石アセンブリと、
空間的に変化する磁界分布内に少なくとも部分的に配置され、磁石アセンブリと協働して電磁力を生成するように構成されたコイルアセンブリと、
を備えた電磁アクチュエータであって、
永久磁石配列の、第1の方向に垂直な第2の方向の厚さが、第1の方向に沿った1つ以上の第1の位置における最小磁石厚さと、第1の方向に沿った1つ以上の第2の位置における最大磁石厚さの間で第1の方向に沿って変化し、強磁性部材の第2の方向の厚さが、1つ以上の第2の位置における最小部材厚さと、1つ以上の第1の位置における最大部材厚さの間で第1の方向に沿って変化し、これにより1つ以上の第2の位置における最大磁石厚さと最小部材厚さの合計が、1つ以上の第1の位置における最小磁石厚さと最大部材厚さの合計以下となる、電磁アクチュエータが提供される。
第1の方向に配列され、磁石アセンブリの外側に、第1の方向に空間的に変化する磁界分布を生成するように構成された永久磁石配列と、
永久磁石配列が取り付けられた強磁性部材と、
を含む磁石アセンブリと、
空間的に変化する磁界分布内に少なくとも部分的に配置され、磁石アセンブリと協働して電磁力を生成するように構成されたコイルアセンブリであって、第1の方向に配置された複数のコイルを含み、多相電源によって電力供給されるように構成されたコイルアセンブリと、
を備えた電磁リニアモータであって、
永久磁石配列の、第1の方向に垂直な第2の方向の厚さが、第1の方向に沿った1つ以上の第1の位置における最小磁石厚さと、第1の方向に沿った1つ以上の第2の位置における最大磁石厚さの間で第1の方向に沿って変化し、強磁性部材の第2の方向の厚さが、1つ以上の第2の位置における最小部材厚さと、1つ以上の第1の位置における最大部材厚さの間で第1の方向に沿って変化し、これにより1つ以上の第2の位置における最大磁石厚さと最小部材厚さの合計が、1つ以上の第1の位置における最小磁石厚さと最大部材厚さの合計以下となる、電磁リニアモータが提供される。
第1の方向及び第2の方向に配列され、磁石アセンブリの外側に、第1の方向及び第2の方向に空間的に変化する磁界分布を生成するように構成された永久磁石の二次元配列と、
永久磁石配列が取り付けられた強磁性部材と、
を含む磁石アセンブリと、
空間的に変化する磁界分布内に少なくとも部分的に配置され、磁石アセンブリと協働して力を生成するように構成されたコイルアセンブリであって、
第1の方向に配置され、第1の多相電源により電力供給されるように構成された第1の複数のコイルと、
第2の方向に配置され、第2の多相電源により電力供給されるように構成された第2の複数のコイルと、を含むコイルアセンブリと、
を備えた電磁平面モータであって、
永久磁石の二次元配列の、第1の方向及び第2の方向に垂直な第3の方向の厚さが、第1の方向に沿った1つ以上の第1の位置における最小磁石厚さと、第1の方向に沿った1つ以上の第2の位置における最大磁石厚さの間で第1の方向に沿って変化し、
永久磁石の二次元配列の第3の方向の厚さが、第2の方向に沿った1つ以上の第3の位置における最小磁石厚さと、第2の方向に沿った1つ以上の第4の位置における最大磁石厚さの間で第2の方向に沿って変化し、
強磁性部材の第3の方向の厚さが、1つ以上の第2の位置における最小部材厚さと、1つ以上の第1の位置における最大部材厚さの間で第1の方向に沿って変化し、
強磁性部材の第3の方向の厚さが、1つ以上の第4の位置における最小部材厚さと、1つ以上の第3の位置における最大部材厚さの間で第2の方向に沿って変化し、
これにより1つ以上の第2の位置における最大磁石厚さと最小部材厚さの合計が、1つ以上の第1の位置における最小磁石厚さと最大部材厚さの合計以下となり、
1つ以上の第4の位置における最大磁石厚さと最小部材厚さの合計が、1つ以上の第3の位置における最小磁石厚さと最大部材厚さの合計以下となる、電磁平面モータが提供される。
放射ビームを調整するように構成された照明システムと、
放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付与された放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するように構築されたサポートと、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
パターン付与された放射ビームを基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
を備えるリソグラフィ装置であって、
装置がさらに、基板又は基板テーブルを位置決めするための、本発明に係るアクチュエータ又は本発明に係るモータを備えるリソグラフィ装置が提供される。
代替案(a)は磁石アセンブリ220及び320と類似の構造を有するが、磁化方向が異なり、磁化方向が第2の方向と平行である必要がないことを示している。
代替案(b)、(c)、(d)では、1つ以上の追加の磁石が使用される。これらの代替案は、使用される磁化方向について、ハルバッハ配列として知られているものの例と考えることができる。ハルバッハ永久磁石配列は、文献では永久磁石配列と呼ばれ、これにより配列の永久磁石は空間的に回転する磁化パターンを有する。示されている実施形態では、永久磁石配列と強磁性部材とを合わせた第2の方向すなわちY方向の厚さは、第1の方向すなわちX方向に沿って実質的に一定である。示されている実施形態では、永久磁石配列620のY方向の厚さは、第1の方向に沿った第1の位置x1における最小磁石厚さと第2の位置x2における最大磁石厚さの間でX方向に沿って変化し、強磁性部材のY方向の厚さは、第2の位置x2における最小部材厚さと第1の位置x1における最大部材厚さの間でX方向に沿って変化し、これにより第2の位置x2における最大磁石厚さと最小部材厚さの合計は、第1の位置x1における最小磁石厚さと最大部材厚さの合計に実質的に等しい。つまり、第2の位置x2と第1の位置x1の間の強磁性部材610の厚さの増加は、第2の位置x2と第1の位置x1の間の永久磁石配列620の厚さの減少と実質的に一致する。
第1の方向すなわちX方向及び第2の方向すなわちY方向に配列され、磁石アセンブリの外側に、第1の方向及び第2の方向に空間的に変化する磁界分布を生成するように構成された永久磁石の二次元配列1110と、
図11の右部及び下部の断面図A−A,B−B及び線1160を通る断面図に示された、永久磁石配列が取り付けられた強磁性部材1120と、
を含む磁石アセンブリを備える。
第1の力方向に力を生成するように配置され、第1の多相電源により電力供給されるように構成された第1の複数のコイルと、
第2の力方向に力を生成するように配置され、第2の多相電源により電力供給されるように構成された第2の複数のコイルと、
を含む。
永久磁石の二次元配列の第3の方向の厚さは、第2の方向に沿った1つ以上の第3の位置における最小磁石厚さと、第2の方向に沿った1つ以上の第4の位置における最大磁石厚さの間で第2の方向に沿って変化し、
強磁性部材の第3の方向の厚さは、1つ以上の第2の位置における最小部材厚さと、1つ以上の第1の位置における最大部材厚さの間で第1の方向に沿って変化し、
強磁性部材の第3の方向の厚さは、1つ以上の第4の位置における最小部材厚さと、1つ以上の第3の位置における最大部材厚さの間で第2の方向に沿って変化し、
これにより、1つ以上の第2の位置における最大磁石厚さと最小部材厚さの合計は、1つ以上の第1の位置における最小磁石厚さと最大部材厚さの合計以下となり、
1つ以上の第4の位置における最大磁石厚さと最小部材厚さの合計は、1つ以上の第3の位置における最小磁石厚さと最大部材厚さの合計以下となる。
永久磁石配列の永久磁石の厚さが、永久磁石の第2の方向に沿った磁化の成分の大きさに比例するように選択される可能性がある。すなわち第2の方向に沿った大きな磁化成分を有する磁石は比較的厚い可能性がある。磁化成分は磁化又は磁化ベクトルの第1又は第2の方向への投影を指すことに留意されたい。
永久磁石配列の永久磁石の厚さが、永久磁石の第1の方向に沿った磁化成分の大きさに反比例するように選択される可能性がある。
第1の方向に沿った位置における強磁性部材の厚さが、永久磁石の第1の方向に沿った磁化成分の大きさに比例するように選択される可能性がある。すなわち磁石が第1の方向に沿った比較的大きな磁気成分を有する(例えばハルバッハ磁石)第1の方向に沿った位置において、強磁性部材は比較的厚い方がよい。
Claims (21)
- 第1の方向に配列され、磁石アセンブリの外側に、前記第1の方向に空間的に変化する磁界分布を生成するように構成された永久磁石配列と、
前記永久磁石配列が取り付けられた強磁性部材と、
を含む磁石アセンブリと、
前記空間的に変化する磁界分布内に少なくとも部分的に配置され、前記磁石アセンブリと協働して電磁力を生成するように構成されたコイルアセンブリと、
を備えた電磁アクチュエータであって、
前記永久磁石配列の、前記第1の方向に垂直な第2の方向の厚さが、前記第1の方向に沿った1つ以上の第1の位置における最小磁石厚さと、前記第1の方向に沿った1つ以上の第2の位置における最大磁石厚さの間で前記第1の方向に沿って変化し、前記強磁性部材の前記第2の方向の厚さが、前記1つ以上の第2の位置における最小部材厚さと、前記1つ以上の第1の位置における最大部材厚さの間で前記第1の方向に沿って変化し、これにより前記1つ以上の第2の位置における前記最大磁石厚さと前記最小部材厚さの合計が、前記1つ以上の第1の位置における前記最小磁石厚さと前記最大部材厚さの合計以下となる、電磁アクチュエータ。 - 前記磁石配列と前記強磁性部材とを合わせた前記第2の方向の厚さが、前記第1の方向に沿って実質的に一定である、請求項1に記載の電磁アクチュエータ。
- 前記永久磁石配列がハルバッハ永久磁石配列を含む、請求項1又は2に記載の電磁アクチュエータ。
- 前記永久磁石配列の前記コイルアセンブリに面している外面が実質的に平らな面である、請求項1から3のいずれかに記載の電磁アクチュエータ。
- 前記強磁性部材の前記第2の方向に垂直な外面が実質的に平らな面である、請求項1から4のいずれかに記載の電磁アクチュエータ。
- 前記永久磁石配列の前記厚さが前記第1の方向に沿って連続的に変化する、請求項1から5のいずれかに記載の電磁アクチュエータ。
- 前記永久磁石配列の前記厚さが前記第1の方向に沿って区分的線形に変化する、請求項6に記載の電磁アクチュエータ。
- 前記永久磁石配列の前記厚さが前記第1の方向に沿って不連続的に変化する、請求項1から5のいずれかに記載の電磁アクチュエータ。
- 前記永久磁石配列が、実質的に前記第2の方向に磁化された第1及び第2の永久磁石と、実質的に前記第1の方向に磁化され、前記第1及び第2の永久磁石の間に配置された第3の永久磁石とを含み、前記第3の永久磁石の厚さが、前記第1の永久磁石の厚さ及び前記第2の永久磁石の厚さより小さい、請求項1から8のいずれかに記載の電磁アクチュエータ。
- 前記永久磁石配列の永久磁石の厚さが、前記第2の方向に沿った前記永久磁石の磁化成分の大きさに比例する、請求項1から9のいずれかに記載の電磁アクチュエータ。
- 前記永久磁石配列の永久磁石の厚さが、前記第1の方向に沿った前記永久磁石の磁化成分の大きさに反比例する、請求項1から10のいずれかに記載の電磁アクチュエータ。
- 前記コイルアセンブリの反対側に配置されたさらなる磁石アセンブリをさらに備える、請求項1から11のいずれかに記載の電磁アクチュエータ。
- 前記さらなる磁石アセンブリが、前記磁石アセンブリと協働して前記第1の方向に沿って前記空間的に変化する磁界分布を生成するように構成される、請求項12に記載の電磁アクチュエータ。
- 前記コイルアセンブリが、前記磁石アセンブリと前記さらなる磁石アセンブリの間の空間に少なくとも部分的に配置される、請求項12又は13に記載の電磁アクチュエータ。
- 前記さらなる磁石アセンブリが、
第1の方向に配列され、前記さらなる磁石アセンブリの外側に、前記第1の方向に空間的に変化する磁界分布を生成するように構成されたさらなる永久磁石配列と、
前記さらなる永久磁石配列が取り付けられたさらなる強磁性部材と、を含み、
前記さらなる永久磁石配列の、前記第1の方向に垂直な第2の方向の厚さが、前記第1の方向に沿った前記第1の位置における前記最小磁石厚さと、前記第1の方向に沿った前記第2の位置における前記最大磁石厚さの間で前記第1の方向に沿って変化し、前記さらなる強磁性部材の前記第2の方向の厚さが、前記第2の位置における前記最小部材厚さと、前記第1の位置における前記最大部材厚さの間で前記第1の方向に沿って変化する、請求項12、13又は14に記載の電磁アクチュエータ。 - 前記1つ以上の第1の位置及び前記1つ以上の第2の位置が、前記第1の方向に沿って交互に配置される、請求項1から15のいずれかに記載の電磁アクチュエータ。
- 第1の方向に配列され、磁石アセンブリの外側に、前記第1の方向に空間的に変化する磁界分布を生成するように構成された永久磁石配列と、
前記永久磁石配列が取り付けられた強磁性部材と、
を含む磁石アセンブリと、
前記空間的に変化する磁界分布内に少なくとも部分的に配置され、前記磁石アセンブリと協働して電磁力を生成するように構成されたコイルアセンブリであって、前記第1の方向に配置された複数のコイルを含み、多相電源によって電力供給されるように構成されたコイルアセンブリと、
を備えた電磁リニアモータであって、
前記永久磁石配列の、前記第1の方向に垂直な第2の方向の厚さが、前記第1の方向に沿った1つ以上の第1の位置における最小磁石厚さと、前記第1の方向に沿った1つ以上の第2の位置における最大磁石厚さの間で前記第1の方向に沿って変化し、前記強磁性部材の前記第2の方向の厚さが、前記1つ以上の第2の位置における最小部材厚さと、前記1つ以上の第1の位置における最大部材厚さの間で前記第1の方向に沿って変化し、これにより前記1つ以上の第2の位置における前記最大磁石厚さと前記最小部材厚さの合計が、前記1つ以上の第1の位置における前記最小磁石厚さと前記最大部材厚さの合計以下となる、電磁リニアモータ。 - 第1の方向及び第2の方向に配列され、磁石アセンブリの外側に、前記第1の方向及び前記第2の方向に空間的に変化する磁界分布を生成するように構成された永久磁石の二次元配列と、
前記永久磁石配列が取り付けられた強磁性部材と、
を含む磁石アセンブリと、
前記空間的に変化する磁界分布内に少なくとも部分的に配置され、前記磁石アセンブリと協働して力を生成するように構成されたコイルアセンブリであって、
前記第1の方向に配置され、第1の多相電源により電力供給されるように構成された第1の複数のコイルと、
前記第2の方向に配置され、第2の多相電源により電力供給されるように構成された第2の複数のコイルと、を含むコイルアセンブリと、
を備えた電磁平面モータであって、
前記永久磁石の二次元配列の、前記第1の方向及び前記第2の方向に垂直な第3の方向の厚さが、前記第1の方向に沿った1つ以上の第1の位置における最小磁石厚さと、前記第1の方向に沿った1つ以上の第2の位置における最大磁石厚さの間で前記第1の方向に沿って変化し、
前記永久磁石の二次元配列の前記第3の方向の厚さが、前記第2の方向に沿った1つ以上の第3の位置における最小磁石厚さと、前記第2の方向に沿った1つ以上の第4の位置における最大磁石厚さの間で前記第2の方向に沿って変化し、
前記強磁性部材の前記第3の方向の厚さが、前記1つ以上の第2の位置における最小部材厚さと、前記1つ以上の第1の位置における最大部材厚さの間で前記第1の方向に沿って変化し、
前記強磁性部材の前記第3の方向の厚さが、前記1つ以上の第4の位置における最小部材厚さと、前記1つ以上の第3の位置における最大部材厚さの間で前記第2の方向に沿って変化し、
これにより前記1つ以上の第2の位置における前記最大磁石厚さと前記最小部材厚さの合計が、前記1つ以上の第1の位置における前記最小磁石厚さと前記最大部材厚さの合計以下となり、
前記1つ以上の第4の位置における前記最大磁石厚さと前記最小部材厚さの合計が、前記1つ以上の第3の位置における前記最小磁石厚さと前記最大部材厚さの合計以下となる、電磁平面モータ。 - 前記永久磁石の二次元配列と前記強磁性部材とを合わせた前記第3の方向の厚さが、前記第1の方向及び前記第2の方向に沿って実質的に一定である、請求項18に記載の電磁平面モータ。
- 前記1つ以上の第1の位置及び前記1つ以上の第2の位置が、前記第1の方向に沿って交互に配置され、前記1つ以上の第3の位置及び前記1つ以上の第4の位置が、前記第2の方向に沿って交互に配置される、請求項18又は19に記載の電磁平面モータ。
- 放射ビームを調整するように構成された照明システムと、
前記放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付与された放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するように構築されたサポートと、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
前記パターン付与された放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
を備えるリソグラフィ装置であって、
前記装置がさらに、前記基板又は前記基板テーブルを位置決めするための、請求項1から16のいずれかに記載のアクチュエータ又は請求項17から20のいずれかに記載のモータを備える、リソグラフィ装置。
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