JP2005262471A - 液滴吐出ヘッドの製造方法、及び液滴吐出ヘッド、並びに液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 液滴吐出ヘッドのノズル表面の撥水撥油性の低下を防止するとともに、耐久性を向上することができる液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】 ノズル２１表面に密着性の高い緻密な撥水撥油膜４４を５ｎｍ以下形成する。真空蒸着法によって蒸着膜４８を形成して、この蒸着膜４８の上に粘着シート４５を貼りつけてから（Ｓ７）、粘着シート４５を剥がす（Ｓ１０）。この時、蒸着層が分離して剥がされて下層のみが残って、この下層により撥水撥油膜４４が形成される。
【選択図】 図４

Description

本発明は、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドのノズル表面に撥水撥油膜を形成する液滴吐出ヘッドの製造方法、及び液滴吐出ヘッド、並びに液滴吐出装置に関するものである。

近年、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドは液滴を発生（吐出）させるためのメカニズムに応じて各種の方式のものが知られている。例えば、ヒータを加熱して液体を沸騰させ、それによって生じる気泡圧で液滴を吐出する形式の液滴吐出ヘッドがある。また、液体を貯留した圧力室に貼り付けられた圧電素子に電圧を印加することにより圧力室の容積を膨張および収縮させて、液滴を吐出する形式の液滴吐出ヘッドがある。さらに、静電気力を利用して液体を貯留した圧力室の容積を変化させて、液滴の吐出を行う形式のものもある。いずれの形式の液滴吐出ヘッドにおいても、圧力室の圧力変動を利用して液滴をノズルから吐出させるようになっている。

液滴吐出ヘッドが印刷ヘッドとして使用される場合は、主に、水性または油性のインクが用いられるので、ノズル表面の撥水性や撥油性が不充分であるときには、インクがノズル表面に付着し易くなる。そのため、ノズルから吐出されるインクの直進性が損なわれて印刷の乱れが発生するという可能性がある。このことによって、液滴吐出装置は高精度な印刷品質が得られないことがある。

例えば、特許文献１に開示されているように、水性インクを使用する場合にはインクをはじく性質を付与するための撥水処理がノズル表面に施されていた。このように、ノズル表面には、撥水撥油化処理が施されているのが一般的である。また、液滴吐出ヘッドのノズル表面には、この撥水撥油膜が２０ｎｍ以上になるように設けられていた。しかも、このノズル表面と撥水撥油膜との密着力を高めるために、撥水撥油膜を形成する前に、このノズル表面に紫外線（３００ｎｍ以下の波長）を照射してノズル表面の清浄度を向上してから、この撥水撥油膜を形成する製造方法が採用されていた（例えば、特許文献１参照）。

特開２００３−１２７３８４号公報

ところが、このような液滴吐出ヘッドの製造方法は、撥水撥油膜が２０ｎｍ以上の厚さであったため、撥水撥油膜の膜厚がある程度以上厚く設けられていた場合、液滴吐出ヘッドのノズル上に付着した液滴を除去するためのワイピング作業によって、撥水撥油膜が積層間で分離し、この剥がれた撥水撥油膜の一部がノズル内に侵入し、インク吐出時にインクの飛行が曲がったり、インクが適量吐出しないという問題の発生が心配された。一方、逆に撥水撥油膜を薄く形成すると、蒸着膜がノズル表面に緻密に形成されにくい傾向にあったので、インクが濡れやすくなり、撥水撥油性が低下する問題があった。

本発明の目的は、液滴吐出ヘッドのノズル表面の撥水撥油性を向上させるとともに、ワイピング等により分離された撥水撥油膜のノズル内への進入による液滴吐出不安定を低減できる液滴吐出ヘッドの製造方法と液滴吐出ヘッドとを提供すること、及び、高精度な印刷品質を提供することが可能な液滴吐出装置を提供することである。

本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、アクチュエータによって駆動する液滴吐出ヘッドの製造方法において、ノズル表面に、蒸着法によって撥水撥油性を有する蒸着膜を積層した前記蒸着膜を形成する工程と、前記蒸着膜の蒸着層を分離除去して、その残った下層によって撥水撥油膜を形成する工程とを有することを特徴とする。

この発明によれば、蒸着膜の蒸着層から分離除去することで密着性が高く、緻密で薄膜な撥水撥油膜がノズル表面に形成されることになる。、これによりワイピング等によって蒸着層が分離し、ノズル内へ進入するのを抑制できる。従って、インクを安定的に吐出可能な液滴吐出ヘッドを製造することができる。

本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記撥水撥油膜が５ｎｍ以下であることが望ましい。

この発明によれば、密着性の高い緻密な撥水撥油膜がノズル表面に薄膜で、しかも均一に形成されるので、ワイピング等によって蒸着層が分離し、ノズル内へ進入するのを抑制できる。従って、インクをより安定的に吐出可能な液滴吐出ヘッドを製造することができる。

本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記蒸着膜が２０ｎｍ以上であることが望ましい。

この発明によれば、一旦２０ｎｍ以上と厚く蒸着してから、蒸着膜から蒸着層が分離除去されているので、緻密な撥水撥油膜がノズル表面に形成される。よって、この撥水撥油膜は撥水撥油性とワイピング等により分離された撥水撥油膜のノズル内への進入の低減とを確保できる。従って、インクを安定的に吐出可能な液滴吐出ヘッドを製造することができる。

本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記蒸着膜の蒸着層を分離して撥水撥油膜を形成する工程は、前記蒸着膜に粘着テープを貼る工程と、前記粘着テープを剥がす工程とを有することが望ましい。

この発明によれば、蒸着膜に粘着テープを貼ってから剥がすことによって、緻密で薄膜な撥水撥油膜を簡単な方法で、しかも確実にノズル表面上に形成することができる。よって、安定した品質の液滴吐出ヘッドを大量に製造することができる。

本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法において、ウエハ積層体に蒸着膜を形成し、前記ウエハ積層体から前記液滴吐出ヘッドに分離する工程を備え、前記粘着テープを剥がす工程は前記液滴吐出ヘッドを切り離した後に行い、前記粘着テープはダイシングテープであることことが望ましい。

この発明によれば、ウェハの切断に使用するダイシングテープと蒸着膜の蒸着層を分離する際に使用する粘着テープを兼用できるため、工程を削減でき、緻密で薄い撥水撥油膜を形成できる。

本発明の液滴吐出ヘッドは、前述の製造方法により製造された液滴吐出ヘッドであることが望ましい。

この発明によれば、液滴吐出ヘッドは前述の製造方法によって製造されているので、高耐久性を有する緻密で薄膜な撥水撥油膜が形成され、液滴を安定的に吐出可能な液滴吐出ヘッドを提供することができる。

本発明の液滴吐出装置は、前述の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であることが望ましい。

この発明によれば、液滴吐出装置は前述の液滴吐出ヘッドを備えているので、高精度な印刷品質を提供することが可能な液滴吐出装置を提供できる。

以下、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法、及び液滴吐出ヘッド、並びに液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置について実施形態を挙げ、添付図面に沿って詳細に説明する。

図１は本発明の液滴吐出ヘッドの一部を示す分解斜視図である。また、図２及び図３は液滴吐出ヘッドの断面図である。

図１及び図２に示すように、液滴吐出ヘッド１は、インク液滴を基板の上面に設けたノズルから吐出させるフェイスインクジェットタイプであり、静電駆動方式のものである。液滴吐出ヘッド１は、ノズルプレート４、キャビティプレート３、電極基板２がこの順序で接合された積層構造をしている。

キャビティプレート３は、例えばシリコン基板であり、図１及び図２に示すように、このキャビティプレート３の表面には底壁が振動板５として機能する圧力室６を構成することになる凹部７と、凹部７の後部に設けられたインク供給口８を構成することになる細溝９と、各々の圧力室６にインクを供給するためのインクリザーバ１０を構成することになる凹部１１とがエッチングによって形成されている。このキャビティプレート３の下面は鏡面研磨によって平滑化されており、電極基板２に対する取付け部とされている。

図１及び図２に示すように、このキャビティプレート３の上面（溝形成側の基板表面）に接合されるノズルプレート４において、圧力室６の上面を規定する壁部分には各圧力室６に連通する複数のノズル２１が形成されている。図２に示すように、ノズル２１は段状断面をしており、インク液滴２３の吐出方向の外側（同図における上側）が円形の小径ノズル部分２１ａに形成され、内側が円形の大径ノズル部分２１ｂに形成されている。

このノズルプレート４およびキャビティプレート３を相互に重ね合わせて接合することにより、ノズルプレート４とキャビティプレート３との間に、圧力室６、インク供給口８、およびインクリザーバ１０とが平面方向Ｈに配列された状態に区画形成される。
図１及び図２に示すように、このキャビティプレート３の上面（溝形成側の基板表面）に接合されるノズルプレート４において、圧力室６の上面を規定する壁部分には各圧力室６に連通される複数のノズル２１が形成されている。この複数のノズル２１から液滴２３が吐出されることになる。

電極基板２において、各々の振動板５に対峙する部分には、振動室１２を構成することになる凹部１３が形成されている。この凹部１３の底面には、振動板５に対峙する個別電極１４が配置されている。個別電極１４はリード部１５を介して端子部１６に接続されている。端子部１６を除く個別電極１４およびリード部１５は絶縁膜１７に被覆されている。各端子部１６にはリード線１８がボンディングされている。リード線１８はドライバ２０と接続され、外部から電圧を供給されるように構成されている（図示せず）。

図２には撥水撥油膜４４が形成された液滴吐出ヘッド１が示されている。図３に示すように、ウエハ積層体４０のノズル表面部ＮＦ面に蒸着膜４８と、この蒸着膜４８の上に粘着テープとしての粘着シート４５（以下、粘着シート４５）とダイシングテープ４６とが貼りつけられている。ここで、図３に示す粘着シート４５とダイシングテープ４６とを剥がすことによって、図２に示すような撥水撥油膜４４が形成された液滴吐出ヘッド１が得られる。
ここで、ウエハ積層体４０は、ノズルプレートウエハ４１と、キャビティプレートウエハ４２と、電極ガラスウエハ４３とが接合されていて、図３に示すような積層構造になっている。

ノズルプレートウエハ４１は、例えばシリコン基板であり、このノズルプレートウエハ４１の表面の段差部分にノズル表面部ＮＦが設けられていて、後述するように、このノズル表面部ＮＦには、撥水撥油膜４４が真空蒸着法によって形成されている。この撥水撥油膜４４の材料はフッ素含有シランカップリング化合物であり、東京製品開発研究所製「パラックコート」を使用している。

キャビティプレートウエハ４２は、例えばシリコン基板であり、このキャビティプレートウエハ４２から前述のキャビティプレート３が形成される。

電極ガラスウエハ４３は、例えばガラス基板であり、この電極ガラスウエハ４３には前述の電極基板２が形成される。

ノズルプレートウエハ４１に設けられた蒸着膜４８の上には粘着シート４５（この場合、ダイシングテープ）が貼りつけられていて、この粘着シート４５はノズル表面部ＮＦに設けられた蒸着膜４８の上からノズル２１を塞ぐように貼りつけられている（図３参照）。

さらに、この粘着シート４５の上にダイシングテープ４６がノズルプレートウエハ４１の表面全体を覆うように貼りつけられている。

この粘着シート４５とダイシングテープ４６とは、一般的に使用されている紫外線剥離型のダイシングテープである。この紫外線剥離型のダイシングテープは、基材の厚さが１００μｍで、粘着層の厚さが２５μｍとなっている。つまり、総厚は１２５μｍである。

図４は液滴吐出ヘッド１の製造工程を示すフローチャートである。また、図５は液滴吐出ヘッド１の製造工程を示す概略図である。図４、図５を参照しながら、液滴吐出ヘッド１のノズルプレートウエハ４１のノズル表面部ＮＦへ撥水撥油膜４４を形成する方法について説明する。

図４に示すように、工程Ｓ１ではシリコン基板に多数個のノズルプレート４を形成することにより、ノズルプレートウエハ４１を製造する。また、工程Ｓ２ではシリコン基板に多数個のキャビティプレート３を形成することにより、キャビティプレートウエハ４２を製造する。工程Ｓ３ではガラス基板に多数個の電極ガラス２を形成することにより、電極ガラスウエハ４３を製造する。

次の工程Ｓ４では、図５（ａ）に示すこれら３枚のウエハであるノズルプレートウエハ４１と、キャビティプレートウエハ４２と、電極ガラスウエハ４３とを接合して図５（ｂ）に示すような各ウエハが積層状態になったウエハ積層体４０を製造する。

次の工程Ｓ５では、このウエハ積層体４０のノズルプレートウエハ４１の表面にＵＶ洗浄を行う。このＵＶ洗浄をノズルプレートウエハ４１に施すことによって、ノズル表面部ＮＦは清浄な面を確保することができる。

図４、図５（ｃ）に示すように、次の工程Ｓ６ではこのノズル表面部ＮＦに撥水撥油性材料（本例ではフッ素含有シランカップリング化合物）からなる蒸着膜４８を形成する。ここでは、蒸着膜４８を真空蒸着法によって、ノズル表面部ＮＦに約４０ｎｍの膜厚となるように形成する。

図５（ｄ）に示すように、ノズル表面部ＮＦの幅となるように粘着シート４５を切り出して用意する。同様に、図５（ｆ）に示すように、ダイシングテープ４６はノズルプレートウエハ４１の大きさになるように切り出して用意する。ここで使用される粘着シート４５とダイシングテープ４６とは一般に使用されている紫外線剥離型のダイシングテープを採用している。

図４に示すように、工程Ｓ７では図５（ｅ）に示すように、ノズル表面部ＮＦに形成された蒸着膜４８の上に粘着シート４５を貼りつけ、さらに図５（ｇ）に示すように、その上からダイシングテープ４６を貼りつける。より具体的には、ノズル表面部ＮＦ上に設けられた蒸着膜４８に、この蒸着膜４８の形状に合わせた粘着シート４５をノズル２１を塞ぎながら貼りつける。次に、この粘着シート４５の上からピンセットなどの工具を用いて、この蒸着膜４８が粘着シート４５の粘着材層内に入り込むように、また完全に密着するように、力を入れて擦り付ける。

さらに、この粘着シート４５の上からウエハ積層体４０の表面全体（ノズルプレートウエハ４１の表面）に、ダイシングテープ４６を貼りつける。同様に、ウエハ積層体４０の裏面全体（電極ガラスウエハ４３の裏面）にも、ダイシングテープ４６を貼りつける。

図４に示す工程Ｓ８では、ウエハ積層体４０を切断して、図３に示す構造（但し、ドライバ２０、接続パイプ３２、チューブ３３等はない）の個々の液滴吐出ヘッド１を切り出す。ここで、切り出された液滴吐出ヘッド１はノズル表面部ＮＦに粘着シート４５とダイシングテープ４６とが貼りつけられている状態である。また、ダイシングテープ４６は厚み方向の途中まで切断されていて、個々の液滴吐出ヘッド１はダイシングテープ４６でつながっている。

図４に示す工程Ｓ９では、ダイシングテープ４６に紫外線照射処理を行い、ダイシングテープ４６の粘着力を低下させる。

図４に示す次の工程Ｓ１０では、切り出された液滴吐出ヘッド１に貼りつけられているダイシングテープ４６と粘着シート４５とを剥離する工程である。具体的には、先にダイシングテープ４６を剥がしておいてから、次に粘着シート４５を剥離する。

図６に示すように、真空蒸着法によってノズルプレート４（ノズルプレートウエハ４１）に蒸着膜４８を形成してから粘着シート４５を貼りつけて、この粘着シート４５を剥がすことによって、撥水撥油膜４４が形成される。
ここで、粘着シート４５をノズル表面部ＮＦから剥離すると、このノズル表面部ＮＦに約４０ｎｍ形成されていた蒸着膜４８が、このノズル表面部ＮＦ側に密着性の高い緻密な膜を残しながら、疎な膜の層が分離除去されて剥離される。この結果、緻密な膜の撥水撥油膜４４が約５ｎｍ以下の厚さでノズル表面部ＮＦに形成することができる。つまり、蒸着膜４８は分子間結合による結合力で保持されているのに対して、緻密で薄い撥水撥油膜４４は基材との結合力が高いことによって、撥水撥油膜４４が薄く形成されると考えられる。

以上説明したように、液滴吐出ヘッド１に緻密な撥水撥油膜４４を形成する方法は、ノズル表面部ＮＦに、真空蒸着法によって、あらかじめ約４０ｎｍの蒸着膜４８を形成した後に、この蒸着膜４８を基材結合部と分子間結合部との境界部から分離して剥離する。この製造方法によって、ノズル表面部ＮＦには緻密な撥水撥油膜４４が形成される。しかも、剥離後の撥水撥油膜４４の膜厚が５ｎｍ以下になる。なお、撥水撥油膜４４を残して剥離する時に、粘着シート４５を用いて行えば極めて簡単に形成できる。

図７は本実施形態の液滴吐出ヘッド１を搭載した液滴吐出装置１００（インクジェットプリンタ）の構成例を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１００は、インクタンク１０１、キャリッジ１０２、プラテン１０３、記録紙１０４等を備えた構成になっていて、液滴吐出ヘッド１はキャリッジ１０２に搭載されている。

本実施形態における液滴吐出ヘッド１、及び製造方法、並びに液滴吐出装置１００の構成は以上のようであって、図１、図２、図７を参照しながら、液滴吐出ヘッド１及び液滴吐出装置１００の動作について説明する。

図７に示すように、液滴吐出装置１００は、プラテン１０３により記録紙１０４を搬送させつつ、キャリッジ１０２を移動させて、記録紙１０４と液滴吐出ヘッド１との相対位置を制御しながら、インクをインクタンク１０１から供給して、液滴吐出ヘッド１からインク液滴２３を吐出させることにより、任意の文字や画像を記録紙１０４に印刷する。

図１及び図２示すように、撥水撥油膜４４を５ｎｍ以下になるようにノズルプレート４のノズル表面部ＮＦに形成した液滴吐出ヘッド１が、前述の製造方法によって得られる。

液滴吐出ヘッド１はノズル表面部ＮＦに緻密な撥水撥油膜４４が設けられているので、撥水撥油性が期待できる。しかもその膜厚が５ｎｍ以下で極めて薄い膜であり、ノズル表面部ＮＦとの密着性（結合力）も高いので、ワイピング耐久性について磨耗による発塵防止が期待できる。

本発明の製造方法によって得られた液滴吐出ヘッド１の撥水撥油膜４４の加速耐久試験を実施したので、その結果を以下に記す。

図８は、撥水撥油膜４４の耐久性を示すグラフであって、横軸に加速耐久試験方法を示し、縦軸にインクの接触角を示す。ここで、接触角を評価項目に選定したのは、インクの撥水撥油性を定量的に、しかも客観的に評価できるからである。

加速耐久試験には、インク浸漬試験（Ａ）とワイプ試験（Ｂ，Ｃ，Ｄ）がある。このインク浸漬試験（Ａ）は液滴吐出ヘッド１をインクに浸漬して撥水撥油膜４４の耐久性を調査する方法であって、実機で約２年間の使用に相当するように、インク温度と浸漬期間を設定し、加速試験させたものである。

一方、ワイプ試験は液滴吐出ヘッド１をゴム部材にてワイピングして撥水撥油膜４４の耐久性を調査する方法である。このワイプ試験条件は数千回を１サイクルとし、３サイクル（Ｂ，Ｃ，Ｄ）実施している。このワイプ試験は実機で約２年間の使用に相当する加速試験である。

次に、評価用サンプルを４種類（４水準）用意する。サンプル１は撥水撥油膜４４がないもので、接触角が約３ｄｅｇであった。サンプル２は真空蒸着法で蒸着膜４８を約５ｎｍ形成してあるもので、接触角が約６６ｄｅｇであった。サンプル３は真空蒸着法で蒸着膜４８が約２０ｎｍ形成してから、粘着シート４５を用いて剥がすことによって、撥水撥油膜４４が５ｎｍ以下に形成してあるもので、接触角が約７２ｄｅｇであった。サンプル４は真空蒸着法で蒸着膜４８を約６０ｎｍ形成してから、粘着シート４５を用いて剥がすことによって、撥水撥油膜４４が５ｎｍ以下に形成してあるもので、接触角が約７３degであった。

ここで、加速耐久試験は、インク浸漬試験（Ａ）と、ワイプ試験１サイクル目（Ｂ）と、ワイプ試験２サイクル目（Ｃ）と、ワイプ試験３サイクル目（Ｄ）までの計４回の試験を行う。そして、撥水撥油膜４４形成初期と各試験条件終了時における撥水撥油膜４４の接触角の変化を調べる（図８参照）。

ここで、インク浸漬試験（Ａ）後でのサンプル２の接触角は約５７ｄｅｇを示し、サンプル３の接触角は約６５ｄｅｇを示し、サンプル４の接触角は約６８ｄｅｇを示した。

次に、ワイプ試験１サイクル目（Ｂ）でのサンプル２の接触角は約５０ｄｅｇを示し、サンプル３の接触角は約６０ｄｅｇを示し、サンプル４の接触角は約６５ｄｅｇを示した。

次に、ワイプ試験２サイクル目（Ｃ）でのサンプル２の接触角は約４８ｄｅｇを示し、サンプル３の接触角は約５３ｄｅｇを示し、サンプル４の接触角は約６１ｄｅｇを示した。

次に、ワイプ試験３サイクル目（Ｄ）でのサンプル２の接触角は約４７ｄｅｇを示し、サンプル３の接触角は約５２ｄｅｇを示し、サンプル４の接触角は約５８ｄｅｇを示した。

このように撥水撥油膜４４の加速耐久試験では、撥水撥油膜４４の接触角が徐々に変化（この場合、減少傾向）していき、撥水撥油膜４４の濡れ性が変化していくことがわかる。なお、サンプル１は初期の接触角が極端に低い値を示していたので、インク浸漬試験とワイプ試験とを行わなかった。

前述の加速耐久試験結果から、これら４種類（４水準）の評価サンプルの中では、サンプル４が最良であることがわかる。つまり、あらかじめ蒸着膜４８を厚く形成してから（加速耐久試験では約６０ｎｍ）、粘着シート４５を用いてこの撥水撥油膜４４を剥がすことによって、５ｎｍ以下に形成したものが耐久性が良いものであるといえる。

図９は、前記加速耐久試験結果を用い撥水撥油膜４４のテープ剥離前の蒸着膜４８の膜厚依存性について示すグラフであって、横軸にテープ剥離前の蒸着膜４８の厚さを示し、縦軸にはテープ剥離後に形成された撥水撥油膜４４の接触角を示す。

図９において、撥水撥油膜４４形成初期と加速耐久試験後との接触角の比較データを蒸着膜４８の膜厚毎に示す。この比較データで、上側の曲線が撥水撥油膜４４形成初期の接触角の変化を蒸着膜４８の膜厚毎に示すものであり、下側の曲線が加速耐久試験後の接触角の変化を蒸着膜４８の膜厚毎に示すものである。

このグラフからも分かるように、蒸着膜厚が薄いと初期接触角が低くなり、加速耐久試験後の接触角減少幅も大きい。逆に蒸着膜厚が厚いと初期接触角が高くなり、加速耐久試験後の接触角減少幅は小さい。つまり、撥水撥油膜４４が同一の膜厚であっても、蒸着膜厚によって、撥水撥油性が異なることがわかる。

以上のような実施形態では、次のような効果が得られる。
（１）ノズルプレート４のノズル表面部ＮＦに、密着性の高い緻密な撥水撥油膜４４が薄く形成されるので、ワイピングによって撥水撥油膜４４が剥がれることがなくなる。よって、剥がれた膜がノズル２１内に侵入するという不具合もなくなる。また、蒸着膜４８の膜厚の変動（バラツキ）があっても撥水撥油膜４４を薄く均一に形成できる。
従って、安定した印刷品質を確保することが可能な、液滴吐出ヘッド１を製造することができる。
（２）撥水撥油膜４４が密着性の高い緻密な薄い膜であるので、撥水撥油性と耐久性とが向上した膜となる。従って、インク吐出時の安定性と耐久性とが向上した液滴吐出ヘッド１を提供することができる。
（３）前述のような品質の高い液滴吐出ヘッド１を採用することによって、高精度で高品質の印刷が可能な液滴吐出装置１００を提供することができる。

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。以下に変形例を示す。

（変形例１）前記実施形態では、蒸着膜４８を分離して剥離する時に使用する粘着シート４５として紫外線剥離型のダイシングテープを用いたが、本発明はこれにこだわるものではない。例えば、剥離に必要な所定の粘着力、粘着層が確保できるものであれば、その他の粘着テープを採用してもよい。また、ダイシングテープ４６も同様である。

このようにすれば、粘着テープの粘着力、粘着層を管理することによって、粘着シート４５は蒸着膜４８を分離して剥離できるので、粘着テープの選択範囲が広がる。従って、より安価な粘着テープを採用すれば、前記実施形態と同様の効果を得られることと、よりコストのかからない製造方法を提供できる。

（変形例２）前記実施形態で、ノズルプレート４にシリコン基板を採用したが、本発明はこれにこだわるものではない。例えば、このノズルプレート４の材質にガラスを採用したガラス基板でもよい。

このようにすれば、ノズルプレート４にガラスを採用した方式の液滴吐出ヘッド１に、この製造方法を適用できる。つまり、異なる形式の液滴吐出ヘッド１を提供することができる。

（変形例３）前記実施形態で、ノズルプレート４に蒸着膜４８を約４０ｎｍの厚さで設けていたが、本発明はこれにこだわるものではない。例えば、蒸着膜４８の初期の膜厚が４０ｎｍ以下でも、また逆に、４０ｎｍ以上あってもよい。但し、２０ｎｍ以上が好ましい。

このようにすれば、膜厚に多少のバラツキがあるかも知れないが、緻密な撥水撥油膜４４が形成されるので、前記実施形態と同様の効果が得られる。

（変形例４）前記実施形態で、粘着シート４５とダイシングテープ４６とを重ねて貼りつけたが本発明はこれにこだわるものではない。例えば、ダイシングテープ４６を１枚のみ貼りつけてもよい。

このようにすれば、粘着力によって蒸着膜４８を分離除去して剥がすことができれば良いので、緻密な撥水撥油膜４４が多少厚くなるかも知れないが、前記実施形態と同様の効果が得られ、粘着テープが１枚で済むのでコストを低減できる。また、ノズル表面に段差のない別な型式の液滴吐出ヘッドにもこの製造方法が採用できる。

（変形例５）前記実施形態で、蒸着膜４８を粘着テープによって剥離して分離除去することに限定されない。例えばジェット水流を当てるなど水圧によって、あるいは気体を照射するなどの気圧によって蒸着層部分を剥離しても良い。その他、どんな方法で剥離しても良い。但し、基材と撥水撥油性材料との結合力より弱い力で剥離する。

このようにすれば、緻密な撥水撥油膜４４の膜厚が多少ばらつくかも知れないが、前記実施形態と同様の効果が得られる。

本発明の実施形態の液滴吐出ヘッドの断面図。 液滴吐出ヘッドの断面図。 液滴吐出ヘッドの断面図。 液滴吐出ヘッド製造工程を示す図。 液滴吐出ヘッド製造工程を示すフローチャート。 蒸着膜の剥離状態を示す図。 液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置。 撥水撥油膜の耐久性を示すグラフ。 蒸着膜厚と初期及び加速耐久試験後の接触角を示すグラフ。

符号の説明

１…液滴吐出ヘッド、２…電極基板、３…キャビティプレート、４…ノズルプレート、６…圧力室、２１…ノズル、４１…ノズルプレートウエハ、４２…キャビティプレートウエハ、４３…電極ガラスウエハ、４４…撥水撥油膜、４５…粘着テープとしての粘着シート、４６…ダイシングテープ、４８…蒸着膜、１００…液滴吐出装置、ＮＦ…ノズル表面部。

Claims (7)

1. アクチュエータによって駆動する液滴吐出ヘッドの製造方法において、
   ノズル表面に、蒸着法によって撥水撥油性を有する蒸着膜を積層した前記蒸着膜を形成する工程と、
   前記蒸着膜の蒸着層を分離除去して、その残った下層によって撥水撥油膜を形成する工程とを有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
2. 請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、
   前記撥水撥油膜が５ｎｍ以下であることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
3. 請求項１又は請求項２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、
   前記蒸着膜が２０ｎｍ以上であることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
4. 請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、
   前記蒸着膜の蒸着層を分離して撥水撥油膜を形成する工程は、
   前記蒸着膜に粘着テープを貼る工程と、
   前記粘着テープを剥がす工程とを有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
5. 請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、
   ウエハ積層体に蒸着膜を形成し、、
   前記ウエハ積層体から前記液滴吐出ヘッドに分離する工程を備え、
   前記粘着テープを剥がす工程は前記液滴吐出ヘッドを切り離した後に行い、
   前記粘着テープはダイシングテープであることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
6. 請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の製造方法により得られたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
7. 請求項６に記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
   

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