JP2009160588A - 洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体を圧送する加圧部1。液体に気体を注入する気体注入部2。気体を注入された液体が加圧部1で圧送されることによる加圧で液体に気体を溶解させる加圧溶解部3。加圧溶解部3で気体を溶解させた気体溶解液の圧力を、気体溶解液の流入側から流出側に向かって順次大気圧まで減圧する減圧部4(加圧溶解部3から気体溶解液を送り出す流路6に設けられた複数の圧力調整弁7で構成)。減圧部4で減圧された気体溶解液を吐出する吐出部12。これらを備え、加圧部1、気体注入部2、加圧溶解部3の各部を連続的に運転させて、減圧部4に気体溶解液を連続的に供給し、吐出部12から気泡の発生のない気体溶解液を連続的に吐出させるようにする。
【選択図】図1
Description
流体の関係式P=λ・(L/d)・(v2/2g)
[Pは加圧溶解部3内の圧力、λは管摩擦係数、dは内径、vは流速、gは加速度]
から、L=(P・d・2g)/(λ・v2)を導くことができ、この式から計算して流路6の管路長さLを求めることができるものである。このように、流路6の管路長さLを所定長さに形成するだけで減圧部4を形成することができるものであり、洗浄装置の構造をより簡単なものに形成することができるものである。
2 気体注入部
3 加圧溶解部
4 減圧部
5 余剰気体排出部
6 流路
7 圧力調整弁
8 延長流路
10 連結部
11 水道配管
12 吐出部
Claims (8)
- 液体を圧送する加圧部と、液体に気体を注入する気体注入部と、気体を注入された液体が加圧部で圧送されることによる加圧で液体に気体を溶解させる加圧溶解部と、加圧溶解部で気体を溶解させた気体溶解液の圧力を、気体溶解液の流入側から流出側に向かって順次大気圧まで減圧する減圧部と、減圧部で減圧された気体溶解液を吐出する吐出部と、を備え、減圧部を、加圧溶解部から気体溶解液を送り出す流路に設けられ、気体溶解液の圧力を大気圧にまで段階的に減圧する複数の圧力調整弁で構成し、加圧部、気体注入部、加圧溶解部の各部を連続的に運転させて、減圧部に気体溶解液を乱流状態で連続的に供給し、吐出部から気泡の発生のない気体溶解液を連続的に吐出させるようにして成ることを特徴とする気体溶解液を用いた洗浄装置。
- 加圧溶解部で液体に溶解しない余剰気体を排出する余剰気体排出部を備えて成ることを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
- 減圧部は、一つの流路で形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の洗浄装置。
- 加圧溶解部から気体溶解液を送り出す流路の圧力損失とこの流路に付加した延長流路の圧力損失の和が、加圧部で圧送される液体と気体の押し込み圧によって加圧溶解部内で液体と気体を加圧するのに必要な圧力となるように、流路に延長流路を付加して成ることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の洗浄装置。
- 気体注入部に余剰気体排出部を連結部で連結して成ることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の洗浄装置。
- 加圧部を、気体注入部に水を圧送する水道配管で形成して成ることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに1項に記載の洗浄装置。
- 加圧溶解部から気体溶解液を送り出す流路に、気体溶解液中の気体を微細気泡として発生させるための微細気泡抽出流路を設けて成ることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の洗浄装置。
- 液体を圧送し、圧送された液体に気体を注入し、気体を注入された液体が圧送されることによる加圧で液体に気体を溶解し、気体が溶解された液体を複数の圧力調整弁が設けられた流路に乱流状態で送りながらその圧力を前記圧力調整弁で段階的に順次大気圧まで減圧することにより、気泡の発生のない気体溶解液を連続的に生成し、生成した気体溶解液を被洗浄物に吐出することを特徴とする洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009107048A JP4748248B2 (ja) | 2006-10-12 | 2009-04-24 | 洗浄装置及び洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006279302 | 2006-10-12 | ||
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JP2009107048A JP4748248B2 (ja) | 2006-10-12 | 2009-04-24 | 洗浄装置及び洗浄方法 |
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---|---|---|---|
JP2007002665A Division JP4360407B2 (ja) | 2006-10-12 | 2007-01-10 | 洗浄装置及び洗浄方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009160588A true JP2009160588A (ja) | 2009-07-23 |
JP4748248B2 JP4748248B2 (ja) | 2011-08-17 |
Family
ID=40963801
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009107048A Expired - Fee Related JP4748248B2 (ja) | 2006-10-12 | 2009-04-24 | 洗浄装置及び洗浄方法 |
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JP2009107047A Expired - Fee Related JP4748247B2 (ja) | 2006-10-12 | 2009-04-24 | 洗浄装置及び洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP4748248B2 (ja) |
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-
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- 2009-04-24 JP JP2009107048A patent/JP4748248B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2009160587A (ja) | 2009-07-23 |
JP4748247B2 (ja) | 2011-08-17 |
JP4748248B2 (ja) | 2011-08-17 |
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