JP2009156499A - 真空乾燥装置における乾燥終点の確認方法 - Google Patents

真空乾燥装置における乾燥終点の確認方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2009156499A
JP2009156499A JP2007333985A JP2007333985A JP2009156499A JP 2009156499 A JP2009156499 A JP 2009156499A JP 2007333985 A JP2007333985 A JP 2007333985A JP 2007333985 A JP2007333985 A JP 2007333985A JP 2009156499 A JP2009156499 A JP 2009156499A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
drying
vacuum
vacuum gauge
end point
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007333985A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5094372B2 (ja
Inventor
Takashi Hanamoto
隆史 花本
Katsuhiko Ito
勝彦 伊藤
Takao Kinoshita
貴夫 木下
Nobuki Ito
薫樹 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
Priority to JP2007333985A priority Critical patent/JP5094372B2/ja
Publication of JP2009156499A publication Critical patent/JP2009156499A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5094372B2 publication Critical patent/JP5094372B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract


【課題】真空乾燥装置において、乾燥終点を容易且つ確実に確認可能にする技術を提供する。
【解決手段】本発明は、真空乾燥装置において、乾燥槽内に配置した被乾燥物を加熱するとともに乾燥槽内を真空排気してコールドトラップを行うことによって乾燥工程を行う際に、乾燥槽内の全圧を測定してその乾燥終点を確認する方法であって、測定ガスの種類による測定指示値の影響を受けない全圧測定可能な第1の真空計と、熱伝導を利用する全圧測定可能な真空計で、かつ、測定ガスの種類によって測定指示値に差が生ずる第2の真空計とを用いる。第1の真空計による乾燥槽における測定指示値と、第2の真空計による乾燥槽における測定指示値とを比較し、当該測定指示値の差が極小に収束する時点を乾燥終点確認時と判断する。
【選択図】 図2

Description

本発明は、例えば凍結真空乾燥装置等の真空乾燥装置において、被乾燥物の乾燥終点を確認する技術に関する。
従来、凍結真空乾燥装置等の真空乾燥装置においては、乾燥確認の方法として、例えば、(1)乾燥時間(加熱後数時間で乾燥終了)で判断する方法、(2)品温の上昇(加熱温度との差が数℃以内)で判断する方法、(3)圧力上昇法(コールドトラップと乾燥槽との間の主弁を閉じ乾燥槽内の圧力を一定時間計測し被乾燥物から出る水蒸気による圧力上昇が所定値以内)で判断する方法等が知られている(例えば、特許文献1〜3参照)。
しかし、このような従来技術においては、種々の課題がある。
すなわち、乾燥時間によって乾燥終了を判断する方法の場合、一つの品種でデータを揃えていれば実現は可能であるものの、複数の品種に対してこれを実現することは実際上困難である。
また、品温の上昇確認によって判断する方法の場合、温度を計測しているのは乾燥槽における1点または数点であり、広い乾燥槽内全体に温度ムラがある場合、乾燥終了するまでに長時間(数時間程度)余裕を取る必要がある。
さらに、圧力上昇法によって判断する場合、主弁を閉じた後に圧力上昇測定時間が必要となるため、連続して監視することができない。
特開平6−229674号公報 特開平5−272867号公報 特開平10−308383号公報
本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたものであって、真空乾燥装置において、乾燥終点を容易且つ確実に確認可能にする技術を提供することを目的とする。
上記目的を達成するためになされた請求項1記載の発明は、真空乾燥装置において、乾燥槽内に配置した被乾燥物を加熱するとともに当該乾燥槽内を真空排気してコールドトラップを行うことによって乾燥工程を行う際に、前記乾燥槽内の全圧を測定してその乾燥終点を確認する方法であって、測定ガスの種類による測定指示値の影響を受けない全圧測定可能な第1の真空計と、熱伝導を利用する全圧測定可能な真空計で、かつ、測定ガスの種類によって測定指示値に差が生ずる第2の真空計とを用い、前記第1の真空計による前記乾燥槽における測定指示値と、前記第2の真空計による前記乾燥槽における測定指示値とを比較し、当該測定指示値の差が極小に収束する時点を乾燥終点確認時と判断する乾燥終点の確認方法である。
請求項2記載の発明は、真空乾燥装置において、乾燥槽内に配置した被乾燥物を加熱するとともに当該乾燥槽内を真空排気してコールドトラップを行うことによって乾燥工程を行う際に、前記乾燥槽内の全圧を測定してその乾燥終点を確認する方法であって、測定ガスの種類による測定指示値の影響を受けない全圧測定可能な第1の真空計と、熱伝導を利用する全圧測定可能な真空計で、かつ、測定ガスの種類によって測定指示値に差が生ずる第2の真空計とを用い、前記第2の真空計の測定指示曲線における下降曲線の変曲点の時刻を乾燥終点確認時と判断する乾燥終点の確認方法である。
請求項3記載の発明は、請求項1又は2のいずれか1項記載の発明において、前記第1の真空計として、隔膜圧力計を用いるとともに、前記第2の真空計として、ピラニ真空計を用いるものである。
請求項4記載の発明は、請求項1乃至3のいずれか1項記載の発明において、前記真空乾燥装置として、凍結真空乾燥装置を用いるものである。
本発明の場合、測定ガスの種類による測定指示値の影響を受けない全圧測定可能な第1の真空計(例えば隔膜圧力計であるキャパシタンスマノメータ)と、熱伝導を利用する全圧測定可能な真空計で、かつ、測定ガスの種類によって測定指示値に差が生ずる第2の真空計(例えばピラニ真空計)とを用いることから、真空乾燥の際、乾燥槽内では、被乾燥物から水蒸気(又は第3ブタノール等揮発性の物質)が発生する影響により、第1の真空計における測定指示値と、第2の真空計における測定指示値に差が生ずる。
そこで、これら第1及び第2の真空計における測定指示値の差を比較し、当該測定指示値の差が極小に収束する時点を乾燥終点確認時と判断することによって、又は第2の真空計の測定指示曲線における下降曲線の変曲点の時刻を乾燥終点確認時と判断することによって、乾燥終点を容易且つ確実に確認することが可能になる。
そして、本発明によれば、迅速に一次乾燥を行い、更に二次乾燥(加熱温度を昇温する工程又は操作圧力を下げる工程)へ移行することが可能になる。
本発明によれば、真空乾燥装置において、乾燥終点を容易且つ確実に確認することができる。
以下、本発明の好ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明を実施するための凍結真空乾燥装置の一例を示す概略構成図である。
図1に示すように、この凍結真空乾燥装置1は、被乾燥物50を収容可能な収容棚2を内蔵した乾燥槽3を有している。
ここでは、媒体膨張槽4に接続される収容棚2が複数設けられ、複数の被乾燥物50を乾燥槽3内に収容できるようになっている。
この乾燥槽3は、主弁5を介してコールドトラップ6に接続されている。
コールドトラップ6は、その容器本体7内に凝縮管8を備えており、容器本体7は、メカニカルブースターポンプ9と油回転真空ポンプ10を有する真空排気系11に接続されている。
また、コールドトラップ6の凝縮管8は、−60℃程度に冷却可能な低温伝熱面となっている。
一方、コールドトラップ6の凝縮管8に対しては、冷凍機12によって冷却された冷却媒体が供給され、さらに、この冷却媒体は、媒体冷却器14を介して循環させるように構成されている。
さらに、媒体膨張槽4は媒体ポンプ15に接続され、さらに媒体ポンプ15は三方切換弁16を介して媒体冷却器14又は媒体ヒーター17に接続されている。
ここで、媒体ヒーター17は、媒体冷却器14にも接続されており、このように構成された媒体ヒーター17によって、乾燥槽3内の収容棚2を加熱及び温度制御するようになっている。
一方、本実施の形態においては、乾燥槽3内の圧力(全圧)を測定するための手段として、測定方式の異なる第1及び第2の真空計18、19を有している。
これら第1及び第2の真空計18、19は、それぞれ温度圧力記録計20に接続され、測定した乾燥槽3内の圧力データを記録するようになっている。
本発明の場合、特に限定されることはないが、通常水を含む物質を乾燥させる場合において本発明の実施を有効にする観点からは、第1の真空計18として、乾燥時の圧力が1Pa〜200Pa程度の圧力範囲で全圧計測可能な真空計であって、ガスの種類の影響を受けない隔膜圧力計であるキャパシタンスマノメータを用いることが好ましい。
また、同様の観点から、第2の真空計19として、乾燥時の圧力が1Pa〜200Pa程度の圧力範囲が全圧計測可能な真空計であって、熱伝導を利用し測定ガスの種類によって測定指示値に差が生ずるピラニ真空計を利用することが好ましい。
温度圧力記録計20は、マイクロコンピュータ等を有する制御手段21に接続され、それぞれのデータを処理するように構成されている。
図2は、本発明方法の一例を示すフロー図、図3は、第1及び第2の真空計の測定指示値の時間変化を模式的に示すグラフである。
本実施の形態では、上述した凍結真空乾燥装置1を用い、図2に示すように、ステップS1において、まず、乾燥工程を開始する。
ここでは、主弁5を開き、コールドトラップ6を介して真空排気を行うとともに、冷凍機12とコールドトラップ6間において冷却媒体を循環させる。
また、媒体ヒーター17によって乾燥槽3内の収容棚2を所定の温度に加熱する。
これにより、乾燥槽3内において、被乾燥物50から水蒸気(又は第3ブタノール等揮発性の物質)が発生し、この水蒸気等の気体が乾燥槽3内を満たす。
そして、被乾燥物50から発生した水蒸気等は、コールドトラップ6内において、−60℃程度に冷却された凝縮管8の低温伝熱面によって凝固し捕集される。
この状態において、第1及び第2の真空計18、19で乾燥槽3内の全圧測定を行い(ステップS2)、測定した乾燥槽3内の圧力データを温度圧力記録計20に記録する。
さらに、制御手段21において、第1及び第2の真空計18、19の測定指示値を比較する(ステップS3)。
乾燥を開始した後、乾燥末期において被乾燥物50から水蒸気が発生しなくなると、乾燥槽3内の水蒸気が全量コールドトラップ6の凝縮管8の低温伝熱面に凝固捕集されるため、乾燥槽3内の圧力の水蒸気分圧が下がる。
本実施の形態では、第2の真空計19として、測定ガスの種類によって測定指示値に差が生ずるピラニ真空計を用い、水蒸気等を含有するガスを測定していることから、第1及び第2の真空計18、19の間で測定指示値に差が生ずる。
すなわち、第1の真空計18であるキャパシタンスマノメータは、測定ガスの種類によって測定指示値の影響を受けないため、例えば、図3に示すように、乾燥開始後、乾燥終末付近になっても、測定指示値に変化が生じない。
一方、ピラニ真空計を用いた第2の真空計19の測定指示値は、乾燥末期において、乾燥槽3内における水蒸気分圧が下がることによって大気(空気)の組成に近くなるため、例えば、図3に示すように、測定指示値が急激に下がるようになる。
そして、その結果、乾燥終末付近において、第1及び第2の真空計18、19の測定指示値の差が小さくなり、ほぼ一致するように収束する。
本例では、第1及び第2の真空計18、19の測定指示値の差が極小に収束したか否かを制御手段21において判断し(ステップS4)、この値となった時点を乾燥終了とする(ステップS5)。
具体的には、図3に示すように、第2の真空計(ピラニ真空計)19の測定指示曲線が急激に下がる領域において、当該下降曲線が極大から極小に変化する点の時刻を乾燥終点確認時と判断する。
その後、凍結真空乾燥装置1において、例えば、乾燥終了を知らせるランプ(図示せず)を点灯させることにより、乾燥工程を終了し、次の工程に移行する。
以上述べた本例によれば、凍結真空乾燥装置1において、乾燥終点を容易且つ確実に確認することができ、更に二次乾燥(加熱温度を昇温する工程又は操作圧力を下げる工程)へ移行することができるものである。
図4は、本発明方法の他の例を示すフローチャートである。
以下、上記例と対応する部分には同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
本例においても、乾燥工程開始(ステップS1)後、上述した例と同様に、第1及び第2の真空計18、19で乾燥槽3内の全圧測定を行い(ステップS2)、測定した乾燥槽3内の圧力データを温度圧力記録計20に記録する。
さらに、制御手段21において、第1及び第2の真空計18、19の測定指示値を比較する(ステップS3)。
その後、乾燥末期において、ピラニ真空計を用いた第2の真空計19の測定指示値が急激に下がった状態において、次のように判断する。
すなわち、本例では、図5に示すように、第2の真空計(ピラニ真空計)19の測定指示曲線について、急激に下がる領域の測定指示曲線の変曲点、すなわち、下降曲線が上に凸から下に凸に変化する点の時刻を乾燥終点確認時と判断する。
その後は、上記例と同様に、凍結真空乾燥装置1において、例えば、乾燥終了を知らせるランプ(図示せず)を点灯させることにより、乾燥工程を終了し、次の工程に移行する。
以上述べた本例によっても、凍結真空乾燥装置1において、乾燥終点を容易且つ確実に確認することができ、更に二次乾燥(加熱温度を昇温する工程又は操作圧力を下げる工程)へ移行することができる。
特に本例によれば、乾燥終了をより早く確認することができる。その他の構成及び作用効果については上述の例と同一であるのでその詳細な説明を省略する。
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、上述の実施の形態においては、第2の真空計19の測定指示曲線について、急激に下がる領域の測定指示曲線が極大から極小に変化する点、又は測定指示曲線の変曲点の時刻を乾燥終点確認時と判断するようにしたが、本発明はこれに限られず、これらの時刻より後であれば、多少余裕を持つように設定することも可能である。
また、上述の実施の形態では、凍結真空乾燥装置に適用した場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限られず、例えば、回転式真空乾燥装置、攪拌式真空乾燥装置等の他の方式の真空乾燥装置にも適用することができる。
本発明を実施するための凍結真空乾燥装置の一例を示す概略構成図 本発明方法の一例を示すフロー図 第1及び第2の真空計の測定指示値の時間変化を模式的に示すグラフ 本発明方法の他の例を示すフロー図 第1及び第2の真空計の測定指示値の時間変化を模式的に示すグラフ
符号の説明
1…凍結真空乾燥装置、2…収容棚、3…乾燥槽、6…コールドトラップ、11…真空排気系、12…冷凍機、17…媒体ヒーター、18…第1の真空計(キャパシタンスマノメータ)、19…第2の真空計(ピラニ真空計)、20…温度圧力記録計、21…制御手段

Claims (4)

  1. 真空乾燥装置において、乾燥槽内に配置した被乾燥物を加熱するとともに当該乾燥槽内を真空排気してコールドトラップを行うことによって乾燥工程を行う際に、前記乾燥槽内の全圧を測定してその乾燥終点を確認する方法であって、
    測定ガスの種類による測定指示値の影響を受けない全圧測定可能な第1の真空計と、熱伝導を利用する全圧測定可能な真空計で、かつ、測定ガスの種類によって測定指示値に差が生ずる第2の真空計とを用い、
    前記第1の真空計による前記乾燥槽における測定指示値と、前記第2の真空計による前記乾燥槽における測定指示値とを比較し、当該測定指示値の差が極小に収束する時点を乾燥終点確認時と判断する乾燥終点の確認方法。
  2. 真空乾燥装置において、乾燥槽内に配置した被乾燥物を加熱するとともに当該乾燥槽内を真空排気してコールドトラップを行うことによって乾燥工程を行う際に、前記乾燥槽内の全圧を測定してその乾燥終点を確認する方法であって、
    測定ガスの種類による測定指示値の影響を受けない全圧測定可能な第1の真空計と、熱伝導を利用する全圧測定可能な真空計で、かつ、測定ガスの種類によって測定指示値に差が生ずる第2の真空計とを用い、
    前記第2の真空計の測定指示曲線における下降曲線の変曲点の時刻を乾燥終点確認時と判断する乾燥終点の確認方法。
  3. 前記第1の真空計として、隔膜圧力計を用いるとともに、前記第2の真空計として、ピラニ真空計を用いる請求項1又は2のいずれか1項記載の乾燥終点の確認方法。
  4. 前記真空乾燥装置として、凍結真空乾燥装置を用いる請求項1乃至3のいずれか1項記載の乾燥終点の確認方法。
JP2007333985A 2007-12-26 2007-12-26 真空乾燥装置における乾燥終点の確認方法 Active JP5094372B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007333985A JP5094372B2 (ja) 2007-12-26 2007-12-26 真空乾燥装置における乾燥終点の確認方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007333985A JP5094372B2 (ja) 2007-12-26 2007-12-26 真空乾燥装置における乾燥終点の確認方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009156499A true JP2009156499A (ja) 2009-07-16
JP5094372B2 JP5094372B2 (ja) 2012-12-12

Family

ID=40960716

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007333985A Active JP5094372B2 (ja) 2007-12-26 2007-12-26 真空乾燥装置における乾燥終点の確認方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5094372B2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016109348A (ja) * 2014-12-05 2016-06-20 株式会社アルバック 真空乾燥の終点検知方法及び真空乾燥装置
CN106679338A (zh) * 2015-07-13 2017-05-17 株式会社爱发科 真空干燥装置及真空干燥方法
KR20170065072A (ko) * 2015-12-02 2017-06-13 주식회사 덕산유엠티 질소 건조식 글러브 박스
JP2018169083A (ja) * 2017-03-29 2018-11-01 株式会社前川製作所 凍結乾燥物の内部状態判定方法、内部状態判定装置及び凍結乾燥装置
JP2020159629A (ja) * 2019-03-26 2020-10-01 株式会社アルバック 凍結乾燥方法及び凍結乾燥装置
JP2021521405A (ja) * 2018-04-10 2021-08-26 アイエムエー ライフ ノース アメリカ インコーポレーテッド 凍結乾燥プロセス及び機器健全性モニタリング

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63185093U (ja) * 1987-05-19 1988-11-28
JPH05272867A (ja) * 1992-03-26 1993-10-22 Okawara Mfg Co Ltd 真空乾燥装置における乾燥状態検知方法並びに乾燥状態検知機構
JPH08121956A (ja) * 1994-10-20 1996-05-17 Shunichi Yagi 真空乾燥装置
JP2004232965A (ja) * 2003-01-30 2004-08-19 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 真空乾燥システム、真空乾燥方法およびプログラム
JP2005214599A (ja) * 2004-02-02 2005-08-11 Fec:Kk 真空乾燥装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63185093U (ja) * 1987-05-19 1988-11-28
JPH05272867A (ja) * 1992-03-26 1993-10-22 Okawara Mfg Co Ltd 真空乾燥装置における乾燥状態検知方法並びに乾燥状態検知機構
JPH08121956A (ja) * 1994-10-20 1996-05-17 Shunichi Yagi 真空乾燥装置
JP2004232965A (ja) * 2003-01-30 2004-08-19 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 真空乾燥システム、真空乾燥方法およびプログラム
JP2005214599A (ja) * 2004-02-02 2005-08-11 Fec:Kk 真空乾燥装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016109348A (ja) * 2014-12-05 2016-06-20 株式会社アルバック 真空乾燥の終点検知方法及び真空乾燥装置
CN106679338A (zh) * 2015-07-13 2017-05-17 株式会社爱发科 真空干燥装置及真空干燥方法
TWI688738B (zh) * 2015-07-13 2020-03-21 日商愛發科股份有限公司 真空乾燥裝置及真空乾燥方法
KR20170065072A (ko) * 2015-12-02 2017-06-13 주식회사 덕산유엠티 질소 건조식 글러브 박스
KR101865563B1 (ko) * 2015-12-02 2018-06-11 (주)덕산테코피아 질소 건조식 글러브 박스
JP2018169083A (ja) * 2017-03-29 2018-11-01 株式会社前川製作所 凍結乾燥物の内部状態判定方法、内部状態判定装置及び凍結乾燥装置
JP2021521405A (ja) * 2018-04-10 2021-08-26 アイエムエー ライフ ノース アメリカ インコーポレーテッド 凍結乾燥プロセス及び機器健全性モニタリング
JP7449235B2 (ja) 2018-04-10 2024-03-13 アイエムエー ライフ ノース アメリカ インコーポレーテッド 凍結乾燥プロセス及び機器健全性モニタリング
JP2020159629A (ja) * 2019-03-26 2020-10-01 株式会社アルバック 凍結乾燥方法及び凍結乾燥装置
JP7232097B2 (ja) 2019-03-26 2023-03-02 株式会社アルバック 凍結乾燥方法及び凍結乾燥装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP5094372B2 (ja) 2012-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5094372B2 (ja) 真空乾燥装置における乾燥終点の確認方法
US10782070B2 (en) Energy recovery in a freeze-drying system
TWI436046B (zh) 多層膜箱及多層膜箱之洩漏測試方法
Singh et al. Operational characteristics of the miniature loop heat pipe with non-condensable gases
US3621906A (en) Control system for heat pipes
CN101469689A (zh) 低温泵、低温泵单元、包括低温泵单元的真空处理设备以及低温泵再生方法
US4949473A (en) Freeze drying apparatus with additional condensation surface and refrigeration source
US2994132A (en) Freeze drying apparatus
TWI778221B (zh) 隔熱配管系統及處理系統
JP6617951B2 (ja) 真空乾燥装置および真空乾燥方法
CA3012914C (en) Vacuum drying kilns and control systems therefore
TWI597465B (zh) 真空塡充及脫氣系統
JP6124367B2 (ja) 低温用比較校正装置
CN106500762B (zh) 一种复合式智能真空干燥动力学实验平台
JP4436863B2 (ja) 再生構造を備えた冷却トラップユニット
JPH05272867A (ja) 真空乾燥装置における乾燥状態検知方法並びに乾燥状態検知機構
Ganguly et al. Recommended best practices in freeze dryer equipment performance qualification: 2022
US20190025387A1 (en) Fluid path insert for a cryogenic cooling system
JPH1054680A (ja) ヒートパイプへの作動液封入方法及び作動液封入装置
JP2016121865A (ja) 冷却装置およびこれを搭載した電子機器
JP2017020737A (ja) クライオトラップ
JP2011240735A (ja) 車両の熱管理システム
JP2960341B2 (ja) 加熱装置
CN105698151A (zh) 用于超高真空系统的可控低温汞蒸气源
JP2021107049A (ja) 濃縮装置及び濃縮装置の運転方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100727

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120703

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20120802

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120802

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120904

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120918

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5094372

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150928

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250