JP4630084B2 - インクジェットプリントヘッドのノズルプレート表面への疏水性コーティング膜の形成方法 - Google Patents
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Description
図1を参照すれば、流路プレート10にはインク流路を構成するマニホールド13、複数のリストリクタ12及び複数の圧力チャンバ11が形成されており、ノズルプレート20には複数の圧力チャンバ11のそれぞれに対応する複数のノズル22が形成されている。そして、前記流路プレート10の上部には圧電アクチュエータ40が備えられている。前記マニホールド13は、インク貯蔵庫(図示せず)から流入されたインクを複数の圧力チャンバ11それぞれに供給する共通通路であり、リストリクタ12はマニホールド13から圧力チャンバ11内にインクが流入される個別通路である。前記複数の圧力チャンバ11は、吐出されるインクが満たされる所であり、マニホールド13の一側または両側に配列されている。このような圧力チャンバ11は、圧電アクチュエータ40の駆動によりその体積が変化することによって、インクの吐出または流入のための圧力変化を生成する。このために、流路プレート10の圧力チャンバ11の上部壁は圧電アクチュエータ40により変形される振動板14の役割を行う。
図2を参照すれば、ノズル55が貫通形成されているノズルプレート51の表面に、まず金属層52を形成した後、前記金属層52の表面に硫黄化合物を塗布して硫黄化合物層53を形成する。この際、硫黄化合物は、金属層52の表面にのみ選択的に塗布される。
図3を参照すれば、ノズルプレート70の表面には撥水膜90が形成されるが、この撥水膜90はニッケルベース96にフッ素樹脂粒子94と硬質体98が含有された構成を有し、その表面にはフッ素樹脂膜92が形成される。このような撥水膜90の形成方法は次の通りである。まず、ノズル72内に高分子樹脂を充填した後、ノズルプレート70表面に撥水膜90を形成した後、高分子樹脂を除去する。それにより、ノズルプレート70の表面にだけ撥水膜90が形成される。
一方、特許文献1には、ノズル内面への撥水膜のコーティングを防止するために、ノズルを通じてガスを吹き出しつつ、ノズルプレートの表面に撥水膜を形成する方法が開示されている。しかし、この方法は、装置が複雑、かつ工程が難しくて実際には適用し難い。
ここで、前記ノズルプレートは、シリコンウェーハよりなり、この場合、前記金属層の形成段階前に、前記ノズルプレートの外側表面と前記ノズルの内面とにシリコン酸化膜が形成されることが望ましい。
前記金属層は、Au、Ag、Cu及びInよりなる群から選択された少なくとも1つの金属よりなり、望ましくは、前記金属層はAuよりなる。
前記物質膜のエッチング段階は、反応性イオンエッチング(RIE;Reactive Ion Etching)方法により行われることが望ましい。
前記硫黄化合物は、チオール化合物であることが望ましい。
そして、本発明によれば、従来よりさらに単純化された工程で、さらに容易に疏水性コーティング膜を形成しうる。
図4Aないし図4Eは、本発明の望ましい実施形態によるインクジェットプリントヘッドのノズルプレート表面に疏水性コーティング膜を形成する方法を段階的に示す断面図である。一方、以下の図面はノズルプレートの一部を示したものであって、一般的なノズルプレートには数十ないし数百個のノズルが1列または複数列に配列されている。
すなわち、図4Cに示されたように、前記金属層132を覆う物質膜133を形成する。前記物質膜133は、前述したような長所を有するシリコン酸化膜よりなることが望ましい。そして、前記物質膜133は。狭いノズル122の内面に蒸着された金属層132の表面にも蒸着されねばならないために、縦横比の比較的大きな構造に適したPE−CVD法により前記物質膜133を蒸着することが望ましい。それにより、図4Cに示されたように、ノズルプレート120の外面とノズル122の内面に蒸着された金属層132の前面が物質膜133により覆われる。
前述した段階を経れば、図4Eに示されたように、ノズルプレート120の外面にだけ均一な疏水性コーティング膜134が形成され、ノズル122の内面には疏水性コーティング膜134が形成されない代りに、親水性を有するシリコン酸化膜131、133が形成される。
122…ノズル
131…シリコン酸化膜
132…金属層
133…物質膜
134…疏水性コーティング膜
Claims (10)
- インクジェットプリントヘッドのノズルプレートの外側表面への疏水性コーティング膜の形成方法において、
複数のノズルが形成されたノズルプレートを準備する段階と、
前記ノズルプレートの外側表面及び前記ノズルの内面に金属層を形成する段階と、
前記金属層を覆う物質膜を形成する段階と、
前記物質膜を選択的にエッチングして前記金属層のうち、前記ノズルプレートの外側表面に形成された部分を露出させる段階と、
前記ノズルプレートを硫黄化合物が含有された溶液内に浸漬し、前記露出された金属層の表面に前記硫黄化合物よりなる疏水性コーティング膜を形成する段階と
を備えることを特徴とする疏水性コーティング膜の形成方法。 - 前記ノズルプレートは、シリコンウェーハよりなることを特徴とする請求項1に記載の疏水性コーティング膜の形成方法。
- 前記金属層の形成段階前に、前記ノズルプレートの外側表面と前記ノズルの内面とにシリコン酸化膜を形成する段階を備えることを特徴とする請求項2に記載の疏水性コーティング膜の形成方法。
- 前記金属層の形成段階は、スパッタリングまたは電子ビーム蒸着法により行われることを特徴とする請求項1に記載の疏水性コーティング膜の形成方法。
- 前記金属層は、Au、Ag、Cu及びInよりなる群から選択された少なくとも1つの金属よりなることを特徴とする請求項1または4に記載の疏水性コーティング膜の形成方法。
- 記金属層は、Auよりなることを特徴とする請求項5に記載の疏水性コーティング膜の形成方法。
- 前記物質膜の形成段階は、プラズマ化学気相蒸着方法により行われることを特徴とする請求項1に記載の疏水性コーティング膜の形成方法。
- 前記物質膜は、シリコン酸化膜よりなることを特徴とする請求項1または7に記載の疏水性コーティング膜の形成方法。
- 前記物質膜のエッチング段階は、反応性イオンエッチング方法により行われることを特徴とする請求項1に記載の疏水性コーティング膜の形成方法。
- 前記硫黄化合物は、チオール化合物であることを特徴とする請求項1に記載の疏水性コーティング膜の形成方法。
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