JP2009152480A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ボンディングツール20と、ホーン30と、支持アーム40と、支持体50と、支持アーム40を支持体50との連結部分で傾動させ、ボンディングツール20をワークWへ加圧させる駆動手段60と、駆動手段60による駆動力に応じて変位する板ばね70と、板ばね70の自由端側の位置検出体80を検出する位置検出手段82と、位置検出体80の位置情報に基づきボンディングツール20の加圧力を算出する加圧力算出手段(制御部90)と、算出された加圧力に基づいて駆動手段60の駆動力を制御する駆動力制御手段(制御部90)と、を有し、ボンディングツール20の加圧力を設計加圧力に維持するように駆動手段60の駆動力を制御する。
【選択図】図7
Description
また、前記接触状態検出手段は、接触状態の検出位置が調整可能であることを特徴とする。
これらにより、ボンディング面にボンディングツールが接触したことを正確に検出することができ、ボンディングツールによるボンディング面への加圧力制御を適切なタイミングで行うことができる。
また、太径のボンディングワイヤをボンディング面に対して適切な加圧力を維持した状態でボンディングすることができるため、高品質なワイヤボンディング接続が可能になり、製品の歩留まりも大幅に向上させることができる。
以下、本発明にかかるワイヤボンディング装置に搭載されるボンディングヘッドの実施形態について、図面に基づいて説明する。図1は、第1実施形態におけるボンディングヘッドの斜視図である。図2は、第1実施形態におけるボンディングヘッド側面図である。図3は、図2中のA部分における内部構造を示したボンディングヘッドの側面図である。
ワークWは、ボンディングツール20の直下位置にセットされ、必要に応じて移動させることができる状態に設けられている。ワークWの詳細な状態については後述する。
本実施形態においては、タングステンカーバイト等のいわゆる超硬材料により形成されたウェッジボンディング用のボンディングツール20が用いられている。
ホーン30は取付具32により基部側が支持アーム40に固定された状態で取り付けられている。従ってホーン30は支持アーム40と共に上下方向に傾動し、ボンディングツール20を上下方向(図1中の矢印Z方向)に揺動可能に保持している。
図3において、駆動手段60を矢印Y方向に作動させると、支持アーム40は軸受ベアリング52を中心軸として下方に傾動する。支持アーム40が下方側に傾動すると、支持アーム40に固定されたホーン30の先端に取り付けられているボンディングツール20がボンディング面に当接する。ボンディングツール20がボンディング面に当接した後も駆動手段60を作動させ続けると、ボンディングツール20がボンディング面に接触していることで、支持アーム40の傾動量が規制されることになる。すなわち、板ばね70の長辺側74は、図4に示すように矢印Y方向に湾曲(変位)するようになる。
板ばね70の長辺側74端部における変位量と、ボンディングツール20によるボンディング面へのボンディングワイヤの加圧力の関係は、事前の実験によりそれぞれ算出することができる。板ばね70の長辺側74端部における変位量とボンディングツール20のボンディング面へのボンディングワイヤの加圧力の関係は、加圧力算出手段として機能する制御部90の図示しない記憶手段に予め記憶されている。
ホーン30の超音波発振子による超音波振動の付与が完了すると、制御部90は、駆動手段60への電力供給を停止し、ボンディングツール20からボンディング面へ付与されていた加圧力を解除し、ボンディングが完了する。
オペレータはスコープ99によりワーク保持台105上のワークWの位置を確認しながら、ワークWのボンディング面位置をボンディングツール20の下方位置となるようにX−Yテーブル107を手動により操作してワークWを位置決めした状態でセットする。このような構成は特に試作機用のワイヤボンディング装置100において好適に採用される。
超音波発振子の作動時間は予め制御部90の記憶手段に記憶されていて、予め設定した時間が経過すると、超音波発振子による超音波振動の付与が停止する。超音波発振子による超音波発振動作の停止と同時に、制御部90は駆動手段60への電力供給を停止し、ボンディングツール20をボンディング面から離反させ、ファーストボンディングを完了させる。
図6は、第2実施形態におけるボンディングヘッドの斜視図である。図7は、第2実施形態におけるボンディングヘッドの一部を透視した側面図である。
本実施形態におけるボンディングヘッド10の構成部品のそれぞれは、先の実施形態におけるボンディングヘッド10の構成部品とそれぞれ同じであるが、板ばね70の長辺側74が水平方向に延出する配置で支持アーム40に固定されている点に加え、ボンディングツール20がボンディング面に接触した状態を検出する接触状態検出手段55をさらに具備している点で先の実施形態と異なっている。
保持アーム40の基部42には、ステンレス鋼によりL字状に形成された板ばね70の短辺側72が取り付けられている。板ばね70の長辺側74は保持アーム40の水平部46に並行して水平方向に延出した状態になる。
駆動手段60は先の実施形態と同様に電磁ソレノイドが好適に用いられる。本実施形態における駆動手段60は、支持体50から支持アーム40の水平部46の両脇部分から水平部46が延伸する側に伸びるアーム板54の上面部分どうしを連結する保持板56に固定され、出力軸62が鉛直方向に伸縮する配置に設けられている。
接触状態検出手段55は支持体50の表面から内部に往復動自在に挿通したスライダと一体に形成されているので、スライダ位置を調整することで、脚板49の検出位置(ボンディングツール20がボンディング面へ接触する位置)を実際の状態に合わせて適宜設定することができる。
基本状態を設定した後、手動または自動により制御部90が起動する。制御部90により駆動手段60が作動すると、支持アーム40が軸受ベリング52を中心軸として下方側に傾動する。支持アーム40の下方側への傾動に伴い脚板49も接触状態検出手段55に接近する状態に傾動する。接触状態検出手段55が脚板49を検出すると、制御部90はボンディングツール20がボンディング面に接触した状態と判断する。
例えば、以上の実施形態においては、駆動手段60として電磁ソレノイドを用いているが、電磁ソレノイドに替えてサーボモータ等、他の駆動手段を採用することができるのはもちろんである。また、位置検出手段82についても近接式距離計測器やホール素子以外のセンサを用いることができ、位置検出体80も位置検出手段82に合わせて適宜変更することができるのはもちろんである。
また、第1実施形態にバランス用スプリング53とアジャスタネジ51を装着することで、支持アーム40の自重による傾動を防止する機能を付加することももちろん可能である。
20 ボンディングツール
30 ホーン
32 取付具
40 保持アーム
42 基部
46 水平部
48 貫通孔
49 脚板
49A 突出片
50 支持体
51 アジャスタネジ
52 軸受ベアリング
53 バランス用スプリング
54 アーム板
55 接触状態検出手段
56 保持板
58 反力板
60 駆動手段
62 出力軸
64 スプリングホルダ
66 ナット
70 板ばね
72 短辺側
74 長辺側
76 コイルばね
78 ボルト
80 位置検出体
81 ブラケット
82 位置検出手段
84 保持具
90 制御部
99 スコープ
100 ワイヤボンディング装置
101 保持ロッド
103 保持台
105 ワーク保持台
107 X−Yテーブル
Claims (5)
- ボンディングワイヤをワークに接続するボンディングツールと、
該ボンディングツールを先端部に保持する超音波ホーンと、
前記超音波ホーンが取り付けられた支持アームと、
前記支持アームの基部を回動可能に連結した支持体と、
該支持体に固定され、前記支持アームを前記支持体との連結部分を支持軸として傾動させ、前記ボンディングツールをワークへ加圧させる駆動手段と、
一端部が固定端として前記支持アームに取り付けられ、他端部が自由端として前記駆動手段が連結され、該駆動手段による駆動力に応じて変位する板ばねと、
前記支持アームに取り付けられ、前記板ばねの自由端側に取り付けられた位置検出体の位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段により検出された前記位置検出体の位置情報に基づいて、前記ボンディングツールがボンディング面を加圧する加圧力を算出する加圧力算出手段と、
前記加圧力算出手段により算出された加圧力に基づいて前記駆動手段の駆動力を制御する駆動力制御手段と、を有し、
前記駆動力制御手段は、前記ボンディングツールがボンディング面に接触した後、ボンディングツールによるボンディング面への加圧力が所定の加圧力に到達した時点からワイヤボンディングが完了する時点までの間、前記ボンディングツールの加圧力を前記所定の加圧力に維持するように前記駆動手段の駆動力を制御することを特徴とするワイヤボンディング装置。 - 前記支持体には、前記ボンディングツールが前記ボンディング面に接触した状態を検出する接触状態検出手段が設けられていることを特徴とする請求項1記載のワイヤボンディング装置。
- 前記接触状態検出手段は、接触状態の検出位置が調整可能であることを特徴とする請求項2記載のワイヤボンディング装置。
- 前記支持体には、前記支持アームの傾動範囲を規制するためのストッパが設けられていることを特徴とする請求項1〜3のうちのいずれか一項記載のワイヤボンディング装置。
- 前記ボンディングワイヤの径寸法は100〜500μmであることを特徴とする請求項1〜4のうちのいずれか一項記載のワイヤボンディング装置。
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