JP2016049509A - マイクロバブル利用の表面処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】装置構成を簡略にしながら高い表面処理効果を得ることができるマイクロバブル利用の表面処理装置を提供する。【解決手段】 処理液Ｌにマイクロバブルを供給するマイクロバブル供給手段として、処理液Ｌにキャビテーションを生じさせることにより処理液Ｌ中の溶存気体をマイクロバブルとして処理液Ｌ中に発生させるキャビテーション方式のマイクロバブル供給手段３０を用いることで、マイクロバブル供給による処理液ＬのｐＨ値の低下を防止する。【選択図】 図３

Description

本発明は、マイクロバブル利用の表面処理装置に関し、詳しくは、処理液にマイクロバブルを供給するマイクロバブル供給手段と、このマイクロバブル供給手段によりマイクロバブルを供給した処理液を被処理物に接触させて被処理物の表面を処理する表面処理手段とを備えるマイクロバブル利用の表面処理装置に関する。

マイクロバブルは一般的に直径５０μｍ以下の微細気泡を指すが、このマイクロバブルが自己の表面張力により消滅するときに発生する衝撃力などにより表面処理効果を高め得ることから、このマイクロバブルを含ませた処理液により被処理物の表面を処理する種々の表面処理装置が近年開発されている。

そして、このマイクロバブル利用表面処理装置の一例として、特許文献１には、塗装前の被処理物を槽内の脱脂液（処理液の一例）に浸漬させて脱脂処理する脱脂槽において、この脱脂槽から取り出した脱脂液を再び脱脂槽に戻す脱脂液循環路に、外部からの取り入れ空気により生成したマイクロバブルを通過脱脂液に供給するマイクロバブル供給手段を装備するとともに、このマイクロバブル供給手段においてマイクロバブルを発生させるのに用いる取り入れ空気から二酸化炭素を除去する二酸化炭素除去手段を装備した脱脂システムが提案されている。

即ち、この脱脂システムでは、マイクロバブルを発生させるのに用いる取り入れ外部空気から二酸化炭素を予め除去しておくことで、脱脂液へのマイクロバブル供給に伴う脱脂液のｐＨ値の低下を防止し、これにより、脱脂液のｐＨ値低下による脱脂効果の低下を防止するようにしている。

一方、マイクロバブル供給手段としては、旋回流方式、エジェクタ方式、超音波方式、キャビテーション方式など各種方式のものが知られており、この内、キャビテーション方式以外のマイクロバブル供給手段では、外部から取り入れた空気を用いてマイクロバブルを発生させるのに対し、特許文献２，３などに見られるように、キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段は、液体に溶解している溶存気体をマイクロバブルとしてその液体中に発生させるものであることも知られている。

特開２０１１−１７３０８６号公報 特開２０１１−５８１号公報 特開２０１３−２７８５５号公報

しかし、上記した従来の脱脂システムでは、マイクロバブル供給手段の装備に伴い、二酸化炭素除去手段及びその二酸化炭素除去手段を経てマイクロバブル供給手段に接続する外部空気導入路の装備を必要とするため、装置構成が複雑化するとともに大型化して装置コストが高く付く問題があった。

また、二酸化炭素除去手段での圧力損失が大きいため、この二酸化炭素除去手段を通じてマイクロバブル供給手段に外部からの取り入れ空気を供給するのに空気圧縮手段も要し、そのことで装置コスト及び運転コストが嵩む問題もあった。

一方、キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段は上記の如く外部からの空気供給が不要であることが一般に知られているものの、キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段により生成したマイクロバブルが備える特質については未だ利用されていない部分がある。

この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段により生成するマイクロバブルが備える未利用の特質を活用することで、装置構成を簡略にしながらも高い表面処理効果を得ることができるマイクロバブル利用の表面処理装置を提供する点にある。

本発明の第１特徴構成はマイクロバブル利用の表面処理装置に係り、その特徴は、
処理液にマイクロバブルを供給するマイクロバブル供給手段と、
このマイクロバブル供給手段によりマイクロバブルを供給した処理液を被処理物に接触させて被処理物の表面を処理する表面処理手段とを備えるマイクロバブル利用の表面処理装置であって、
前記マイクロバブル供給手段として、処理液にキャビテーションを生じさせることにより処理液中の溶存気体をマイクロバブルとして処理液中に発生させるキャビテーション方式のマイクロバブル供給手段を用いることで、マイクロバブル供給による処理液のｐＨ値の低下を防止する点にある。

即ち、キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段は、外部からの取り入れ空気を用いてマイクロバブルを生成するのではなく、処理液中の溶存気体をマイクロバブルとして処理液中に発生させるものであるから、このキャビテーション方式のマイクロバブル供給手段により生成したマイクロバブルが処理液に含まれた状態になっても、キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段により生成したマイクロバブルの特質として、外部空気に含まれる二酸化炭素が処理液に補充されることはなく、二酸化炭素の補充による処理液のｐＨ値低下は生じない。

したがって、キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段により処理液にマイクロバブルを供給する上記構成によれば、二酸化炭素除去手段を装備せずとも、処理液のｐＨ値低下を防止することができて、処理液のｐＨ値低下による表面処理効果の低下や被処理物への悪影響などを防止することができる。

つまり、上記構成によれば、二酸化炭素除去手段、その二酸化炭素除去手段を通じてマイクロバブル供給手段に外部空気を供給する空気圧縮手段、並びに、それら空気圧縮手段及び二酸化炭素除去手段を通じて外部空気をマイクロバブル供給手段に導く外部空気導入路を不要にして、装置構成を簡略化するとともに小型化しながら、また、そのことで装置コスト及び運転コストも安価にしながら、被処理物の表面を効果的に処理することができる。

なお、第１特徴構成の表面処理装置を用いて実施する表面処理は、マイクロバブルを利用する処理であって処理液のｐＨ値低下を回避することが要求される処理であれば、被処理物の表面に対する洗浄処理や化学的処理を初め、どのような処理であってもよい。

本発明の第２特徴構成は、第１特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記表面処理手段が、被処理物を浸漬させる処理液を貯留する処理液槽、又は、被処理物に対して処理液を噴出する処理液ノズルであり、
これら処理液槽又は処理液ノズルに処理液を給送する処理液路に、その処理液路を通過する処理液に対してマイクロバブルを供給する前記キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段を装備してある点にある。

この構成によれば、処理液槽や処理液ノズルに処理液を給送する処理液路にキャビテーション方式のマイクロバブル供給手段を装備するだけで済むから、装置構成の簡略化を一層効果的かつ簡便に達成することができる。

本発明の第３特徴構成は、第２特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記処理液路の上流部から分岐して前記処理液路の下流部に接続した処理液バイパス路を設け、この処理液バイパス路に、その処理液バイパスを通過するバイパス処理液に対してマイクロバブルを供給する前記キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段を装備してある点にある。

この構成によれば、処理液路を通じて給送する処理液のうち処理液バイパス路を通過するバイパス処理液に対してキャビテーション方式のマイクロバブル供給手段によりマイクロバブルを供給するから、最終的には処理液バイパス路の合流箇所より下流側の処理液路における通過処理液の全量にマイクロバルブを含ませるようにしながらも、キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段を小型化することができ、この点で、装置構成の小型化並びに装置コストの低減を一層効果的に達成することができる。

本発明の第４特徴構成は、第３特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
複数の前記処理液バイパス路を並列配置で前記処理液路に設け、これら並列配置の処理液バイパス路の夫々に、それら処理液バイパス路を通過するバイパス処理液に対してマイクロバブルを供給する前記キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段を装備してある点にある。

この構成によれば、複数の処理液バイパス路の夫々に装備する個々のマイクロバブル供給手段を一層小型なもので済ませることができる。

本発明の第５特徴構成は、第２〜４特徴構成のいずれかの実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記処理液路が、前記処理液槽から取り出した処理液を前記処理液槽に戻す処理液循環路、又は、前記処理液ノズルからの噴出処理液を回収する処理液回収槽から取り出した処理液を前記処理液ノズルに給送する処理液循環路である点にある。

この構成によれば、キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段により生成するマイクロバブルを循環処理液に供給するから、マイクロバブル供給手段は小型化しながらも、循環処理液（即ち、処理液槽の槽内処理液や処理液ノズルからの噴出処理液）におけるマイクロバブルの含有比率を効果的に高めることができ、これにより、被処理物に対する表面処理効果を一層高めることができる。

本発明の第６特徴構成は、第１特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記表面処理手段が、被処理物を浸漬させる処理液を貯留する処理液槽及びその槽内に処理液を噴出する処理液ノズル、又は、被処理物に対して処理液を噴出する処理液ノズルであり、
この処理液ノズルに、その処理液ノズルへの供給処理液に対してマイクロバブルを供給する前記キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段を装備してある点にある。

この構成によれば、処理液を噴出する処理液ノズルにおいてマイクロバブルを処理液に供給するから、処理液ノズルに至るまでの処理液給送過程で消滅してしまうマイクロバブルを無くすことができ、これにより、キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段により発生させたマイクロバブルの全量を無駄なく被処理物の表面処理に寄与させることができて、被処理物に対する表面処理効果を一層高めることができる。

また、このようにマイクロバブル供給手段を処理液ノズルに装備する構成を採りながらも、前述の如く二酸化炭素除去手段及び外部空気導入路が不要なことから、処理液ノズル及び処理液ノズル周りの装置構成も簡素にすることができる。

本発明の第７特徴構成は、第６特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
複数の前記処理液ノズルの全てに、又は、複数の前記処理液ノズルのうちの一部の複数処理液ノズルの夫々に、それら処理液ノズルへの供給処理液に対してマイクロバブルを供給する前記キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段を装備してある点にある。

この構成によれば、複数の処理液ノズルから噴出する処理液の夫々にマイクロバブルを供給するから、処理液ノズル群の全体として大量のマイクロバブルを処理液とともに噴出させることができ、これにより、被処理物に対する表面処理効果を一層高めることができる。

電着塗装設備における前処理工程部を示す図 電着塗装設備における塗装工程部を示す図 第１実施形態を示す本脱脂部の構成図 第２実施形態を示す本脱脂部の構成図 第３実施形態を示す予備脱脂部の構成図 第４実施形態を示す予備脱脂部の構成図

〔第１実施形態〕
図１は電着塗装設備における前処理工程部を示し、この電着塗装設備では前処理工程部における複数の処理部として、湯洗部１、予備脱脂部２、本脱脂部３、第１脱脂水洗部４、第２脱脂水洗部５、表面調整部６、化成処理部７、第１化成水洗部８、第２化成水洗部９、前処理純水水洗部１０を、その順に被処理物Ｗ（本例では、自動車ボディ）の搬送方向に並べて装備してある。

また、図２は前処理工程部に続く塗装工程部を示し、この電着塗装設備では塗装工程部における複数の処理部として、電着処理部１１、第１ＵＦ水洗部１２、第２ＵＦ水洗部１３、第３ＵＦ水洗部１４、第１ＲＯ水洗部１５、第２ＲＯ水洗部１６、電着純水水洗部１７、エアブロー部１８を、その順に被処理物Ｗの搬送方向に並べて装備してあり、この塗装工程部で電着塗装を施した被処理物Ｗは、その後、中塗り塗装工程部及び上塗り塗装工程部を経て焼付乾燥工程部へと進める。

これら各工程部は、エアブロー部１８を除いていずれも、被処理物Ｗに処理液Ｌを接触させることで被処理物Ｗの表面を表面処理する工程部であり、湯洗部１及び各水洗部４，５、８〜１０，１２〜１７では、温水、清浄水、純水などの洗浄水を処理液Ｌとして、複数の処理液ノズルＮから被処理物Ｗに対し洗浄水Ｌを噴出することで、被処理物Ｗの表面を洗浄する。

また、予備脱脂部２では、脱脂液を処理液Ｌとして、複数の処理液ノズルＮから被処理物Ｗに対し脱脂液Ｌを噴出することで、被処理物Ｗの表面を予備脱脂処理し、これに続く、本脱脂部３では、脱脂液を処理液Ｌとして、処理液槽Ｔ（脱脂槽２０）における槽内脱脂液Ｌに被処理物Ｗを浸漬させることで、被処理物Ｗの表面を脱脂処理する。

表面調整部６では、表面調整液を処理液Ｌとして、複数の処理液ノズルＮから被処理物Ｗに対し表面調整液Ｌを噴出することで、被処理物Ｗの表面を表面調整処理し、これに続く、化成処理部７では、化成処理液を処理液Ｌとして、処理液槽Ｌ（化成処理槽２１）における槽内化成処理液Ｌに被処理物Ｗを浸漬させることで、被処理物Ｗの表面を化成処理する。

そして、電着処理部１１では、塗料を含む電着液を処理液Ｌとして、処理液槽Ｔ（電着槽２２）における槽内電着液Ｌに被処理物Ｗを浸漬させることで、被処理物Ｗの表面に対し電着塗装処理を施す。

図３に示すように本脱脂部３において、処理液槽Ｔ（脱脂槽２０）の一端には補助槽２０ａを連設し、また、処理液槽Ｔ（脱脂槽２０）の内部には、脱脂液Ｌを噴出することで槽内の脱脂液Ｌを撹拌するとともに槽内脱脂液Ｌの表層に補助槽２０ａに向かう表面流を形成する撹拌・表面流用の複数の処理液ノズルＮを配置してある。

つまり、槽内脱脂液Ｌの撹拌により被処理物Ｗの表面に対する脱脂処理を促進し、また、この脱脂処理で槽内脱脂液Ｌの表層に浮上する油分を槽内脱脂液Ｌの表面流により脱脂液Ｌとともに処理液槽Ｔ（脱脂槽２０）から流出させて補助槽２０ａに流入させる。

補助槽２０ａでは、槽内における表層部の脱脂液Ｌをオーバーフローにより油分とともに流下路２３を通じ予備脱脂部２における処理液回収槽２４に導くのに併行して、槽内の脱脂液Ｌを循環ポンプ２５により処理液循環路２６を通じて処理液槽Ｔ（脱脂槽２０）における上記撹拌・表面流用の複数の処理液ノズルＮに給送する。

処理液循環路２６には熱交換器２７を介装してあり、この熱交換器２７において循環脱脂液Ｌを蒸気などの温熱媒と熱交換させて加熱することで、処理液槽Ｔ（脱脂槽２０）における槽内脱脂液Ｌを脱脂処理に適した温度に調整する。

この熱交換器２７よりも下流側において、処理液循環路２６には、その処理液循環路２６の上流部から分岐して処理液循環路２６の下流部に接続した処理液バイパス路２８を設けてあり、この処理液バイパス路２８には、バイパスポンプ２９とともに、その処理液バイパス路２８を通過するバイパス脱脂液Ｌに対してマイクロバブルを供給するマイクロバブル供給装置３０を介装してある。

つまり、このマイクロバブル供給装置３０によるマイクロバブル供給により、撹拌・表面流用の複数の処理液ノズルＮから噴出する脱脂液Ｌにマイクロバブルを含ませるとともに、そのことで処理液槽Ｔ（脱脂槽２０）における槽内脱脂液Ｌにもマイクロバブルを含ませ、これにより、被処理物Ｗの表面に対する脱脂効果を高める。

マイクロバブル供給装置３０には、処理液バイパス路２８を通過するバイパス脱脂液Ｌにキャビテーションを生じさせることで、そのバイパス脱脂液Ｌの液中にマイクロバブルを発生させるキャビテーション方式のマイクロバブル供給装置を採用してある。

即ち、外部からの空気導入が不要なキャビテーション方式のマイクロバブル供給装置３０を採用することで、バイパス脱脂液Ｌに対するマイクロバブル供給において外部空気中の二酸化炭素がバイパス脱脂液Ｌに補充されないようにして、二酸化炭素補充による脱脂液ＬのｐＨ値低下を防止し、これにより、マイクロバブルによる脱脂効果の向上と相俟って、脱脂液Ｌ自体の脱脂効果も高く保つ。

なお、図３において仮想線で示すように、複数の処理液バイパス路２８を並列配置で処理液循環路２６に設け、これら複数の処理液バイパス路２８の夫々に、外部空気導入が不要なキャビテーション方式のマイクロバブル供給装置３０を装備してもよい。

〔第２実施形態〕
上記第１実施形態では、本脱脂部３の処理液槽Ｔ（脱脂槽２０）における処理液循環路２６に設けた処理液バイパス路２８に、外部空気導入が不要なキャビテーション方式のマクロバブル供給装置３０を装備する例を示したが、これに代え、あるいは、これに加えて、図４に示すように、本脱脂部３の処理液槽Ｔ（脱脂槽２０）に設ける撹拌・表面流用の複数の処理液ノズルＮの全てに、又は、それら撹拌・表面流用の複数の処理液ノズルＮのうちの一部数の複数処理液ノズルＮの夫々に、それら処理液ノズルＮへの供給脱脂液Ｌ（供給処理液）に対してマクロバブルを供給するキャビテーション方式のマクロバブル供給装置３０ａを装備してもよい。

また、この場合、必要であれば、同図４に仮想線で示す如く、循環ポンプ２５を補助するブースタポンプ２５ａを処理液循環路２６に付加装備してもよい。

〔第３実施形態〕
図５に示すように予備脱脂部２では、被処理物Ｗに対し脱脂液Ｌを噴出する複数の処理液ノズルＮを設けるのに対し、これら処理液ノズルＮからの噴出脱脂液Ｌを回収する処理液回収槽２４を設け、この処理液回収槽２４の側部には、脱脂処理で被処理物Ｗの表面から除去した油分を槽内脱脂液Ｌとともに処理液回収槽２４から細塵沈降部３１を通じて流入させる補助槽３２を設けてある。

この補助槽３２では、槽内脱脂液Ｌの表層に浮上する油分を槽内脱脂液Ｌとともに補助槽３２の上部から取出路３３に取り出し、この取り出した油分及び脱脂液Ｌを取出路３３を通じて油分離槽３４に送る。

また、これに併行して、補助槽３２の底部から取り出した脱脂液Ｌを循環ポンプ３５により処理液循環路３６を通じて予備脱脂部２における複数の処理液ノズルＮに給送する。

補助槽３２の内部には、槽内の脱脂液Ｌを蒸気などの温熱媒と熱交換させて加熱する熱交換器３７を装備してあり、これにより、処理液ノズルＮから被処理物Ｗに対して噴出する脱脂液Ｌの温度を予備脱脂処理に適した温度に調整する。

処理液循環路３６には、その処理液循環路３６の上流部から分岐して処理液循環路３６の下流部に接続した処理液バイパス路３８を設けてあり、この処理液バイパス路３８には、バイパスポンプ３９とともに、その処理液バイパス路３８を通過するバイパス脱脂液Ｌに対してマイクロバブルを供給するマイクロバブル供給装置４０を介装してある。

つまり、このマイクロバブル供給装置４０によるマイクロバブル供給により、複数の処理液ノズルＮから被処理物Ｗに対して噴出する脱脂液Ｌにマイクロバブルを含ませ、これにより、被処理物Ｗの表面に対する予備脱脂効果を高める。

マイクロバブル供給装置４０には、処理液バイパス路３８を通過するバイパス脱脂液Ｌにキャビテーションを生じさせることで、そのバイパス脱脂液Ｌの液中にマイクロバブルを発生させるキャビテーション方式のマイクロバブル供給装置を採用してあり、これにより、前述と同様、脱脂液ＬのｐＨ値低下を防止して脱脂液Ｌ自体の予備脱脂効果を高く保つ。

なお、図５において仮想線で示すように、複数の処理液バイパス路３８を並列配置で処理液循環路３６に設け、これら複数の処理液バイパス路３８の夫々に、外部空気導入が不要なキャビテーション方式のマイクロバブル供給装置４０を装備にしてもよい。

〔第４実施形態〕
上記第３実施形態では、予備脱脂部５における処理液循環路３６に設けた処理液バイパス路３８に、外部空気導入が不要なキャビテーション方式のマクロバブル供給装置４０を装備する例を示したが、これに代え、あるいは、これに加えて、図６に示すように、予備脱脂部２において被処理物Ｗに対し脱脂液Ｌ（処理液）を噴出する複数の処理液ノズルＮの全てに、又は、それら複数の処理液ノズルＮのうちの一部数の複数処理液ノズルＮの夫々に、それら処理液ノズルＮへの供給脱脂液Ｌ（供給処理液）に対してマクロバブルを供給するキャビテーション方式のマクロバブル供給装置４０ａを装備してもよい。

また、この場合、必要であれば、同図６に仮想線で示す如く、循環ポンプ３５を補助するブースタポンプ３５ａを処理液循環路３６に付加装備してもよい。

〔別実施形態〕
前述の第１及び第３実施形態では、処理液ノズルＮに処理液Ｌを導く処理液循環路２６，３６に設けた処理液バイパス路２８，３８にキャビテーション方式のマイクロバブル供給装置３０，４０を装備する例を示したが、場合によっては、処理液バイパス路２８，３８を省略した処理液循環路２６，３６そのものにキャビテーション方式のマイクロバブル供給装置３０，４０を装備してもよい。

また、処理液槽Ｔや処理液ノズルＮに処理液Ｌを給送する処理液路のうち、処理液槽Ｔや処理液回収槽２４から取り出した処理液Ｌを処理液槽Ｔや処理液ノズルＮに循環させる処理液循環路２６，３６、あるいは、それら処理液循環路２６，３６に設けた処理液バイパス路２８，３８に、キャビテーション方式のマイクロバブル供給装置３０，４０を装備するのに代えて、処理液槽Ｔや処理液ノズルＮに対して処理液Ｌを一過的に給送する処理液路や、その処理液路に設けた処理液バイパス路に、キャビテーション方式のマイクロバブル供給装置を装備してもよい。

前述の第１〜第４実施形態では、本脱脂部３及び予備脱脂部２で使用する処理液Ｌ（脱脂液）に対してキャビテーション方式のマイクロバブル供給装置によりマイクロバブルを供給する例を示したが、塗装設備における本脱脂部３及び予備脱脂部２以外の各処理部１，４〜１７において使用する処理液Ｌに対してキャビテーション方式のマイクロバブル供給装置によりマイクロバブルを供給するようにしてもよい。

また、本発明は、塗装設備に限らず、マイクロバブル供給に伴う処理液ＬのｐＨ値低下を防止する必要がある種々の表面処理に適用することができ、処理液Ｌにより表面処理を施す被処理物Ｗも自動車ボディに限られるものではない。

Ｌ 処理液
３０，４０ マイクロバブル供給手段
３０ａ，４０ａ マイクロバブル供給手段
Ｗ 被処理物
Ｔ，Ｎ 表面処理手段
Ｔ 処理液槽
Ｎ 処理液ノズル
２６，３６ 処理液路，処理液循環路
２８，３８ 処理液バイパス路
２４ 処理液回収槽

Claims (7)

1. 処理液にマイクロバブルを供給するマイクロバブル供給手段と、
   このマイクロバブル供給手段によりマイクロバブルを供給した処理液を被処理物に接触させて被処理物の表面を処理する表面処理手段とを備えるマイクロバブル利用の表面処理装置であって、
   前記マイクロバブル供給手段として、処理液にキャビテーションを生じさせることにより処理液中の溶存気体をマイクロバブルとして処理液中に発生させるキャビテーション方式のマイクロバブル供給手段を用いることで、マイクロバブル供給による処理液のｐＨ値の低下を防止するマイクロバブル利用の表面処理装置。
2. 前記表面処理手段が、被処理物を浸漬させる処理液を貯留する処理液槽、又は、被処理物に対して処理液を噴出する処理液ノズルであり、
   これら処理液槽又は処理液ノズルに処理液を給送する処理液路に、その処理液路を通過する処理液に対してマイクロバブルを供給する前記キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段を装備してある請求項１に記載したマイクロバブル利用の表面処理装置。
3. 前記処理液路の上流部から分岐して前記処理液路の下流部に接続した処理液バイパス路を設け、この処理液バイパス路に、その処理液バイパスを通過するバイパス処理液に対してマイクロバブルを供給する前記キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段を装備してある請求項２に記載したマイクロバブル利用の表面処理装置。
4. 複数の前記処理液バイパス路を並列配置で前記処理液路に設け、これら並列配置の処理液バイパス路の夫々に、それら処理液バイパス路を通過するバイパス処理液に対してマイクロバブルを供給する前記キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段を装備してある請求項３に記載したマイクロバブル利用の表面処理装置。
5. 前記処理液路が、前記処理液槽から取り出した処理液を前記処理液槽に戻す処理液循環路、又は、前記処理液ノズルからの噴出処理液を回収する処理液回収槽から取り出した処理液を前記処理液ノズルに給送する処理液循環路である請求項２〜４のいずれか１項に記載したマイクロバルブ利用の表面処理装置。
6. 前記表面処理手段が、被処理物を浸漬させる処理液を貯留する処理液槽及びその槽内に処理液を噴出する処理液ノズル、又は、被処理物に対して処理液を噴出する処理液ノズルであり、
   この処理液ノズルに、その処理液ノズルへの供給処理液に対してマイクロバブルを供給する前記キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段を装備してある請求項１に記載したマイクロバブル利用の表面処理装置。
7. 複数の前記処理液ノズルの全てに、又は、複数の前記処理液ノズルのうちの一部の複数処理液ノズルの夫々に、それら処理液ノズルへの供給処理液に対してマイクロバブルを供給する前記キャビテーション方式のマイクロバブル供給手段を装備してある請求項６に記載したマイクロバブル利用の表面処理装置。

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