JP2009149082A - インクジェット印刷ヘッド用のオリフィスプレートおよびオリフィスプレートの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】インクの液滴を吐出するインクジェット印刷ヘッド用のオリフィスプレートに関する。
【解決手段】オリフィスプレートは、インクによる湿潤度を有した外側表面と、外側表面内に配置された少なくとも１つのオリフィスとを備える。このオリフィスはインク液滴を吐出するように構成され、各オリフィスは縁部を有し、縁部はオリフィスと外側表面の間の遷移境界を画定している。外側表面の湿潤度は、少なくとも１つのオリフィスの縁部付近で小さく、この湿潤度は、オリフィスの縁部から離れるにしたがって増大する。オリフィスの縁部から離れるにしたがって湿潤度が増大することは、残留インク液滴が縁部から離れ、湿潤領域に向かって移動するための駆動力をもたらし、したがって後続の吐出インク液滴の軌道を妨害するリスクを軽減する。本発明の他の態様は、そのようなオリフィスプレートを製造する方法に関する。
【選択図】図２

Description

本発明は、インクの液滴を吐出するインクジェット印刷ヘッド用のオリフィスプレートであって、インクによる湿潤度を有した外側表面と、外側表面内に配置された少なくとも１つのオリフィスとを備え、オリフィスはインク液滴を吐出するように構成され、各オリフィスは縁部を有し、縁部はオリフィスと外側表面との間に遷移境界を画定し、外側表面の湿潤度は少なくとも１つのオリフィスの縁部付近でより小さい、オリフィスプレートに関する。さらに、本発明はそのようなオリフィスプレートの製造方法に関する。

この種類のオリフィスプレートは米国特許第５４３４６０６号明細書から知られている。米国特許第５４３４６０６号明細書によると、外側表面と少なくとも１つのオリフィスとを備えたオリフィスプレートは縁部を備え、縁部付近の外側表面の一部分は非湿潤性である。したがって、少なくとも１つのオリフィスの縁部付近で残留インク液滴が蓄積されることが防止される。防止されなければ、この残留インク液滴は後続のインク液滴の軌道を妨害し、印刷品質の悪化を引き起こす場合がある。非湿潤領域の幅よりも大きな残留インク液滴は、インクによって湿潤可能である外側表面の領域に向かって移動する駆動力を受ける場合があり、自動的にオリフィスの縁部からそれらの領域に向かって流れてゆく。しかし、非湿潤領域の幅よりも小さな残留インク液滴は、外側表面の非湿潤部分上で玉状になり、そこに留まる。

米国特許第５４３４６０６号明細書 特開２００７−２４５５４９号公報 特開２００２−３５５９５７号公報 欧州特許出願公開第０６９４４００号明細書 米国特許第６３１２１０３号明細書 米国特許出願公開第２００２／００１００６号明細書 米国特許出願公開第２００６／０３３７８３号明細書

ここで引用した文献で開示されたオリフィスプレートは、オリフィスの縁部付近に運ばれた小さな残留液滴（非湿潤領域の幅よりも小さい）が後続の多数の吐出インク液滴の軌道を妨害する場合があるという欠点を有している。

本発明の目的は、オリフィスプレートであって、少なくとも１つのオリフィスの縁部の近傍の残留インク液滴を排除し、残留インク液滴を外側表面のオリフィスの縁部から充分に離れたところで収集する外側表面を備えたオリフィスプレートを提供することである。

この目的は、序文によるオリフィスプレートであって、少なくとも１つのオリフィスの縁部から離れるにしたがって湿潤度が徐々に増大することを特徴とするオリフィスプレートを提供することによって達成される。印刷中、残留インク液滴がオリフィスの縁部付近の非湿潤領域上に運ばれる場合、残留インク液滴の前端（即ちオリフィスの縁部から最も遠いところ）が、末端（即ちオリフィスの縁部に最も近いところ）よりも大きな湿潤度を受け、これによって残留液滴はオリフィスの縁部から離れ去る。この作用は、インクが、オリフィスプレートの外側表面の非湿潤領域に対してよりも、湿潤領域に対して大きな親和性を有しているという事実に由来している。したがって、残留インク液滴は、オリフィスプレートの外側表面のインクによって湿潤可能であるそれらの部分に蓄積し、残留インク液滴はもはや後続の吐出インク液滴の軌道を妨害することはない。

一実施形態では、インクによる湿潤度は、少なくとも１つのオリフィスの縁部から離れるにしたがって徐々に増大する。そのような構成では、オリフィスプレートの外側表面のオリフィスの縁部付近の残留インク液滴は、上記残留インク液滴の寸法に関わらず、オリフィスの縁部から離れ去るための駆動力を連続的に受ける。

一実施形態では、オリフィスプレートの少なくとも１つのオリフィスの縁部付近の外側表面は、小さな表面張力を備えており、この表面張力は、少なくとも１つのオリフィスの縁部から離れるにしたがって増大する。

一実施形態では、湿潤度は外側表面上にもたらされた抗湿潤剤によって決定される。例えば、抗湿潤剤は自己組織化単一層として存在してもよい。この実施形態では、オリフィスプレートの外側表面は実質的に湿潤性であり、抗湿潤剤は、オリフィスプレートの外側表面上のオリフィスの縁部付近に設けられている。

一実施形態では、抗湿潤剤は、抗湿潤剤による外側表面の表面被覆における勾配が存在するようにもたらされ、表面被覆は、少なくとも１つのオリフィスの縁部付近で大きく、少なくとも１つのオリフィスの縁部から離れるにしたがって減少する。

一実施形態では、抗湿潤剤はパタンでもたらされ、好ましくは、パタンは、少なくとも１つのオリフィスの縁部から離れるにしたがって徐々に減少する抗湿潤剤による表面被覆を備える。

一実施形態では、抗湿潤剤は、チオール化合物、例えばペルフルオロチオール化合物を備える。

一実施形態では、オリフィスプレートの外側表面には遷移層が設けられ、遷移層は抗湿潤剤を収容するように構成されている。一実施形態では、遷移層は金属層、例えば金層を備える。

一実施形態では、インクジェット印刷ヘッドには本発明によるオリフィスプレートが設けられている。

一態様では、本発明は、本発明によるオリフィスプレートを備えたインクジェット印刷ヘッドを備えたプリンタを提供する。

本発明の他の態様では、オリフィスプレートを製造する方法であって：
− 外側表面を有したオリフィスプレートであって、外側表面に少なくとも１つのオリフィスが配置され、オリフィスは縁部を有し、縁部はオリフィスと外側表面との間の遷移境界を画定する、オリフィスプレートを提供するステップと、
− オリフィスプレートの外側表面にオリフィスのまわりの漸進的パタンの遷移層を設けるステップと、
− 遷移層上に抗湿潤剤をもたらすステップとを備えた、方法が提供される。

一実施形態では、オリフィスプレートは化学コーティングされている。

次に、非限定的な実施形態を示した添付の図面を参照して、本発明をより詳しく説明する。

従来技術から知られている湿潤領域と非湿潤領域を備えたオリフィスプレートの概略的図解表示図である。 本発明による湿潤領域と非湿潤領域を備えたオリフィスプレートの一実施形態の概略的図解表示図（ａ）および拡大図（ｂ）である。 本発明による、少なくとも１つのオリフィスの縁部から離れるほど湿潤度が増大するいくつかの実施形態の概略的図解表示図である。 本発明による、湿潤領域と非湿潤領域を備えたオリフィスプレートの一実施形態の概略的図解表示図である。

図１は、従来技術から知られた通りの、オリフィスの縁部付近に非湿潤領域を備えたオリフィスプレートの図解表示図を示している。

オリフィスプレートの外側表面（２０）内に縁部（３０）を有したオリフィス（２２、ノズルとも呼ばれる）が配置されている。オリフィスの縁部はオリフィスと外側表面との間の遷移境界を画定している。オリフィスプレートの外側表面は、各ノズルのまわりの環状領域では、オリフィスを通って吐出されたインクに対して実質的に非湿潤性である。これらの領域は非湿潤領域（３６’）と呼ばれている。非湿潤領域の外側では、オリフィスプレートの外側表面（３２）は実質的にインクによって湿潤可能である。

印刷中、インク液滴はノズルを通して吐出されてもよい。吐出されたインク液滴は、オリフィスプレートの外側表面に対して実質的に垂直の方向の軌道をたどる。ノズルから離れる前、または離れた後、液滴が壊れることに起因して、残留インク液滴は、―意図せずに―、オリフィスプレート（３１、３３、３４）の外側表面上に運ばれる場合がある。残留インク液滴がノズルの縁部付近の非湿潤領域上に行き着く場合、インク液滴と外側表面の非湿潤領域との間の接触角度は、非湿潤領域の小さな表面張力に起因して、比較的大きい場合がある。残留インク液滴が湿潤領域（３２）上に行き着く場合には、外側表面の表面張力が非湿潤領域の表面張力よりも大きいことから、インク液滴は、より拡がる傾向にある（即ち接触角度はより小さくなる）。

非湿潤領域は、残留インク液滴がノズルの縁部に向かって流れ、最終的にノズルの中に戻るのを防止する。非湿潤領域上に運ばれている残留インク液滴であって、非湿潤領域（３６）の幅よりも大きいインク液滴は、部分的に外側表面（３２）の湿潤部分上に位置付けられる。

インク液滴の縁部の第１部分と同じインク液滴の縁部の第２部分との表面エネルギーの差異によって、インク液滴全体にわたって接触角度の差異が生じる場合がある。次いでこのことは、インク液滴が、より小さな表面エネルギーを有した表面領域からより大きな表面エネルギーを有した領域へ移動するための駆動力をもたらす場合がある。言い換えれば、残留インク液滴の外側表面の湿潤部分とのより大きな親和性によって、残留インク液滴がノズルから離れて、非湿潤領域から離れ去り、または流れ去ってゆくようになる。湿潤度の差異は、そのようなインク液滴の移動のための駆動力である。これによって、後続の吐出液滴の軌道を妨害するリスクが低減される。しかし、非湿潤領域上に運ばれている残留インク液滴であって、非湿潤領域の幅よりも小さなインク液滴（例えば３１および３３によって示したインク液滴）は、以上に述べた、移動を引き起こす駆動力がないことから、移動しない。小さなインク液滴（３１および３３）は、他のやり方、例えば重力、拭き取り手順などで取り除かれるまでノズルの縁部近傍内に留まる。

後続のインク液滴の吐出によって生じた残留インク液滴も、ノズルの縁部付近の同じ非湿潤領域上に運ばれる場合があり、おそらくはノズルの縁部付近に多数の残留インク液滴の蓄積を生じさせる。小さな液滴が凝集して３４のようなより大きな液滴を形成する場合、大きな液滴はノズルの縁部から離れ去り、または流れ去る傾向にある。多数の小さな液滴が凝集して大きな液滴を形成する間、後続の吐出されたインク液滴の軌道は、大きくなってゆく液滴によって影響を受ける場合があり、したがって印刷品質を低下させてしまう場合がある。

図２の（ａ）は、縁部（３０）を備えた少なくとも１つのオリフィス（２２）を備えたオリフィスプレートの外側表面（２０）を示している。オリフィスの縁部付近に、漸進的に湿潤度が増大する領域（３６’）が設けられている。この勾配はノズル（２２）の縁部（３０）付近の実質的に非湿潤性の挙動から始まり、ノズルの縁部から離れるにしたがって実質的に湿潤性の挙動へと漸進的に変化して、勾配領域（３６’）の幅（１０）が、隣接した２つのノズルの最も接近した縁部同士の間隔（１１）の半分よりも小さくなるような（即ち隣接したノズルの勾配領域同士が重ならない）勾配となっている。

この実施例では、湿潤度の勾配はドットのパタンを適用されており、これらのドットは金層が設けられたゾーンである。この金層の上に抗湿潤剤がもたらされている。抗湿潤剤はチオール化合物、例えばペルフルオロチオール化合物である。チオール化合物は例えば自己組織化単一層としてもたらされてもよい。

図２で示した実施形態では、パタン内の各ドットの寸法は、以下に説明する理由によって、予想される最小の残留インク液滴よりも各ドットが小さくなるように選択されている。

顕微鏡スケールでは、２つのタイプの領域だけが存在する。湿潤領域（即ち抗湿潤剤のない領域）と非湿潤領域（即ちドットには抗湿潤剤がもたらされている）である。巨視的スケールでは（即ち残留インク液滴によって経験されるように）ドットパタンは湿潤度の勾配となる。

印刷中、残留インク液滴はオリフィスプレートの外側表面上に運ばれることができる。図２の（ｂ）は、残留インク液滴が、湿潤度勾配が設けられた領域（３６’）内に行き着く場合（例えばインク液滴３３など）、勾配領域（３６’）の中での残留インク液滴の位置に関わらず、残留インク液滴の前端（３３’）は末端（３３”）よりも大きな外側表面の湿潤度を受けることを示している。残留インク液滴の下の外側表面の湿潤度の差異は、残留液滴がより大きな湿潤度を備えた領域に向かって、即ち残留インク液滴の前端に向かって移動するための駆動力である。したがって、残留インク液滴は、矢印１２および１３によって示したようにオリフィスの縁部から領域３２に向かって離れ去る（図２の（ａ）を参照）。上述の機構が働くための本質的な特徴は、巨視的な（即ち残留インク液滴の寸法に対応したスケールでの）湿潤度勾配の存在である。

図３はグラフを示している。グラフの水平軸はノズルの縁部からの距離を表している。グラフの垂直軸はオリフィスプレートの外側表面の湿潤度を表している。距離と湿潤度の単位はいずれも任意の単位である。第１の実線（１）は、オリフィスプレートの外側表面上のオリフィスのまわりに直線的な湿潤度の勾配が存在する第１実施形態を表している。第２の実線２は、非直線的な湿潤度の勾配が存在する第２実施形態を表している。湿潤度の勾配は、実線１によって表した湿潤度の勾配と同じ大きさを有している（即ち同一の総距離に対して同一の湿潤度の増大が見られる）。湿潤度の傾斜は最初に大きく、その傾斜は勾配の終局に向かって減少してゆく。

実線（２）によって表した湿潤度の勾配は、縁部付近の領域内で残留インク液滴がオリフィスの縁部から離れ去るためのより大きな駆動力を提供する。オリフィスの縁部付近に運ばれる残留インク液滴は、オリフィスの縁部からより離れたところに運ばれる残留インク液滴よりも、より迅速にオリフィスの縁部から離れ去る傾向にある。言い換えれば、オリフィスプレートの外側表面のより危険な領域（即ち、後続の吐出インク液滴を妨害するリスクが最大であるオリフィスの縁部付近）に運ばれる残留インク液滴は、その区域から迅速に取り除かれる。

第３、第４、および第５の点線（それぞれ３、４、および５）はそれぞれ、オリフィスの縁部から離れるにしたがって段階的に大きくなる不連続な湿潤度を表している。実際には、これらのスキームは、オリフィスの縁部から離れるにしたがって湿潤度が増大する、オリフィスのまわりの環状領域（即ちリング）として外側表面上に適用されてもよい。

第３の線（３）は、直線的な湿潤度の勾配（１）を不連続な段階的な変化によって表した第３実施形態を示している。第４の線（４）は、非直線的な湿潤度の勾配（２）を第１の不連続な段階的な変化によって表した第４実施形態を示している。ここでは、環状領域の幅が一定であり、オリフィスの縁部から離れるにしたがって湿潤度における段差の大きさが減少する。第５の線（５）は、非直線的な湿潤度の勾配（２）を第２の不連続な段階的な変化によって表した第５実施形態を示している。ここでは湿潤度における段差の大きさは一定であり、オリフィスの縁部から離れるにしたがって環状領域の幅は大きくなる。

第３、第４、および第５の線（それぞれ３、４、および５）によって表した勾配の不連続な段階的な変化は、顕微鏡的または巨視的スケールを適用されてもよい。前者の場合には、空間的な段差の大きさ（即ちオリフィスの縁部からの距離における段差の大きさ）は、残留インク液滴の予想寸法と比べて小さい。後者の場合には、空間的な段差の大きさは残留インク液滴の予想寸法と比べて比較的大きい場合がある。

図２で示した実施形態を考慮すると、湿潤度の勾配について多数の変化形態が可能であり、それらが本発明の範囲内に入ることが当業者には明らかである。

図４は、本発明によるオリフィスプレートのさらに他の実施形態を示している。明確にするために、湿潤度の勾配を限られた数の等湿潤線（即ち一定の平均湿潤度を備えた線）によって表している。そのような湿潤度の勾配を得るために必要なパタンは、図２に示したプロフィルおよび／または本発明の範囲内に入る任意の変化形態に基づいてもよい。

この実施形態では、等湿潤線４０、４１、および４２によって画定した、ノズル縁部（３０）のまわりおよび付近の第１の湿潤度勾配と、隣接した２つのノズルの間の直径方向の線（６０）の両側の水平方向の等湿潤線によって表した、隣接した２つのノズル（２２−１および２２−２）の間の区域（７０）内の第２の湿潤度勾配とが設けられている。第２の湿潤度勾配の区域（７０）内のインクによる湿潤度は、二重矢印（５０）によって示したように、直径方向の線（６０）から離れるにしたがって小さくなる。直径方向の線（６０）の位置における湿潤度は、等湿潤線４１と４２の間の領域の湿潤度と実質的に等しい、またはそれよりも実質的に小さいことが好ましい。

第１湿潤度勾配と第２湿潤度勾配のこの組み合わせが、全体の湿潤度勾配をもたらし、この組み合わせによって、隣接した２つのノズルの間の区域内のインク液滴の蓄積が防止される。例えばインク液滴（３３）がノズルプレート上で直径方向の線（６０）上または付近のノズルの縁部（３０）付近に運ばれると、このインク液滴はノズル縁部から第２の湿潤度勾配に向かって離れ去るための駆動力を受ける。第２の湿潤度勾配はインク液滴を直径方向の線（６０）から離すように導く。例示的なインク液滴の軌道の全体を、インク液滴の正確な出発場所に応じて矢印１３ａまたは１３ｂによって示している。いずれにせよ、インク液滴は、隣接した２つのノズルの間の区域（７０）内に行き着かずに、ノズル縁部から離れ去る。

等湿潤線は異なった形状、例えば楕円形、放物線、または曲線を有してもよいことに留意されたい。オリフィスプレートの外側表面上に運ばれているインク液滴について特有のインク液滴の軌道が必要な場合、他の形状も役立つ場合がある。

以下に、オリフィスプレートの外側表面上に湿潤度勾配を適用する方法の一実施形態を説明する。

オリフィスプレートは、当産業でよく知られた技法である電子的形成によって製造されてもよい。オリフィスプレートが製造された後は、外側表面（図１および図２の３２）は一般的に非湿潤性である（例えばニッケルの外側表面または金メッキされたニッケルの外側表面）。本発明による望ましい湿潤特性および抗湿潤特性を達成するために、オリフィスプレートは最初にフォトレジスト材料でコーティングされる。このフォトレジスト材料はオリフィスプレートの外側表面の全体を覆う。第２のステップは、オリフィスプレートの外側表面上の湿潤領域と非湿潤領域の望ましいパタンによるパタン（例えば図２で示したドットパタン）を備えたマスクを、オリフィスプレートの外側表面の上に設け、位置決めすることである。次いでこのアセンブリは放射線に曝され、これによってフォトレジストが反応する。２つのタイプの反応が可能である。即ち１）フォトレジストの分解と、２）フォトレジストの硬化とである。第１反応によって反応するフォトレジストは、ネガ型マスクを必要とする（即ち、湿潤領域が必要であり、非湿潤表面が取り除かれねばならないところで放射線が透過する）。第２反応によって反応するフォトレジストは、ポジ型マスクを必要とする（即ち非湿潤領域が必要であり、非湿潤表面が維持されるべきであるところで放射線が透過する）。次のステップは、湿潤性であることを目的とした外側表面のそれらの部分から、溶剤でフォトレジストを取り除くことである。引き続いて下にある非湿潤表面が、例えば湿式エッチングまたは反応性プラズマエッチングなどによって取り除かれる。最後に、残っているフォトレジストが溶剤によって取り除かれる。するとオリフィスプレートの外側表面は、例えば図２で示したようなパタンを備えるようになる。異なったマスクを選択することによって、様々なパタンが可能であり、それらを比較的容易に製作することができる。

オリフィスプレートの外側表面上にパタンを作り出す上述の方法は、半導体産業で知られているフォトリソグラフィ技法と同様である。

最終ステップは、オリフィスプレートの外側表面上に抗湿潤剤をもたらすことである。このステップは、様々なやり方、例えば、オリフィスプレートを液体抗湿潤剤内に浸し、またはこの技術分野で知られている多数のコーティング技法のうちの１つによって抗湿潤剤を適用することによって行われることが可能である。

この抗湿潤化合物は、エッチングによって取り除かれていない外側表面のそれらの部分に付着することが好ましく、外側表面のそれらの部分上に自己組織化単一層を形成することが好ましい。

任意選択として、紙の破れ、拭き取り手順、またはオリフィスプレートに機械的損傷を引き起こす場合のある他の事故などの出来事に起因して自己組織化単一層が妨害または破壊される場合に、その層を修復することが可能であるように、インクは抗湿潤化合物を備えてもよい。

以下にこの技術分野で知られている抗湿潤性コーティングのいくつかの例を掲げる：
・金上にペルフルオロアルカンチオールが適用されてもよい。例えば、ニッケル（Ｎｉ）またはシリコン（Ｓｉ）のオリフィスプレートに、遷移層としての金層が設けられてもよい。
・クロム（Ｃｒ）約５０ｎｍからなる第１層とＳｉＯ_ｘ（ｘは約１．５）約３００ｎｍからなる第２層とを備えた遷移層が設けられたオリフィスプレート上にペルフルオロアルカントリクロロシランが適用されてもよい。
・天然または人工のＳｉＯ_２層を備えた遷移層が設けられたオリフィスプレート上にペルフルオロアルカントリクロロシランが適用されてもよい。

他の知られている抗湿潤剤には、例えば化学気相蒸着（ＣＶＤ）技法によって適用されたテフロン（登録商標）状化合物、アルカン、およびシリコーンがあってもよい。

１ オリフィスのまわりの直線的な湿潤度の勾配
２ オリフィスのまわりの非直線的な湿潤度の勾配
３、４、５ 段階的に大きくなる不連続な湿潤度
１０ 領域（３６’）の幅
１１ ノズルの最も接近した縁部同士の間隔
１３ａ、１３ｂ インク液滴の軌跡
２０、３２ オリフィスプレートの外側表面
２２、２２−１、２２−２ オリフィス、ノズル
３０ オリフィスの縁部
３１、３３、３４ インク液滴
３３’ 残留液滴の前端
３３” 残留液滴の末端
３６ 非湿潤領域
３６’湿潤度勾配が設けられた領域
４０、４１、４２ 等湿潤線
５０ 第２の湿潤度勾配の区域（７０）内のインク湿潤度
６０ 隣接した２つのノズルの間の直径方向の線
７０ 隣接した２つのノズル（２２−１および２２−２）の間の区域

Claims (15)

1. インクの液滴を吐出するインクジェット印刷ヘッド用のオリフィスプレートであって、
   インクによる湿潤度を有した外側表面と、
   インク液滴を吐出するように構成され、各オリフィスが縁部を有し、縁部がオリフィスと外側表面の間に遷移境界を画定する、外側表面内に配置された少なくとも１つのオリフィスと、を備え、
   外側表面の湿潤度が、少なくとも１つのオリフィスの縁部付近で小さい、オリフィスプレートであって、湿潤度が、少なくとも１つのオリフィスの縁部から離れるにしたがって徐々に増大することを特徴とする、オリフィスプレート。
2. 少なくとも１つのオリフィスの縁部付近の外側表面が、小さな表面張力を備え、表面張力が、少なくとも１つのオリフィスの縁部から離れるにしたがって増大する、請求項１に記載のオリフィスプレート。
3. 湿潤度が、外側表面上にもたらされた抗湿潤剤によって決定されている、請求項１または２に記載のオリフィスプレート。
4. 抗湿潤剤が自己組織化単一層として存在する、請求項３に記載のオリフィスプレート。
5. 抗湿潤剤が、抗湿潤剤による外側表面の表面被覆における勾配が存在するようにもたらされ、表面被覆が、少なくとも１つのオリフィスの縁部付近で大きく、少なくとも１つのオリフィスの縁部から離れるにしたがって減少する、請求項３または４に記載のオリフィスプレート。
6. 抗湿潤剤がパタンで、特にドットのパタンでもたらされている、請求項５に記載のオリフィスプレート。
7. オリフィスプレートが、隣接した２つのノズルの間の区域であって、隣接した２つのノズルの間の区域内のインクによる湿潤度が、隣接した２つのノズルの間の直径方向の線から離れるにしたがって減少するような湿潤度勾配を備えた区域を備える、請求項１から６のいずれか一項に記載のオリフィスプレート。
8. パタンが、少なくとも１つのオリフィスの縁部から離れるにしたがって徐々に減少する抗湿潤剤による表面被覆を備える、請求項６または７に記載のオリフィスプレート。
9. 抗湿潤剤がチオール化合物、特にペルフルオロチオール化合物を備える、請求項３から８のいずれか一項に記載のオリフィスプレート。
10. オリフィスプレートの外側表面には遷移層が設けられ、遷移層が抗湿潤剤を収容するように構成されている、請求項３から９のいずれか一項に記載のオリフィスプレート。
11. 遷移層が金属層、特に金層を備える、請求項１０に記載のオリフィスプレート。
12. 請求項１から１１のいずれか一項に記載のオリフィスプレートを備える、インクジェット印刷ヘッド。
13. 請求項１２に記載のインクジェット印刷ヘッドを備える、プリンタ。
14. オリフィスプレートを製造する方法であって、
    外側表面を有したオリフィスプレートであって、外側表面に少なくとも１つのオリフィスが配置され、オリフィスが縁部を有し、縁部がオリフィスと外側表面との間の遷移境界を画定する、オリフィスプレートを提供するステップと、
    オリフィスプレートの外側表面にオリフィスのまわりの漸進的パタンの遷移層を設けるステップと、
    遷移層上に抗湿潤剤をもたらすステップとを備える、方法。
15. オリフィスプレートが化学コーティングされる、請求項１４に記載のコーティングの方法。

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