JP2020082607A - インクジェットヘッド及びインクジェット装置 - Google Patents

Abstract

【課題】インク詰まりを抑制できるインクジェットヘッド等を提供する。【解決手段】インク１０８を吐出する複数のノズル１０２を含む面であるノズル開口面を有するインクジェットヘッド１０１であって、ノズル開口面は、複数のノズル１０２それぞれの外側に位置した撥液領域１０４と、撥液領域１０４の外側に位置した親液領域１０５と、を含み、インクジェットヘッド１０１はさらに、親液領域１０５に対して、溶媒１０９を供給する溶媒供給口１０６を備える。【選択図】図１

Description

本開示はインクジェットヘッド及びインクジェット装置に関する。

従来、ドロップオンデマンド型のインクジェットヘッドを、様々な用途に応用することが期待されている（例えば特許文献１参照）。特許文献１には、液体の吐出量を増やすため圧力室が多数個設けられ、各圧力室における逆流圧による液体の流入への影響を軽減することができる液滴噴霧装置が開示されている。

特開２００１−１２１６９３号公報 特開２００９−２２１４１９号公報

ところで、上記のようなインクジェットヘッドを用いた塗布を行う際にインク詰まりが生じる場合がある。インク詰まりが生じた場合、例えばインクの吐出が可能なノズルと吐出不可能なノズルとができてしまうため、ノズルの配置箇所ごとにインク吐出のむらが生じるといった吐出精度の低下問題等に直結する。

そこで本開示は、インク詰まりを抑制できるインクジェットヘッド等を提供する。

本開示におけるインクジェットヘッドの一態様は、第１液体を吐出する複数のノズル口を含む面であるノズル開口面を備えるインクジェットヘッドであって、前記ノズル開口面は、前記複数のノズル口それぞれの外側に位置した撥液領域と、前記撥液領域の外側に位置した親液領域と、を含み、前記インクジェットヘッドはさらに、前記親液領域に対して、第２液体を供給する供給口を備える。

また本開示におけるインクジェット装置の一態様は、前記インクジェットヘッドを備えるインクジェット装置であって、前記供給口から前記第２液体を供給する制御を行う制御部を有する。

本開示の一態様によれば、インクジェットヘッド等において、インク詰まりを抑制することができる。

図１は、第１の実施の形態に関わるインクジェットヘッドの平面図である。 図２は、第１の実施の形態に関わるインクジェットヘッドの断面図である。 図３は、第１の実施の形態に関わるインクジェットヘッドの溶媒膜の表面形状を説明する図である。 図４は、第２の実施の形態に関わるインクジェットヘッドの撥液膜について説明する図である。 図５は、第２の実施の形態の変形例に関わるインクジェットヘッドの撥液膜について説明する図である。 図６は、第３の実施の形態に関わるインクジェットヘッドの断面図である。 図７は、第４の実施の形態に関わるインクジェットヘッドの平面図である。 図８は、第５の実施の形態に関わるインクジェットヘッドの平面図である。 図９は、実施の形態に関わるインクジェット装置の溶媒流路を説明する図である。

（開示の基礎となった知見）
ドロップオンデマンド型のインクジェットヘッドは、入力信号に応じて必要なときに必要な量のインクを塗布することができるインクジェットヘッドとして知られている。特に圧電（ピエゾ）方式のドロップオンデマンド型のインクジェットヘッドは一般的に、インク供給流路と、供給流路に接続しノズルを有する複数の圧力室と、圧力室内に充填されたインクに圧力を加えるピエゾ素子（圧電素子）と、を有する。

ピエゾ方式のインクジェットヘッドでは、ピエゾ素子に駆動電圧を印加することによって生じるピエゾ素子の機械的歪みにより、圧力室内のインクに圧力を加えて、ノズルからインクを吐出する。ピエゾ方式のインクジェットヘッドは、ピエゾ素子の歪み方によって、シェアモード型、プッシュモード型、ベンドモード型の３つのタイプに大別できる。特に積層構造のピエゾ素子を用いるベンドモード型では、低い電圧で強い力を生み出せることから、有機ＥＬディスプレイや液晶パネルなどの電子デバイスの製造用に開発されることが期待されている（例えば特許文献１参照）。

また、インクジェットヘッドではノズルから吐出されるインク滴の直進性を向上させるために、ノズルのインク吐出方向の長さ（以下ノズル長さ）を長くすることが知られている。しかし、ノズル長さを長くした場合、ノズル内にインクが滞留しやすくなる。インクがノズル内に滞留するとインクに気泡や異物が混入した場合にノズル詰まりが起こりやすい。

これに対しインクジェットヘッドの圧力室と連通し、かつ圧力室から排出されたインクが流れるインク排出流路に流す技術が知られている（例えば特許文献２参照）。

インク循環型のインクジェットヘッドでは圧力室に連通したインク供給流路から圧力室にインクが供給され、圧力室において所望の体積をノズルより排出し、残りのインクをインク排出流路へ排出することによってインク溜りを防ぎ、ノズル詰まりの問題を解決することができる。

しかしながらインクの沸点が低い場合やインクの固形分量が多い場合はノズル部の乾燥によるノズル詰まりが発生しやすくなる。また周辺温度が高い場合や放置時間が長い場合などの要因からノズル部の乾燥が助長される。本開示はインクが蒸発しやすい場合であってもノズル乾燥によるノズル詰まりを抑止するための構造を有したインクジェットヘッドに関する。

そこで本開示におけるインクジェットヘッドの一態様は、インク（第１液体）を吐出する複数のノズル（ノズル口）を含む面であるノズル開口面を備えるインクジェットヘッドであって、ノズル開口面は、複数のノズルそれぞれの外側に位置した撥液領域と、撥液領域の外側に位置した親液領域と、を含み、インクジェットヘッドはさらに、親液領域に対して、溶媒（第２液体）を供給する溶媒供給口（供給口）を備える。

このようなインクジェットヘッドの実施の形態について以下詳細に説明する。

（インクジェットヘッド）
＜第１の実施の形態＞
以下、本開示の実施の形態について、図面に基づいて説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本開示を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素の内、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

また説明に用いられる各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては、同一の符号を付し、重複する説明は省略または簡略化される場合がある。

はじめに、図１を用いて本開示における第１の実施の形態について説明する。図１は、第１の実施の形態に関わるインクジェットヘッドの平面図である。図１はつまり、インクジェットヘッド１０１をインク１０８の吐出方向（被塗布物側）から見た平面図である。

図１には、インクジェットヘッド１０１のうち、インク１０８（言い換えると第１液体）の吐出方向側の表面に配置されたノズルプレート１０３と、ノズル口（以下、単にノズル１０２とも呼ぶ）とが図示されている。

インク１０８はノズル１０２より吐出され、塗布対象である被塗布物に着弾することで、被塗布物の表面に塗布される。図１においては、インク１０８の吐出は紙面奥側から手前側に向かって行われる。

ここで、ノズル１０２は、ノズルプレート１０３に設けられた複数の細孔である。当該細孔は、ノズルプレート１０３の内部に配置されたインク供給室（図示せず）側の面と、ノズルプレート１０３の表面（つまりノズル開口面）とを貫通して形成される。したがって、ノズル開口面は、インク１０８を吐出する複数のノズル１０２を含む面である。なお、ノズル１０２の形態については特に限定はなく、例えば筒状の細管をノズルプレート１０３に貫通させて形成されてもよい。

また、ノズル開口面は撥液領域１０４と、親液領域１０５とを含む。

撥液領域１０４は、複数のノズル１０２それぞれの外側に位置して形成されている。撥液領域１０４は、インク１０８による濡れ性が低く（接触角が高く）インク１０８がノズルプレート１０３の表面に濡れ広がることを抑制する。これにより、濡れ広がったインク１０８と、吐出されるインク１０８との間に働く表面張力によってインク１０８の吐出方向が曲がることを防止している。

なお、撥液領域１０４はノズル１０２の外周に沿って（接して）形成されるが、ノズル１０２よりも外側であればノズル１０２と撥液領域１０４とは接していなくてもよい。ノズルプレート１０３の表面において、ノズル１０２が形成される箇所と、その他の箇所との境界を形成していればどのような構成であってもよく、形状、大きさについても特に限定されない。また親液領域１０５は、撥液領域１０４の外側に位置している。

なお、親液領域１０５は撥液領域１０４の外周に沿って（接して）形成され、ノズルプレート１０３の表面のうち、撥液領域１０４の外側を一体化する部分であるが、これに限られない。例えば、親液領域１０５は撥液領域１０４に接していなくてもよく、またノズルプレート１０３の表面のうち、撥液領域１０４の外側の一部を一体化する部分であってもよい。

ここで、ノズルプレート１０３の表面にはさらに、親液領域１０５に対して溶媒１０９（第２液体）を供給する溶媒供給口１０６（供給口）が備えられる。

溶媒供給口１０６は、ここではノズルプレート１０３の表面に配置された穴であり、適切な送液手段によって送液された溶媒１０９が親液領域１０５において濡れ広がるように設計されている。

なお溶媒供給口１０６の形態は、これに限られず、ノズルプレート１０３の表面に溶媒１０９を供給することができればよい。例えば溶媒供給口１０６は、ノズルとは別に親液領域１０５に形成された無数の孔であってもよく、また例えば親液領域１０５に対して、対向する位置から溶媒１０９を吐出する形態であってもよい。その他、溶媒供給口１０６の位置や形状についても特に限定されない。

溶媒供給口１０６から供給される溶媒１０９はインク１０８のうち、色素等の不揮発成分を除いた外液成分であることを基本とする。つまり溶媒１０９は、撥液領域１０４への濡れ性が低く、高い接触角であるため撥液領域１０４への浸潤が抑制される。一方で溶媒１０９は、親液領域１０５への濡れ性は高く、低い接触角で、例えば、図中に矢印で示す溶媒供給口１０６から溶媒回収口１０７へと、親液領域１０５内を濡れ広がることができる。

なお、平面視における撥液領域１０４の形状を、親液領域１０５を濡れ広がる溶媒１０９の進行方向に対して、流線形状とすることで、より効果的に撥液領域１０４に対する溶媒１０９の浸潤を抑制し、かつ親液領域１０５の面積を確保する構成としてもよい。

撥液領域１０４、及び親液領域１０５は、このようにインク１０８（同時に溶媒１０９）に対する濡れ性が異なり、撥液領域１０４における濡れ性＜親液領域１０５における濡れ性の関係を有する。

以上のように、ノズルプレート１０３の表面において溶媒供給口１０６から供給された溶媒１０９は親液領域１０５を濡れ広がるが、撥液領域１０４の存在により、ノズル１０２、すなわちインク１０８と接触することがない。よってインク１０８と混ざり合うことなく溶媒１０９がインク１０８吐出の近傍に存在させることが可能となる。

ここで、インク１０８はインク１０８に含まれる外液成分（つまり溶媒１０９と同等成分）が揮発することでインク詰まりを引き起こす。溶媒１０９は、自身が揮発することで溶媒雰囲気を形成し、インク１０８の近傍は外液成分の飽和蒸気圧に達する。ある成分が飽和蒸気圧に達した空間においては、それ以上の同一成分の揮発が進行しないため、結果的にインク１０８の外液成分の揮発は抑制される。

以上により、第１の実施の形態におけるインクジェットヘッド１０１によれば、インク詰まりを抑制することができる。

なお、インク１０８に、複数種のインク（つまり複数種の外液成分を含むインク）を混合して用いる場合には、使用状況によって揮発しやすい低沸点溶媒の外液成分比率を高めて溶媒１０９を構成することも可能である。より具体的には、インクジェットヘッド１０１の使用環境温度から複数種のうち各外液成分の蒸気圧を割り出し、それらの逆数に比例した成分割合にすることで効果的にインク１０８中の外液成分の揮発を抑制することができる。

また、インクジェットヘッド１０１はさらに、親液領域１０５に供給された溶媒１０９を回収する溶媒回収口１０７（回収口）を備える。つまり、溶媒１０９は、親液領域１０５に形成された溶媒供給口１０６より供給され、同様に親液領域１０５に形成された溶媒回収口１０７より回収される。なお、溶媒１０９の供給量と蒸発量（揮発量）との関係から、供給量＜蒸発量の関係など、溶媒１０９の回収が必要ない場合は、溶媒回収口１０７を配さないことも可能である。

溶媒回収口１０７は、ここではノズルプレート１０３の表面に配置された穴であり、適切な回収手段によって親液領域１０５から溶媒１０９を回収できるように設計されている。

溶媒１０９は主にノズルプレート１０３の表面張力と、溶媒１０９の表面張力と、溶媒供給量とによって決定される厚み（インク１０８の吐出方向における長さ）を持つ。溶媒１０９の供給量が多すぎると溶媒１０９は、重力により意図せず落下してしまう。落下先にはインク１０８の塗布対象である被塗布物が配置されているため、被塗布物に溶媒１０９が付着してしまう。このような、溶媒１０９が被塗布物に落下することを防ぐため、溶媒１０９の供給量（つまり前述した溶媒１０９の厚み）をカメラ等で確認し、制御することが好ましい。

なお溶媒回収口１０７の形態は、これに限られず、親液領域１０５から溶媒１０９を回収することができればよい。例えば溶媒回収口１０７は、重力方向の下側から、重力落下する溶媒１０９を受け取る受け口形状であってもよい。その他、溶媒回収口１０７の位置や形状についても特に限定されない。

このような構成により、低沸点溶媒を用いたインクや顔料密度の高いインクなど、インク詰まりを起こしやすい組成のインクにおいて、ノズル１０２から被塗布物までの距離を離すことなくノズル１０２近傍の溶媒濃度（つまり揮発した外液成分量）を上げることによりノズル１０２先端の乾燥を防ぎ、ノズル詰まりを防ぐことができる。

以上説明したように、第１の実施の形態に関わるインクジェットヘッド１０１は、インク１０８（第１液体）を吐出する複数のノズル１０２（ノズル口）を含む面であるノズル開口面を備えるインクジェットヘッド１０１であって、ノズル開口面は、複数のノズル１０２それぞれの外側に位置した撥液領域１０４と、撥液領域１０４の外側に位置した親液領域１０５と、を含み、インクジェットヘッド１０１はさらに、親液領域１０５に対して、溶媒１０９（第２液体）を供給する溶媒供給口１０６（供給口）を備える。

このようなインクジェットヘッド１０１は、溶媒１０９が揮発することで生じた溶媒１０９の揮発成分（インク１０８の外液成分と同等）が、インク１０８が吐出されるノズル１０２の近傍を包囲する。このため揮発による、インク１０８の外液成分の減少が抑制され、インク詰まりが抑制される。

また例えば、インクジェットヘッド１０１はさらに、親液領域１０５に供給された溶媒１０９を回収する溶媒回収口１０７（回収口）を備えてもよい。

これにより、溶媒１０９の送液量を増加させても、過剰部分を溶媒回収口１０７から回収できるため、溶媒１０９の被塗布物への落下を防ぐことができる。

次に、図２を用いて本実施の形態における副次的な機能について説明する。図２は、第１の実施の形態に関わるインクジェットヘッドの断面図である。図２には、インクジェットヘッド１０１を図１のii−ii線において切断した断面図が示されている。

インクジェットヘッド１０１において、インク１０８はインク室２０１に充填され、当該インク室２０１に連通するノズル１０２から吐出される。

ピエゾ素子２０４は電気信号（パルス状電圧の印加）を機械的な圧力に変換する。ピエゾ素子２０４は振動板２０３を介してインク室２０１に対向しており、ピエゾ素子２０４から発生した圧力は振動板２０３を通してインク室２０１に到達する。ここでインク室２０１には液体状のインク１０８が充填されている。インク室２０１では、到達した圧力がインク１０８中を圧力波として伝搬し、共振により圧力波が損失なくノズル１０２に伝達される。そしてノズル１０２からインク１０８が液滴として吐出される。

インク１０８は、吐出時に尾を形成する。より具体的には、インク１０８は液滴を形成して吐出されるが、液滴と、ノズル１０２内に残留するインク１０８との間に尾が形成され、このような尾が断裂することで液滴となる。このインク１０８の尾が断裂する際に、ミスト２０２が発生する。

本実施の形態では、発生したミスト２０２を、親液領域１０５において供給された溶媒１０９によって形成される溶媒膜（つまり第２液体膜）に取りこまれる。このような構成により、親液領域１０５において溶媒１０９によって形成される溶媒膜の体積は、ノズル１０２からインク１０８を吐出している時（つまりインク吐出中）の体積をＳ１、ノズル１０２からインク１０８を吐出していない時（つまり待機中）の体積をＳ２とすると、Ｓ１＞Ｓ２の関係を満たす。

これは、インク吐出中において形成され、ミスト２０２が取りこまれた溶媒膜と、待機中において形成される溶媒膜とでは、取りこまれたミスト２０２分の体積が増加することに起因する。

ミスト２０２を含んだ溶媒膜は、溶媒回収口１０７から回収され、タンク等の保管器に一時保管されてもよく、直接廃液処理装置に輸送されてもよい。このように、ノズルプレート１０３の表面に付着するミスト２０２を、スムーズに除去することが出来るため、インクジェットヘッド１０１のメンテナンスが容易となり、またメンテナンス回数も削減できるため長寿命なインクジェットヘッド１０１が実現できる。

なお、上記で回収されたミスト２０２を含む溶媒１０９は、蒸留等の手段によりリサイクルし、色素等の不揮発成分を再利用することも可能であるため、環境負荷の低減にも寄与可能である。

以上のように、本実施の形態におけるインクジェットヘッド１０１の親液領域１０５には、供給された溶媒１０９によって溶媒膜が形成され、ノズル１０２からインク１０８を吐出している時の溶媒膜の体積Ｓ１と、ノズル１０２からインク１０８を吐出していない時の溶媒膜の体積Ｓ２とは、Ｓ１＞Ｓ２の関係を満たす。

溶媒１０９の形成する溶媒膜は、発生するミスト２０２を取りこむことによって体積が増加するが、溶媒１０９を連続的に供給、及び回収しているのでノズルプレート１０３の表面は常に清浄に保たれる。これにより、インクジェットヘッド１０１のメンテナンス性が向上され、さらに回収したミスト２０２からインク１０８を再生することもできるため環境負荷を低減できる。

次に、図３を用いて本実施の形態における更なる効果について説明する。図３は、第１の実施の形態に関わるインクジェットヘッドの溶媒膜の表面形状を説明する図である。図３の（ａ）には、図２と同一断面におけるインクジェットヘッド１０１の断面図を、図３の（ｂ）には、図１と同一視点におけるインクジェットヘッド１０１の平面図をそれぞれ示す。

本実施の形態におけるインクジェットヘッド１０１は、通常のインク吐出動作を行う際に、親液領域１０５において溶媒１０９により形成された溶媒膜が波立つ。つまり、インク吐出中において、溶媒膜の表面は波状である。

図３の（ａ）に示すように、被塗布物３０２がステージ３０１上に置かれ、被塗布物の表面とインクジェットヘッド１０１のノズルプレート１０３の表面とが対向する。このような配置構成において、被塗布物３０２をインクジェットヘッド１０１に対して相対的に移動させることにより気流（つまり風３０４）が発生し、容易に溶媒膜の表面を波状化することが可能である。

以上のように、ステージ３０１はモーター等の駆動力により印刷方向３０３に沿って移動する。つまり、ステージ３０１は被塗布物３０２を載せた状態で印刷方向３０３に沿って移動し、被塗布物３０２の表面において、印刷方向３０３と逆向きにインク１０８の塗布が進行していく。

この時ステージ３０１の移動により生じる風３０４によって溶媒膜の表面が波立つ。図３の（ｂ）では、疎密によってノズルプレート１０３の表面から溶媒１０９の表面が低い位置（疎の箇所）、及び高い位置（蜜の箇所）を表す疎密波が示されている。上記の動作により図３の（ｂ）に示すようにノズルプレート１０３の表面の親液領域１０５に濡れ広がった溶媒１０９（つまり溶媒膜）の表面全体を波立たせることができる。この表面形状により溶媒膜の表面積が約３倍となり、溶媒１０９の揮発を促し、効率よく溶媒１０９の雰囲気を形成することができる。

またこの表面形状により、風３０４のうち溶媒１０９の雰囲気を含まない成分が、ノズル１０２に形成されたインク１０８の表面であるメニスカス３０５に対して直接接触することを低減できる。したがって、このような風３０４が存在する状況においてもインク１０８の外液成分の揮発を抑制でき、インク詰まりを抑制することができる。

なお、溶媒１０９をより波立たせるため印刷方向３０３の逆方向にステージ３０１を移動させることもでき、かつ、この逆方向の移動をさらに高速で行うことにより上記の効果をさらに上げることも可能である。

また、上記の効果は、インクジェットヘッド１０１が走査していることによって得られるため、待機中においてはインク１０８の外液成分が揮発してしまい、インク詰まりが発生する可能性がある。したがって待機中においても溶媒膜を波状化できる構成を有してもよい。例えば、送風部を備え、送風によって一方向に波立たせる構成であってもよく、加振部を備え、振動により波紋状に波立たせる構成を用いてもよい。

またこのステージ３０１上の被塗布物３０２の代わりに、シートをロール状に巻いた被塗布物を、供給側のロールから巻取り側のロールへと巻取らせながらインク吐出を行う方法がある。この場合、ロールの巻取り動作により風３０４を起こすことも可能である。

さらにステージ３０１を移動させずに、インクジェットヘッド１０１を移動させることによって同様の効果を得ることも可能である。また、ステージ３０１、及びインクジェットヘッド１０１を同時に移動させる構成であってもよい。

以上説明したように、本実施の形態のインクジェットヘッド１０１において、溶媒膜の表面は波状である。

これにより、溶媒膜の表面積が増大し、溶媒１０９の揮発が促進される。よって溶媒１０９の雰囲気がより迅速に形成されるのでインク１０８の外液成分の揮発が抑制され、インク詰まりが抑制される。

＜第２の実施の形態＞
次に、図４を用いて、本開示における第２の実施の形態について説明する。図４は、第２の実施の形態に関わるインクジェットヘッドの撥液膜について説明する図である。図４には、図２と同一の断面における、インクジェットヘッド１０１ｂの断面図を示している。

なお、本実施の形態においては、前述の第１の実施の形態との差異について詳細に説明し、その他については省略、または簡略化する。

第１の実施の形態において説明したように、インク吐出中においては、風３０４により溶媒膜を波立たせるため、ステージ３０１を高速に移動させている。このとき、溶媒１０９が低粘度である場合には、慣性により溶媒１０９が撥液領域１０４を乗り越え、インク１０８に混入する可能性がある。

本実施の形態におけるインクジェットヘッド１０１ｂは上記の問題に対応可能である。インクジェットヘッド１０１ｂの撥液領域１０４には、インク１０８の吐出方向に向けて所定の厚さを有する撥液膜１０４ｂが配置されている。このような構成によって、被塗布物３０２側から見た平面視における撥液領域１０４と親液領域１０５との境界には、所定の厚みに対応する撥液膜の端面４０１が形成される。

これにより撥液領域１０４の表面積が増え、インク１０８、及び溶媒１０９に対する撥液機能を向上するとともに、防波堤としての働きにより物理的に溶媒１０９がノズル１０２に侵入することを防止することが可能である。撥液膜の厚みは、１０μm以上５０μm以下が好ましいが、使用用途によってはこの範囲以外でも本効果を発揮することが可能である。つまり撥液膜１０４ｂの厚みは、溶媒１０９、及び親液領域１０５の表面の構成から決定される溶媒膜の膜厚を基準として適宜設定されてもよい。

なお、このような撥液膜１０４ｂの形成は、溶媒１０９の移動方向が規定される条件においては、当該移動方向と逆方向の先端側のみに厚みを設ける構成として実施してもよい。

以上のように、本実施の形態におけるインクジェットヘッド１０１ｂの撥液領域１０４には、インク１０８の吐出方向に向けて所定の厚さを有する撥液膜１０４ｂが配置される。

これにより、親液領域１０５において溶媒膜を波立たせるなど、溶媒１０９が「動く」構成においても溶媒１０９とノズル１０２内のインク１０８とは強固に分離され混ざり合うことがない。よってインク吐出を正常に保ちながらも溶媒１０９の揮発を促進することが可能となり、ノズル１０２内においてインク詰まりが発生することを抑制できる。

＜第２の実施の形態の変形例＞
ここで、図５を用いて第２の実施の形態の変形例について説明する。図５は、第２の実施の形態の変形例に関わるインクジェットヘッドの撥液膜について説明する図である。図５には、図２、及び図４と同一の断面における、インクジェットヘッド１０１ｃの断面図が示されている。

撥液領域１０４が厚みを持つ撥液膜１０４ｂによって構成されるインクジェットヘッド１０１ｃの形態においては、ノズル１０２のクリーニング作業が困難となる。インク吐出に使用するノズル１０２はインク１０８の成分の固化、及び環境中のその他の異物などにより汚染される。これらの汚染物質の除去方法には、布、及びゴム等による拭き取りや吸引による方法がある。しかし撥液領域１０４に厚みがある撥液膜１０４ｂが配置される場合、ノズル１０２に布等が届かなくなり汚染物質の除去が困難となる。

本変形例では、厚みを持つ撥液膜１０４ｃの端面をテーパ形状５０１とした。より具体的には、撥液膜１０４ｃは、ノズル１０２側に面する端面において吐出方向に向けて先細りとなるテーパ形状５０１である。

これによりクリーニング作業においてテーパ形状５０１に沿って布等が変形してノズル１０２に触れることが出来ようになり、ノズル１０２を汚染のない清浄な状態に復帰させることが出来る。

ここで、テーパ形状５０１は、親液領域１０５に面する側の端面にも形成されてもよい。これにより、親液領域１０５を布等によりクリーニングする際にも親液領域１０５と撥液領域１０４との境界近辺において布等が届きにくい状況が改善される。

また、インク吐出方向における、ノズルプレート１０３に接触しない側の撥液膜１０４ｃのテーパ形状５０１の先端（インク吐出方向先端側）はR形状をもつことが好ましい。これにより、クリーニング作業に用いる布等を係止し、当該布等の移動の妨げとなる箇所を減らすことができるので、クリーニング作業性をより向上することができる。

以上説明したように、第２の実施の形態の変形例におけるインクジェットヘッド１０１ｃの撥液膜１０４ｃは、インク吐出方向に向けて先細りとなるテーパ形状５０１である。

これにより、インクジェットヘッド１０１ｃのクリーニング作業において、ノズル１０２に布等が届くことが容易となり、容易にクリーニングが可能となる。よってインクジェットヘッド１０１ｃのメンテナンス性が向上される。

＜第３の実施の形態＞
さらに図６を用いて本開示における第３の実施の形態について説明する。図６は、第３の実施の形態に関わるインクジェットヘッドの断面図である。図６には、第３の実施の形態に関わるインクジェットヘッド１０１ｄの断面図を示す。なお、図６に示すインクジェットヘッド１０１ｄの断面図は、図２、図４、及び図５に示す断面図の断面と直交し、インク吐出方向に沿う面において切断した断面図である。また図６は、インクジェットヘッド１０１ｄのうちノズルプレート１０３ｄに着目して図示し、その他は省略されている。

例えば、溶媒１０９が高粘度であった場合、溶媒供給口１０６からノズルプレート１０３の親液領域１０５に供給された溶媒１０９は、親液領域１０５と溶媒１０９とによる濡れ性のみでは溶媒回収口１０７まで移動することが困難となる。

本実施の形態においてインクジェットヘッド１０１ｄは重力線に対し直角な面から傾きを持っている。より具体的には、インクジェットヘッド１０１ｄのノズルプレート１０３ｄの表面は、重力方向と直交する水平面に対して所定の角度に傾斜可能である。さらに詳しくは、ノズルプレート１０３ｄの表面は溶媒供給口１０６が設けられた箇所から、溶媒回収口１０７が設けられた箇所に向かって水平面に対して重力方向に傾斜可能な構成である。

これは例えば、インクジェットヘッド１０１ｄを傾斜させて構成してもよく、ノズルプレート１０３ｄのみを傾斜させてもよく、ノズルプレート１０３ｄの表面のみを傾斜させてもよい。また傾斜は直線的であってもよく、曲線的であってもよい。鉛直方向において、溶媒回収口１０７が溶媒供給口１０６よりも重力方向の先端側に配置される構成であればその他の制限はない。

したがって、ノズルプレート１０３ｄの表面は、溶媒供給口１０６側が溶媒回収口１０７側より高く（重力方向とは逆方向に）配置されている。このため溶媒１０９は重力の影響を受け、溶媒供給口１０６から溶媒回収口１０７に向かう溶媒の流れ６０１が形成され、当該溶媒の流れ６０１に沿って移動することが容易になる。

また、このような傾斜は、角度を自在に制御できる構成であってもよい。インクジェットヘッド１０１ｄと被塗布物３０２との距離の管理が困難な場合において、待機中にのみ傾きを持たせ、あらかじめ溶媒１０９を親液領域１０５の全面に展開しておき、インク吐出中は角度を水平面と平行に戻してインク吐出を実施することも可能である。

なお、インクジェットヘッド１０１ｄの中央部に溶媒供給口１０６を配置し、溶媒回収口１０７をインクジェットヘッド１０１ｄの端部に配置することもできる。この場合ノズルプレート１０３ｄの反りを利用して溶媒１０９の回収を容易にする方法も実現できる。

以上のように、本実施の形態におけるインクジェットヘッド１０１ｄは、ノズルプレート１０３ｄの表面は、重力方向と直交する面（水平面）に対して所定の角度に傾斜可能である。

これにより、親液領域１０５に供給された溶媒１０９は濡れ性に加え、重力の影響により一定の方向に展開することができる。よって溶媒１０９の形成する溶媒膜の展開方向をコントロールでき、効率的に溶媒１０９の雰囲気を形成できるのでノズル１０２のインク詰まりを抑制することができる。

また、ノズルプレート１０３ｄの表面は、溶媒供給口１０６が設けられた箇所から、溶媒回収口１０７が設けられた箇所に向かって、重力方向と直交する面に（水平面）対して重力方向に傾斜可能である。

これにより、親液領域１０５に供給された溶媒１０９は濡れ性に加え、重力の影響により、溶媒供給口１０６から溶媒回収口１０７への方向に展開することができる。よって溶媒供給口１０６から溶媒回収口１０７へ向かう溶媒の流れ６０１を形成させ、高粘度な溶媒１０９を用いる場合などにおいて溶媒１０９の供給から回収までの循環を補助することができる。

＜第４の実施の形態＞
次に、図７を用いて本開示における第４の実施の形態について説明する。図７は、第４の実施の形態に関わるインクジェットヘッドの平面図である。図７には、図１と同一の視点におけるインクジェットヘッド１０１ｅの平面図を示す。

本実施の形態は、例えば溶媒供給口１０６から溶媒回収口１０７への溶媒１０９の移動を促進したい場合、または溶媒１０９を親液領域１０５の全面に早く濡れ広がらせたい場合などに用いられる。

本実施の形態では、親液領域１０５は、溶媒回収口１０７が設けられた箇所における溶媒１０９に対する親和性が、溶媒供給口１０６が設けられた箇所における溶媒１０９に対する親和性より高くなるように構成されている。つまり、溶媒１０９への親液の度合い（親液レベル）に勾配が形成されており、親液領域１０５の親液レベルは、溶媒供給口１０６から溶媒回収口１０７に向かって徐々に高くなるように形成されている。したがって溶媒回収口１０７付近の親液領域１０５の濡れ性が溶媒供給口１０６より高くなっている。この勾配における親液レベルの増加は、直線的であってもよく、曲線的な増加であってもよい。

このような親液領域１０５の親液レベルを変化させる方法は、例えばUV照射の時間を変更する方法がある。親液領域１０５を形成する際にUV照射による表面改質を用いる場合は、親液領域１０５の場所ごとにUV照射の時間を少しずつ変化させ、表面改質の度合いを変化させる。これによって容易に親液レベルの勾配を形成することが可能である。

また親液レベルに寄与する微細な凹凸構造の密度を、溶媒供給口１０６側で低く、溶媒回収口１０７側で高くして形成する方法が実施可能である。本方法では微細な毛細管現象を利用し、溶媒１０９を溶媒回収口１０７側に移動させることができる。

このように、親液レベルに勾配を形成することにより、例えば、図中の矢印に示すように、溶媒供給口１０６から溶媒回収口１０７へと溶媒１０９が流れるための駆動力を付加することができる。また、溶媒供給口１０６から供給される溶媒１０９は、より親液レベルの高い溶媒回収口１０７側へと濡れ広がるため、溶媒１０９は迅速に表面積を増大し、効率的に溶媒１０９の雰囲気が形成可能である。

なお、このような親液レベルの勾配は、溶媒供給口１０６から溶媒回収口１０７にかけての方向のみではなく、溶媒１０９が濡れ広がることが困難であると予想されるノズルプレートの端部（外周部）に向け溶媒供給口１０６から放射状の各方向に対して勾配を形成してもよい。

以上説明したように、本実施の形態におけるインクジェットヘッド１０１ｅの親液領域１０５は、溶媒回収口１０７が設けられた箇所における溶媒１０９に対する濡れ性（親和性）が、溶媒供給口１０６が設けられた箇所における溶媒１０９に対する濡れ性より高い。

これにより、親液レベルに勾配を形成され、親液レベルの変化する方向に沿って溶媒１０９が流れるための駆動力を付加することができる。よって、溶媒供給口１０６から溶媒回収口１０７へのスムーズな溶媒の流れが形成可能である。

＜第５の実施の形態＞
さらに図８を用いて本開示における第５の実施の形態について説明する。図８は、第５の実施の形態に関わるインクジェットヘッドの平面図である。図８には図１、及び図７と同一の視点におけるインクジェットヘッド１０１ｆの平面図を示す。また図８には同様構成のインクジェットヘッド１０１ｆが２つ隣接配置され示されている。

図８に示すように、インクジェットヘッド１０１ｆが隣接して配置されている場合、親液領域１０５上に供給された溶媒１０９は、隣接するインクジェットヘッド１０１ｆどうしの隙間に到達し、当該隙間において毛細管現象によりインクジェットヘッド１０１ｆの上部（紙面奥側）まで侵入することがある。インクジェットヘッド１０１ｆの上部には通常、電気制御回路が配備されており、このような溶媒１０９の侵入により重大な不具合を引き起こす可能性がある。

インクジェットヘッド１０１ｆは上記の問題に対応可能である。インクジェットヘッド１０１ｆのノズルプレート１０３の外周部を囲うように外郭撥液領域１０４ｆが配されている。より詳しくは、ノズルプレート１０３の外周部（つまり、親液領域１０５の外周部）に親液領域１０５よりも溶媒１０９に対する濡れ性の低い外郭撥液領域１０４ｆが配置されている。なお、このような外郭撥液領域１０４ｆの配置は、親液領域１０５の外側であればよく、ノズルプレート１０３の最外周である必要はないものの、親液領域１０５の表面積を大きくするためにノズルプレート１０３の最外周であることが望ましい。

このような外郭撥液領域１０４ｆの存在により、例えば、図中の矢印に示すように、溶媒供給口１０６から溶媒回収口１０７へと溶媒１０９が濡れ広がる際に、外郭撥液領域１０４ｆよりも外側へ濡れ広がることはできない。つまり、インクジェットヘッド１０１ｆの端部まで到達できなくなるため、インクジェットヘッド１０１ｆの上部への侵入が防止される。

ノズルプレート１０３の外周に形成される外郭撥液領域１０４ｆは溶媒１０９の侵入をより強固に防止するため、ノズル１０２の外側に位置する撥液領域１０４に形成された撥液膜１０４ｂより厚い撥液膜によって形成する場合もある。また外郭撥液領域１０４ｆは、隣接するインクジェットヘッド１０１ｆどうしの当接面に形成されてもよい。この場合、溶媒１０９に対する薬品耐性を有するシーリング材を隣接するインクジェットヘッド１０１ｆどうしで挟持する形態であってもよい。

さらに、ノズルプレート１０３の外周から、隣接するインクジェットヘッド１０１ｆどうしの当接面まで継続して外郭撥液領域１０４ｆを形成することで、溶媒１０９の上部への侵入を強固に防止する形態であってもよい。

なお、このような外郭撥液領域１０４ｆは、ノズルプレート１０３の外周部の全周に形成してもよく、一部に形成してもよい。例えば、２つのインクジェットヘッド１０１ｆが隣接する箇所のみに形成してもよい。

以上のように、本実施の形態におけるインクジェットヘッド１０１ｆには、さらに、親液領域１０５の外側に、外郭撥液領域１０４ｆが配置されている。

これにより、複数のインクジェットヘッド１０１ｆが隣接する場合において、隣接するインクジェットヘッド１０１ｆどうしの隙間に溶媒１０９が到達しても、上部の電気制御回路等まで溶媒１０９が到達することが防止される。これにより、親液領域１０５に溶媒１０９を供給するような形態であっても電気回路のショート等のトラブルを生じることなくインク吐出を実現することができる。

（インクジェット装置）
＜実施の形態＞
また、本開示における、インクジェット装置９００について図９を用いて実施の形態を説明する。図９は、実施の形態に関わるインクジェット装置の溶媒流路を説明する図である。図９にはインクジェット装置９００の溶媒流路の接続関係を概略図として示す。

本実施の形態におけるインクジェット装置９００は、主にインクジェットヘッド１０１ｚ（インクジェットヘッド１０１〜１０１ｆのいずれか）と、溶媒供給タンク９０１と、溶媒回収タンク９０４と、溶媒供給口１０６から溶媒１０９を供給する制御を行う正圧制御部９０５とによって構成される。インクジェットヘッド１０１ｚは既述のため説明を省略するが、模式的に図６に示したインクジェットヘッド１０１ｄと同一の断面における断面図を示している。

溶媒供給タンク９０１は、インクジェットヘッド１０１ｚに供給される溶媒１０９を貯留しておくための容器であり、溶媒１０９に対する薬品耐性を有する材料で構成さるのであればどのような形態であってもよい。また、溶媒供給タンク９０１は、溶媒供給経路９０２を介して溶媒供給口１０６と接続されている。溶媒供給経路９０２は空洞状の配管であり、溶媒１０９が溶媒供給タンク９０１から溶媒供給口１０６へと供給される際に通過する経路である。

溶媒回収タンク９０４は、インクジェットヘッド１０１ｚから回収された溶媒１０９を貯留しておくための容器であり、溶媒供給タンク９０１と同様、溶媒１０９に対する薬品耐性を有する材料で構成されるのであればどのような形態であってもよい。より好ましくは、溶媒回収タンク９０４に貯留される溶媒１０９には、インク１０８から発生した微量のミスト２０２が含まれる。すなわちこのようなミスト２０２を再利用するのであれば、溶媒回収タンク９０４はインク１０８に含まれる色素等の不揮発成分が吸着しないような材料で構成される必要がある。また、溶媒回収タンク９０４は、溶媒回収口１０７と溶媒回収経路９０３を介して接続されている。溶媒回収経路９０３は空洞状の配管であり、溶媒１０９が溶媒回収口１０７から溶媒回収タンク９０４へと回収される際に通過する経路である。

溶媒供給タンク９０１には、溶媒１０９の供給を制御するための正圧制御部９０５が備えられ、当該正圧制御部９０５を正圧に制御することにより、溶媒供給タンク９０１内部を正圧状態にし、溶媒１０９を送液する。

一方、溶媒回収タンク９０４には負圧制御部９０６が備えられ、溶媒回収タンク９０４内部を負圧状態にし、溶媒１０９を回収する。

上記のように溶媒１０９は溶媒供給タンク９０１から溶媒供給経路９０２を通過し、インクジェットヘッド１０１ｚのノズルプレート１０３のうち、溶媒供給口１０６を介して親液領域１０５に供給される。次に溶媒１０９は飛散したミスト２０２を取り込みつつ溶媒回収口１０７に向かって移動し、溶媒回収経路９０３を通過し、溶媒回収タンク９０４に回収される。

溶媒供給タンクに接続された正圧制御部９０５は、溶媒１０９を速やかにインクジェットヘッド１０１ｚの表面（つまりノズルプレート１０３の親液領域１０５）に供給できるように構成されている。また溶媒供給量の安定化のために溶媒供給を水頭差による供給とすることも可能である。

溶媒回収タンク９０４に接続された負圧制御部９０６は、溶媒１０９を速やかにインクジェットヘッド１０１ｚの表面か回収できるように構成されている。溶媒１０９の回収は、溶媒回収口１０７付近の空気を巻き込みながら溶媒１０９を吸い上げる動作となるため溶媒１０９の供給のための加圧よりも大きな負圧が必要となる。

したがって、負圧を発生させた際の逆方向の加圧力を、一部溶媒１０９の供給に再利用してもよい。つまり、正圧制御部９０５と負圧制御部９０６とは、一体化された構成であってもよい。

なお、本開示に示したインクジェットヘッドの実施の形態のいずれかのうち、全部または、少なくとも一つ組み合わせて、低沸点溶媒を用いたインクや顔料密度の高いインクなど、インク詰まりを起こしやすい組成のインクにおいて、ノズル１０２から被塗布物３０２までの距離を離すことなくノズル１０２近傍の溶媒濃度を上げることによりノズル１０２先端の乾燥を防ぎ、ノズル詰まりを防ぐことを実現してもよい。

以上説明したように、本実施の形態におけるインクジェット装置は、インクジェットヘッド１０１ｚを備えるインクジェット装置９００であって、溶媒供給口１０６から溶媒１０９を供給する制御を行う正圧制御部、及び／または負圧制御部（つまり制御部）を有する。

これにより、インク１０８が吐出されるノズル１０２近傍の雰囲気を溶媒１０９雰囲気としてインク吐出ができるため、インク１０８の外液成分の揮発が抑制され、インク詰まりを抑制することができる。

なお、以上に説明した溶媒１０９は、色素等の不揮発成分も含むインク１０８と同一の成分組成によって実現されてもよい。溶媒１０９とインク１０８とを同一の成分組成とすることにより、インク１０８を貯留するタンクを溶媒供給タンク９０１として共用することができ、インクジェット装置の装置構成を簡単化できる。

ここで、ミスト２０２は実質的にインク１０８と同一の成分組成である。また、溶媒１０９から揮発する外液成分が十分に無視できる循環溶媒量が確保できる場合、ミスト２０２を含む回収された溶媒１０９も、実質的にインク１０８と同一の成分組成である。したがって、蒸留等の追加の工程を必要とすることなく、ミスト２０２を含む回収された溶媒１０９を、インク１０８として再利用可能である。溶媒１０９は、このようにインク１０８としても循環可能であるため、インク１０８を貯留するタンクを溶媒回収タンク９０４として共用することができる。したがってインク１０８を貯留するタンクが１つあれば実施の形態におけるインクジェット装置を実現することも可能であり、装置構成をさらに簡単化できる。

（その他の実施の形態）
以上、実施の形態について説明したが、本開示は、上記実施の形態に限定されるものではない。

また、上記実施の形態においてインクジェットヘッド、及びインクジェット装置を構成する構成要素について例示したが、インクジェットヘッド、及びインクジェット装置が備える構成要素の各機能は、インクジェットヘッド、及びインクジェット装置を構成する複数の部分にどのように振り分けられてもよい。

その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態、または、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本開示に含まれる。

例えば、本開示において溶媒１０９は、インク吐出中においてはインク１０８から発生するミスト２０２を取りこむため、待機中に比べ溶媒体積が増加する（Ｓ１＞Ｓ２として説明した）が、増加しない構成であってもよい。例えば待機中においてはインクジェットヘッドまたは被塗布物３０２は相対移動をしていないため、溶媒膜の膜厚を厚く設定しても溶媒１０９は被塗布物３０２に落下し難いが、インク吐出中においては相対移動が生じる。このためインク吐出中は、溶媒１０９の雰囲気を一定に保てる最低膜厚であることが望ましく、設定膜厚を変更する必要がある。すなわちこのような設定を実現する場合はＳ１＜Ｓ２の関係も成り立ちうる。

また例えば、溶媒膜の表面の形状が波状であることを説明したが、波状でなくてもよい。例えば、高粘度の溶媒１０９を用いる場合など、波状の形成が困難となるときには波状の表面形状を形成しなくてもよい。また、波状化することで重力落下も促進されるため、低粘度の溶媒１０９を用いる場合など、波状化を行わないことが好ましい場合がある。

また撥液領域１０４において撥液膜を設ける構成を説明したが、撥液領域１０４は平面形状であってもよく、インク吐出の方向と逆方向に凹む凹形状を有する構成であってもよい。インクジェットヘッドと被塗布物３０２との相対移動の速度を調整する等によって、インク１０８と溶媒１０９（溶媒膜）とが混ざり合わない形態であれば、いずれの撥液領域１０４の形状であってもよい。

またノズルプレート１０３の表面は傾斜していなくてもよい。例えば、親液領域１０５において、溶媒供給口１０６から溶媒回収口１０７へと延びる溝を形成し、溝に沿って溶媒１０９の濡れ広がる方向を規定してもよい。また当該溝は複数形成されてもよい。

また例えば、外郭撥液領域は備えられなくてもよい。親液領域１０５における親液レベルの勾配の形成において、ノズルプレート１０３の最外周にあたる位置の親液レベルを低く設計することによって溶媒１０９が濡れ広がることを抑制する構成であってもよい。

また、インク吐出の系（インクジェットヘッドと被塗布物３０２を含む）を略密閉に覆う壁部を形成し、系内を減圧及び／または加温するなどの手段を用いて溶媒１０９の揮発を促進する揮発促進手段を備えてもよい。さらに、あらかじめ揮発させたガス状の溶媒１０９を系内に充満させ、溶媒１０９が十分揮発するまでの準備期間を短縮する構成を備えてもよい。

本開示におけるインクジェットヘッド、及びインクジェット装置は、産業用インクジェットヘッド、及びインクジェット装置として広く使用される。

１０１、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄ、１０１ｅ、１０１ｆ、１０１ｚ インクジェットヘッド
１０２ ノズル
１０３、１０３ｄ ノズルプレート
１０４ 撥液領域
１０４ｂ、１０４ｃ 撥液膜
１０４ｆ 外郭撥液領域
１０５ 親液領域
１０６ 溶媒供給口
１０７ 溶媒回収口
１０８ インク
１０９ 溶媒
２０１ インク室
２０２ ミスト
２０３ 振動板
２０４ ピエゾ素子
３０１ ステージ
３０２ 被塗布物
３０３ 印刷方向
３０４ 風
３０５ メニスカス
４０１ 撥液膜の端面
５０１ テーパ形状
６０１ 溶媒の流れ
９００ インクジェット装置
９０１ 溶媒供給タンク
９０２ 溶媒供給経路
９０３ 溶媒回収経路
９０４ 溶媒回収タンク
９０５ 正圧制御部
９０６ 負圧制御部

Claims (11)

1. 第１液体を吐出する複数のノズル口を含む面であるノズル開口面を備えるインクジェットヘッドであって、
   前記ノズル開口面は、前記複数のノズル口それぞれの外側に位置した撥液領域と、
   前記撥液領域の外側に位置した親液領域と、を含み、
   前記インクジェットヘッドはさらに、前記親液領域に対して、第２液体を供給する供給口を備える
   インクジェットヘッド。
2. さらに、前記親液領域に供給された前記第２液体を回収する回収口を備える
   請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記親液領域には、供給された前記第２液体によって第２液体膜が形成され、
   前記ノズル口から前記第１液体を吐出している時の前記第２液体膜の体積Ｓ１と、
   前記ノズル口から前記第１液体を吐出していない時の前記第２液体膜の体積Ｓ２とは、
   Ｓ１＞Ｓ２の関係を満たす
   請求項１または２に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記第２液体膜の表面は波状である
   請求項１から３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
5. 前記撥液領域には、前記第１液体の吐出方向に向けて所定の厚さを有する撥液膜が配置される
   請求項１から４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
6. 前記撥液膜は、前記吐出方向に向けて先細りとなるテーパ形状である
   請求項５に記載のインクジェットヘッド。
7. 前記ノズル開口面は、重力方向と直交する面に対して所定の角度に傾斜可能である
   請求項１から６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
8. 前記ノズル開口面は、前記供給口が設けられた箇所から、前記回収口が設けられた箇所に向かって、重力方向と直交する面に対して重力方向に傾斜可能である
   請求項７に記載のインクジェットヘッド。
9. 前記親液領域は、
   前記回収口が設けられた箇所における前記第２液体に対する親和性が、前記供給口が設けられた箇所における前記第２液体に対する親和性より高い
   請求項１から８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
10. さらに、前記親液領域の外側に、外郭撥液領域が配置されている
    請求項１から９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
11. 請求項１から１０のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドを備えるインクジェット装置であって、
    前記供給口から前記第２液体を供給する制御を行う制御部を有する
    インクジェット装置。

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