KR101204321B1 - 기체주입식 관 장치와 그 분사방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 분사 오리피스 하단 부분에 가스 흡입구가 장착된 기체주입식 노즐 장치에 관한 것으로서, 출구 오리피스 하단에서 가스 흡입을 함으로써 압력을 감소시켜 버블 팽창에 의한 액체 미립화 효율을 증가시키고 분사된 기체와 액적들의 속도를 감소시켜 박막 코팅시 코팅면의 질을 향상시키기 위한 장치에 관한 것이다.. 이를 위해 기체와 액체가 주입되는 주입관(110); 주입관(110)의 단부에 형성된 오리피스(250); 오리피스(250)와 이격 설치되어 배출되는 기체의 일부를 재흡입 하는 기체흡입구(210); 기체흡입구(210)와 연통되어 재흡입된 기체를 배출하는 기체배출구(120); 기체배출구(120)의 타단에 설치된 압력계(300); 및 압력계(300)의 신호에 기초하여 기체흡입구(210)의 재흡입 정도를 제어하는 제어수단(500);을 포함하고, 주입관(110)의 기체와 액체는 서로 혼합되어 버블을 형성하여 유동되며, 버블이 주입관(110)의 단부를 통과하면 압력강하에 의해 팽창하여 액체가 액적으로 분열되어 분사되는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치가 개시된다.

Description

기체주입식 관 장치와 그 분사방법 {Pipe apparatus in which a gas is injected and spraying method thereof}
본 발명은 분사 오리피스 하단 부분에 가스 흡입구가 장착된 기체주입식 노즐 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 출구 오리피스 하단에서 가스 흡입을 함으로써 압력을 감소시켜 버블 팽창에 의한 액체 미립화 효율을 증가시키고 분사된 기체와 액적들의 속도를 감소시켜 박막 코팅시 코팅면의 질을 향상시키기 위한 기체주입식 관 장치에 관한 것이다.
최근 전도성 폴리머를 이용하여 태양전지, OLED, 포토 다이오드에서의 전도성 및 비 전도성 박막층을 에어로졸 젯 시스템을 이용하여 제작하려는 시도가 많이 이루어지고 있다. 특히, K.X.Steirer et al.(Ultrasonically sprayed and inkjet printed thin film electrodes for organic solar cells, Thin Solid Films 517 (2009) 2781-2786)은 유기 태양전지에서 정공 전달층으로 사용되고 있는 ITO(Indium Tin Oxide) 박막 층위에 표면 거칠기를 완화시킴과 동시에 정공 전달 효율을 증가시킬 목적으로 초음파 미립화기를 사용하였다. 초음파 미립화기에서 발생된 액적들은 기판 표면 코팅을 위하여 충분한 운동량을 가지고 있지 못하기 때문에 기판을 코팅하기 위해서는 액적들을 이송시키기 위한 별도의 이송 가스 시스템을 구축해야 하는 단점이 있어 왔다. 또한, 초음파 미립화기는 액체 물성치의 영향을 크게 받아 액체의 점성과 표면 장력들을 적절하게 조절해야 한다는 문제점이 있으며 미립화기가 복잡하여 유지와 보수에 어려운 점이 있어 왔다.
한편, S.F.Tedde et al.(Fully spray coated organic photodiodes, Nano Letters Vol 9, No 3, 2009)은 유기 광 다이오드를 제조하기 위하여 고압의 공기에 의해 미립화되는 2-유체 분무기를 사용하여 PEDOT:PSS 버퍼층, PCBM:P3HT 광 활성층 등의 전도성 폴리머를 박막 코팅하여 왔다. 이러한 박막 코팅은 고압의 공기를 이용하여 액체가 미립화 되기 때문에 분사된 기체 및 액적들의 속도가 높아 기판 표면에서 발생된 월 젯(Wall Jet)에 의한 오버 스프레이 문제가 발생된다. 이러한 오버 스프레이는 코팅이 제대로 이루어지지 않을 뿐만 아니라, 외부로 손실되는 재료의 낭비가 심하며, 액적들의 기판 표면에서의 바운싱 때문에 표면의 거칠기 질이 저하되거나 재료가 손실되는 문제점이 있어 왔다.
따라서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서는 오버 스프레이 및 바운싱에 의한 재료 낭비와 표면 거칠기 질 저하 문제를 개선하기 위한 기체주입식 관 장치의 개발을 요하고 있었다.
따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 오리피스 출구 하단 부분에 여러 개의 기체 흡입구를 구비하여 분무시 발생된 일정량의 기체를 재흡입하여 기체 및 액적들의 운동량을 더욱 감소시킴으로써 오버 스프레이 되는 문제와 액적이 기판 표면에서 바운싱되는 문제를 해결하는데 그 목적이 있다.
그러나, 본 발명의 목적들은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
전술한 본 발명의 목적은, 기체와 액체가 주입되는 주입관(110); 주입관(110)의 단부에 형성된 오리피스(250); 오리피스(250)와 이격 설치되어 배출되는 기체의 일부를 재흡입 하는 기체흡입구(210); 기체흡입구(210)와 연통되어 재흡입된 기체를 배출하는 기체배출구(120); 기체배출구(120)의 타단에 설치된 압력계(300); 및 압력계(300)의 신호에 기초하여 기체흡입구(210)의 재흡입 정도를 제어하는 제어수단(500);을 포함하고, 주입관(110)의 기체와 액체는 서로 혼합되어 버블을 형성하여 유동되며, 버블이 주입관(110)의 단부를 통과하면 압력강하에 의해 팽창하여 액체가 액적으로 분열되어 분사되는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치를 제공함으로써 달성될 수 있다.
또한, 주입관(110)은, 기체를 주입하는 기체주입관(111)과 액체를 주입하는 액체주입관(113)으로 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 기체배출구(120)는 제1바디(100)의 측면 일측에 구비되고, 오리피스(250)와 기체흡입구(210)는 제2바디(200)에 구비되며, 주입관(110)은 제1바디(100)와 제2바디(200)의 내측을 관통하여 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 기체주입관(111)은 제1바디(100)의 축 방향으로 관통되고, 액체주입관(113)은 기체주입관(111)과 수직으로 연결되는 것을 특징으로 한다.
또한, 제1바디(100)와 제2바디(200)의 결합은 제1바디(100)의 내측방향으로 이격틈(130)이 형성되어 결합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 기체배출구(120)는 제1바디(100)의 내측으로 관통되어 기체흡입구(210)에서 흡입된 기체를 이격틈(130)을 통하여 흡입하는 것을 특징으로 한다.
또한, 제2바디(200)는 일측에 제1바디(100)와 결합시 제1바디(100)를 안착시키는 안착홈(250)을 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 제2바디(200)는, 제2바디(200)의 하측에서 주입관(110)의 일측 종단부 방향으로 깔대기 형상의 깔대기홈(230)이 구성되어 기체흡입구(210)가 깔대기홈(230)에 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 제2바디(200)는, 단면이 원, 사각형, 및 타원형 중 어느 하나로서 일측이 타측에 비해 단면적이 더 넓은 것을 특징으로 한다.
또한, 제1바디(100)의 하측에는 제1, 2바디(100, 200)를 서로 결합시키는 제1결합부재(140)가 복수로 구비되며, 제2바디(200)의 하측에는 제1, 2바디(100, 200)를 서로 결합시키는 제2결합부재(240)가 복수로 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 기체흡입구(210)는 일정 각도로 서로 이격되어 복수로 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 복수로 구비된 기체흡입구(210)는 액적의 분사시 액적에 포함된 일정량의 기체를 재흡입하여 기체 및 액적의 운동량을 감소시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 주입관(110)의 선단에는 기체의 압력을 조절하는 압력계(350)와 액체의 유량을 조절하는 유량계(400)가 연결되어 있어서 기체는 액체보다 더 높은 압력을 유지하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 제1바디(100)는 단면이 원, 사각형, 및 타원형 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명의 목적은, 다른 카테고리로서, 기체주입관(111)에 기체가 주입되는 제1단계(S110); 액체주입관(113)에 액체가 주입되는 제2단계(S120); 기체 및 액체가 서로 혼합되어 버블을 형성하며 유동하는 제3단계(S130); 및 버블은 주입관(110)의 일측 종단부를 통과하면 압력 강하에 의해 팽창하여 액체가 액적으로 분열되어 분사되는 제4단계(S140);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치의 액적 분사방법을 제공함으로써 달성될 수 있다.
또한, 제1단계(S110)와 제2단계(S120)는 순서를 바꾸어서 수행할 수 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 제4단계후(S140), 기체흡입구(210)는 액적에 포함된 기체를 재흡입하는 제5단계(S150); 및 기체배출구(120)는 기체흡입구(210)에서 재흡입된 기체를 흡입하는 제6단계(S160);를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 압력계(300)가 배출되는 기체의 압력을 측정하는 단계; 제어수단이 압력계(300)의 신호에 기초하여 기체흡입구(210)의 재흡입 정도를 제어하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
전술한 바와 같은 본 발명에 의하면 분무시 발생된 일정량의 기체를 재흡입하여 기체 및 액적들의 운동량을 더욱 감소시킴으로써 오버 스프레이 되는 문제와 액적이 기판 표면에서 바운싱되는 문제를 해결하는데 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의하면 오리피스 출구에서의 압력을 감소시켜 같은 액체 공급 압력과 기체 주입량에서도 더 작은 크기의 액적들을 형성할 수 있어서 미립화 성능이 향상되는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의하면 장치를 모듈화 할 수 있어 제작이 간편하고, 조립이 용이한 효과가 있다.
그리고, 본 발명에 의하면 기체주입식 노즐을 사용함으로써 우수한 질의 박막을 제조할 수 있으며, 재료의 낭비를 감소시키는 효과가 있다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석 되어서는 아니 된다.
도 1은 본 발명에 따른 기체주입식 관 장치의 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 기체주입식 관 장치의 분해 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 기체주입식 관 장치의 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 기체주입식 관 장치의 구성도,
도 5는 본 발명에 따른 분사방법을 순차적으로 나타낸 순서도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예에 대해서 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 일실시예는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 내용을 부당하게 한정하지 않으며, 본 실시 형태에서 설명되는 구성 전체가 본 발명의 해결 수단으로서 필수적이라고는 할 수 없다.
<기체주입식 관 장치의 구성>
도 1은 본 발명에 따른 기체주입식 관 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 기체주입식 관 장치의 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 기체주입식 관 장치의 단면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 기체주입식 관 장치의 구성도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기체주입식 관 장치는 대략 제1바디(100)와 제2바디(200)로 구성할 수 있으며, 제1바디(100)와 제2바디(200)를 관통하는 주입관(110)이 구비된다. 이하 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 기체주입식 관 장치의 구성을 설명하기로 한다.
본 발명에 따른 제1바디(100)는 대략적으로 주입관(110), 기체배출구(120) 및 제1바디(100)와 제2바디(200)를 결합하는 제1결합부재(140)를 구비하고 있다. 제1바디(100)의 일측에는 기체를 흡입하는 기체배출구(120)가 구비되고, 제1바디(100)의 내측 일정 영역을 관통하여 기체 및 액체가 주입되는 주입관(110)이 구비되어 있다. 제1바디(100)의 내측에는 후술할 제2바디(200)가 결합될 수 있도록 단면이 원 형상의 관통홈(150)이 제1바디(100)의 하측에서 축 방향으로 일정길이가 형성되어 있다. 또한 제1바디(100)의 관통홈(150) 내측에는 제2바디(200)의 안착홈(220)에 안착되는 단면이 원 형상의 안착기둥(160)이 구비되어 있다. 제1바디(100)는 단면이 원, 사각형, 또는 타원형이 될 수 있다.
한편, 주입관(110)은 기체가 주입되는 기체주입관(111)과 액체가 주입되는 액체주입관(113)으로 구성되며, 기체주입관(111)은 제1바디(100)의 축 방향으로 관통되고, 액체주입관(113)은 기체주입관(111)과 수직으로 연결된다. 기체주입관(111)으로는 기체가 주입될 수 있도록 하나 또는 복수의 구멍이 뚫려 있는 튜브가 삽입이 되며, 액체주입관(113)으로는 미립화가 되는 액체가 공급될 수 있도록 튜브가 삽입이 된다. 기체주입관(111)에서 주입된 기체는 액체주입관(113)에서 주입된 액체 속에 주입하게 되며, 버블이 형성되어 주입관(110)을 따라 유동하게 된다. 주입관(111)의 하측 종단부는 다른 일측에 비해 단면적이 작아지는 것으로서 오리피스(Orifice)(250)를 형성하며, 이러한 오리피스(250)의 형성은 액적의 유속이 빨라지고 압력이 떨어져 액적을 더욱 미립화 시킬 수 있다.
한편, 기체배출구(120)는 제1바디(100)의 일정 영역 일측에 구비되는 것으로서, 제1바디(100)의 내측 방향으로 관통홈(150)과 연결된다. 기체배출구(120)는 후술할 기체흡입구(210)에서 흡입된 기체를 이격틈(130)사이로 흡입하고, 기체배출구(120)를 통해 배출된 기체를 재흡입하기 위한 진공펌프(도면 미도시)가 기체흡입구(210)와 연결된다. 제어수단(500)은 압력계(300)의 신호에 기초하여 기체흡입구(210)의 재흡입 정도를 진공펌프를 통해 제어하게 된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상술한 주입관(110)의 선단에는 기체의 압력 및 액체의 유량을 조절할 수 있는 압력계(350)와 유량계(450)가 연결되어 기체 및 액체의 압력 및 유량을 감지한다. 감지된 압력 및 유량의 정보는 후수할 제어수단(500)에 입력되며 제어수단(500)은 감지되 압력 및 유량 정보에 기초하여 압력 및 유량을 조절하게 된다. 따라서 기체는 액체보다 높은 압력을 유지할 수 있게 된다.
한편, 제1결합부재(140)는 제1바디(100)와 제2바디를 결합하는 것으로서 이를 결합할 수 있는 부재이면 어떤 것이든 모두 가능하고, 본 발명의 일실시예를 실시하게 된다.
본 발명에 따른 제2바디(200)는 기체가 재흡입되는 기체흡입구(210), 제1바디(100)의 안착기둥(160)이 안착되는 안착홈(220), 깔대기 형상의 깔대기홈(230), 및 제1바디(100)와 제2바디(200)를 결합하는 제2결합부재(240)가 복수로 구비된다. 제2바디(200)는 제1바디(100)의 내측으로 결합하되, 일정 간격 이격되어 결합함이 바람직하다. 이때 형성되는 이격틈(130)을 통하여 기체배출구(120)가 기체를 흡입하게 된다. 제2바디(200)는 단면이 원, 사각형, 또는 타원형으로서 일측이 타측에 비해 단면적이 더 넓게 형성된다. 따라서, 상부측은 원기둥 형상이며, 하부측은 이보다 더 넓은 면적의 원기둥 형상이다. 제2바디(200)의 상부측에서 축 방향으로는 제1바디(100)와 결합시 안착기둥(160)이 안착되는 안착홈(220)을 구비하고 있다. 안착홈(220)의 종단에는 하측 방향으로 주입관(110)의 종단이 일정길이로 구비되어 있으며, 제1바디(100)를 관통한 주입관(110)이 여기에 연결되어 액적이 분사되게 된다.
한편, 기체흡입구(210)는 주입관(110)의 종단부와 하측 방향으로 일정거리 이격되어 구비되며, 본 발명의 일실시예에서는 깔대기홈(230)의 둘레방향으로 약 30도의 각도로 12개가 배치된다. 다만 배치 각도 및 배치 개수는 이에 한정되지 않으며, 실시예에 따라 다양한 배치가 가능하다.
한편, 깔대기홈(230)은 제2바디(200)의 하부에서 주입관(110)의 종단부 방향으로 깔대기 모양이며, 상술한 기체흡입구(210)는 깔대기홈(230)을 관통하여 구비된다. 깔대기홈(230)의 일측은 주입관(110)의 종단부와 연결되며, 주입관(110)의 종단부를 통과한 액적이 분사될 때 기체흡입구(210)가 기체를 재흡입하는 것을 도와주는 부재이다.
본 발명의 일실시예에 따른 제어수단(500)은 압력계(300, 350) 및 유량계(400, 450)의 감지에 따라 기체 및 액체의 압력 및 유량을 조절하게 된다. 이러한 제어수단(500)은 아날로그 소자 및 디지털 소자에 의해 구현될 수 있음으로 이하 설명은 생략하기로 한다.
<기체주입식 관 장치의 동작>
도 5는 본 발명에 따른 분사방법을 순차적으로 나타낸 순서도이다. 상술한 구성을 가지는 기체주입식 관 장치에 의하여 수행될 수 있는 액적 분사방법의 일실시예가 도 5에 도시되어 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 기체주입식 관 장치의 액적 분사방법은 S110 단계 내지 S160 단계를 수행하게 된다. 이하에서는 도 5를 참조하여 기체주입식 관 장치의 액적 분사방법에 대하여 설명하기로 한다.
먼저, 기체주입관(111) 및 액체주입관(113)에 튜브가 삽입되어 각기 기체 및 액체를 주입하게 된다(S110, S120). 이때 액체속으로 기체가 들어가게 된다. 기체는 액체보다 높은 압력이 유지되며, 액체와 기체가 혼합되어 버블이 형성되게 된다. 이러한 압력의 유지 및 유량의 조절은 주입관(110)에 연결된 압력계(300) 및 유량계(400)가 조절하게 된다.
다음으로, 액체와 기체가 혼합되어 형성된 버블은 주입관(110)을 따라 유동하게 된다(S130).
다음으로, 형성된 버블은 약 0.5mm의 직경을 가지는 오리피스 관의 종단을 통과하며, 오리피스 관의 종단을 통과한 직후에는 액체의 유속이 변하게 되어 버블의 압력이 내려가는 베르누이 정리에 의해 버블 팽창과 더불어 액체가 미립화 되어 액적이 된다(S140). 생성된 액적은 원하는 기판에 박막 코팅을 하기 위해 분사하게 된다.
다음으로, 팽창된 기체는 오리피스 관의 종단 아래에 있는 약 0.5mm의 구멍 크기를 가지며 약 30도 간격으로 12개가 배치된 기체흡입구(210)에 의해 재흡입되게 된다. 재흡입되는 기체의 압력 및 유랑은 기체배출구(120)와 연결된 압력계(350) 또는/및 유량계(450)에 의해 조절된다.
다음으로, 기체배출구(120)는 기체흡입구(210)에서 재흡입된 기체를 배출하는 단계를 수행하게 된다(S160).
마지막으로, 압력계(300)가 배출되는 기체의 압력을 측정하는 단계를 수행한 후, 제어수단이 압력계(300)의 신호에 기초하여 기체흡입구(210)의 재흡입 정도를 제어하는 단계를 수행하게 된다.
상술한 기체흡입구(210) 및 기체배출구(120)는 액적의 분사시 발생된 기체를 다시 재흡입함으로써 기체 및 액적의 운동량을 크게 감소시키게 되며, 따라서 오버 스프레이(Over-spray)되는 문제와 액적이 기판 표면에서 바운싱(Bouncing)되는 문제를 해결할 수 있는 장점이 있다. 또한 기체를 재흡입 함으로써 액적을 더욱 더 미립화 시킬 수 있다.
이상, 본 발명의 일실시예를 참조하여 설명했지만, 본 발명이 이것에 한정되지는 않으며, 다양한 변형 및 응용이 가능하다. 즉, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 많은 변형이 가능한 것을 당업자는 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
100 : 제1바디
110 : 주입관
111 : 기체주입관
113 : 액체주입관
120 : 기체배출구
130 : 이격틈
140 : 제1결합부재
150 : 관통홈
160 : 안착기둥
200 : 제2바디
210 : 기체흡입구
220 : 안착홈
230 : 깔대기홈
240 : 제2결합부재
250 : 오리피스
300, 350 : 압력계
400, 450 : 유량계
500 : 제어수단

Claims (18)

  1. 기체와 액체가 주입되는 주입관(110);
    상기 주입관(110)의 단부에 형성된 오리피스(250);
    상기 오리피스(250)와 이격 설치되어 배출되는 기체의 일부를 재흡입하는 기체흡입구(210);
    상기 기체흡입구(210)와 연통되어 상기 재흡입된 기체를 배출하는 기체배출구(120);
    상기 기체배출구(120)에 설치된 압력계(300); 및
    상기 압력계(300)의 신호에 기초하여 상기 기체흡입구(210)의 재흡입 정도를 제어하는 제어수단(500);을 포함하고,
    상기 주입관(110)의 상기 기체와 액체는 서로 혼합되어 버블을 형성하여 유동되며, 상기 버블이 상기 오리피스(250)를 통과하면 압력강하에 의해 팽창하여 상기 액체가 액적으로 분열되어 분사되며,
    상기 주입관(110)은 상기 기체를 주입하는 기체주입관(111)과 상기 액체를 주입하는 액체주입관(113)으로 구비되는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기체배출구(120)는 제1바디(100)의 측면 일측에 구비되고,
    상기 오리피스(250)와 상기 기체흡입구(210)는 제2바디(200)에 구비되며,
    상기 주입관(110)은 상기 제1바디(100)와 상기 제2바디(200)의 내측을 관통하여 구비되는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 기체주입관(111)은 상기 제1바디(100)의 축 방향으로 관통되고,
    상기 액체주입관(113)은 상기 기체주입관(111)과 수직으로 연결되는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1바디(100)와 상기 제2바디(200)의 결합은 상기 제1바디(100)의 내측방향으로 이격틈(130)이 형성되어 결합되는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 기체배출구(120)는 상기 제1바디(100)의 내측으로 관통되어 상기 기체흡입구(210)에서 흡입된 상기 기체를 상기 이격틈(130)을 통하여 흡입하는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치.
  7. 청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 3 항에 있어서,
    상기 제2바디(200)는 일측에 상기 제1바디(100)와 결합시 상기 제1바디(100)를 안착시키는 안착홈(250)을 구비하는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치.
  8. 제 3 항에 있어서,
    상기 제2바디(200)는 상기 오리피스(250) 주위에 깔대기 형상의 깔대기홈(230)이 구성되고, 상기 기체흡입구(210)가 상기 깔대기홈(230)에 구비되는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치.
  9. 청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 3 항에 있어서,
    상기 제2바디(200)는,
    단면이 원, 사각형, 및 타원형 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치.
  10. 청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 3 항에 있어서,
    상기 제1바디(100)의 하측에는 상기 제1, 2바디(100, 200)를 서로 결합시키는 제1결합부재(140)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 기체흡입구(210)는 상기 깔대기홈(230)의 둘레방향을 따라 복수개가 형성된 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 주입관(110)의 선단에는 상기 기체의 압력을 조절하는 압력계(350)와 상기 액체의 유량을 조절하는 유량계(400)가 연결되어 있어서 상기 기체는 상기 액체보다 더 높은 압력을 유지하도록 하는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 기체흡입구(210)와 연통된 상기 기체배출구(120)를 통해 상기 기체를 재흡입하기 위해 진공펌프를 포함하며,
    상기 제어수단(500)이 상기 압력계(300)의 신호에 기초하여 상기 기체흡입구(210)의 재흡입 정도를 상기 진공펌프를 통해 제어하는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어수단(500)은 상기 기체흡입구(210)를 통해 상기 기체를 재흡입하기 위해 진공펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치.
  15. 청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    기체주입관(111)에 기체가 주입되는 제1단계(S110);
    액체주입관(113)에 액체가 주입되는 제2단계(S120);
    상기 기체 및 상기 액체가 서로 혼합되어 버블을 형성하며 유동하는 제3단계(S130); 및
    상기 버블이 오리피스(250)를 통과하면 압력 강하에 의해 팽창하여 액체가 액적으로 분열되어 분사되는 제4단계(S140);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치의 액적 분사방법.
  16. 청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 15 항에 있어서,
    상기 제1단계(S110)와 상기 제2단계(S120)는 순서를 바꾸어서 수행할 수 있는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치의 액적 분사방법.
  17. 청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
    기체흡입구(210)가 상기 액적에 포함된 상기 기체를 재흡입하는 제5단계(S150); 및
    기체배출구(120)는 상기 기체흡입구(210)에서 재흡입된 기체를 배출하는 제6단계(S160);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치의 액적 분사방법.
  18. 청구항 18은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 17 항에 있어서,
    압력계(300)가 배출되는 기체의 압력을 측정하는 단계;
    제어수단이 상기 압력계(300)의 신호에 기초하여 상기 기체흡입구(210)의 재흡입 정도를 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기체주입식 관 장치의 액적 분사방법.
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