JP2009154282A - 板状物の研削方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 板状物の研削方法であって、チャックテーブル上に流体層を形成し、この流体層を介してチャックテーブルに向けて超音波を放射し、超音波を放射してからチャックテーブルからの反射波を受信するまでの時間T1を計測する。次いで、厚さhの校正片をチャックテーブル上に載置し、超音波を放射してから校正片の上面での反射波を受信するまでの時間T2を計測する。時間T1,T2及び校正片の厚さhに基づいて、流体層の音速Crを算出する。次いで、校正片を取り外してチャックテーブル上に板状物を載置し、超音波を放射してから板状物の上面及び下面で反射した反射波を受信するまでの時間T3,T4を計測する。T1−T4及び流体層の音速Crに基づいて、板状物の音速Ciを算出し、(T4−T3)/2×Ciで求まる板状物の厚みtが所望厚さに一致した時に研削を終了する。
【選択図】図7
Description
式(1)から流体の音速Crは、Cr=2h/(T1−T2)として算出される。
式(2)からウエーハ11の厚さtは、t=(T1−T3)/2×Crとして算出される。
式(3)からウエーハ11の音速Ciは、Ci=(T1−T3)Cr/(T4−T3)として算出される。このように、ウエーハ11の音速Ciが算出されると、研削中のウエーハ11の厚みtは、下記の式(4)から求めることができる。
ウエーハ11の研削を継続することでT3とT4が変化し、演算部112で式(4)を演算して得られたウエーハ11の厚みtは研削装置2のコントローラ114に入力され、ウエーハ11の厚みtが所望厚さt´と一致した時に研削装置2によるウエーハ11の研削を終了する。なお、図8において、校正片116及びウエーハ11のサイズは実際のサイズより小さく描かれている。
11 半導体ウエーハ
16 研削手段(研削ユニット)
24 スピンドル
26 サーボモータ
30 研削ホイール
34 研削砥石
50 チャックテーブルユニット
54 チャックテーブル
57 非接触厚み計測装置
106 超音波素子
108 パルス電圧発生部
110 時間計測部
112 演算部
Claims (1)
- チャックテーブルに保持された板状物を研削する板状物の研削方法であって、
該チャックテーブルの上面に向けて流体層を介して超音波を放射してから該チャックテーブルの上面で反射した反射波が該流体層を介して受信されるまでの時間T1を計測し、
該チャックテーブルの上面へ厚さhの校正片を載置し、
該チャックテーブルで保持した厚さhの校正片に向けて該流体層を介して超音波を放射してから該校正片の上面で反射した反射波を該流体層を介して受信するまでの時間T2を計測し、
前記時間T1,T2及び前記校正片の厚さhに基づいて、該流体層を形成する流体の音速Crを算出し、
該チャックテーブルの上面から前記校正片を取り外して研削すべき板状物を該チャックテーブルの上面へ載置し、
該チャックテーブルで保持した該板状物に向けて該流体層を介して超音波を放射してから該板状物の上面で反射した反射波を該流体層を介して受信するまでの時間T3を計測し、
前記時間T1,T3及び算出した流体の音速Crに基づいて、該板状物の厚さtを算出し、
該チャックテーブルで保持した厚さtの板状物に向けて該流体層を介して超音波を放射してから該板状物の下面で反射した反射波を該流体層を介して受信するまでの時間T4を計測し、
前記時間T1−T4及び流体の音速Crに基づいて、該板状物の音速Ciを算出し、
該板状物の研削を実施し、
(T4−T3)/2×Ciで求まる該板状物の厚みtが所望厚さに一致した時に研削を終了する、
各ステップを具備したことを特徴とする板状物の研削方法。
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