KR101113479B1 - 비수용성 잉크를 사용하는 잉크젯 프린트헤드 - Google Patents

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Abstract

비수용성 잉크를 사용하는 잉크젯 프린트헤드가 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드는, 잉크채널이 형성된 유로 플레이트; 및 이 유로 플레이트에 결합되는 것으로, 잉크의 토출이 이루어지는 노즐이 형성된 노즐 플레이트;를 구비하고, 잉크 채널의 내벽 및 노즐의 내벽에는 비젖음성(non-wetting) 코팅막이 형성된다.

Description

비수용성 잉크를 사용하는 잉크젯 프린트헤드{Inkjet printhead using non-aqueous ink}
도 1은 종래 잉크젯 프린트헤드의 일 례로서 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 종래 잉크젯 프린트헤드에서, 노즐 내부가 비수용성 잉크의 잔류물에 의해 오염된 상태를 도시한 사진이다.
도 3은 도 1에 도시된 종래 잉크젯 프린트헤드에서, 리스트릭터 내부가 비수용성 잉크의 잔류물에 의해 오염된 상태를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 노즐 내부를 찍은 사진이다.
도 6은 도 4에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 리스트릭터 내부를 찍은 사진이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110... 유로 플레이트 111... 매니폴드
112... 리스트릭터 113... 압력챔버
120... 진동판 130... 노즐 플레이트
131... 노즐 134... 친잉크성 코팅막
138... 비젖음성 코팅막(non-wetting coating film)
140... 압전 액츄에이터 141... 상부전극
142... 압전막 143... 하부전극
본 발명은 잉크젯 프린트헤드에 관한 것으로, 상세하게는 비수용성 잉크(non-aqueous ink)를 사용하는 잉크젯 프린트헤드에 관한 것이다.
일반적으로 잉크젯 프린트헤드는, 인쇄용 잉크의 미소한 액적(droplet)을 인쇄 매체 상의 원하는 위치에 토출시켜서 소정 색상의 화상으로 인쇄하는 장치이다. 이러한 잉크젯 프린트헤드는 잉크 토출 방식에 따라 크게 두 가지로 나뉠 수 있다. 그 하나는 열원을 이용하여 잉크에 버블(bubble)을 발생시켜 그 버블의 팽창력에 의해 잉크를 토출시키는 열구동 방식의 잉크젯 프린트헤드이고, 다른 하나는 압전체를 사용하여 그 압전체의 변형으로 인해 잉크에 가해지는 압력에 의해 잉크를 토출시키는 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드이다.
도 1은 종래의 잉크젯 프린트헤드의 일 예로서 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드를 개략적으로 도시한 단면도이다. 도 1을 참조하면, 유로 플레이트(10)에는 잉크 유로를 구성하는 매니폴드(11), 다수의 리스트릭터(12) 및 다수의 압력챔버(13) 가 형성되어 있다. 상기 유로 플레이트(10)의 상면에는 압전 액츄에이터(40)의 구동에 의해 변형되는 진동판(20)이 접합되어 있으며, 유로 플레이트(10)의 저면에는 다수의 노즐(31)이 형성된 노즐 플레이트(30)가 접합되어 있다. 한편, 상기 유로 플레이트(10)와 진동판(20)은 일체로 형성될 수 있으며, 또한 유로 플레이트(10)와 노즐 플레이트(30)도 일체로 형성될 수 있다. 이와 같은 유로 플레이트(10), 노즐 플레이트(30) 및 진동판(20)은 일반적으로 실리콘으로 이루어진다.
상기 매니폴드(11)는 도시되지 않은 잉크 저장고로부터 유입된 잉크를 다수의 압력 챔버(13) 각각으로 공급하는 통로이며, 리스트릭터(12)는 매니폴드(11)로부터 다수의 압력챔버(13)의 내부로 잉크가 유입되는 통로이다. 상기 다수의 압력챔버(13)는 토출될 잉크가 채워지는 곳으로, 매니폴드(11)의 일측 또는 양측에 배열되어 있다. 상기 다수의 노즐(31)은 노즐 플레이트(30)를 관통하도록 형성되며 다수의 압력 챔버(13) 각각에 연결된다. 상기 진동판(20)은 다수의 압력 챔버(13)를 덮도록 유로 플레이트(10)의 상면에 접합된다. 상기 진동판(20)은 압전 액츄에이터(40)의 구동에 의해 변형되면서 다수의 압력 챔버(13) 각각에 잉크의 토출을 위한 압력 변화를 제공한다. 상기 압전 액츄에이터(40)는 진동판(20) 위에 순차 적층된 하부 전극(41)과, 압전막(42)과, 상부 전극(43)으로 구성된다.
상기와 같은 구조의 잉크젯 프린트헤드에서, 상기 노즐(31)의 내벽 및 잉크 채널의 내벽에는 열 산화된 실리콘으로 이루어진 친잉크성(ink-philic) 코팅막(34)이 형성되어 있다. 여기서, 상기 잉크 채널은 잉크가 유동하는 통로로서, 압력챔버(13), 리스트릭터(restrictor,12) 및 매니폴드(manifold,11)로 구성된다. 이와 같이, 노즐(31)의 내벽 및 잉크 채널의 내벽이 친잉크성을 가지게 되면, 잉크(50)에 대한 접촉각(contact angle)이 작아져 모세관력(capillary force)이 증가하게 되므로, 잉크의 리필(refill) 시간이 단축되고, 이에 따라 토출 주파수가 증대될 수 있다. 한편, 상기 노즐 플레이트(30)의 외부 표면에는 발잉크성(ink-phobic) 코팅막(38)이 형성되어 있다. 이러한 발잉크성 코팅막(38)을 이루는 물질로는 노즐 플레이트(30)의 표면에너지를 낮추어 잉크 웨팅(ink-wetting)을 최소화시킬 수 있는 물질로 잘 알려진 플루오르화 실란(perfluorinated silane)이 주로 사용된다. 이와 같이, 노즐 플레이트(30)의 외부 표면이 발잉크성, 즉 잉크에 대한 비젖음성(non-wetting property)을 가지게 되면 노즐 플레이트(30) 표면에서의 잉크 웨팅이 방지되어 토출되는 잉크 액적의 직진성이 확보될 수 있다.
종래에는 잉크젯 프린트헤드에 수용성 잉크(aqueous ink)가 주로 사용되었다. 상기와 같은 구조의 잉크젯 프린트헤드에 수용성 잉크가 사용되면, 노즐(31)의 내벽 및 잉크 채널의 내벽이 친잉크성, 즉 잉크에 대한 젖음성(wetting property)을 가지게 되므로 잉크의 리필이 향상되고, 잉크 채널 내벽에서의 에어 트랩핑(air trapping)이 방지됨으로써 잉크젯 프린트헤드의 성능을 향상시킬 수 있다.
한편, 최근에는 잉크젯 기술(inkjet technology)을 디스플레이 장치, 전파식별(RFID; Radio Frequency Identification), 바이오칩(bio-chip) 등과 같은 다양한 산업 분야에 응용하려는 움직임이 활발히 전개되고 있다. 이에 따라, 기존의 수용성 잉크 이외에도 비수용성 잉크(non-aqueous ink)에 대한 개발도 가속화되고 있다.
그러나, 비수용성 잉크를 상기와 같은 종래 잉크젯 프린트헤드에 사용되게 되면 노즐(31)의 내벽 및 잉크채널의 내벽이 분산제, 안료(pigment) 등과 같은 잉크 잔류물(residue)에 의하여 오염되는 문제점이 발생하게 된다. 즉, 비수용성 잉크는 기존의 수용성 잉크에 비하여 표면 장력(surface tension)이 낮아서 상대적으로 웨팅(wetting)이 잘 되고, 또한 증기압(vapor pressure)이 높아서 쉽게 증발하는 특성을 가진다. 이에 따라, 비수용성 잉크 내의 분산제, 안료 등은 높은 표면에너지를 가지는 산화된 실리콘(oxidized silicon)과 강하게 결합하게 되고, 그 결과 분산제나 안료 등과 같은 잉크 잔류물이 노즐(31)의 내벽 및 잉크 채널의 내벽에 흡착하게 된다. 또한, 비수용성 잉크는 수용성 잉크에 비해서 증기압이 높이 때문에 공기와 접촉하는 잉크의 메니스커스(meniscus) 부분에서 잉크의 증발(evaporation)이 활발하게 일어나게 되고, 그 결과 잉크 잔류물이 노즐의 내벽에 흡착하게 된다. 도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 잉크젯 프린트헤드에 비수용성 잉크를 사용하였을 경우, 노즐의 내부 및 리스트릭터의 내부가 잉크 잔류물에 의하여 오염된 모습을 찍은 사진이다. 이와 같이, 노즐의 내부 및 잉크 채널의 내부가 오염되었을 때, 이를 클리닝하는 방법이 아직까지 알려진 방법이 없는 실정이다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 노즐 및 잉크 채널의 내부가 비수용성 잉크의 잔류물에 의하여 오염되는 것을 방지할 수 있는 잉크젯 프린트헤드를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여,
본 발명의 구현예에 따르면,
비수용성(non-aqueous) 잉크를 사용하는 잉크젯 프린트헤드에 있어서,
잉크채널이 형성된 유로 플레이트; 및
상기 유로 플레이트에 결합되는 것으로, 잉크의 토출이 이루어지는 노즐이 형성된 노즐 플레이트;를 구비하고,
상기 잉크 채널의 내벽 및 노즐의 내벽에는 비젖음성(non-wetting) 코팅막이 형성되는 잉크젯 프린트헤드가 개시된다.
상기 비젖음성 코팅막은 상기 노즐 외부의 노즐 플레이트 표면에도 형성되는 것이 바람직하다.
상기 비젖음성 코팅막은 상기 비수용성 잉크에 대하여 40도 ~ 90도의 접촉각을 가질 수 있다. 상기 비젖음성 코팅막은 플루오르화 실란(perfluorinated silane)으로 이루어질 수 있다.
상기 잉크채널은 토출될 잉크가 채워지는 곳으로 상기 노즐과 연통하는 압력챔버와, 상기 압력챔버로 잉크를 공급하기 위한 매니폴드와, 상기 매니폴드와 압력챔버를 연결하는 리스트릭터를 포함할 수 있다.
상기 유로 플레이트 및 노즐 플레이트는 실리콘으로 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 유로 플레이트와 노즐 플레이트는 일체로 형성될 수 있다. 그리고, 상기 유로 플레이트와 비젖음성 코팅막 사이 및 상기 노즐 플레이트와 비젖음성 코팅 막 사이에는 산화된 실리콘(oxidized silicon)으로 이루어진 친잉크성 코팅막이 더 형성될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하여, 도면상에서 각 구성요소의 크기는 편의상 과장되어 있을 수 있다.
본 발명에 따른 잉크젯 프린트헤드는 비수용성 잉크(non-aqueous)를 사용한다. 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드는 유로 플레이트(110) 및 상기 유로 플레이트(110)이 하면에 접합되는 노즐 플레이트(130)를 구비한다. 여기서, 상기 유로 플레이트(110)에는 비수용성 잉크(150)가 유동하는 통로인 잉크채널(ink channel)이 형성되어 있으며, 상기 노즐 플레이트(130)에는 다수의 노즐(131)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 유로 플레이트(110)의 상면에는 진동판(120)이 접합되어 있으며, 이러한 진동판(120)은 잉크채널의 상부벽을 이루게 된다. 상기 진동판(120)은 그 위에 마련되는 압전 액츄에이터(140)의 구동에 의해 변형되면서 그 하부에 마련된 압력 챔버(113)에 잉크 토출을 위한 압력 변화를 제공한다. 여기서, 상기 압전 액츄에이터(140)는 진동판(120) 위에 순차 적층된 하부 전극(141)과, 압전막(142)과, 상부 전극(143)으로 구성된다. 하부 전극(141)은 진동판(120)의 전 표면에 형성되며, 공통 전극의 역할을 하게 된다. 압전막(142)은 압력 챔버(113)의 상부에 위치하도록 하부 전극(141) 위에 형성된다. 상부 전 극(143)은 압전막(142) 위에 형성되며, 압전막(142)에 전압을 인가하는 구동 전극의 역할을 하게 된다.
상기 유로 플레이트(110)와 노즐 플레이트(130)는 일체로 형성될 수 있으며, 또한 상기 유로 플레이트(110)와 진동판(120)도 일체로 형성될 수 있다. 이러한 유로 플레이트(110), 노즐 플레이트(130) 및 진동판(120)은 일반적으로 실리콘으로 이루어질 수 있다.
상기 유로 플레이트(110)에 형성된 잉크채널은 매니폴드(manifold,111), 다수의 리스트릭터(restrictor,112) 및 다수의 압력챔버(pressure chamber,113)로 구성된다. 여기서, 상기 매니폴드(111)는 잉크 저장고(미도시)로부터 유입된 비수용성 잉크(non-aqeous ink,150)를 압력 챔버들(113) 각각으로 공급하는 통로이며, 리스트릭터들(112)는 매니폴드(111)로부터 압력챔버들(113)로 비수용성 잉크(150)가 유입되는 통로이다. 그리고, 상기 압력챔버들(113)은 토출될 비수용성 잉크(150)가 채워지는 곳으로, 매니폴드(111)의 일측 또는 양측에 배열되어 있다. 상기 노즐 플레이트(130)에는 다수의 노즐(131)이 관통하도록 형성되어 있으며, 이러한 노즐들 (131)은 압력챔버들(113)에 연결된다.
상기와 같은 구조의 잉크젯 프린트헤드에서, 상기 잉크채널의 전 내벽, 즉 유로 플레이트(110)의 내부 표면 및 진동판(120)의 하면에는 친잉크성(ink-philic) 코팅막(134)이 형성되어 있다. 그리고, 노즐(131)의 내벽 및 노즐(131) 외부의 노즐 플레이트(130) 표면에도 상기 친잉크성 코팅막(134)이 형성된다. 이러한 친잉크성 코팅막(134)은 산화된 실리콘(oxidized silicon)으로 이루어질 수 있다. 상기 친잉크성 코팅막(134)은 유로 플레이트(110), 진동판(120) 및 노즐 플레이트(130)의 표면을 열산화시킴으로써 형성될 수 있다.
상기 친잉크성 코팅막(134) 상에는 비젖음성(non-wetting) 코팅막(138)이 형성되어 있다. 구체적으로, 상기 비젖음성 코팅막(138)은 잉크 채널의 전 내벽 및 노즐(131)의 내벽에 형성되어 비수용성 잉크(150)와 접촉하고 있다. 그리고, 이러한 비젖음성 코팅막(138)은 노즐(131) 외부의 노플 플레이트(130) 표면에도 형성되어 있다. 여기서, 상기 비젖음성 코팅막(138)은 비수용성 잉크(150)에 대하여 대략 40도 ~ 90도 정도의 접촉각(contact angle)을 가질 수 있다. 이러한 비젖음성 코팅막(138)은 플루오르화 실란(perflurinated silane)으로 이루어질 수 있다. 상기 비젖음성 코팅막(138)은 상기 친잉크성 코팅막(134) 상에 화학적 기상 증착법(CVD; Chemical Vapor Deposition)에 의하여 플루오르화 실란을 증착시킴으로써 형성될 수 있다.
종래 수용성 잉크를 사용하는 잉크젯 프린트헤드에서는 도 1에 도시된 바와 같이 토출 특성을 향상시키고, 에어 드랩핑(air trapping)을 방지하기 위하여 잉크채널의 내벽 및 노즐(31)의 내벽에 산화된 실리콘으로 이루어진 친잉크성 코팅막(34)을 잉크와 접촉하도록 형성하였다. 그러나, 이러한 종래 잉크젯 프린트헤드에 비수용성 잉크를 사용하게 되면, 친잉크성 코팅막(34)이 형성된 잉크채널 및 노즐(31)의 내벽이 잉크 잔류물(ink residue)에 의하여 오염되는 문제가 발생하게 된다. 즉, 비수용성 잉크는 기존의 수용성 잉크에 비하여 표면 장력(surface tension)이 낮아서 상대적으로 웨팅(wetting)이 잘 되고, 또한 증기압(vapor pressure)이 높아서 쉽게 증발하는 특성을 가지므로, 비수용성 잉크 내의 분산제나 안료 등과 같은 잉크 잔류물은 높은 표면에너지를 가지는 산화된 실리콘(oxidized silicon)과 강하게 결합하게 되고, 그 결과 잉크 잔류물이 잉크채널 및 노즐(31)의 내벽에 흡착하여 잉크채널 및 노즐(31)의 내부를 오염시키게 된다.
이러한 문제점을 해결하고자 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드에서는 잉크채널의 내벽 및 노즐(131)의 내벽에 비젖음성 코팅막(138)이 형성되어 있다. 즉, 잉크채널 및 노즐(131)의 내벽에 비젖음성 코팅막을 비수용성 잉크(150)와 접촉하도록 형성하게 되면 잉크채널 및 노즐(131)의 내벽은 낮은 표면에너지를 가지게 되므로, 비수용성 잉크(150) 내에 포함된 분산제나 안료 등과 같은 잉크 잔류물은 잉크채널 및 노즐(131)의 내벽에 흡착되지 않게 된다.
이를 증명하기 위하여, 먼저, 산화된 실리콘을 각각 공기와 비수용성 잉크에 접촉시켰을 때, 산화된 실리콘의 제타 포텐셜(zeta potential)을 측정하였더니 비수용성 잉크에 접촉하는 산화된 실리콘의 제타 포텐셜이 공기에 접촉하는 산화된 실리콘의 제타 포텐셜 보다 대략 5배 이상의 큰 값을 나타내었다. 이는 산화된 실리콘이 비수용성 잉크와 접촉하였을 때, 비수용성 잉크에 포함되어 있던 분산제나 안료 등과 같은 대전 입자들(charged particles)이 산화된 실리콘에 강하게 결합하는 것을 의미한다. 다음으로, 플루오르화 실란으로 이루어진 비젖음성 코팅막을 각각 공기와 비수용성 잉크에 접촉시켰을 때, 상기 비젖음성 코팅막의 제타 포텐셜을 측정하였더니 비수용성 잉크에 접촉하는 비젖음성 코팅막의 제타 포텐셜은 공기에 접촉하는 비젖음성 코팅막의 제타 포텐셜과 거의 비슷한 값을 나타냈었다. 이는 비 수용성 잉크에 포함되어 있던 대전 입자들은 플루오루화 실란과 거의 반응하지 않는 다는 것을 의미한다. 이러한 결과로부터, 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드에서와 같이 잉크채널 및 노즐(131)의 내벽에 비젖음성 코팅막(134)을 형성하게 되면 잉크채널 및 노즐(131)의 내벽에 비수용성 잉크(150)에 포함된 잉크 잔류물이 흡착되지 않는 다는 것을 알 수 있다. 도 5 는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 노즐 내부를 찍은 사진이며, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 리스트릭터 내부를 찍은 사진이다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드에서, 노즐 및 리스트릭터 내부는 잉크 잔류물에 의하여 오염되지 않았음을 알 수 있다.
그리고, 상기 잉크채널 및 노즐(131)의 내벽에는 비수용성 잉크(150)에 대하여 대략 40도 ~ 90도 정도의 접촉각을 가지므로 에어 트랩핑(air trapping) 문제도 발생하지 않게 된다. 이를 증명하기 위하여 잉크채널 및 노즐(131)의 내벽에 비젖음성 코팅막(138)이 형성된 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드에 비수용성 잉크를 사용하여 10억회의 젯팅(jetting)을 한 후에 토출 특성을 조사하여 본 결과 에어 트랩핑(air trapping)으로 인한 불안정한 토출 현상을 관찰되지 않았다. 또한, 잉크 채널 및 노즐(131)의 내벽의 오염으로 인한 불량 토출 현상도 관찰되지 않았다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드에서는, 노즐(131) 외부의 노즐 플레이트(130) 표면에도 비젖음성 코팅막(138)이 형성되어 있다. 이와 같이, 노즐 플레이트(130)의 외부 표면이 비젖음성, 즉 발잉크성(ink-phobic property)을 가지게 되면 노즐 플레이트(130)의 외부 표면에서 잉크 웨팅(ink wetting)이 방지되어 토출되는 잉크 액적의 직진성이 확보될 수 있다.
한편, 이상의 실시예에서는 잉크채널의 내벽, 노즐(131)의 내벽 및 노즐 플레이트(130)의 외부 표면에 친잉크성 코팅막(134)을 형성되고, 상기 친잉크성 코팅막(134) 상에 비젖음성 코팅막(138)이 형성된 경우에 대하여 설명되었으나, 상기 친잉크성 코팅막(134)은 형성되지 않아도 무방하다. 즉, 상기 비젖음성 코팅막(138)은 상기 잉크채널의 내벽, 노즐(131)의 내벽 및 노즐 플레이트(130)의 외부 표면에 직접 플루오르화 실란을 증착함으로써 형성될 수도 있다.
이상에서 본 발명에 따른 바람직한 실시예가 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 예를 들어 상기한 실시예에서는 압전방식의 잉크젯 프린트헤드가 그 일 예로 설명되었으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고 열구동 방식의 잉크젯 프린트헤드에도 적용가능하다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 비수용성 잉크젯 프린트헤드에 의하면, 잉크채널 및 노즐의 내벽에 비젖음성 코팅막을 형성함으로써 잉크채널 및 노즐의 내벽이 비수용성 잉크 내에 포함된 잉크 잔류물에 의하여 오염되는 것을 방지할 수 있고 , 이에 따라, 잉크젯 프린트헤드의 토출 특성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Claims (8)

  1. 비수용성(non-aqueous) 잉크를 사용하는 잉크젯 프린트헤드에 있어서,
    잉크채널이 형성된 유로 플레이트; 및
    상기 유로 플레이트에 결합되는 것으로, 잉크의 토출이 이루어지는 노즐이 형성된 노즐 플레이트;를 구비하고,
    상기 잉크 채널의 내벽 및 노즐의 내벽에는 상기 비수용성 잉크에 대하여 40도 ~ 90도의 접촉각을 가지는 비젖음성(non-wetting) 코팅막이 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 비젖음성 코팅막은 상기 노즐 외부의 노즐 플레이트 표면에 더 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 비젖음성 코팅막은 플루오르화 실란(perfluorinated silane)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 잉크채널은 토출될 잉크가 채워지는 곳으로 상기 노즐과 연통하는 압력챔버와, 상기 압력챔버로 잉크를 공급하기 위한 매니폴드와, 상기 매니폴드와 압력챔버를 연결하는 리스트릭터를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 유로 플레이트 및 노즐 플레이트는 실리콘으로 이루어지는 것을 특징으로하는 잉크젯 프린트헤드.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 유로 플레이트와 노즐 플레이트는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 유로 플레이트와 비젖음성 코팅막 사이 및 상기 노즐 플레이트와 비젖음성 코팅막 사이에는 산화된 실리콘(oxidized silicon)으로 이루어진 친잉크성 코팅막이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드.
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