JP2009149998A - 銅薄膜の気相成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内部に被処理基板および銅板が配置される反応容器と、塩素または塩化水素から選ばれる原料ガスを供給するための原料ガス供給管と、原料ガスのプラズマを発生させるためのプラズマ発生手段と、前記反応容器内の少なくとも前記被処理基板近傍に原子状還元ガスを生成するための原子状還元ガス生成手段とを備え、前記原料ガス供給管と前記プラズマ発生手段とは、前記プラズマによって活性化された原料ガスが前記反応容器内において前記銅板と反応するように配置されていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
図1は、この第1の実施形態に係る銅薄膜の気相成長装置を示す概略断面図、図2は図1の気相成長装置に組み込まれる銅製噴射板を示す平面図である。
図3は、この第2の実施形態に係る銅薄膜の気相成長装置を示す概略断面図、図4の(A)は図3の気相成長装置に組み込まれるスパイラルチューブを示す縦断面図、同図(B)はスパイラルチューブを示す横断面図、図5の(A)は図3の気相成長装置に組み込まれる他の形態のスパイラルチューブを示す縦断面図、同図(B)は同スパイラルチューブを示す横断面図である。
2,32 反応容器
3,33 平板状ヒータ
4 噴射孔
5 銅製噴射板
6 導入容器
7 循環パイプ
8,34 原料ガス供給管
10 第1プラズマ発生器
15,41 水分圧計
18 第2プラズマ発生器
23,49 被処理基板
24,50 水素プラズマ
25 塩素プラズマ
36 スパイラルチューブ
37 外管
38 銅製内管
39 前駆体噴射部材
44 プラズマ発生器
51 銅管
53 管状ヒータ
Claims (4)
- 内部に被処理基板および銅板が配置される反応容器と、
塩素または塩化水素から選ばれる原料ガスを供給するための原料ガス供給管と、
原料ガスのプラズマを発生させるためのプラズマ発生手段と、
前記反応容器内の少なくとも前記被処理基板近傍に原子状還元ガスを生成するための原子状還元ガス生成手段とを備え、
前記原料ガス供給管と前記プラズマ発生手段とは、前記プラズマによって活性化された原料ガスが前記反応容器内において前記銅板と反応するように配置されていることを特徴とする銅薄膜の気相成長装置。 - 前記原子状還元ガス生成手段は、
前記反応容器内に還元ガスを供給する還元ガス供給管と、
供給された還元ガスをプラズマ化するプラズマ発生器と
を備えることを特徴とする請求項1に記載の銅薄膜の気相成長装置。 - 前記原子状還元ガス生成手段は、
前記反応容器内に還元ガスを供給する還元ガス供給管と、
供給された還元ガスを加熱するためのヒータと
を備えることを特徴とする請求項1に記載の銅薄膜の気相成長装置。 - 請求項1に記載の気相成長装置を用いて、基板上に銅薄膜を形成する基板の製造方法であって、
前記反応容器に被処理基板を配置する工程と、
原料ガス供給管から塩素または塩化水素から選ばれる原料ガスを供給する工程と、
供給した原料ガスをプラズマ発生手段でプラズマ化する工程と、
銅製板とプラズマ中の活性化塩素を反応させることにより、塩化銅の前駆体を生成する工程と、
前記前駆体を原子状還元ガス生成手段により生成した原子状水素により還元させて基板上に銅を気相成長させる工程と
を有することを特徴とする基板の製造方法。
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2009
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