KR102011450B1 - 잉크젯 프린트 헤드 및 이의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조 방법에서, 잉크젯 프린트 헤드는 내부에 잉크 이송 통로들이 구비되고, 바닥면에는 이송된 잉크를 외부로 토출하는 분사구가 포함된 노즐 플레이트를 포함하는 분사 조립체가 구비된다. 상기 분사 조립체와 결합되고, 집적회로 및 연결 전극이 포함되는 인쇄회로 기판이 구비된다. 상기 결합된 상태의 분사 조립체 및 인쇄회로 기판에서, 노즐 플레이트 저면과 연결 전극 표면을 제외한 상기 분사 조립체의 내, 외부 표면 및 인쇄회로 기판의 표면 상을 덮고, 유기물만으로 구성되고 가요성막 및 소수성막이 차례로 적층되는 형상의 베리어 코팅막이 구비된다. 상기 잉크젯 프린트 헤드는 분사되는 잉크의 오염이 감소되고 향상된 내구성을 갖는다.

Description

잉크젯 프린트 헤드 및 이의 제조 방법{INKJET PRINT HEAD AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 잉크젯 프린트 헤드 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 산업용 잉크젯 프린터에 포함되는 잉크젯 프린트 헤드 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 잉크젯 프린트 헤드는 전기신호를 물리적인 힘으로 변환하여 작은 노즐들을 통하여 잉크가 미소한 액적(droplet)의 형태로 토출되도록 하는 구조체이다. 상기 잉크젯 프린트 헤드는 잉크 토출 방식에 따라 여러가지로 나뉠 수 있는데, 특히 압전체를 사용하여 잉크를 토출시키는 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드가 최근 산업용 잉크젯 프린터에서 광범위하게 사용되고 있다. 예를 들어, 플랙시블 인쇄회로 기판(FPCB) 상에 금, 은 등의 금속을 녹여 만든 잉크를 분사해 회로 패턴을 직접 형성시키거나, 산업 그래픽이나 액정 디스플레이 소자(LCD)에 사용되는 액정을 형성하거나 또는 유기 발광다이오드(OLED)의 제조 및 태양전지 등에도 널리 사용된다.
상기 잉크젯 프린트 헤드는 각 노즐마다 잉크 유로가 형성되어 있고, 각각의 잉크 유로에서 공급되는 잉크는 각 노즐에서 미소한 액적의 형태로 토출된다. 이 때, 상기 잉크젯 프린트 헤드를 통과하는 잉크들 중 일부가 토출되지 않고 상기 잉크젯 프린트 헤드 내에 흡착(absorption)되거나 또는 잉크젯 프린트 헤드를 이루는 물질들이 탈락되어 토출되는 잉크를 오염시키는 문제가 발생될 수 있다.
본 발명의 목적은 잉크의 흡습도가 낮고 내구성을 갖는 잉크젯 프린트 헤드를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기한 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드는, 내부에 잉크 이송 통로들이 구비되고, 바닥면에는 이송된 잉크를 외부로 토출하는 분사구가 포함된 노즐 플레이트를 포함하는 분사 조립체가 구비된다. 상기 분사 조립체와 결합되고, 집적회로 및 연결 전극이 포함되는 인쇄회로 기판이 구비된다. 또한, 상기 결합된 상태의 분사 조립체 및 인쇄회로 기판에서, 노즐 플레이트 저면과 연결 전극 표면을 제외한 상기 분사 조립체의 내, 외부 표면 및 인쇄회로 기판의 표면 상을 덮고, 유기물만으로 구성되고 가요성막 및 소수성막이 차례로 적층된 형태의 베리어 코팅막을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 베리어 코팅막에 포함되는 가요성막은 파릴렌(parylene)막을 포함할 수 있다. 상기 파릴렌막은 파릴렌C, 파릴렌 N, 파릴렌 D 및 파릴렌 HF로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 가요성막은 0.1 내지 10㎛의 두께를 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 소수성막은 SAM(self assembly monolayer)을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 소수성막은 순수를 기준으로한 접촉각이 90 내지 130도인 물질을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 소수성막은 30 내지 100Å의 두께를 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 베리어 코팅막은 상기 결합된 상태의 분사 조립체 및 인쇄회로 기판에서, 상기 분사 조립체의 외부 표면, 내부의 잉크 이송 통로들 내부의 표면, 분사구 내부 표면 및 상기 집적회로 형성된 인쇄회로 기판의 표면에 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 베리어 코팅막은 적어도 상기 분사 조립체 내부에서 잉크와 접촉되는 모든 표면을 덮도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 노즐 플레이트 저면에는 상기 베리어 코팅막에 포함되는 가요성막만으로 이루어지는 추가 베리어 코팅막이 구비될 수 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법으로, 분사 조립체 및 인쇄회로 기판이 결합된 프린트 헤드 조립체를 형성한다. 상기 인쇄회로 기판에 포함된 연결 전극을 덮는 제1 마스크 패턴을 형성한다. 상기 제1 마스크 패턴이 형성된 상기 프린트 헤드 조립체의 내, 외부 표면 상에 유기물로 이루어지는 가요성막을 형성한다. 상기 분사 조립체에 포함되는 노즐 플레이트의 저면을 덮는 제2 마스크 패턴을 형성한다. 상기 가요성막 및 제2 마스크 패턴 상에 유기물로 이루어지는 소수성막을 형성한다. 다음에, 상기 제1 및 제2 마스크 패턴을 제거하여, 상기 프린트 헤드 조립체의 내, 외부 표면 상에 유기물만으로 구성되고 가요성막 및 소수성막을 포함하는 베리어 코팅막을 형성한다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 베리어 코팅막에 포함되는 가요성막은 파릴렌(parylene)을 증착하여 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 소수성막은 SAM(self assembly monolayer)을 증착하여 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 소수성막은 액상 또는 기상 증착 공정을 통해 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 가요성막 및 소수성막은 10 내지 100℃범위 내의 온도에서 형성할 수 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법으로, 분사 조립체 및 인쇄회로 기판이 결합된 프린트 헤드 조립체를 형성람자. 상기 인쇄회로 기판에 포함된 연결 전극 및 상기 분사 조립체에 포함되는 노즐 플레이트의 저면을 덮는 마스크 패턴을 형성한다. 상기 마스크 패턴이 형성된 상기 프린트 헤드 조립체의 내, 외부 표면 상에 유기물로 이루어지는 가요성막을 형성한다. 상기 가요성막 및 제2 마스크 패턴 상에 유기물로 이루어지는 소수성막을 형성한다. 또한, 상기 마스크 패턴을 제거하여, 상기 프린트 헤드 조립체의 내, 외부 표면 상에 상기 가요성막 및 소수성막을 포함하는 베리어 코팅막을 형성한다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 가요성막은 파릴렌을 증착하여 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 소수성막은 SAM(self assembly monolayer)을 증착하여 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 소수성막은 액상 또는 기상 증착 공정을 통해 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 가요성막 및 소수성막은 10 내지 100℃범위 내의 온도에서 형성할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 잉크젯 프린트 헤드는 내, 외부 표면을 덮고 유기물만으로 형성되는 베리어막을 포함한다. 상기 베리어막이 잉크젯 프린트 헤드 내부에 구비됨으로써, 상기 프린트 헤드 내부에 유입된 잉크가 상기 프린트 헤드를 구성하는 부재들의 표면에 흡착, 흡습 또는 확산되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 프린트 헤드를 구성하는 각 부재들이 탈락하여 분사되는 잉크에 파티클이 발생되는 것을 감소시킬 수 있다. 상기 베리어막이 잉크젯 프린트 헤드 외부에 구비됨으로써, 상기 잉크젯 프린트 헤드의 내구성이 높아진다.
상기 잉크젯 프린트 헤드에 베리어막이 형성되더라도, 상기 잉크젯 프린트 헤드의 성능이 동일하게 유지될 수 있다. 상기 베리어막에는 가요성막이 포함되므로, 상기 베리어막에 크랙이 발생하는 것을 억제할 수 있다.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 분해 사시도이다.
도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 사시도이다.
도 2a는 도 1a의 잉크젯 프린트 헤드의 일부를 나타내는 분해 사시도이다.
도 2b는 도 1b의 프린트 헤드의 일부를 나타내는 분해 사시도이다.
도 3a는 도 1b에 도시된 제1 베리어 코팅막의 적층 구조를 나타내는 단면도이다.
도 3b는 도 1b에 도시된 제2 베리어 코팅막의 적층 구조를 나타내는 단면도이다.
도 4는 도 1b에 도시된 잉크젯 프린트 헤드에서 잉크 이동 경로 및 베리어 코팅막 형성 위치를 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예 1에 따른 프린트 헤드의 제조 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 6은 본 발명의 실시예 2에 따른 잉크젯 프린트 헤드에서 코팅막을 나타내는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예 2에 따른 프린트 헤드의 제조 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 8a는 본 발명의 실시예 1에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 사용하였을 때 토출되는 잉크의 순도를 나타낸다.
도 8b는 기존의 베리어 코팅막이 형성되어 있지 않은 잉크젯 프린트 헤드를 사용하였을 때 토출되는 잉크의 순도를 나타낸다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
실시예 1
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 분해 사시도이다. 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 사시도이다. 도 2a는 도 1a의 잉크젯 프린트 헤드의 일부를 나타내는 분해 사시도이다. 도 2b는 도 1b의 프린트 헤드의 일부를 나타내는 분해 사시도이다.
도 1a 및 2a도에서는 베리어 코팅막들을 도시하지 않았다.
도 1a 내지 도 2b를 참조하면, 잉크젯 프린트 헤드는 분사 조립체(50) 및 인쇄회로 기판(52)이 결합된 프린트 헤드 조립체(54) 및 상기 프린트 헤드 조립체의 내, 외부 표면 상에 제1 및 제2 베리어 코팅막(60, 70)이 포함된다. 여기서, 상기 잉크젯 프린트 헤드에서 사용되는 잉크는 액정 표시 장치에 사용되는 액정일 수 있다.
상기 분사 조립체(50)는 바디부(10), 상기 바디부(10)의 양측에 부착되는 공동판 결합체(20), 상기 바디부(10) 바닥에 구비되는 노즐 플레이트(40) 및 압전 소자(30)를 포함한다. 상기 인쇄회로 기판(52)에는 집적 회로(52a) 및 연결 전극(52b)이 포함된다.
상기 분사 조립체(50)의 바디부(10)는 탄소 또는 실리콘으로 제조된다. 상기 바디부(10)는 일 방향으로 긴 형상을 가질 수 있으며, 양 단부의 측벽으로부터 잉크가 유입되는 각각의 잉크 유입구(12)를 가질 수 있다. 상기 바디부(10)의 내측에는 상기 잉크 유입구(12)를 통해 유입되는 잉크들이 담지되는 잉크 충전 통로(14)가 구비된다. 상기 잉크 충전 통로(14)는 상기 바디부(10)의 길이 방향으로 긴 공동의 형태를 가질 수 있다.
도 2a 및 도 2b에 도시된 것과 같이, 상기 바디부(10)의 바닥면에는 200개이상, 예를 들면 256개의 제1 개구들(16)이 구비될 수 있다. 상기 제1 개구들(16)은 바디의 바닥면의 길이 방향으로 1열 또는 2열 이상으로 배치될 수 있다. 상기 제1 개구들(16)은 상기 바디부(10)의 내부로 연통하여 상기 바디부(10)의 양 측으로 연장되는 각각의 통로(18)와 연통될 수 있다.
상기 공동판 결합체(20)는 상기 바디부(10)의 전방 측벽 및 후방 측벽에 각각 배치되므로 2개가 구비될 수 있다. 편의상, 도 1a에는 바디부의 전방 측벽의 공동판 결합체만 도시하였다.
상기 공동판 결합체(20)는 상기 바디부의 잉크 충전 통로(14)로부터 바닥의 제1 개구들(16)로 잉크들을 제공하기 위한 잉크 이송 통로를 생성하는 부재이다. 상기 공동판 결합체(20)는 공동판(20a)과, 각 공동판의 일 면에 부착되는 보강판(20b) 및 상기 공동판(20a)의 다른 면에 부착되는 폴리머 필름(20c)을 포함할 수 있다.
상기 공동판(20a)은 상기 공동판(20a)은 상기 잉크 충전 통로(14)와 마주하는 길이 방향의 제1 공동(22) 및 상기 제1 공동(22)과 연통하여 수직하게 하방으로 연장되는 다수의 제2 공동(24)이 구비된다. 상기 제1 공동(22)의 크기 및 공동판(20a)에 대한 제1 공동(22)의 상대적 위치는 상기 바디부(10) 내의 잉크 충전 통로(14)의 크기 및 상대적 위치와 일치하도록 한다. 또한, 상기 제2 공동(24)의 단부는 폐쇄되어 있으며, 상기 단부가 상기 바디부(10) 측벽의 통로(18) 끝부분과 대향하여 서로 연통할 수 있다.
상기 보강판(20b)은 상기 공동판(20a)과 바디부(10) 사이에 구비된다. 상기 보강판(20b)은 상기 잉크 충전 통로(14)와 마주하는 길이 방향의 제3 공동(26a)과 상기 제2 공동의 단부와 대향하는 홀(26b)을 포함한다.
또한, 상기 폴리머 필름(20c)은 상기 공동판(20a)의 일 면을 덮는 형상을 갖는다. 상기 폴리머 필름은 가요성을 가짐으로써 압전 소자(30)에 의한 부재들의 변형을 방지하기 위하여 제공된다. 상기 폴리머 필름(20c)은 예를 들면 폴리이미드를 포함할 수 있다.
이와같이, 상기 공동판 결합체(20)는 공동판(20a), 보강판(20b) 및 폴리머 필름(20c)이 조립된 상태로 사용된다. 상기 공동판 결합체(20)에 포함되는 상기 제1 내지 제3 공동(22, 24, 26a)과 홀(26b)은 각각 잉크 이송 통로로 제공된다. 따라서, 상기 잉크 충전 통로(14)에 담지된 잉크는 제3 공동(26a), 제1 공동(22), 제2 공동(24) 및 홀(26b)을 통해 상기 바디부(10) 측벽의 통로(18) 내부로 재유입된다. 또한, 상기 통로(18)를 통해 상기 바디부(10) 바닥의 제1 개구들(16)로 토출된다.
상기 압전 소자(30)는 상기 공동판 결합체(20)의 측벽에 부착된다. 즉, 상기 압전 소자(30)는 상기 폴리머 필름(20c)의 외 측부에 부착된다. 상기 압전 소자(30)는 상기 바디부(10)의 전, 후방에 각각 구비될 수 있다. 상기 압전 소자(30)는 상기 공동판 결합체(20) 내의 잉크 이송 통로를 통해 이송되는 잉크들을 펌핑한다.
상기 노즐 플레이트(40)는 상기 바디부(10)의 바닥면에는 부착될 수 있다. 상기 노즐 플레이트(40)는 실리콘을 포함할 수 있다. 상기 바디부(10)와 부착되는 면인 상기 노즐 플레이트(40)의 상부면에는 상기 제1 개구들(16)과 대향하게 배치되어 상기 제1 개구들(16)과 연통되는 제2 개구들(42)이 포함된다. 또한, 상기 노즐 플레이트(40) 상부면에는 상기 제2 개구(42)들과 연결되는 채널들(44)이 구비되어 상기 채널들(44)을 통해 잉크들이 이동된다. 상기 채널들(44)은 제2 개구(42)들과 각각 연결되지만 일부만 도시하였다.
상기 각 채널들(44)과 연결되고, 상기 노즐 플레이트(40)의 하부면까지 연통하는 분사구들(46)이 구비된다. 상기 분사구들(46)을 통해 잉크들이 외부로 토출된다.
도 1b에 도시된 것과 같이, 상기 분사 조립체(50)에 포함되는 각 부재들은 서로 에폭시를 이용하여 접착되어 있다. 따라서, 도시되지는 않았지만, 각 부재들이 접착되는 부위의 단부에는 에폭시 수지들이 노출되어 있을 수 있다.
상기 제1 베리어 코팅막(도 1b의 해칭 부위)은 상기 분사 조립체(50) 내부 표면의 미세공 내에 잉크 또는 파티클이 유입되는 것을 방지하고, 상기 분사 조립체 및 상기 인쇄 회로 기판의 내구성을 향상시키기 위하여 제공된다.
상기 제1 베리어 코팅막은 상기 분사 조립체(50) 및 인쇄회로 기판(52)이 조립된 상태의 프린트 헤드 조립체(54)에서 상기 노즐 플레이트(40)의 바닥면 부위와 인쇄회로 기판(52)에서 외부와 연결되는 연결 전극(52b) 부위를 제외한 전체의 내, 외부 표면을 덮는 형상을 갖는다. 따라서, 상기 제1 베리어 코팅막은 상기 잉크젯 프린트 헤드의 내, 외부에서 잉크와 접촉되는 부위의 전체 표면을 덮는 형상을 가질 수 있다.
이하에서는, 상기 제1 베리어 코팅막의 적층 구조에 대해 보다 상세하게 설명한다.
도 3a는 도 1b에 도시된 제1 베리어 코팅막의 적층 구조를 나타내는 단면도이다. 도 3b는 도 1b에 도시된 제2 베리어 코팅막의 적층 구조를 나타내는 단면도이다.
도 3a를 참조하면, 상기 제1 베리어 코팅막(60)은 유기물로만 구성된다. 상기 제1 베리어 코팅막은 유기물로 이루어지는 가요성막(62) 및 소수성막(64)이 차례로 적층된 형상을 가질 수 있다. 상기 제1 베리어 코팅막(60)에서 외부에 노출되는 최상부막은 소수성막(64)일 수 있다.
상기 가요성막(62)은 상기 프린트 헤드 조립체의 각 부재들과 직접 접촉되는 막인 최하부막으로 제공된다. 상기 가요성막(62)은 잉크 분사(jetting) 중에 발생하는 압력 및 진동에 의한 각 부재들의 변형을 억제하고 크랙 발생을 방지하여 상기 프린트 헤드 조립체의 내구성을 향상시킨다. 또한, 상기 가요성막(62)이 구비됨으로써 상기 각 부재들의 표면이 평탄화될 수 있다. 즉, 상기 가요성막이 구비되지 않고 소수성막만 구비되는 경우에는, 상기 프린트 헤드 조립체의 내구성이 나빠질 수 있다.
상기 가요성막(62)을 형성할 때 상기 분사 조립체 및 인쇄회로 기판의 각 부재들이 열에 의해 특성이 변화되지 않아야 하므로, 상기 가요성막(62)은 낮은 온도에서 형성될 수 있는 물질을 사용하여야 한다. 즉, 상기 부재들의 특성 변화를 방지하기 위하여, 100도 이하의 낮은 온도에서 증착될 수 있는 물질을 사용하여야 한다. 예를들어, 상기 유기막은 파릴렌을 포함할 수 있다. 상기 파릴렌은 파릴렌 C, 파릴렌 N, 파릴렌 D,파릴렌 HF 등이 포함될 수 있다.
상기 가요성막(62)은 가요성 및 평탄화 특성을 유지하기 위하여 두께가 두꺼울 수 있다. 상기 가요성막(62)이 0.1㎛보다 얇으면 상기 가요성 및 평탄화 특성이 양호하지 않으며, 상기 가요성막(62)이 10㎛보다 두꺼우면 전체 제1 베리어 코팅막(60)의 두께가 두꺼워져 분사구(46) 및 내부 잉크 통로들의 폭이 감소되어 바람직하지 않다. 그러므로, 상기 가요성막(62)은 0.1㎛ 내지 10㎛의 두께를 갖는 것이 바람직하다.
상기 소수성막(64)은 순수(D.I water)에 대해 90도 이상, 예를들어 90 내지 130도의 높은 접촉각을 갖는 소수성 물질을 포함한다. 상기 소수성막(64)은 자기 조립 단분자막(Self-assembled monolayer, 이하, SAM)을 포함할 수 있다. 상기 SAM은 실란계 SAM, thiol계 SAM 등을 들 수 있다.
상기 SAM의 경우, 100도 이하의 낮은 온도에서 기상 증착 또는 액상 증착될 수 있다. 또한, 상기 SAM은 상기 가요성막 상에 화학적으로 결합되므로, 접착력이 매우 우수하다. 이에 더하여, 상기 SAM의 경우 100Å이하의 얇은 두께를 가질 수 있다.
상기 소수성막(64)은 상기 제1 베리어 코팅막(60)에서 외부에 노출되는 최상부막이므로, 상기 잉크젯 프린트 헤드에 유입되는 잉크들은 상기 소수성막(64)과 직접 접촉하면서 상기 프린트 헤드 내부의 이송 통로들을 통해 이송된다. 상기 소수성막은 표면에너지가 낮으므로 접촉하는 잉크와의 상호작용(interaction)이 거의 발생되지 않는다. 즉, 상기 소수성막이 구비됨으로써, 상기 잉크들은 상기 잉크젯 프린트 헤드의 각 부재들에 흡습 또는 흡착되지 않고 분사구로 토출될 수 있다.
이하에서는, 상기 제1 베리어 코팅막(60)이 형성되는 부위에 대해 보다 상세하게 설명한다.
도 4는 도 1b에 도시된 잉크젯 프린트 헤드에서 잉크 이동 경로 및 베리어 코팅막 형성 위치를 나타내는 단면도이다.
도 4 및 도 2b를 참조하면, 상기 제1 베리어 코팅막(60)은 상기 헤드 조립체의 외부 표면, 바디부의 잉크 유입구(12) 내측면 및 잉크 충전 통로(14)의 내부 표면 상에 구비된다. 또한, 상기 제1 베리어 코팅막(60)은 상기 바디부(10)에 포함되는 잉크 이송 통로들, 예를들어, 제1 내지 제3 공동(22, 24, 26a), 홀(26b), 통로(18), 제1 및 제2 개구(16, 42) 채널 (44) 및 분사구(46)의 내부 표면 상에 구비된다.
상기 바디부(10)는 탄소 또는 실리콘으로 형성될 수 있으며, 일반적으로 잉크에 의하여 부식되는 것을 방지하기에 적합한 소재인 탄소로 형성될 수 있다. 그런데, 상기 탄소는 표면에 미세공이 많은 다공성 물질이며, 외부의 압력에 의해 탈락되기가 쉽다. 때문에, 상기 바디부(10)를 이루는 탄소는 잉크 젯팅를 하는 중에 탈락되어 잉크 내로 유입됨으로써 탄소 파티클을 발생시킬 수 있다. 또한, 상기 바디부 표면의 미세공 내에 잉크가 흡착 및 유입될 수 있으며, 상기 잉크가 유로 내에 흡착 및 고화되어 분사구를 막음으로써 잉크가 토출되지 못하는 분사구가 발생될 수 있다.
본 실시예의 경우, 상기 바디부(10)의 내, 외부 표면에는 제1 베리어 코팅막(60)이 구비되어 상기 바디부(10) 표면의 미세공을 덮는다. 따라서, 상기 잉크가 상기 바디부(10) 표면의 미세공 내부로 흡착 또는 유입되는 것이 억제되고 이에 따라 잉크의 오염이 감소된다. 또한, 상기 잉크는 상기 바디부(10)의 탄소와 직접 접촉되지 않고 상기 제1 베리어 코팅막(60)의 표면과 접촉되면서 이동하기 때문에, 상기 토출되는 잉크에 탄소 파티클이 생성되는 것을 억제될 수 있다.
상기 제1 베리어 코팅막(60)은 공동판 결합체(20)의 외부 표면 및 내부의 이송 통로들(22, 24, 26a, 26b) 표면 상에 구비된다. 즉, 상기 제1 베리어 코팅막(60)은 상기 공동판의 제1 공동(22) 및 제2 공동(24)의 내부 표면 및 상기 보강판의 상기 제3 공동(26a) 및 홀(26b)의 내부 표면 상에 구비된다. 따라서, 상기 공동판 결합체를 이루는 물질(예를들어, 금속 물질)이 탈락하여 잉크가 오염되는 것을 감소시킬 수 있다.
상기 제1 베리어 코팅막(60)은 상기 압전 소자(30)들의 외부 표면 상에 구비된다.
상기 제1 베리어 코팅막(60)은 상기 노즐 플레이트(40)에 포함되는 제2 개구들(42) 및 상기 제2 개구들(42)과 연결되는 채널(44) 내부면에 각각 구비된다.
한편, 상기 제1 베리어 코팅막(60)은 상기 노즐 플레이트(40)의 바닥면에는 형성되지 않는다. 이는, 상기 노즐 플레이트(40)의 바닥면에 상기 제1 베리어 코팅막(60)이 구비되면, 상기 제1 베리어 코팅막(60)의 최상부의 소수성막으로 인해 상기 노즐 플레이트(40) 바닥면이 강한 소수성이 된다. 따라서, 상기 노즐의 분사구(46)에서 잉크가 분사되지 않고 노즐 플레이트(40) 바닥면에 잉크가 맺혀있는 등의 문제가 발생될 수 있다.
상기 제1 베리어 코팅막(60)은 상기 외부와 연결되는 연결 전극(52b) 부위를 제외한 인쇄회로 기판(도 1b, 52) 전면에 구비된다. 상기 제1 베리어 코팅막(60)은 상기 인쇄회로 기판(52)을 보호하는 보호막으로 제공될 수 있다. 또한, 상기 연결 전극(52b)은 도전성을 가져야 하기 때문에, 상기 제1 베리어 코팅막(60)이 코팅되지 않는다.
상기 제1 베리어 코팅막(60)은 상기 분사 조립체에 포함되는 각 부재들을 접촉하는 에폭시 수지(72) 상부면을 덮도록 형성된다. 상기 에폭시 수지(72)는 상기 각 부재들의 연결 부위의 가장자리에 위치할 수 있다. 상기 제1 베리어 코팅막(60)이 구비됨으로써, 상기 에폭시 수지(72)와 잉크들은 직접 접촉되지 않는다. 그러므로, 상기 잉크 분사 시에 상기 에폭시 수지(72)가 탈락하여 잉크가 오염되는 것을 감소시킬 수 있다.
상기 제2 베리어 코팅막(70)은 상기 노즐 플레이트(40)의 바닥면에 구비될 수 있다. 상기 제2 베리어 코팅막(70)은 상기 제1 베리어 코팅막(60)에 포함되는 가요성막만을 포함한다. 즉, 상기 제2 베리어 코팅막은 소수성막이 구비되지 않는다.
상기에서 설명한 것과 같이, 상기 노즐 플레이트(40)의 바닥면에 소수성막(64)이 포함되지 않음으로써, 상기 노즐 플레이트(40)는 강한 소수성을 갖지 않는다. 따라서, 상기 노즐의 분사구(46)에서 잉크가 분사되지 않는 문제를 방지할 수 있다.
설명한 것과 같이, 본 실시예의 잉크젯 프린트 헤드는 상기 프린트 헤드 조립체의 내, 외부 표면에 제1 및 제2 베리어 코팅막이 구비된다.
상기 프린트 헤드 조립체의 구조에 대해 상세하게 설명하였지만, 상기 프린트 헤드 조립체의 구조는 이에 한정되지 않으며, 잉크 젯팅 방식의 프린트 헤드 조립체는 모두 포함될 수 있다.
본 실시예의 잉크젯 프린트 헤드는 상기 제1 및 제2 베리어 코팅막이 구비됨으로써, 강한 내구성을 갖는다. 또한, 분사되는 잉크의 오염이 억제될 수 있다. 또한, 노즐 플레이트 바닥 표면은 소수성을 갖지 않기 때문에 분사 특성이 향상된다.
도 5는 본 발명의 실시예 1에 따른 프린트 헤드의 제조 방법을 나타내는 흐름도이다.
먼저, 프린트 헤드 조립체(54)를 형성한다.(S10) 상기 프린트 헤드 조립체(54)는 상기 프린트 헤드를 구성하고 있는 각 부재들이 완전하게 조립된 상태를 말한다. 즉, 바디부(10), 공동판 결합체(20), 노즐 플레이트(40) 및 압전 소자(30)를 포함하는 분사 조립체(50)와, 집적회로 및 연결 전극이 포함된 인쇄회로 기판(52)이 결합된 상태가 되도록 한다.
상기 프린트 헤드 조립체(54)에서 인쇄회로 기판(52)의 연결 전극(52b) 상에만 제1 마스크 패턴을 형성한다.(S12) 상기 제1 마스크 패턴은 상기 연결 전극(52b)에 베리어 코팅막들이 직접 접촉되지 않도록 하기 위하여 제공된다.
상기 프린트 헤드 조립체(54)에 유기물로 이루어지는 가요성막(62)을 형성한다.(S14) 상기 가요성막(62)은 상기 인쇄회로 기판의 연결 전극(52b)이외에, 상기 노즐 플레이트(40)의 바닥면을 포함하는 프린트 헤드 조립체(54) 내, 외부 표면에 형성될 수 있다. 따라서, 상기 가요성막(62)은 상기 프린트 헤드의 외부 표면 뿐 아니라 내부의 잉크 유로의 표면에도 형성된다.
상기 가요성막은 100도 이하의 낮은 온도에서 액상 증착법 또는 기상 증착법에 의해 형성할 수 있다. 예를들어, 상기 가요성막은 10 내지 100도 범위의 온도에서 형성될 수 있다. 상기 가요성막은 파릴렌을 포함할 수 있다. 상기 파릴렌은 파릴렌 C, 파릴렌 N, 파릴렌 D, 파릴렌 HF 등이 포함될 수 있다. 상기 가요성막(62)은 가요성 및 평탄화 특성을 유지하기 위하여 0.1㎛ 내지 10㎛의 두께로 형성할 수 있다.
상기 프린트 헤드 조립체(54)에서 상기 노즐 플레이트(40) 바닥면 상에 제2 마스크 패턴을 형성한다.(S16) 상기 제2 마스크 패턴은 상기 노즐 플레이트(40) 바닥면에 소수성막(64)이 형성되지 않도록 하기 위하여 제공된다.
상기 가요성막(62) 상에 유기물로 이루어지는 소수성막(64)을 형성한다.(S18) 상기 소수성막(64)은 프린트 헤드 조립체(54)에서 상기 인쇄회로 기판의 연결 전극(52b) 및 상기 노즐 플레이트(40)의 바닥면 이외의 프린트 헤드 조립체(54) 내, 외부 표면에 형성될 수 있다.
상기 소수성막(64)은 순수에 대해 90도 이상, 예를들어 90 내지 130도의 높은 접촉각을 갖는 소수성 물질을 포함한다. 상기 소수성막(64)은 자기 조립 단분자막(Self-assembled monolayer, SAM)을 기상 증착 또는 액상 증착하여 형성할 수 있다. 상기 SAM은 실란계 SAM, thiol계 SAM 등을 들 수 있다. 상기 SAM은 100Å이하의 얇은 두께로 형성될 수 있다. 상기 소수성막(64) 증착시의 온도는 100도 이하의 낮은 온도일 수 있다. 예를들어, 상기 소수성막(64)은 10 내지 100도 범위의 온도에서 형성될 수 있다.
이 후, 상기 제1 및 제2 마스크 패턴을 제거한다.(S20) 따라서, 상기 제1 마스크 패턴 상에 형성된 가요성막 및 소수성막이 함께 제거된다. 또한, 제2 마스크 패턴 상에 형성되어 있는 소수성막들이 함께 제거된다.
상기 공정을 통해, 상기 인쇄회로 기판의 연결 전극(52b) 및 상기 노즐 플레이트(40)의 바닥면 이외의 프린트 헤드 조립체(54) 내, 외부 표면에 유기물로만 이루어지는 제1 베리어 코팅막(60)이 형성된다. 또한, 상기 노즐 플레이트(40) 바닥면에는 소수성막이 포함되지 않고 유기물로 이루어지는 가요성막으로 구성되는 제2 베리어 코팅막(70)이 형성된다.
이와같이, 상기 제1 및 제2 베리어 코팅막(60, 70)이 구비됨으로써, 상기 잉크젯 프린트 헤드는 강한 내구성을 갖는다. 또한, 잉크 분사 공정 시에 바디부를 이루는 탄소 또는 접착 부재인 에폭시의 탈락에 따른 잉크의 오염이 억제된다.
실시예 2
도 6은 본 발명의 실시예 2에 따른 잉크젯 프린트 헤드에서 코팅막을 나타내는 단면도이다.
이하에서 설명하는 실시예 2에 따른 잉크젯 프린트 헤드는 프린트 헤드 결합체를 이루는 각 부재들이 실시예 1에서 설명한 것과 동일할 수 있다. 또한, 상기 제1 베리어 코팅막이 형성되는 위치도 실시예 1에서 설명한 것과 동일할 수 있다. 다만, 본 실시예에서는 제2 베리어 코팅막이 구비되지 않는다.
도 6에 도시된 것과 같이, 베리어 코팅막(60)은 가요성막(62) 및 소수성막(64)을 포함하며, 이들이 적층된 형상을 가질 수 있다. 상기 베리어 코팅막은 상기 실시예 1의 제1 베리어 코팅막과 동일한 구조를 갖는다.
또한, 도시된 것과 같이, 상기 노즐 플레이트(40)의 바닥면에는 아무런 코팅막이 형성되어 있지 않다.
본 실시예의 잉크젯 프린트 헤드는 상기 베리어 코팅막이 구비됨으로써, 강한 내구성을 갖는다. 또한, 분사되는 잉크의 오염이 억제될 수 있다. 또한, 노즐 플레이트 바닥 표면은 소수성을 갖는 베리어 코팅막이 구비되지 않아서 분사 특성이 향상된다.
도 7은 본 발명의 실시예 2에 따른 프린트 헤드의 제조 방법을 나타내는 흐름도이다.
먼저, 프린트 헤드 조립체(54)를 형성한다.(S30)
상기 프린트 헤드 조립체(54)에서 인쇄회로 기판의 연결 전극(52b) 및 노즐 플레이트(40) 바닥면을 덮는 마스크 패턴을 형성한다.(S32) 상기 마스크 패턴은 상기 연결 전극(52b) 및 노즐 플레이트 바닥면에 베리어 코팅막들이 형성되지 않도록 하기 위하여 제공된다.
상기 프린트 헤드 조립체(54)에 유기물로 이루어지는 가요성막(62)을 형성한다.(S34) 상기 가요성막은 상기 마스크 패턴이 형성되어 있는 상기 프린트 헤드 조립체의 내,외부 표면에 형성될 수 있다. 즉, 상기 가요성막은 프린트 헤드 조립체(54)에서 상기 인쇄회로 기판의 연결 전극(52b) 및 상기 노즐 플레이트(40)의 바닥면 이외의 프린트 헤드 조립체(54) 내, 외부 표면에 형성될 수 있다.
상기 가요성막은 100도 이하의 낮은 온도에서 액상 증착법 또는 기상 증착법에 의해 형성할 수 있다. 예를들어, 상기 가요성막은 10 내지 100도 범위의 온도에서 형성될 수 있다. 상기 가요성막은 파릴렌을 포함할 수 있다. 상기 파릴렌은 파릴렌 C, 파릴렌 N, 파릴렌 D, 파릴렌 HF 등이 포함될 수 있다. 상기 가요성막(62)은 가요성 및 평탄화 특성을 유지하기 위하여 0.1㎛ 내지 10㎛의 두께로 형성할 수 있다.
상기 가요성막(62) 상에 유기물로 이루어지는 소수성막(64)을 형성한다.(S36)
상기 소수성막(64)은 순수에 대해 90도 이상, 예를들어 90 내지 130도의 높은 접촉각을 갖는 소수성 물질을 포함한다. 상기 소수성막(64)은 자기 조립 단분자막(Self-assembled monolayer, SAM)을 기상 증착 또는 액상 증착하여 형성할 수 있다. 상기 SAM은 실란계 SAM, thiol계 SAM 등을 들 수 있다. 상기 SAM은 100Å이하의 얇은 두께로 형성될 수 있다. 상기 소수성막(64) 증착시의 온도는 100도 이하의 낮은 온도일 수 있다. 예를들어, 상기 소수성막(64)은 10 내지 100도 범위의 온도에서 형성될 수 있다.
이 후, 상기 마스크 패턴을 제거한다.(S38) 따라서, 상기 마스크 패턴 상에 형성된 가요성막 및 소수성막이 함께 제거된다. 그러므로, 상기 인쇄회로 기판의 연결 전극(52b) 및 노즐 플레이트(40) 바닥면에는 베리어 코팅막이 형성되지 않는다.
상기 공정을 통해 형성되는 잉크젯 프린트 헤드는 강한 내구성을 갖는다. 또한, 잉크 분사 공정 시에 바디부를 이루는 탄소 또는 접착 부재인 에폭시의 탈락에 따른 잉크의 오염이 억제된다.
비교 실험 1
이하에서는, 베리어 코팅막이 형성되어 있지 않은 기존의 잉크젯 프린트 헤드와 본 발명에 따른 베리어 코팅막이 형성된 잉크젯 프린트 헤드를 사용하였을 때, 각각의 잉크젯 프린터로부터 토출되는 잉크의 순도(purity)를 측정하였다.
상기 각각의 잉크젯 프린터에서 잉크젯 프린트 헤드에 잉크를 교환한 직후에 각 샘플에 대해 잉크의 순도를 측정하였다. 실험에 사용된 잉크젯 프린터는 LCD의 액정 형성용 프린터이며, 상기 잉크는 액정을 사용하였다.
도 8a는 본 발명의 실시예 1에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 사용하였을 때 토출되는 잉크의 순도를 나타낸다. 도 8b는 베리어 코팅막이 형성되어 있지 않은 기존의 잉크젯 프린트 헤드를 사용하였을 때 토출되는 잉크의 순도를 나타낸다.
도 8a를 참조하면, 본 발명의 실시예 1에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 사용하는 경우, 잉크젯 프린트 헤드에 잉크를 교환한 직후에 잉크 젯팅 공정을 수행하더라도 토출되는 잉크의 순도가 거의 100%에 가깝다. 또한, 계속적으로 다른 샘플에 잉크 젯팅을 수행하더라도 잉크의 순도가 감소되지 않고 100%에 가깝게 유지된다.
이는, 상기 잉크젯 프린트 헤드의 경우 잉크와 직접 접촉하는 부위에 높은 소수성을 갖는 소수성막이 구비됨으로써, 상기 잉크젯 프린트 헤드의 내부 표면과 잉크와의 상호작용이 거의 없어 잉크의 순도가 매우 높다. 특히, 잉크를 교환환 직후에도 상기 잉크젯 프린트 헤드의 표면으로 흡습이 거의 이루어지지 않음을 알 수 있었다.
따라서, 잉크 교환 직후에 시험 프린팅 공정을 수행하지 않고 실재의 프린팅 공정을 수행할 수 있다. 때문에, 상기 시험 프린팅 공정을 수행하는데 공정 비용이 소요되지 않을 수 있다.
도 8b를 참조하면, 베리어 코팅막이 형성되어 있지 않은 기존의 잉크젯 프린트 헤드를 사용하는 경우, 잉크젯 프린트 헤드에 잉크를 교환한 직후에 잉크 젯팅 공정을 수행하더라도 토출되는 잉크의 순도가 99.95% 정도로 감소된다. 계속하여, 다른 샘플에 잉크 젯팅을 수행하면, 잉크의 순도가 다소 상승하게 되고 일정 갯수의 샘플에 잉크 젯팅을 수행한 다음에 잉크의 순도가 100%에 가깝게 유지된다.
즉, 잉크젯 프린트 헤드에 잉크를 교환한 직후에는 상기 잉크와 잉크젯 플린트 헤드에서 잉크와 직접 접촉하는 표면간의 상호작용에 의해 상기 잉크가 상기 잉크젯 프린트 헤드의 표면으로 흡습되고 순도가 낮아지게 된다. 그러므로, 수 개의 샘플에 잉크 젯팅을 수행한 다음에, 잉크의 순도가 100%에 가깝게 유지되는 시점에서 실재의 프린팅 공정을 수행할 수 있다. 때문에, 상기 시험 프린팅 공정을 수행하는데 공정 비용이 소요된다.
비교 실험 2
이하에서는, 베리어 코팅막이 형성되어 있지 않은 기존의 잉크젯 프린트 헤드와 본 발명의 실시예 1에 따른 베리어 코팅막이 형성된 잉크젯 프린트 헤드를 사용하여, 잉크 젯팅 공정을 수행하였을 때, 각각의 잉크젯 프린트 헤드의 노즐 불량을 검사하였다. 실험에 사용된 잉크젯 프린터는 LCD의 액정 형성용 프린터이며, 상기 잉크는 액정을 사용하였다.
가속 실험을 위하여, 온도 80도의 오븐 내에서 프린트 헤드 내에 잉크를 교환한 수 일동안 계속하여 잉크 젯팅 공정을 수행하였으며, 노즐 불량을 검사하였다. 실험에 사용된 잉크젯 프린트 헤드 내의 노즐의 갯수는 총 256개이다.
35일 경과 50일 경과
기존 프린트 헤드 3개 노즐 미토출 6 개 노즐 미토출
본 발명 프린트 헤드 미토출없음 미토출없음
표 1에서 보여지듯이, 베리어 코팅막이 형성되어 있지 않은 기존의 잉크젯 프린트 헤드를 사용하는 경우, 35일 경과 이 후에 미토출되는 노즐이 발생되었다.
반면에, 본 발명의 실시예 1에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 사용하는 경우, 50일 경과 이 후에도 미토출되는 노즐이 발생되지 않았다.
실험 결과, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 사용하는 경우 잉크가 토출되지 않는 불량 노즐의 발생 주기가 매우 길어짐을 알 수 있었다. 그러므로, 잉크젯 프린트 헤드의 내구성이 증가됨을 알 수 있었다.
설명한 바에 의하면, 높은 내구성을 갖고 잉크의 오염이 감소되는 잉크젯 프린트 헤드가 제공된다. 상기 잉크젯 프린트 헤드는 액정 디스플레이 소자의 제조 공정시에 적극적으로 사용될 수 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 바디부 12 : 잉크 유입구
14 : 잉크 충전 통로 20 : 공동판 결합체
30 : 압전 소자 40 : 노즐 플레이트
50 : 분사 조립체 52 : 인쇄회로 기판
52b : 연결 전극 54 : 프린트 헤드 조립체
60 : 제1 베리어 코팅막 70 : 제2 베리어 코팅막
62 : 가요성막 64 : 소수성막

Claims (20)

  1. 내부에 잉크 이송 통로들이 구비되고, 바닥면에는 이송된 잉크를 외부로 토출하는 분사구가 포함된 노즐 플레이트를 포함하는 분사 조립체;
    상기 분사 조립체와 결합되고, 집적회로 및 연결 전극이 포함되는 인쇄회로 기판;
    상기 결합된 상태의 분사 조립체 및 인쇄회로 기판에서, 노즐 플레이트 저면 과 연결 전극 표면을 제외한 상기 분사 조립체의 내, 외부 표면 및 인쇄회로 기판의 표면 상을 덮고, 유기물만으로 구성되고 가요성막 및 소수성막이 차례로 적층된 형태의 제1 베리어 코팅막; 및
    상기 노즐 플레이트 저면에 구비되고, 상기 제1 베리어 코팅막에 포함되는 상기 가요성막만으로 이루어지는 제2 베리어 코팅막을 포함하는 잉크젯 프린트 헤드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 베리어 코팅막 및 제2 베리어 코팅막에 포함되는 상기 가요성막은 파릴렌막을 포함하는 잉크젯 프린트 헤드.
  3. 제2항에 있어서, 상기 파릴렌막은 파릴렌C, 파릴렌 N, 파릴렌 D 및 파릴렌 HF로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 잉크젯 프린트 헤드.
  4. 제1항에 있어서, 상기 가요성막은 0.1 내지 10㎛의 두께를 갖는 잉크젯 프린트 헤드.
  5. 제1항에 있어서, 상기 소수성막은 SAM(self assembly monolayer)을 포함하는 잉크젯 프린트 헤드.
  6. 제1항에 있어서, 상기 소수성막은 순수를 기준으로한 접촉각이 90 내지 130도인 물질을 포함하는 잉크젯 프린트 헤드.
  7. 제1항에 있어서, 상기 소수성막은 30 내지 100Å의 두께를 갖는 잉크젯 프린트 헤드.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제1 베리어 코팅막은 상기 결합된 상태의 분사 조립체 및 인쇄회로 기판에서, 상기 분사 조립체의 외부 표면, 내부의 잉크 이송 통로들 내부의 표면, 분사구 내부 표면 및 상기 집적회로 형성된 인쇄회로 기판의 표면에 구비되는 잉크젯 프린트 헤드.
  9. 제1항에 있어서, 상기 제1 베리어 코팅막은 적어도 상기 분사 조립체 내부에서 잉크와 접촉되는 모든 표면을 덮도록 구비되는 잉크젯 프린트 헤드.
  10. 삭제
  11. 분사 조립체 및 인쇄회로 기판이 결합된 프린트 헤드 조립체를 형성하는 단계;
    상기 인쇄회로 기판에 포함된 연결 전극을 덮는 제1 마스크 패턴을 형성하는 단계;
    상기 제1 마스크 패턴이 형성된 상기 프린트 헤드 조립체의 내, 외부 표면 상에 유기물로 이루어지는 가요성막을 형성하는 단계;
    상기 분사 조립체에 포함되는 노즐 플레이트의 저면을 덮는 제2 마스크 패턴을 형성하는 단계;
    상기 가요성막 및 제2 마스크 패턴 상에 유기물로 이루어지는 소수성막을 형성하는 단계; 및
    상기 제1 및 제2 마스크 패턴을 제거하는 단계를 포함하는 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 가요성막은 파릴렌을 증착하여 형성하는 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법.
  13. 제11항에 있어서, 상기 소수성막은 SAM(self assembly monolayer)을 증착하여 형성하는 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법.
  14. 제11항에 있어서, 상기 소수성막은 액상 또는 기상 증착 공정을 통해 형성하는 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법.
  15. 제11항에 있어서, 상기 가요성막 및 소수성막은 10 내지 100℃범위 내의 온도에서 형성하는 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법.
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 삭제
  20. 삭제
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