JP2011072903A - バブル生成方法及び装置及びその装置を用いた処理装置 - Google Patents
バブル生成方法及び装置及びその装置を用いた処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011072903A JP2011072903A JP2009226551A JP2009226551A JP2011072903A JP 2011072903 A JP2011072903 A JP 2011072903A JP 2009226551 A JP2009226551 A JP 2009226551A JP 2009226551 A JP2009226551 A JP 2009226551A JP 2011072903 A JP2011072903 A JP 2011072903A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bubble
- liquid
- storage tank
- gas
- liquid storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 285
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 96
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 76
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 92
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 66
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 52
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 52
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 20
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 18
- 239000002101 nanobubble Substances 0.000 description 14
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Accessories For Mixers (AREA)
Abstract
【解決手段】バブル混合機構(14、15、17a、18a)が供給液に微細バブルを混ぜ、該バブル混合機構により生成されるバブル混在液を貯液槽11に供給し、貯液槽11に貯まった前記バブル混在液を前記供給液として前記バブル混合機構に戻すことによって、前記バブル混在液を前記バブル混合機構と貯液槽11との間を循環させ、前記バブル混在液の循環を終了させた後に、貯液槽11内のバブル混在液を加圧するように構成される。
【選択図】図1
Description
11 貯液槽
12a、12b、12c 送通管
13 ポンプ
14 アスピレータ
16a、16b 送通管
17a 17b レギュレータ
18a、 18b 開閉弁
19 溶存ガスセンサ
20 排気管
21 開閉弁
22a、22b 送通管
23 開閉弁
24 ポンプ
30 ノズルヘッド(処理ヘッドユニット)
40 二流体ノズルヘッド
41 洗浄液貯留部
42 エアタンク部
43 洗浄液導入口
44 エア導入口
45 ノズル
100 ガラス基板(被洗浄物)
141 液体導入部
142 気液排出部
143 気体導入部
144 絞り部
145 気液混合部
Claims (10)
- バブル混合機構が供給液に微細バブルを混ぜ、該バブル混合機構により生成されるバブル混在液を貯液槽に供給し、該貯液槽に貯まった前記バブル混在液を前記供給液として前記バブル混合機構に戻すことによって、前記バブル混在液を前記バブル混合機構と貯液槽との間を循環させるバブル混在液循環ステップと、
前記バブル混在液循環ステップが終了した後に、前記貯液槽内のバブル混在液を加圧する加圧ステップとを有するバブル生成方法。 - 前記加圧ステップは、気体を前記貯液槽に加圧供給して当該貯液槽の内圧を高める請求項1記載のバブル生成方法。
- 前記バブル混在液循環ステップにおいて、前記バブル混合機構は、気体供給源からの気体を前記供給液に噴出して微細バブルを前記供給液に混ぜ、
前記加圧ステップは、前記気体供給源からの気体を前記貯液槽に加圧供給する請求項2記載のバブル生成方法。 - 前記貯液槽内のバブル混在液中の溶存気体の量が所定量になるまで、少なくとも前記加圧ステップを行う請求項2または3に記載のバブル生成方法。
- 前記貯液槽内の前記溶存気体が過飽和の状態になるまで、少なくとも前記加圧ステップを行う請求項4記載のバブル生成方法。
- 供給液に微細バブルを混ぜるバブル混合機構と、
該バブル混合機構によって生成されるバブル混在液を貯める貯液槽と、
該貯液槽から前記バブル混在液を前記供給液として前記バブル混合機構に戻す戻し機構と、
前記貯液槽内のバブル混在液を加圧する加圧機構と、
前記バブル混在液を前記貯液槽、戻し機構及びバブル混合機構を循環させるバブル混在液循環モードと、前記加圧機構により前記貯液槽内の前記バブルを加圧する加圧モードとを切り換える切り換え機構とを有するバブル生成装置。 - 前記加圧機構は、前記貯液槽内に気体を加圧供給する気体供給機構を有する請求項6記載のバブル生成装置。
- 前記バブル混合機構は、気体供給源と、該気体供給源からの気体を前記供給液に噴出させる気体噴出機構とを有し、
前記加圧機構における気体供給機構は、前記気体供給源からの気体を前記貯液槽に加圧供給し、
前記切り換え機構は、前記気体供給源からの気体を、前記バブル混合機構における前記気体噴出機構と、前記加圧機構における前記気体供給機構とのいずれかに切り換える気体切り換え機構を有する請求項7記載のバブル生成装置。 - 請求項6乃至8のいずれかに記載のバブル生成装置と、
処理液を噴出する処理ヘッドユニットと、
前記バブル生成装置における前記貯液槽から前記バブル混在液を前記処理ヘッドに前記処理液として加圧供給する処理液供給機構とを有する処理装置。 - 前記バブル生成装置の前記貯液槽に貯められたバブル混在液の溶存気体の量を検出する手段を有する請求項9記載の処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009226551A JP5495299B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | バブル生成方法及び装置及びその装置を用いた処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009226551A JP5495299B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | バブル生成方法及び装置及びその装置を用いた処理装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011072903A true JP2011072903A (ja) | 2011-04-14 |
JP2011072903A5 JP2011072903A5 (ja) | 2012-10-25 |
JP5495299B2 JP5495299B2 (ja) | 2014-05-21 |
Family
ID=44017480
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009226551A Active JP5495299B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | バブル生成方法及び装置及びその装置を用いた処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5495299B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102861521A (zh) * | 2011-07-07 | 2013-01-09 | 芝浦机械电子株式会社 | 气液混合流体生成装置、气液混合流体生成方法、处理装置以及处理方法 |
JP2016133593A (ja) * | 2015-01-19 | 2016-07-25 | 株式会社メニコン | コンタクトレンズの製造方法 |
KR101669125B1 (ko) | 2016-08-08 | 2016-10-25 | 세마엔지니어링(주) | 마이크로버블 공급장치 및 마이크로버블을 이용한 대기오염 처리장치 |
KR20160134255A (ko) * | 2015-05-15 | 2016-11-23 | 윤동헌 | 폐가스 정화시스템 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001314888A (ja) * | 2000-05-10 | 2001-11-13 | Suzuki Sangyo Kk | 排水処理システム |
JP2001347146A (ja) * | 2000-06-08 | 2001-12-18 | Yokogawa Electric Corp | ガス溶解装置 |
JP2002346351A (ja) * | 2001-05-28 | 2002-12-03 | Yokogawa Electric Corp | 気体溶解装置 |
JP2006263641A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Toyobo Engineering Kk | ガス溶解方法とその装置 |
JP2008006432A (ja) * | 2006-05-29 | 2008-01-17 | Spg Techno Kk | 線状スリットを利用した気液混合溶解方法と気液混合溶解装置 |
JP2009005828A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Rinnai Corp | 微細気泡発生装置 |
-
2009
- 2009-09-30 JP JP2009226551A patent/JP5495299B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001314888A (ja) * | 2000-05-10 | 2001-11-13 | Suzuki Sangyo Kk | 排水処理システム |
JP2001347146A (ja) * | 2000-06-08 | 2001-12-18 | Yokogawa Electric Corp | ガス溶解装置 |
JP2002346351A (ja) * | 2001-05-28 | 2002-12-03 | Yokogawa Electric Corp | 気体溶解装置 |
JP2006263641A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Toyobo Engineering Kk | ガス溶解方法とその装置 |
JP2008006432A (ja) * | 2006-05-29 | 2008-01-17 | Spg Techno Kk | 線状スリットを利用した気液混合溶解方法と気液混合溶解装置 |
JP2009005828A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Rinnai Corp | 微細気泡発生装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102861521A (zh) * | 2011-07-07 | 2013-01-09 | 芝浦机械电子株式会社 | 气液混合流体生成装置、气液混合流体生成方法、处理装置以及处理方法 |
TWI491441B (zh) * | 2011-07-07 | 2015-07-11 | Shibaura Mechatronics Corp | Gas-liquid mixed fluid generating device, gas-liquid mixed fluid generating method, processing device, and processing method |
JP2016133593A (ja) * | 2015-01-19 | 2016-07-25 | 株式会社メニコン | コンタクトレンズの製造方法 |
KR20160134255A (ko) * | 2015-05-15 | 2016-11-23 | 윤동헌 | 폐가스 정화시스템 |
KR101689009B1 (ko) | 2015-05-15 | 2017-01-02 | 윤동헌 | 폐가스 정화시스템 |
KR101669125B1 (ko) | 2016-08-08 | 2016-10-25 | 세마엔지니어링(주) | 마이크로버블 공급장치 및 마이크로버블을 이용한 대기오염 처리장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5495299B2 (ja) | 2014-05-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5495299B2 (ja) | バブル生成方法及び装置及びその装置を用いた処理装置 | |
WO2009116711A3 (en) | Apparatus of generating microbubbles | |
JP2003181260A (ja) | 液体にガスを含ませるプロセスと装置 | |
JP2008080230A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2009112909A (ja) | 微細気泡発生装置における気液溶解タンク | |
JP2008212788A (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
JP2008114214A (ja) | 洗浄装置 | |
JP4969839B2 (ja) | ウエットブラスト処理装置 | |
JP6338518B2 (ja) | マイクロバブル発生装置 | |
JP2011072950A (ja) | 処理装置 | |
JP5053115B2 (ja) | 基板の処理装置及び処理方法 | |
KR101166457B1 (ko) | 와류 발생부 및 와류 제거부의 2단 복합 구조를 갖는 미세기포 발생장치 및 이를 이용한 미세기포를 발생시키는 방법 | |
JP2003190750A (ja) | 気体溶解装置 | |
JP2007240101A (ja) | ミスト発生器 | |
JP2011072903A5 (ja) | ||
JP4631561B2 (ja) | 微細気泡発生装置 | |
JP2012035166A (ja) | 流体噴出ノズル及びそれを用いた洗浄装置 | |
JP2007069123A (ja) | 微粉体又は微小繊維の微細化方法 | |
JP2009112947A (ja) | 処理液の製造装置及び製造方法 | |
JP4748247B2 (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
KR102501734B1 (ko) | 잉크젯 프린팅 장치 | |
JP5001327B2 (ja) | 気体溶解装置 | |
JP2012000580A (ja) | バブル含有液生成装置及び処理装置 | |
JP2012106189A (ja) | バブル含有液生成装置 | |
JP2008212784A (ja) | 微細気泡発生装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120910 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120910 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131002 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131008 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140227 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5495299 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |