JP2011072903A5 - - Google Patents

Description

窒素ガス供給部１５からは、２つに分岐する送通管１６ａ、１６ｂが延びている。一方の送通管１６ａは、アスピレータ１４の気体導入部１４３（図２参照）に接続されている。送通管１６ａには窒素ガス供給部１５からアスピレータ１４に供給される窒素ガスの圧力を調整するレギュレータ１７ａと開閉弁１８ａとが設けられている。窒素ガス供給部１５から延びる他方の送通管１６ｂは、貯液槽１１の天面の所定部位に接続されている。送通管１６ｂには窒素ガス供給部１５から貯液槽１１に供給される窒素ガスの圧力を調整するレギュレータ１７ｂと開閉弁１８ｂとが設けられている。

図２において、アスピレータ１４は、液体導入部１４１、気液排出部１４２及び気体導入部１４３がＴ字型となるように結合されている。前述したようにポンプ１３から延びる送通管１２ｂが接続される液体導入部１４１は、絞り部１４４を介して、貯液槽１１に至る送通管１２ｃが接続される気液排出部１４２に連通している。窒素ガス供給部１５から延びる送通管１６ａに接続される気体導入部１４３は、絞り部１４４の直後に位置する気液混合部１４５を介して、液体導入部１４１から気液排出部１４２に続く通路に結合している。気液排出部１４２は気液混合部１４５側の端部から徐々に断面が広がるような形状となっている。

そして、例えば、貯液槽１１内のバブル混在洗浄液Ｗ中のバブルの密度が比較的高い所定のレベルに達したと見込まれるタイミングにおいて、ポンプ１３が停止させられる。これで貯液槽１１から送通管１２ａ、１２ｂ、１２ｃ及びアスピレータ１４を通って貯液槽１１に戻るバブル混在洗浄液Ｗの循環が終了し、その後、窒素ガス供給部１５からアスピレータ１４に延びる送通管１６ａに設けられた開閉弁１８ａが閉鎖される一方、窒素ガス供給部１５から貯液槽１１に延びる送通管１６ｂに設けられた開閉弁１８ｂが解放される。なお、貯液槽１１内のバブル混在洗浄液Ｗ中のバブルの密度（個数）を例えばパーティクルカウンタや粒子粒度分布計等を用いて測定し、その測定値と予め定めた基準値とを比較してポンプ１３の動作をフィードバック制御することができる。この場合、測定値が前記基準値に達したときにポンプ１３が停止させられる。

バブル混合機構の主要部としてのアスピレータ１４に代えて図５に示すような二流体ノズルユニット４０を用いることができる。この二流体ノズルユニット４０は、洗浄液（バブル混在洗浄液）Ｗを貯める洗浄液貯留部４１と高圧窒素ガスを貯めるガスタンク部４２とを有している。二流体ノズルヘッド４０には、洗浄液貯留部４１から下方に向けて延びる複数のノズル４５が形成されている。また、図示されてはいないが、ガスタンク部４２から洗浄液貯留部４１の外周を通って複数のノズル４５の先端から外方に開放するように気体通路が形成されている。二流体ノズルヘッド４０の外壁部には、ポンプ１３から延びる送通管１２ｂが接続され、洗浄液貯留部４１に連通する洗浄液導入口４３が形成されるとともに、窒素ガス供給部１５から延びる送通管１６ａが接続され、ガスタンク部４２に連通する気体導入口４４が形成されている。

前述した構造の二流体ノズルヘッド４０の各ノズル４５から噴出するミスト状のバブル混在洗浄液Ｗは集められて送通管１２ｃを通して貯液槽１１に戻される。これにより、バブル混在洗浄液Ｗが貯液槽１１とバブル混合機構の主要部としての二流体ヘッドノズル４０との間を循環することになる。そして、このバブル混在洗浄液Ｗの循環により、貯液槽１１内のバブル混在洗浄液中の微細バブルの数がアスピレータ１４の場合と同様に増大していく。

Claims (10)

1. 供給液に微細バブルを混ぜるバブル混合機構と、
   該バブル混合機構によって生成されるバブル混在液を貯める貯液槽と、
   該貯液槽から前記バブル混在液を前記供給液として前記バブル混合機構に戻す戻し機構と、
   前記貯液槽内のバブル混在液を加圧する加圧機構と、
   前記バブル混在液を前記貯液槽、戻し機構及びバブル混合機構を循環させるバブル混在液循環モードと、前記加圧機構により前記貯液槽内の前記バブルを加圧する加圧モードとを切り換える切り換え機構とを有するバブル生成装置。
2. 前記加圧機構は、前記貯液槽内に気体を加圧供給する気体供給機構を有する請求項１記載のバブル生成装置。
3. 前記バブル混合機構は、気体供給源と、該気体供給源からの気体を前記供給液に噴出させる気体噴出機構とを有し、
   前記加圧機構における気体供給機構は、前記気体供給源からの気体を前記貯液槽に加圧供給し、
   前記切り換え機構は、前記気体供給源からの気体を、前記バブル混合機構における前記気体噴出機構と、前記加圧機構における前記気体供給機構とのいずれかに切り換える気体切り換え機構を有する請求項７記載のバブル生成装置。
4. 請求項１乃至３のいずれかに記載のバブル生成装置と、
   処理液を噴出する処理ヘッドユニットと、
   前記バブル生成装置における前記貯液槽から前記バブル混在液を前記処理ヘッドに前記処理液として加圧供給する処理液供給機構とを有する処理装置。
5. 前記バブル生成装置の前記貯液槽に貯められたバブル混在液の溶存気体の量を検出する手段を有する請求項４記載の処理装置。
6. バブル混合機構が供給液に微細バブルを混ぜ、該バブル混合機構により生成されるバブル混在液を貯液槽に供給し、該貯液槽に貯まった前記バブル混在液を前記供給液として前記バブル混合機構に戻すことによって、前記バブル混在液を前記バブル混合機構と貯液槽との間を循環させるバブル混在液循環ステップと、
   前記バブル混在液循環ステップが終了した後に、前記貯液槽内のバブル混在液を加圧する加圧ステップとを有するバブル生成方法。
7. 前記加圧ステップは、気体を前記貯液槽に加圧供給して当該貯液槽の内圧を高める請求項６記載のバブル生成方法。
8. 前記バブル混在液循環ステップにおいて、前記バブル混合機構は、気体供給源からの気体を前記供給液に噴出して微細バブルを前記供給液に混ぜ、
   前記加圧ステップは、前記気体供給源からの気体を前記貯液槽に加圧供給する請求項７記載のバブル生成方法。
9. 前記貯液槽内のバブル混在液中の溶存気体の量が所定量になるまで、少なくとも前記加圧ステップを行う請求項７または８に記載のバブル生成方法。
10. 前記貯液槽内の前記溶存気体が過飽和の状態になるまで、少なくとも前記加圧ステップを行う請求項９記載のバブル生成方法。